JPH0249725Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 産業上の利用分野 本考案は、多数の半導体ウエーハを収納して、
半導体製造工場内を物品搬送車等で搬送される半
導体製造治具に関するものである。

従来の技術 例えば、多数の製造工程を有する半導体製造工
場の製造ラインには、クリーンルーム内に複数の
製造設備が配置され、半導体ウエーハは各製造設
備に順次に、又は選択的に搬送されて製造され
る。このような製造設備への半導体ウエーハの供
給は、複数の半導体ウエーハをキヤリアと称する
治具に整列収納して、複数枚ずつ製品ロツト単位
で行なわれるのが一般的である。

一方、半導体ウエーハの製造は、益々清浄空気
雰囲気内での作業が必要とされ、そのため最近の
半導体ウエーハ製造工場は益々無人化される傾向
にあつて、例えば、製造設備間などの半導体ウエ
ーハの搬送に、床上を自走する無人搬送車が使用
されている。この無人搬送車は複数の半導体ウエ
ーハを整列支持したキヤリアを収納したコンテナ
を搭載して、清浄空気雰囲気にあるクリーンルー
ムの床上を自走するもので、その一例を第１２図
及び第１３図を参照して説明する。

同図における、１は工場の床、２は床１上を自
走する無人搬送車で、例えば上部に略水平な台座
３を有し、この台座３上にコンテナ４が必要数だ
け載置されて、工場内の各製造設備〔図示せず〕
へと搬送する。コンテナ４は有底上端開口の箱４
ａの上端開口を蓋５ｂで塞ぐようにしたものであ
る。１つのコンテナ４内には、例えば２つのキヤ
リア６，６が収納される。キヤリア６は複数の半
導体ウエーハ７，７…を定間隔で平行に整列収納
する枠状治具で、その具体例を第１４図乃至第１
６図に示し、説明する。

キヤリア６は、平行に対向する側板６ａ，６ａ
と、両側板６ａ，６ａの両端を連結する端板６
ｂ，６ｂで構成され、両側板６ａ，６ａの内面に
縦方向に定ピツチで多数の溝８，８…が形成され
る。各溝８，８…は断面略Ｖ字形のもので、両側
板６ａ，６ａの各溝８，８…は１つずつが対向す
る。

この対向する１組の溝８，８の幅をt₁、半導体
ウエーハ７の厚さをt₂とすると、t₁＞＞t₂関係に
設定され、これにより、対向する１組の溝８，８
に１枚の半導体ウエーハ７の周縁部が、余裕をも
つて挿入または取出され、半導体ウエーハ７は溝
８，８と平行な状態で側板６ａ，６ａ間に収納保
持される。

１つのキヤリア６に複数の半導体ウエーハ７，
７…が縦方向に平行に定ピツチで整列収納される
と、キヤリア６は半導体ウエーハ７，７…を垂直
に保持した略水平な姿勢でコンテナ４に収納さ
れ、コンテナ４は略水平な姿勢で無人搬送車２の
台座３上に位置決め載置される。斯くして、無人
搬送車２は略水平な床１上を静かに自走して、半
導体ウエーハ７，７…を目的地へと搬送する。

考案が解決しようとする問題点 ところで、キヤリア６の１組の溝８，８は、半
導体ウエーハ７の出し入れを容易にするために、
前述のように、t₁＞＞t₂なる寸法関係で形成さ
れ、これによつて半導体ウエーハ７は１組の溝
８，８に余裕をもつて挿入され保持されるが、反
面、半導体ウエーハ７はガタ付きのある不安定な
状態で保持されている。

一方、無人搬送車２は床１上を常にスムーズに
振動無く走行することは無理で、発進時、停止時
はもちろん、床、１上を自走する時も、床１の微
妙な凹凸等により、多少の振動をもつて自走す
る。この無人搬送車２の自走時の振動は、台座
３、コンテナ４からキヤリア６へと伝わり、その
ため、キヤリア６の溝８，８…に十分な余裕をも
つて不安定な姿勢で挿入されている半導体ウエー
ハ７，７…が、溝８，８…内で前後左右に振動し
て、溝８，８…との衝突を繰り返し、その結果、
半導体ウエーハ７，７…の溝８，８…に嵌まつた
周縁部からウエーハ材料屑などの塵類が発生して
飛散し、これが半導体ウエーハ７，７…を汚染し
て、半導体製造の歩留まりを悪くする一要因にな
つている。このような無人搬送車２の走行時の振
動による、半導体ウエーハ自身からの発塵による
汚染問題は、半導体ウエーハに有機物質を塗布し
たような、例えばフオトレジストの塗布済み半導
体ウエーハにおいて多発している。

