JPH0989656A - 集光ビームパワー測定器 - Google Patents
集光ビームパワー測定器Info
- Publication number
- JPH0989656A JPH0989656A JP24936195A JP24936195A JPH0989656A JP H0989656 A JPH0989656 A JP H0989656A JP 24936195 A JP24936195 A JP 24936195A JP 24936195 A JP24936195 A JP 24936195A JP H0989656 A JPH0989656 A JP H0989656A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- photosensor
- focused beam
- light
- power
- condensed
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Photometry And Measurement Of Optical Pulse Characteristics (AREA)
- Optical Head (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 測定の都度または測定者による個人差をなく
し、光検出部の光センサーへの入射位置や入射角度、集
光ビーム以外の外光等の外乱要因などに影響されず、正
確に安定してヘッド出射パワーを測定可能な集光ビーム
パワー測定器を提供する。 【解決手段】 対物レンズ１から出射される集光ビーム
２を受光する光センサー３と、対物レンズ１の軸に垂直
に所望の位置に固定する光センサー３への外光を遮る遮
光部材でできた光センサー固定部材４とからなる光検出
部５と、光検出部５の出力する検出信号ａからパワーを
算出するパワー算出部６とで構成される。測定時には、
光検出部５はアクチュエータ匡体７にねじ８で取り付け
られ、光センサー３は外光を遮光された状態で、常に所
望する集光ビーム測定ポイント９で集光ビーム２のみを
受光する。
し、光検出部の光センサーへの入射位置や入射角度、集
光ビーム以外の外光等の外乱要因などに影響されず、正
確に安定してヘッド出射パワーを測定可能な集光ビーム
パワー測定器を提供する。 【解決手段】 対物レンズ１から出射される集光ビーム
２を受光する光センサー３と、対物レンズ１の軸に垂直
に所望の位置に固定する光センサー３への外光を遮る遮
光部材でできた光センサー固定部材４とからなる光検出
部５と、光検出部５の出力する検出信号ａからパワーを
算出するパワー算出部６とで構成される。測定時には、
光検出部５はアクチュエータ匡体７にねじ８で取り付け
られ、光センサー３は外光を遮光された状態で、常に所
望する集光ビーム測定ポイント９で集光ビーム２のみを
受光する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、集光ビームパワー
測定器に関し、特に光ディスク原盤露光装置の光ヘッド
から出射される出射パワーを正確に測定するための集光
ビームパワー測定器に関する。
測定器に関し、特に光ディスク原盤露光装置の光ヘッド
から出射される出射パワーを正確に測定するための集光
ビームパワー測定器に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、この種の集光ビームパワー測定器
では、光ディスク原盤露光装置の光ヘッドから出射され
る集光ビームのパワーは、測定者が手で光センサー受光
部をヘッドの対物レンズ直下まで移動して受光させ、集
光ビームパワーの測定を行っていた。
では、光ディスク原盤露光装置の光ヘッドから出射され
る集光ビームのパワーは、測定者が手で光センサー受光
部をヘッドの対物レンズ直下まで移動して受光させ、集
光ビームパワーの測定を行っていた。
【０００３】図２は、従来の集光ビームパワー測定器の
一例を示す構成図である。
一例を示す構成図である。
【０００４】従来の集光ビームパワー測定器は、図２に
示すように、対物レンズ１１で集光された集光ビーム１
２を受光する光センサー１３と、この光センサー１３か
ら出力する検出信号ｂを入力し集光ビームパワーを算出
するパワー算出部１６とから構成される。そして、集光
ビームパワーを測定する際は、測定者が光センサー１３
を対物レンズ１１へできるだけ近づけて集光ビームパワ
ーの測定を行う。
示すように、対物レンズ１１で集光された集光ビーム１
２を受光する光センサー１３と、この光センサー１３か
ら出力する検出信号ｂを入力し集光ビームパワーを算出
するパワー算出部１６とから構成される。そして、集光
ビームパワーを測定する際は、測定者が光センサー１３
を対物レンズ１１へできるだけ近づけて集光ビームパワ
ーの測定を行う。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】この従来の集光ビーム
パワー測定器では、測定者が手で集光ビームパワー測定
器の光センサーの位置を調整するため、測定の都度また
は測定者の個人差によって光センサーへの集光ビームの
入射位置や入射角度が変化し、光センサーの受光感度に
“ばらつき”が生じたり、さらに、集光ビーム以外の外
光等の外乱要因によって、正確かつ安定して集光ビーム
パワーの測定ができないという欠点があった。
パワー測定器では、測定者が手で集光ビームパワー測定
器の光センサーの位置を調整するため、測定の都度また
は測定者の個人差によって光センサーへの集光ビームの
入射位置や入射角度が変化し、光センサーの受光感度に
“ばらつき”が生じたり、さらに、集光ビーム以外の外
光等の外乱要因によって、正確かつ安定して集光ビーム
パワーの測定ができないという欠点があった。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明は、被測定機器の
対物レンズから出射される集光ビームのパワーを測定す
る集光ビームパワー測定器であって、前記対物レンズか
ら出射される集光ビームを受光する光センサーと、この
光センサーへの外光を遮る遮光部材と、前記光センサー
を前記対物レンズの軸に垂直に所望の位置に固定する光
センサー固定部材とから成る光検出部と、この光検出部
を被測定機器に取り付ける取り付け取付け手段とを備え
