JPH04159634A - 光ディスク製造方法 - Google Patents
光ディスク製造方法Info
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- JPH04159634A JPH04159634A JP2285518A JP28551890A JPH04159634A JP H04159634 A JPH04159634 A JP H04159634A JP 2285518 A JP2285518 A JP 2285518A JP 28551890 A JP28551890 A JP 28551890A JP H04159634 A JPH04159634 A JP H04159634A
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Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B29—WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
- B29D—PRODUCING PARTICULAR ARTICLES FROM PLASTICS OR FROM SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE
- B29D17/00—Producing carriers of records containing fine grooves or impressions, e.g. disc records for needle playback, cylinder records; Producing record discs from master stencils
- B29D17/005—Producing optically read record carriers, e.g. optical discs
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B7/00—Recording or reproducing by optical means, e.g. recording using a thermal beam of optical radiation by modifying optical properties or the physical structure, reproducing using an optical beam at lower power by sensing optical properties; Record carriers therefor
- G11B7/24—Record carriers characterised by shape, structure or physical properties, or by the selection of the material
- G11B7/26—Apparatus or processes specially adapted for the manufacture of record carriers
- G11B7/261—Preparing a master, e.g. exposing photoresist, electroforming
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Manufacturing Optical Record Carriers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
技術分野
本発明は、光ディスクを製造する方法に関する。
背景技術
先ディスク例えばビデオディスクの製造方法としては、
従来から第５図に示す如き方法が知られている。
従来から第５図に示す如き方法が知られている。
かかる製造方法によれば、まず、第５図（ａ）に示すよ
うにガラスＩＭ１の主面上に一様にフォトレジスト層２
を形成したフォトレジスト原盤を用意して、所定の信号
に応じて明滅するレーザービームＬａを照射してフォト
レジスト層２上に、所窓情報に対応したスポット列の潜
像を螺旋又は同心円状に形成する。次に、露光したフォ
トレジスト原盤を現像して、フォトレジスト原盤上に記
録すべき信号に対応する微小凹部（以下ピットと称する
）の列を設け、第５図（ｂ）に示す如き、ピットを有す
るフォトレジスト層２（情報記録層）とガラス盤１とか
らなる現像原盤を得る。次に、かかる現像原盤のフォト
レジスト層２を乾燥させガラス盤１上に定＠（ポストベ
ーク）させて、第５図（ｃ）に示す如き乾燥した原盤を
得る。次に、銀をスパッタリングしてフォトレジスト層
２上に銀導電膜３を形成して、第５図（ｄ）に示す如き
積層されたマスタリング原盤３ａを得る。このように、
ビットを有するフォトレジスト層上に金属をスパッタリ