問題点を解決するための手段 本考案は、上記問題点に鑑み、提案されたもの
で、所定の間隔をもつて連結した対向する側板の
内面に、半導体ウエーハを保持する多数の保持溝
を互いに対向させて定ピツチで形成した半導体製
造治具において、上記両側板の略中央部に保持溝
と直交させてガイド溝を形成し、該ガイド溝に、
両側板の各保持溝の一側面部と対向する半導体ウ
エーハ挾持用の係止面部を長方向に定ピツチで形
成した係止部材をスライド可能に嵌め込んだもの
である。

作 用 製造治具の両側板の対向する保持溝に夫々１枚
の半導体ウエーハの周縁部を余裕をもつて挿入し
たのち、係止部材の係止面部を側板の保持溝の対
して位置ずれさせ、該半導体ウエーハの周縁部
を、側板の保持溝の一側面部と係止部材の係止面
部とで挾持すると、各半導体ウエーハを確実に係
止固定することができる。したがつて、例えば上
記製造治具を搬送車に搭載して走行し、走行時に
床面の凹凸等によつて振動が生じても、半導体ウ
エーハが製造治具の保持溝内でガタ付くことがな
い。

実施例 以下本考案の実施例を第１図乃至第５図を参照
しながら説明すると次の通りである。

第１図乃至第５図において、１１は本考案に係
る製造治具で、以下キヤリアと称す。１２，１２
は所定の間隔をもつて複数本の連結棒１３で連結
した平行に対向する側板で、この側板１２，１２
の内面１４，１４に、一端が側板１２，１２の端
縁面１５，１５に開放した多数の半導体ウエーハ
保持用の保持溝１６，１６を定ピツチで形成して
ある。上記側板１２，１２の保持溝１６，１６は
断面略Ｖ字形のもので、各保持溝１６，１６は１
つずつが対向する。第５図に示すように上記側板
１２，１２の各保持溝１６，１６の幅をl₁、半導
体ウエーハ１７の厚さをl₂とすると、l₁＞＞l₂の
関係に設定され、これにより、対向する１組の保
持溝１６，１６に１枚の半導体ウエーハ１７の周
縁部が、十分の余裕をもつて挿入されて、半導体
ウエーハ１７は保持溝１６，１６と平行に側板１
２，１２間に収納保持される。１８，１８は上記
側板１２，１２の略中央の対向部位に保持溝１
６，１６と直交させて形成したガイド溝、１９，
１９は上記ガイド溝１８，１８にスライド可能に
嵌め込んだ板状の係止部材で、この係止部材１
９，１９の対向する内面２０，２０に、上記保持
溝１６，１６と略同一形状の係止溝２１，２１を
該保持溝１６，１６と同一ピツチで形成してあ
る。また、上記係止部材１９，１９の一方の端面
に突起２２，２２を突設し、該突起２２，２２
を、第２図および第３図に示すように側板１２，
１２のガイド溝１８，１８の一側外端の縁部２
３，２３に形成した貫通穴２４，２４に貫通させ
る。２５，２５は上記側板１２，１２のガイド溝
１８，１８の一端部に形成される空所２６，２６
に圧縮介在させたスプリングである。このスプリ
ング２５，２５のバネ力で係止部材１９，１９を
一方向に付勢して突起２２，２２を側板１２，１
２の縁部２３，２３の貫通穴２４，２４から退入
可能に外部に突出させ、その突出時には、係止部
材１９，１９の係止溝２１，２１が側板１２，１
２の保持溝１６，１６と直交する方向に位置ずれ
し、又突起２２，２２の貫通孔２３ａ，２３ａ内
への退入時には、係止溝２１，２１と保持溝１
６，１６とが一致して連接するようにしてある。
第３図に示す符号２７は昇降可能に設けた昇降台
で、この昇降台２７は、キヤリア１１から半導体
ウエーハ１７の数枚を抜き取り検査する場合や、
半導体ウエーハ１７を１枚ずつ露光する場合など
の枚葉処理を行なう場合に使用する。