ることを特徴とする。
対物レンズから出射される集光ビームのパワーを測定す
る集光ビームパワー測定器であって、前記対物レンズか
ら出射される集光ビームを受光する光センサーと、この
光センサーへの外光を遮る遮光部材と、前記光センサー
を前記対物レンズの軸に垂直に所望の位置に固定する光
センサー固定部材とから成る光検出部と、この光検出部
を被測定機器に取り付ける取り付け取付け手段とを備え
ることを特徴とする。
【０００７】
【発明の実施の形態】次に、本発明について図面を参照
して説明する。
して説明する。
【０００８】図１は、本発明の集光ビームパワー測定器
の一実施の形態を示す断面図である。本発明の集光ビー
ムパワー測定器は、図１に示すように、光検出部５とパ
ワー算出部６とから成り、また光検出部５は、対物レン
ズ１から出射される集光ビーム２を受光する光センサー
３と、対物レンズ１の軸に垂直に所望の位置に固定する
光検光センサー３への外光を遮る遮光部材でできた光セ
ンサー固定部材４とから構成されている、そして、パワ
ー算出部６は、光検出部５の出力する検出信号ａからパ
ワーを算出する。
の一実施の形態を示す断面図である。本発明の集光ビー
ムパワー測定器は、図１に示すように、光検出部５とパ
ワー算出部６とから成り、また光検出部５は、対物レン
ズ１から出射される集光ビーム２を受光する光センサー
３と、対物レンズ１の軸に垂直に所望の位置に固定する
光検光センサー３への外光を遮る遮光部材でできた光セ
ンサー固定部材４とから構成されている、そして、パワ
ー算出部６は、光検出部５の出力する検出信号ａからパ
ワーを算出する。
【０００９】ここで、本発明の集光ビームパワー測定器
を用いて、集光ビームパワーを測定するには、光検出部
５が光ディスク原盤露光装置のアクチュエータ匡体７に
ねじ８で取り付けられる。そして、光センサー３は、外
光を遮光された状態で常に所望する集光ビーム測定ポイ
ント９で集光ビーム２のみを受光する。
を用いて、集光ビームパワーを測定するには、光検出部
５が光ディスク原盤露光装置のアクチュエータ匡体７に
ねじ８で取り付けられる。そして、光センサー３は、外
光を遮光された状態で常に所望する集光ビーム測定ポイ
ント９で集光ビーム２のみを受光する。
【００１０】光検出部５は、光センサー３で受光した集
光ビーム２の検出信号ａとして出力する。、パワー算出
部６は、入力した検出信号ａを基に集光ビームパワーを
算出する。
光ビーム２の検出信号ａとして出力する。、パワー算出
部６は、入力した検出信号ａを基に集光ビームパワーを
算出する。
【００１１】
【発明の効果】以上説明したように、本発明の集光ビー
ムパワー測定器は、外光を遮って常に所望の測定ポイン
トで集光ビームのみを光センサーで受光することによ
り、測定の都度または測定者の個人差による光センサー
への集光ビームの入射位置や入射角度の変化による受光
感度の“ばらつき”や光センサーへの外光による外乱要
因に影響されず、常に正確かつ安定して集光ビームパワ
ーが測定できるという効果がある。
ムパワー測定器は、外光を遮って常に所望の測定ポイン
トで集光ビームのみを光センサーで受光することによ
り、測定の都度または測定者の個人差による光センサー
への集光ビームの入射位置や入射角度の変化による受光
感度の“ばらつき”や光センサーへの外光による外乱要
因に影響されず、常に正確かつ安定して集光ビームパワ
ーが測定できるという効果がある。
【図１】本発明の集光ビームパワー測定器の一実施例を
示す断面図である。
示す断面図である。
【図２】従来の集光ビームパワー測定器の一例を示す構
成図である。
成図である。
１，１１ 対物レンズ ２，１２ 集光ビーム ３，１３ 光センサー ４ 光センサー固定部材 ５ 光検出部 ６，１６ パワー算出部 ７ アクチュエータ匡体 ８ ねじ ９ 集光ビーム測定ポイント ａ，ｂ 検出信号
Claims (1)
- 【請求項１】 被測定機器の対物レンズから出射される
集光ビームのパワーを測定する集光ビームパワー測定器
であって、 前記対物レンズから出射される集光ビームを受光する光
センサーと、この光センサーへの外光を遮る遮光部材
と、前記光センサーを前記対物レンズの軸に垂直に所望
の位置に固定する光センサー固定部材とから成る光検出
部と、この光検出部を被測定機器に取り付ける取り付け
取付け手段とを備えることを特徴とする集光ビームパワ
ー測定器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24936195A JPH0989656A (ja) | 1995-09-27 | 1995-09-27 | 集光ビームパワー測定器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24936195A JPH0989656A (ja) | 1995-09-27 | 1995-09-27 | 集光ビームパワー測定器 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0989656A true JPH0989656A (ja) | 1997-04-04 |
Family
ID=17191887
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP24936195A Pending JPH0989656A (ja) | 1995-09-27 | 1995-09-27 | 集光ビームパワー測定器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0989656A (ja) |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0442741U (ja) * | 1990-08-07 | 1992-04-10 |
-
1995
- 1995-09-27 JP JP24936195A patent/JPH0989656A/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0442741U (ja) * | 1990-08-07 | 1992-04-10 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 19980113 |