ングすることによりビットを有する情報記録面を導電化
する。次に、得られたマスタリング原盤をニッケル電鋳
槽中に浸してニッケル（Ｎｉ）を銀導電膜３上にメツキ
して肉厚のニッケル層４すなわちニッケルスタンパを形
成して、第５図（ｅ）に示す如き円盤を得る。次に、第
５図（ｆ）に示す如くニッケル層４であるスタンパをガ
ラス盤１から分離する。次に、スタンパ上に残ったフォ
トレジスト層２及び銀導電膜３を除去して、第５図（ｇ
）に示すニッケルスタンパを得る。
うにガラスＩＭ１の主面上に一様にフォトレジスト層２
を形成したフォトレジスト原盤を用意して、所定の信号
に応じて明滅するレーザービームＬａを照射してフォト
レジスト層２上に、所窓情報に対応したスポット列の潜
像を螺旋又は同心円状に形成する。次に、露光したフォ
トレジスト原盤を現像して、フォトレジスト原盤上に記
録すべき信号に対応する微小凹部（以下ピットと称する
）の列を設け、第５図（ｂ）に示す如き、ピットを有す
るフォトレジスト層２（情報記録層）とガラス盤１とか
らなる現像原盤を得る。次に、かかる現像原盤のフォト
レジスト層２を乾燥させガラス盤１上に定＠（ポストベ
ーク）させて、第５図（ｃ）に示す如き乾燥した原盤を
得る。次に、銀をスパッタリングしてフォトレジスト層
２上に銀導電膜３を形成して、第５図（ｄ）に示す如き
積層されたマスタリング原盤３ａを得る。このように、
ビットを有するフォトレジスト層上に金属をスパッタリ
ングすることによりビットを有する情報記録面を導電化
する。次に、得られたマスタリング原盤をニッケル電鋳
槽中に浸してニッケル（Ｎｉ）を銀導電膜３上にメツキ
して肉厚のニッケル層４すなわちニッケルスタンパを形
成して、第５図（ｅ）に示す如き円盤を得る。次に、第
５図（ｆ）に示す如くニッケル層４であるスタンパをガ
ラス盤１から分離する。次に、スタンパ上に残ったフォ
トレジスト層２及び銀導電膜３を除去して、第５図（ｇ
）に示すニッケルスタンパを得る。
その後は、ニッケルスタンパを射出成形装置の所定位置
に取り付け、型締め後に、溶融した流動性ＰＭＭＡ （
ポリメチルメタクリレート）、ｐｃ（ポリカーボネート
）等の透明樹脂材料をニッケルスタンパ上に射出して、
樹脂材料の硬化後これを取り出して、所定情報記録面を
有した光ディスクレプリカが作成される。
に取り付け、型締め後に、溶融した流動性ＰＭＭＡ （
ポリメチルメタクリレート）、ｐｃ（ポリカーボネート
）等の透明樹脂材料をニッケルスタンパ上に射出して、
樹脂材料の硬化後これを取り出して、所定情報記録面を
有した光ディスクレプリカが作成される。
このようにして得られたレプリカは、公知の方法によっ
て、レプリカの情報記録面上にアルミニウム等の反射膜
を形成して、さらに反射膜上に保護膜をオーバーコート
して、光ディスクが形成される。また、この光ディスク
を２枚貼り合わせ、仕上げ工程を経て、通常、両面光デ
ィスクとしている。
て、レプリカの情報記録面上にアルミニウム等の反射膜
を形成して、さらに反射膜上に保護膜をオーバーコート
して、光ディスクが形成される。また、この光ディスク
を２枚貼り合わせ、仕上げ工程を経て、通常、両面光デ
ィスクとしている。
しかし、スタンパの製造までに上記の如く電鋳工程の工
程数が多くメツキに時間か掛かり、さらに、レプリカ製
造用の射出成形装置が比較的大型の装置である。従来方
法ではスタンパ製造に時間が掛かかるので、近年の少量
多品種の映像音声ソフトに対応した光ディスクの製造に
は十分適しているとはいえない。
程数が多くメツキに時間か掛かり、さらに、レプリカ製
造用の射出成形装置が比較的大型の装置である。従来方
法ではスタンパ製造に時間が掛かかるので、近年の少量
多品種の映像音声ソフトに対応した光ディスクの製造に
は十分適しているとはいえない。
発明の目的
本発明の目的は、比較的簡素な工程にて少量多品種及び
大量生産に適する光ディスク製造方法を提供することに
ある。
大量生産に適する光ディスク製造方法を提供することに
ある。
発明の構成
本発明による光ディスク製造方法は、透明基板上に形成
され感光色素を含有するエラストマー層と、前記エラス
トマー層上に形成されガラス転移温度を有したポリマー
保持層とからなる原盤を用意する工程と、集光レーザー
光の照射によって前記原盤上に微小突起を形成する工程
と、前記微小突起を担持した前記原盤の表面に金属層を
形成する表面導電化工程と、導電化した前記原盤の表面
にスタンパ層を形成しこれを成長させてスタンパを形成
する電鋳工程と、前記原盤と前記スタンパとを分離する
工程とを含むことを特徴とする。
され感光色素を含有するエラストマー層と、前記エラス
トマー層上に形成されガラス転移温度を有したポリマー
保持層とからなる原盤を用意する工程と、集光レーザー
光の照射によって前記原盤上に微小突起を形成する工程
と、前記微小突起を担持した前記原盤の表面に金属層を
形成する表面導電化工程と、導電化した前記原盤の表面
