JPH0415843U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPH0415843U JPH0415843U JP5783090U JP5783090U JPH0415843U JP H0415843 U JPH0415843 U JP H0415843U JP 5783090 U JP5783090 U JP 5783090U JP 5783090 U JP5783090 U JP 5783090U JP H0415843 U JPH0415843 U JP H0415843U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- wafer probe
- wafer
- scratch
- device section
- heating circuit
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000000523 sample Substances 0.000 claims description 5
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims 1
- 238000005485 electric heating Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)
- Measuring Leads Or Probes (AREA)
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
Description
第１図はこの考案の一実施例を示すウエーハプ
ローブ装置の要部斜視図、第２図は従来のウエー
ハプローブ装置の要部斜視図である。 １……円錐筒状ガイド部、２……スライドパイ
プ部、３……スクラツチ部、４……素子区画、５
……通電加熱回路部、６……ウエーハ。
ローブ装置の要部斜視図、第２図は従来のウエー
ハプローブ装置の要部斜視図である。 １……円錐筒状ガイド部、２……スライドパイ
プ部、３……スクラツチ部、４……素子区画、５
……通電加熱回路部、６……ウエーハ。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 ウエーハの表示すべき素子区画に、スクラツチ
針を押圧して、スクラツチ傷を刻切して、マーキ
ングする装置において、 上記スクラツチ針を、加熱により素子区画に焼
き焦がし傷を形成可能いする通電加熱回路部を接
続したことを特徴とするウエーハプローブ装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5783090U JPH0415843U (ja) | 1990-05-30 | 1990-05-30 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5783090U JPH0415843U (ja) | 1990-05-30 | 1990-05-30 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0415843U true JPH0415843U (ja) | 1992-02-07 |
Family
ID=31582895
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5783090U Pending JPH0415843U (ja) | 1990-05-30 | 1990-05-30 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0415843U (ja) |
-
1990
- 1990-05-30 JP JP5783090U patent/JPH0415843U/ja active Pending
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JPH0464781U (ja) | ||
| JPH0415843U (ja) | ||
| JPS6174416U (ja) | ||
| JPS6074885U (ja) | 加熱装置を備えた可動式溶接台 | |
| JPS61112898U (ja) | ||
| JPH03110460U (ja) | ||
| JPH0171829U (ja) | ||
| JPH0336256U (ja) | ||
| JPH0466863U (ja) | ||
| JPS6237887U (ja) | ||
| JPS62146171U (ja) | ||
| JPH02140558U (ja) | ||
| JPS61110305U (ja) | ||
| JPH0457776U (ja) | ||
| JPS6016540U (ja) | ワイヤボンデイング装置 | |
| JPS6220528U (ja) | ||
| JPS6314149U (ja) | ||
| JPS5837719U (ja) | リ−ド皮膜剥離装置 | |
| JPH02117424U (ja) | ||
| JPS5926896U (ja) | 誘導加熱装置における被加熱物固定装置 | |
| JPS62101680U (ja) | ||
| JPH0478568U (ja) | ||
| JPH03100757U (ja) | ||
| JPH0480168U (ja) | ||
| JPS63101126U (ja) |