JPH0415702Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 「産業上の利用分野」 本考案は半導体製造用フオトマスク、レチク
ル、ウエハ等のプレートを収納するカセツトを次
工程に搬送する際、次工程で処理しやすい位置に
自動的に角度変向させることの出来る搬送装置に
関する。

「従来の技術」 本出願人は先にフオトマスク等のプレート表面
に洗浄後における二次汚染を防止する為、プレー
トを点接触にて直立して平行離間配置可能ならし
めたカセツトを提案している。（特開昭59−
102367号） その構成を第３図に基づいて簡単に説明する
に、直立して平行に対面して配置された一対の方
形枠体２，３と中心部より周縁部に進むに従い
除々に薄肉になるよう形成した複数のリング体４
ａ，５ａを直列配設して形成された支持軸４，５
と、プレートＡのカセツトＢ内配置位置を規制す
る棒状止め軸６，７からなり、前記枠体２，３間
上下両側に支持軸４，５をプレートＡが挿通可能
な幅間隔でもつて対称且つ平行に架設させると共
に、該プレートＡの進行方向側端側に棒状止め軸
６，７を枠体２，３側端線に沿つて平行に配置し
たものである。

かかるカセツトＢにおいては、複数個のプレー
トＡを収納した状態で脱脂洗浄（前洗浄）を行っ
たものを搬送装置を介して本洗浄工程に運び、該
本洗浄工程において、前記カセツトＢよりプレー
トＡを順次個別にベルトコンベア上に引き出し、
該ベルトコンベア上に配設したブラツシングその
他の洗浄部材で本洗浄を行つた後、該プレートＡ
を本洗浄工程終端に配置した他のカセツトＢに収
納した後、搬送装置を介して該カセツトＢを乾燥
工程まで運び、カセツトＢ毎プレートＡの乾燥を
行うものである。

「考案が解決しようとする問題点」 かかる工程においては各工程での洗浄又は乾燥
の容易化と汚染物質を含む洗浄液がプレートＡ面
に再付着するのを防止する為に、前洗浄工程と乾
燥工程ではプレートＡが侵入する開口部を上に向
けて配置する必要があり、又本洗浄工程ではプレ
ートＡを順次ベルトコンベア上にの引き出す必要
からカセツトＢを90°角度変向させて開口部をベ
ルトコンベア側側方に向けて配置する必要があ
る。

従つて前記カセツトＢを、前洗浄工程から本洗
浄工程に、又本洗浄工程から乾燥工程に夫々搬送
する際には、搬送途中に前記カセツトＢを変向さ
せる為の装置を搬送装置と別個に付設しなければ
ならず、かかることは前記各工程を一体化した連
続洗浄を行う上で大きな障害になり易い。

搬送装置と別個に変向装置を付設してカセツト
Ｂの角度変向を行うことは搬送工程が分断化さ
れ、工程の複雑化と搬送途中におけるプレートＡ
の脱落その他の事故発生の原因にもつながり易
い。

本考案が解決しようとする技術的課題は、独立
した変向装置を付設することなく、カセツト吊持
部材にて前記カセツトＢを前工程の所定位置より
吊持する際、又次工程の所定位置に吊り下ろす
際、自動的にカセツトＢの角度変向を行うことの
出来る搬送装置を提供することにある。

「問題点を解決しようとする手段」 本考案は、前記したように、対面させて平行配
置された一対の枠体２，３間に、上下両側に挿入
ガイドとして機能する支持軸４，５と、該支持軸
４，５に挟まれる枠体２，３側端側に止め軸６，
７を夫々架設し、該止め軸取付け部の反対側の枠
体２，３一側側面を開口１０すると共に、該開口
１０より前記支持軸４，５に沿つて複数のプレー
トＡを平行に搬出入可能に構成したカセツトＢの
搬送装置として適用されるもので、 その特徴とする所は、 カセツトＢ側に、前記開口取付け位置と対応す
る枠体２，３の外壁面の側端側に上下に突設させ
た複数の係合突起（係合部）１１，１２を設けた
点、 前記カセツトＢを吊持可能に形成した吊持部材
に前記係合突起１１，１２と係合可能な複数の係
合凹部３２，３３をほぼ水平面上に凹設した点、 前記係合突起１１，１２と反対側の枠体２，３
側壁面に対面可能に配設され、カセツト傾動支点
として機能するカセツト当接軸（当接部材）２４
を配設した点にある。