にスタンパ層を形成しこれを成長させてスタンパを形成
する電鋳工程と、前記原盤と前記スタンパとを分離する
工程とを含むことを特徴とする。
さらに、本発明による光ディスク製造方法は、透明基板
上に形成され感光色素を含有するエラストマー層と、前
記エラストマー層上に形成されガラス転移温度を有した
ポリマー保持層とからなる原盤を用意する工程と、集光
レーザー先の照射によって前記原盤上に微小突起を形成
する工程と、前記微小突起を担持した前記原盤の表面上
に透明な紫外線硬化樹脂からなる転写層を形成する転写
工程とを含むことを特徴とする。
上に形成され感光色素を含有するエラストマー層と、前
記エラストマー層上に形成されガラス転移温度を有した
ポリマー保持層とからなる原盤を用意する工程と、集光
レーザー先の照射によって前記原盤上に微小突起を形成
する工程と、前記微小突起を担持した前記原盤の表面上
に透明な紫外線硬化樹脂からなる転写層を形成する転写
工程とを含むことを特徴とする。
発明の作用
本発明によれば、スタンパ製造時間を短縮でき、光ディ
スク製造方法を簡略化できる。
スク製造方法を簡略化できる。
実施例
以下に、本発明の実施例を図面を参照しつつ説明する。
本実施例の光ディスク製造方法においては、フォトレジ
スト原盤の代わりに、第１図に示すように、ガラス基板
１１上に形成され感光色素を含有するエラストマー層１
２とこの層上に形成されガラス転移温度を有したポリマ
ー保持層１３とからなる原盤（ダイ−ポリマ原盤という
）を用いる。
スト原盤の代わりに、第１図に示すように、ガラス基板
１１上に形成され感光色素を含有するエラストマー層１
２とこの層上に形成されガラス転移温度を有したポリマ
ー保持層１３とからなる原盤（ダイ−ポリマ原盤という
）を用いる。
このダイポリマ原盤においては、ポリマー保持層１３に
は例えばエポキシ樹脂が用いられ、エラストマー層１２
には例えばカーボンブラック顔料を含有するシリコンラ
バーが用いられる。このダイポリマ原盤は、カーボンブ
ラック顔料を分散したシリコンラバーをガラス盤１１の
主面上にスピンコード法などによって塗布してエラスト
マー層１２を一様に形成し、その上にエポキシ樹脂を塗
布してポリマー保持層１３を形成して得られる。
は例えばエポキシ樹脂が用いられ、エラストマー層１２
には例えばカーボンブラック顔料を含有するシリコンラ
バーが用いられる。このダイポリマ原盤は、カーボンブ
ラック顔料を分散したシリコンラバーをガラス盤１１の
主面上にスピンコード法などによって塗布してエラスト
マー層１２を一様に形成し、その上にエポキシ樹脂を塗
布してポリマー保持層１３を形成して得られる。
このダイポリマ原盤における情報記録は、レーザ光の露
光により生じる有機感光色素含有のエラストマー層１２
の熱膨張変形を、ポリマー保持層１３がその変形形状の
まま保持することを利用している。すなわち、第２図に
示すように、伸縮性のあるエラストマー層１２だけに吸
収される長波長のレーザビームＬａを照射して、エラス
トマー層１２をスポット状に部分的に熱膨張させる。こ
のスポット状膨張により熱膨張部分エラストマー層１２
ａが保持層１３を部分的に持ち上げ、保持層１３か粘弾
性的に安定した変形すなわち微小突起Ｐｒを形成する。
光により生じる有機感光色素含有のエラストマー層１２
の熱膨張変形を、ポリマー保持層１３がその変形形状の
まま保持することを利用している。すなわち、第２図に
示すように、伸縮性のあるエラストマー層１２だけに吸
収される長波長のレーザビームＬａを照射して、エラス
トマー層１２をスポット状に部分的に熱膨張させる。こ
のスポット状膨張により熱膨張部分エラストマー層１２
ａが保持層１３を部分的に持ち上げ、保持層１３か粘弾
性的に安定した変形すなわち微小突起Ｐｒを形成する。
第３図は本実施例の光ディスクレプリカの製造工程のマ
スタリング原盤作成までのフローチャートを示す。かか
る実施例の製造方法によれば、まず、第４図（ａ）に示
すようにエラストマー層１２及びポリマー保持層１３を
有するダイポリマ原盤を用意して、レーザーカッティン
グ工程Ｓ１において、所定の信号に応じて明滅するレー
サービームＬａの照射により微小突起Ｐｒの列を、ポリ
マー保持層１３上に形成する。次に、原盤上に記録すべ
き信号に対応する微小突起の列が形成されているので、
銀スバツタ工程Ｓ２において、銀のスパッタリングを施
し、ポリマー保持層１３上に銀導電膜３を形成して、マ
スタリング原盤を得る。
スタリング原盤作成までのフローチャートを示す。かか
る実施例の製造方法によれば、まず、第４図（ａ）に示
すようにエラストマー層１２及びポリマー保持層１３を
有するダイポリマ原盤を用意して、レーザーカッティン
グ工程Ｓ１において、所定の信号に応じて明滅するレー
サービームＬａの照射により微小突起Ｐｒの列を、ポリ
マー保持層１３上に形成する。次に、原盤上に記録すべ
き信号に対応する微小突起の列が形成されているので、
銀スバツタ工程Ｓ２において、銀のスパッタリングを施