而して、上記キヤリア１１に半導体ウエーハ１
７を収納保持する場合、係止部材１９，１９の突
起２２，２２を側方に位置させてキヤリア１１を
適宜の基台上に載置する。そして、係止部材１
９，１９の突起２２，２２を適宜の手段で側板１
２，１２の貫通孔２４，２４内に退入させ、係止
部材１９，１９をスプリング２５，２５の付勢力
に抗して第２図左側方に移動させる。このとき係
止部材１９，１９の係止溝２１，２１が側板１
２，１２の保持溝１６，１６と一致して連接す
る。しかる後、半導体ウエーハ１７を上方から垂
直にキヤリア１１内に挿し込み、該半導体ウエー
ハ１７の周縁部を側板１２，１２の対向する１組
の保持溝１６，１６に嵌め込む。このとき半導体
ウエーハ１７は余裕をもつてキヤリア１１の保持
溝１６，１６に嵌め込むことができる。すべての
保持溝１６，１６に半導体ウエーハ１７を嵌め込
んで垂直に整列収納すると、係止部材１９，１９
の突起２２，２２に対する押圧を解除する。する
と係止部材１９，１９がスプリング２５，２５の
付勢力により第２図右側方にスライド移動する。
この係止部材１９，１９の移動により係止溝２
１，２１が、第２図、第４図ｂおよび第５図に示
す如く保持溝１６，１６と直交する方向に位置ず
れし、保持溝１６，１６の一側面部１６ａ，１６
ａと係止溝２１，２１の係止面部２１ａ，２１ａ
の夫々の基部で半導体ウエーハ１７の周縁部が挾
持される。こうしてキヤリア１１に複数の半導体
ウエーハ１７を定間隔で係止固定すると、複数の
製造設備へ半導体ウエーハ１７を供給する。この
場合、例えば第１２図および第１３図に示すよう
なコンテナ４に、上記キヤリア１１を半導体ウエ
ーハ１７を垂直に整列収納した状態で収容する。
上記キヤリア１１を収容したコンテナ４を搭載し
て搬送車２が、例えば清浄空気雰囲気にあるクリ
ーンルームの床１上を走行し、床１の凹凸等によ
り振動すると、この振動は台座３を解してコンテ
ナ４およびキヤリア１１に伝わる。このとき上記
半導体ウエーハ１７は、キヤリア１１の保持溝１
６，１６内に係止部材１９，１９で係止固定した
状態で収納保持してあるので、該半導体ウエーハ
１７がキヤリア１１の保持溝１６，１６内でガタ
付くことがない。

上記キヤリア１１に収納した半導体ウエーハ１
７の中から、半導体ウエーハ１７の数枚を抜き取
り検査する場合や、半導体ウエーハ１７，１７を
１枚ずつ露光する場合などの枚葉処理を行なう場
合は、上記キヤリア１１を、係止部材１９，１９
の突起２２，２２を下方にして昇降可能な昇降台
２７上に載置する。すると係止部材１９，１９の
突起２２，２２が側板１２，１２の縁部２３，２
３の貫通孔２４，２４内に退入して、上記係止部
材１９，１９がスプリング２５，２５の付勢力に
抗して上方に移動し、これにより係止部材１９，
１９の係止溝２１，２１と側板１２，１２の保持
溝１６，１６とが一致して連接し、半導体ウエー
ハ１７の周縁部の挾持が開放される。しかる後、
キヤリア１１から半導体ウエーハ１７を抜いて所
望の処理をしたのち再び同じ又は異なるキヤリア
１１に収納する。

第６図および第７図は本考案の他の実施例のキ
ヤリア２８を示す。第１図乃至第５図に示したも
のと同一物は同一符号で示しその説明を省略す
る。本実施例のキヤリア２８は、側板１２，１２
の各端面１２ａ，１２ａに凹状の切欠溝２９を形
成し、該切欠溝２９内に、スプリング２５，２５
で常時一側方に付勢した係止部材１９，１９の突
起２２，２２を退入可能に突出保持したもので、
上記突起２２，２２の切欠溝２９への突出時に
は、係止部材１９，１９の係止溝２１，２１は側
板１２，１２の保持溝１６，１６と直交する方向
に位置ずれし、突起２２，２２の切欠溝２９から
の退入時には、係止溝２１，２１と保持溝１６，
１６とが一致して連接するようにしてある。第７
図に示す符号３０は昇降可能な昇降台で、この昇
降台３０の表面３１に上記キヤリア２８の各切欠
溝２９に嵌入する突起３２を該切欠溝２９に対応
させて突設してある。

本実施例のキヤリア２８のように、側板１２，
１２の各切欠溝２９内に係止部材１９，１９の突
起２２，２２を突出保持すると、上記キヤリア２
８を突起２２，２２を下方方にして適宜の平坦面
に載置しても、突起２２，２２が押されることが
ないので、キヤリア２８に収納保持した半導体ウ
エハ１７を垂直状態および水平状態のいずれの姿
勢でも搬送することができる。また、昇降台３０
の突起３２がキヤリア２８の切欠溝２９に嵌入す
ると、半導体ウエーハ１７の枚葉処理時にキヤリ
ア２８を正確に位置決めすることができる。尚、
キヤリア２８に半導体ウエーハ１７を収納保持す
る要領、あるいはキヤリア２８から半導体ウエー
ハ１７の数枚を抜き取り検査する場合や、半導体
ウエーハ１７を１枚ずつ露光する場合などの枚葉
処理を行なう場合の要領は第１実施例と同一であ
るからその説明を省略する。