これにより吊持部材の上昇又は下降過程におい
て、前記カセツト当接軸２４にカセツトＢを当接
させつつ時間差をもつて前記対応する各係合凹部
３２，３３と係合突起１１，１２との係合又は係
合解除を行なうことにより、該カセツトＢを略
90°傾転させながら搬送可能に構成する事が出来
る。

「作用」 かかる技術手段によれば、前記カセツト枠体
２，３の重心位置より所定距離偏位した外壁面上
に複数の上下に係合突起１１，１２が形成されて
いる為に、吊持部材の上昇又は下降途中において
先ず第１の係合突起１１（１２）と係合凹部３２
（３３）の係合又は係合解除がなされ、そのまま
の状態で上昇又は下降させることにより前記カセ
ツトＢが傾動し、略90度変更した時に第２の係合
突起１２（１１）と係合凹部３３（３２）が係合
又は係合解除がなされ、搬送途中における90度の
角度変更を可能なさしめる。

尚、前記係合突起１１，１２と反対側の枠体
２，３側壁面に傾動支点として機能するカセツト
当接軸２４を配設したために、前記カセツトＢの
傾動を容易に且つ確実に行なわしめる事が出来
る。

「実施例」 以下、図面を参照して本考案の好適な実施例を
例示的に詳しく説明する。ただしこの実施例に記
載されている構成部品の寸法、材質、形状、その
相対位置などは特定的な記載がない限りは、この
考案の範囲をそれのみに限定する趣旨ではなく、
単なる説明例に過ぎない。

第１乃至第２図は本実施例の搬送装置の構成を
示し、まず該搬送装置により搬送されるカセツト
の構成を説明するに、カセツトＢは、両枠体２，
３外壁面の開口１０側近傍に、枠体２，３側端線
と平行（垂直線上）に夫々対称に各一対の係合突
起１１，１２を上下に突設する。

１５はカセツトＢを所定位置に載置させるカセ
ツト台で、表面両側端側に枠体２，３幅長と対応
させて棒状位置決め部材１６，１７を平行に配設
し、該カセツトＢが前記位置決め部材１６，１７
間に載置可能に構成している。

このカセツト台１５は各洗浄工程の態様に合せ
図上前後方向に移動可能に構成したり、又昇降自
在に構成されているが、その構成の説明は本考案
の要旨ではない為省略する。

２０は本洗浄装置終端側に配置した自動変向部
材で、該変向部材２０は本洗浄装置の側壁面を形
成する基台２１よりカセツトＢに向け、枠体２，
３間間隔より大なる幅間隔でもつて延在された一
対の支持板２２，２３と、該支持板２２，２３間
に軸支され、枠体２，３側端面に対面して配置さ
れた円棒状の当接軸２４からなり、前記当接軸２
４は好ましくは枠体２，３側端の上側近傍に位置
するよう配置する。

３０，３１は図示しない部材により、昇降しな
がら洗浄工程順序に沿つて矢印方向に移動する一
対の吊持部材で、両吊持部材３０，３１の配置間
隔をカセツトＢ枠体２，３間間隔より僅かに大に
設定し、多少の余裕空間をもつて該吊持部材３
０，３１間にカセツトＢが挿通可能に構成してい
る。

各吊持部材３０，３１の形状は略Ｌ字状をな
し、その自由端側水平部３０ａ，３１ａ内側の基
部と先端部に、カセツトＢ外壁面に突設させた係
合突起１１，１２と、係合可能な係合凹部３２，
３３を夫々取り付ける。

係合凹部３２，３３は対応する他側吊持部材３
０，３１側の係合凹部３２，３３と対面させて対
称に配置され、基側と先端側の係合凹部３２，３
３の取付間隔を前記係合突起１１，１２間間隔と
同一に設定すると共に、基側係合凹部３２を先側
係合凹部３３より深めに形成する。

次にかかる実施例の動作について第２図に基づ
いて説明する。

先ず、ベルトコンベア４０側に開口１０を向け
て、カセツトＢをカセツト台１５上の所定位置に
配置してある本洗浄装置において、ベルトコンベ
ア４０により洗浄終了後のプレートＡを順次カセ
ツトＢ内の所定位置に収納した後、吊持部材３
０，３１を動作してカセツトＢ係合突起１１，１
２を係合凹部３２，３３に吊持させると前記カセ
ツトＢが自動的に角度変向をしながら次工程装置
へ搬送される。