し、ポリマー保持層１３上に銀導電膜３を形成して、マ
スタリング原盤を得る。
続いて、ニッケル電鋳工程において、得られたマスタリ
ング原盤をニッケル電鋳槽中に浸して銀導電膜上に肉厚
のニッケル層のニッケルスタンパを形成し、このスタン
パを銀導電膜とともにダイポリマ原盤から分離する。こ
のようにして、ニッケルスタンパを得る。
ング原盤をニッケル電鋳槽中に浸して銀導電膜上に肉厚
のニッケル層のニッケルスタンパを形成し、このスタン
パを銀導電膜とともにダイポリマ原盤から分離する。こ
のようにして、ニッケルスタンパを得る。
かかるニッケルスタンパから、上述した従来と同様の工
程を経てレプリカ、光ディスクが形成される。
程を経てレプリカ、光ディスクが形成される。
他の実施例としては、ポリマー保持層上に銀導電膜を形
成せずに直接、記録信号の微小突起列を担持したダイポ
リマ原盤をスタンパとして用いて、レプリカを製造する
。このレプリカ製造工程は、紫外線の照射により硬化す
るフォトポリマーを転写層とするいわゆる２Ｐ転写法を
用いて、レプリカ基板すなわち硬化ＰＭＭＡ基板上に情
報記録面をレプリカ用フォトポリマ剤によって転写して
光ディスクレプリカを成形するのである。
成せずに直接、記録信号の微小突起列を担持したダイポ
リマ原盤をスタンパとして用いて、レプリカを製造する
。このレプリカ製造工程は、紫外線の照射により硬化す
るフォトポリマーを転写層とするいわゆる２Ｐ転写法を
用いて、レプリカ基板すなわち硬化ＰＭＭＡ基板上に情
報記録面をレプリカ用フォトポリマ剤によって転写して
光ディスクレプリカを成形するのである。
具体的には、得られたダイポリマ原盤をそのポリマー保
持層である情報記録面が上方へ向くように転写装置のテ
ーブルに水平に載せ固定する。その後、ダイポリマ原盤
の情報記録面の上に、ポリマー保持層に対して剥離性の
高い液状のレプリカ用フォトポリマ剤を付与する。次に
、透明ＰＭＭＡ盤を水平に保ちつつ、ポリマー保持層の
上に、レプリカ用フォトポリマ剤を介して同心的に載置
し、ＰＭＭＡ盤及びダイポリマ原盤間全体にレプリカ用
フォトポリマ剤を行き亘らせてはさむ。その後、ＰＭＭ
Ａ盤側からレプリカ用フォトポリマ剤へ紫外線を照射し
てレプリカ用フォトポリマ剤を硬化させてＰＭＭＡ盤の
主面上に硬化レプリカ用フォトポリマ剤からなる転写層
の情報記録層を形成すなわち転写させる。次に、ダイポ
リマ原盤からレプリカ用フォトポリマ剤の情報記録層と
共にＰＭＭＡ盤を剥離して、レプリカ用フォトポリマ剤
の情報記録層とそれを担持したＰＭＭＡ盤とからなる光
ディスクレプリカ、所謂２Ｐレプリカか得られる。 こ
のようにして得られたレプリカからも、従来の方法によ
って、レプリカ、光ディスクを得ることができる。
持層である情報記録面が上方へ向くように転写装置のテ
ーブルに水平に載せ固定する。その後、ダイポリマ原盤
の情報記録面の上に、ポリマー保持層に対して剥離性の
高い液状のレプリカ用フォトポリマ剤を付与する。次に
、透明ＰＭＭＡ盤を水平に保ちつつ、ポリマー保持層の
上に、レプリカ用フォトポリマ剤を介して同心的に載置
し、ＰＭＭＡ盤及びダイポリマ原盤間全体にレプリカ用
フォトポリマ剤を行き亘らせてはさむ。その後、ＰＭＭ
Ａ盤側からレプリカ用フォトポリマ剤へ紫外線を照射し
てレプリカ用フォトポリマ剤を硬化させてＰＭＭＡ盤の
主面上に硬化レプリカ用フォトポリマ剤からなる転写層
の情報記録層を形成すなわち転写させる。次に、ダイポ
リマ原盤からレプリカ用フォトポリマ剤の情報記録層と
共にＰＭＭＡ盤を剥離して、レプリカ用フォトポリマ剤
の情報記録層とそれを担持したＰＭＭＡ盤とからなる光
ディスクレプリカ、所謂２Ｐレプリカか得られる。 こ
のようにして得られたレプリカからも、従来の方法によ
って、レプリカ、光ディスクを得ることができる。
また、本実施例と従来のフォトレジスト原盤を用いる製
造方法とを比較すると、従来方法においては、レーザカ
ッティングにおいてフォトレジス上層上にビットすなわ
ち微少凹部を穿孔すると、ビットの回りに外輪山形状の
リム部分が発生し、さらに、フォトレジスト媒体が飛散
して他のフォトレジスト層表面を覆ってしまうので、作
成されるスタンパにも影響し、得られた光ディスクにお
ける情報再生時の波形歪、ノイズの原因となる。
造方法とを比較すると、従来方法においては、レーザカ
ッティングにおいてフォトレジス上層上にビットすなわ
ち微少凹部を穿孔すると、ビットの回りに外輪山形状の
リム部分が発生し、さらに、フォトレジスト媒体が飛散
して他のフォトレジスト層表面を覆ってしまうので、作
成されるスタンパにも影響し、得られた光ディスクにお
ける情報再生時の波形歪、ノイズの原因となる。
しかし、本発明の方法によれば、ダイポリマ原盤のポリ
マー保持層上に直接、記録信号の微小突起列を形成して
いるので、リム部分を形成せずかつ何も飛散させること
がないのでノイズなどを減少させた光ディスクが得られ
る。