第８図および第９図は本考案の第３実施例のキ
ヤリア３３を示す。第１図乃至第５図に示したも
のと同一物は同一符号で示し説明を省略する。本
実施例のキヤリア３３は、係止部材３４を、側板
１２，１２のガイド溝１８，１８にスライド可能
に嵌め込まれた板状部材３５，３５間に連結板３
６を梯子状に定ピツチで連結して構成したもの
で、側板１２，１２の保持溝１６，１６に収納さ
れた半導体ウエーハ１７の周縁部を、保持溝１
６，１６の一側面部１６ａ，１６ａとこれと対向
する連結板３６の両端の係止面部３６ａ，３６ａ
とで挾持するようにしてある。

第１０図および第１１図は本考案の第４実施例
のキヤリア３７を示す。本実施例のキヤリア３７
は、側板１２，１２のガイド溝１８，１８にスラ
イド可能に嵌め込んだ前記板状の係止部材１９，
１９の対向する内面２０，２０の下端部間を連結
板３８で連結したものである。

尚、本考案に係る製造治具〔キヤリア〕の形状
は上記実施例に限られず、本考案の目的を達成し
得るものであれば適宜形状変更することができ
る。例えば、保持溝１６，１６の壁面や、係止溝
２１，２１の係止面部２１ａ，２１ａを直角状に
して、半導体ウエーハ１７の周縁部を確実に保持
するようにしてもよい。

考案の効果 本考案によれば、治具に収納保持した半導体ウ
エーハを確実に係止固定することができるので、
搬送車等を用いて運搬する際に振動しても、半導
体ウエーハが治具の保持溝内でガタ付くことがな
い。したがつて、半導体ウエーハが治具と擦れて
ウエーハ材料屑等の塵類が発生することがなく、
半導体製造の歩留まりの向上を図ることができる
と共に、半導体ウエーハを垂直姿勢および水平姿
勢の両姿勢で運搬することが可能であり、取扱い
がきわめて便利である。

しかも、半導体ウエーハの治具への挿入および
抜き取りは余裕をもつて行なうことができ、か
つ、半導体ウエーハの係止固定を簡単、かつ、確
実に行なうことができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本考案に係る半導体製造治具の第１実
施例を示した斜視図、第２図は半導体ウエーハを
垂直な姿勢で収納した治具の側断面図、第３図は
半導体ウエーハの枚葉処理時のロード、アンロー
ド治具の側断面図、第４図ａ，ｂは係止部材の係
止溝の位置ずれの状態を示した要部拡大断面斜視
図、第５図は半導体ウエーハの係止固定状態を示
した要部正面図である。第６図および第７図は本
考案の第２実施例を示したもので、第６図は半導
体ウエーハの係止固定状態を示した一部断面要部
正面図、第７図は半導体ウエーハの係止固定の解
除状態を示した一部断面要部正面図である。第８
図は第３実施例の要部正面図、第９図は第３実施
例の係止部材の説明図である。第１０図は第４実
施例の要部正面図、第１１図は第４実施例の係止
部材の説明図である。第１２図および第１３図は
キヤリアを収容したコンテナを搭載した搬送車の
正面図および側面図、第１４図は半導体ウエーハ
を整列収納するキヤリアの一部断面を含む側面
図、第１５図は第１４図のＡ−Ａ線に沿う断面
図、第１６図は第１４図のキヤリアの部分拡大断
面図である。 １１，２８，３３，３７……キヤリア、１２，
１２……側板、１４，１４……内面、１６，１６
……保持溝、１６ａ，１６ａ……一側面部、１７
……半導体ウエーハ、１８，１８……ガイド溝、
１９，１９，３４……係止部材、２１，２１……
係止溝、２１ａ，２１ａ，３６ａ，３６ａ……係
止面部。

Claims (1)

1. 【実用新案登録請求の範囲】 所定の間隔をもつて連結した対向する側板の内
   面に、半導体ウエーハを保持する多数の保持溝を
   互いに対向させて定ピツチで形成した半導体製造
   治具において、 上記両側板の略中央部に保持溝と直交させてガ
   イド溝を対向形成し、該ガイド溝に、両側板の各
   保持溝の一側面部と対向する半導体ウエーハ挾持
   用の係止面部を長手方向に定ピツチで形成した係
   止部材をスライド可能に嵌め込んだことを特徴と
   する半導体製造治具。