即ち吊持部材３０，３１の動作軌跡を詳細に説
明すると、ベルトコンベア４０ー側よりカセツト
Ｂ下側の係合突起１１とカセツト台１５間の空隙
位置まで下降させた後、（図上参照）該吊持部
材３０，３１をカセツトＢ側に水平移動させてカ
セツトＢ係合突起１１の下方に基側係合凹部３２
を位置させ、その位置より吊持部材３０，３１を
略垂直方向に上昇させる。（図上参照） この結果、前記基側係合凹部３２と係合突起１
１が係合した状態でカセツトＢが上方に持ち上が
る訳であるが、該カセツトＢの重心は中央部にあ
る為、吊持部材３０，３１の上昇に追従してカセ
ツトＢが位置決め部材１６を支点として変向部材
２０側に傾動しながら枠体２，３上部側壁面が当
接軸２４に当接する。（図上参照） そして更に該吊持部材３０，３１が当接軸２４
側に移動しながら更に上昇すると、前記当接軸２
４を支点として前記カセツトＢが更に傾動（回
動）し、90°変向した際に、吊持部材３０，３１
の先端側係合凹部３３とカセツトＢの上側係合突
起１２が係合され（図上参照）、そしてこの状
態になつた時に始めて前記当接軸２４と枠体２，
３側壁面とが離間し、前記吊持部材３０，３１の
係合凹部３２，３３が対応するカセツトＢの全て
の係合突起１１，１２と係合した四点支持となる
為、保持が確実な状態で次工程の装置内にカセツ
トＢを搬送させることが出来る。

次工程の装置では前記カセツトＢが既に変向し
ている状態にある為、そのままの状態でカセツト
台１５上に載置すればよい。

一方、前記と逆に開口１０を上方に向けたカセ
ツトＢを変向させる場合、例えば前洗浄装置から
本洗浄装置に搬送させる場合は、前記作用と逆の
動作を行なうことにより、セツト時において自動
的に前記カセツトＢが変更することとなる。

尚、本実施例では前記カセツトＢの傾動容易化
を図る為にカセツト台１５上に位置決め部材１６
を、又前記係合突起１１，１２の対側の枠体２，
３上部側壁面側に当接軸２４を設け前記傾動の際
の支点となるべく構成したが、必ずしも前記構成
を採ることが必須条件ではなく、カセツトＢの係
合位置をカセツトＢ重心より偏位した位置に形成
した為、前記係合位置の下方より吊持部材３０，
３１を上昇させることにより簡単に90°変向を可
能ならしめることが出来る。

「考案の効果」 以上記載した如く本考案によれば、独立した変
向装置を付設することなく、カセツト吊持部材の
上昇又は下降途中において自動的にカセツトの角
度変向を行うことの出来、この結果、前洗浄、本
洗浄、乾燥工程を一体化した連続洗浄装置の製作
が極めて容易になる。

又、本考案によれば確実に４点支持にて吊持さ
れる為に、又搬送中においては一切カセツトの変
向を行う必要がない為プレートＡの脱落その他の
事故が発生する恐れもない。

【図面の簡単な説明】

第１乃至第２図は本実施例の搬送装置の構成を
示し、第１図は斜視図、第２図は動作説明図であ
る。第３図は本考案が適用される従来公知のカセ
ツトの構成を示す斜視図である。 ２，３……枠体、Ａ……プレート、Ｂ……カセ
ツト、１１，１２……係合突起（係合部）、３０，
３１……吊持部材、３２，３３……係合凹部。

Claims (1)

1. 【実用新案登録請求の範囲】 対面させて平行配置された一対の枠体間に、上
   下両側に挿入ガイドと、該挿入ガイドに挟まれる
   枠体側端側に止め軸を夫々架設し、該止め軸取付
   け部の反対側の枠体一側側面を開口すると共に、
   該開口より前記挿入ガイドに沿つて複数のプレー
   トを平行に搬出入可能に構成したカセツトの搬送
   装置において、 前記開口取付け位置と対応する枠体の外壁面の
   側端側に上下に突設させた複数の係合部と、 前記カセツトを吊持可能に形成した吊持部材の
   ほぼ水平面上に凹設され前記係合部と係合可能な
   複数の係合凹部と、 前記係合部と反対側の枠体側壁面に対面可能に
   配設され、カセツト傾動支点として機能するカセ
   ツト当接部材とを具え、 吊持部材の上昇又は下降過程において、前記カ
   セツト当接部材に枠体側壁面を当接させつつ時間
   差をもつて前記対応する各係合凹部と係合部との
   係合又は係合解除を行なうことにより、該カセツ
   トを略90°傾転させながら搬送可能に構成した事
   を特徴とするカセツトの搬送装置。