マー保持層上に直接、記録信号の微小突起列を形成して
いるので、リム部分を形成せずかつ何も飛散させること
がないのでノイズなどを減少させた光ディスクが得られ
る。
発明の効果
以上のように、本発明の光ディスク製造方法は、エラス
トマー層とポリマー保持層とからなるダイポリマ原盤上
に微小突起を形成し、その表面を導電化して電鋳等によ
りスタンパを形成したり、または、微小突起を担持した
ダイポリマ原盤から直接、紫外線硬化樹脂からなる転写
層を形成するので、光ディスク製造工程において正確な
情報記録面の転写を達成しつつ製造工程を簡略化でき、
少量多品種の映像音声ソフトに対応した光ディスクの製
造方法として適している。
トマー層とポリマー保持層とからなるダイポリマ原盤上
に微小突起を形成し、その表面を導電化して電鋳等によ
りスタンパを形成したり、または、微小突起を担持した
ダイポリマ原盤から直接、紫外線硬化樹脂からなる転写
層を形成するので、光ディスク製造工程において正確な
情報記録面の転写を達成しつつ製造工程を簡略化でき、
少量多品種の映像音声ソフトに対応した光ディスクの製
造方法として適している。
第１図及び第２図は本発明におけるダイポリマ原盤の概
略断面図、第３図は本発明のダイポリマ原盤を用いた光
ディスクの製造方法の要部の工程を示すフローチャート
、第４図は第３図の工程における部材の概略断面図、第
５図は従来の光ディスクの製造方法の各工程における部
材の概略断面図である。 主要部分の符号の説明 １１・・・・・・ガラス盤 １２・・・・・・エラストマー層 １３・・・・・・ポリマー保持層 出願人 パイオニア株式会社 代理人 弁理士 藤村元彦 第 １ 園 第 ３ 図
略断面図、第３図は本発明のダイポリマ原盤を用いた光
ディスクの製造方法の要部の工程を示すフローチャート
、第４図は第３図の工程における部材の概略断面図、第
５図は従来の光ディスクの製造方法の各工程における部
材の概略断面図である。 主要部分の符号の説明 １１・・・・・・ガラス盤 １２・・・・・・エラストマー層 １３・・・・・・ポリマー保持層 出願人 パイオニア株式会社 代理人 弁理士 藤村元彦 第 １ 園 第 ３ 図
Claims (2)
- （１）透明基板上に形成され感光色素を含有するエラス
トマー層と、前記エラストマー層上に形成されガラス転
移温度を有したポリマー保持層とからなる原盤を用意す
る工程と、集光レーザー光の照射によって前記原盤上に
微小突起を形成する工程と、 前記微小突起を担持した前記原盤の表面に金属層を形成
する表面導電化工程と、 導電化した前記原盤の表面にスタンパ層を形成しこれを
成長させてスタンパを形成する電鋳工程と、 前記原盤と前記スタンパとを分離する工程とを含むこと
を特徴とする光ディスク製造方法。 - （２）透明基板上に形成され感光色素を含有するエラス
トマー層と、前記エラストマー層上に形成されガラス転
移温度を有したポリマー保持層とからなる原盤を用意す
る工程と、集光レーザー光の照射によって前記原盤上に
微小突起を形成する工程と、 前記微小突起を担持した前記原盤の表面上に透明な紫外
線硬化樹脂からなる転写層を形成する転写工程とを含む
ことを特徴とする光ディスク製造方法。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2285518A JPH04159634A (ja) | 1990-10-22 | 1990-10-22 | 光ディスク製造方法 |
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Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2285518A JPH04159634A (ja) | 1990-10-22 | 1990-10-22 | 光ディスク製造方法 |
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|---|---|
| JPH04159634A true JPH04159634A (ja) | 1992-06-02 |
Family
ID=17692572
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2285518A Pending JPH04159634A (ja) | 1990-10-22 | 1990-10-22 | 光ディスク製造方法 |
Country Status (2)
| Country | Link |
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| US (1) | US5096563A (ja) |
| JP (1) | JPH04159634A (ja) |
Cited By (1)
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Families Citing this family (16)
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| US5216219A (en) * | 1991-05-10 | 1993-06-01 | Pioneer Electronic Corporation | Disk manufacturing apparatus |
| NL9300126A (nl) * | 1993-01-22 | 1994-08-16 | Od & Me Bv | Substraatplaat voor vervaardiging van matrijs voor produktie van optische registratiedragers en werkwijze voor het vervaardigen daarvan. |
| US5503963A (en) * | 1994-07-29 | 1996-04-02 | The Trustees Of Boston University | Process for manufacturing optical data storage disk stamper |
| US5783371A (en) * | 1994-07-29 | 1998-07-21 | Trustees Of Boston University | Process for manufacturing optical data storage disk stamper |
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| JP2002510836A (ja) * | 1998-04-06 | 2002-04-09 | イメイション・コーポレイション | データ記憶ディスク用リバース光マスタリング |
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| US20050213482A1 (en) * | 2004-03-24 | 2005-09-29 | Imation Corp. | Multi-track mastering techniques |
| KR100632510B1 (ko) * | 2004-04-30 | 2006-10-09 | 엘지전자 주식회사 | 와이어 그리드 편광자 및 그 제조 방법 |
| US20060073422A1 (en) * | 2004-09-28 | 2006-04-06 | Imation Corp. | Portable conformable deep ultraviolet master mask |
| US20060110568A1 (en) * | 2004-11-23 | 2006-05-25 | Imation Corp. | Multi-layers optical data storage disk masters |
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| WO2006072859A2 (en) * | 2005-01-06 | 2006-07-13 | Koninklijke Philips Electronics N.V. | Mastering based on heat-induced shrinkage of organic dyes |
| US8472020B2 (en) * | 2005-02-15 | 2013-06-25 | Cinram Group, Inc. | Process for enhancing dye polymer recording yields by pre-scanning coated substrate for defects |
Family Cites Families (1)
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1991
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Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6961196B2 (en) * | 1996-07-22 | 2005-11-01 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Master information carrier, method for producing the carrier, method and apparatus for writing information into magnetic record medium using the carrier |
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