JPH0416100Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】

（産業上の利用分野） 本考案は、クリーンルーム内の人員を管理し、
クリーンルーム内の清浄度を高度に維持するエア
シヤワー室に関する。 （従来の技術） 従来、クリーンルームの清浄度の維持を向上す
るために、エアシヤワー室内に関係者以外の者が
入室しようとした時、エアシヤワー室の前室側扉
を施錠し、かつ定員以上の関係者がエアシヤワー
室に入室した時、入室者に対して警告を与え、定
員以内の入室者に対してのみ正常に動作するよう
にしたものが知られている。 （考案が解決しようとする課題） クリーンルーム内の清浄度の低下の最大原因
は、人間の動作による発塵にあるから、クリーン
ルーム内の人間が多くなればなるほど総合発塵量
が多くなり、クリーンルーム内の清浄度は低下す
る。 しかるに従来のエアシヤワー室は上述のように
クリーンルーム内の人員の管理をしていないの
で、クリーンルーム内の清浄度を高度に維持する
ことが困難であつた。 本考案は、従来のこのような不都合を解消する
ことをその目的とするものである。 （課題を解決するための手段） 本考案は、上記の目的を達成するために、清浄
な空間を維持するクリーンルームの前室に設けら
れた空間であり、該前室側に前室側扉４及び前室
側扉検知器５を、クリーンルーム側にクリーンル
ーム側扉６及びクリーンルーム側扉検知器７をそ
れぞれ設けてなるエアシヤワー室において、前記
前室側扉４が開き前室側扉検知器５が作動した時
作動する第１のリレー９₁と、前記クリーンルー
ム側扉６が開きクリーンルーム側扉検知器７が作
動した時作動する第２のリレー９₂と、第２のリ
レー９₂が不作動で且つ第１及び第６のリレー９
_１，９₆の作動時に作動し、第１のリレー９₁が不
作動になつても作動を継続する第３のリレー９₃
と、第１、第２及び第３のリレー９₁，９₂，９₃
が不作動時に作動し、第２及び第３のリレー９₂，
９₃の少なくとも一方が作動しても作動を継続す
る第４のリレー９₄と、第１のリレー９₁が不作動
で且つ第２及び第４のリレー９₂，９₄の作動時に
作動し、第２及び第４のリレー９₂，９₄のいずれ
か一方が不作動になつても作動を継続する第５の
リレー９₅と、第１、第２及び第５のリレー９₁，
９₂，９₅の不作動時に作動し、第１及び第５のリ
レー９₁，９₅の少なくとも一方が作動しても作動
を継続する第６のリレー９₆と、第２のリレー９₂
が作動し且つ第９のリレー９₉の不作動時に作動
し、第２のリレー９₂が不作動になつても作動を
継続する第７のリレー９₇と、第２のリレー９₂が
不作動で且つ第１及び第７のリレー９₁，９₇の作
動時に作動し、第１及び第７のリレー９₁，９₇の
少なくとも一方が不作動になつても作動を継続す
る第８のリレー９₈と、第８のリレー９₈が作動し
且つ第１のリレー９₁の不作動時に作動する第９
のリレー９₉と、第３のリレー９₃の作動で加算を
行い、第８のリレー９₈の作動で減算を行なうク
リーンルーム内人員管理用カウンタ８を設けたこ
とを特徴とする。 （作用） エアシヤワー室内に設けたクリーンルーム内人
員管理用カウンタを設けたことによりクリーンル
ーム内の人員を管理することができ、クリーンル
ーム内の清浄度を高度に維持することができる。 （実施例） 以下本考案の実施例を図面につき説明する。 図面は本考案の１実施例を示す。 第１図において、１はクリーンルーム、２はク
リーンルーム１の前室３に設けられた個室である
エアシヤワー室で、該エアシヤワー室２の前室側
に前室側扉４と前室側扉４の開放を検知する前室
側扉検知器５が設けられ、クリーンルーム１側に
クリーンルーム側扉６とクリーンルーム側扉検知
器７が設けられている。８はクリーンルーム内人
員管理用カウンタである。 第２図は本考案の実施例の回路図を示す。 前室側扉検知器５は、前室側扉４が開放した時
閉成される接点５ａを有し、クリーンルーム側扉
検知器７は、クリーンルーム側扉６が開放した時
閉成される接点７ａを有し、これらの接点５ａ及
び７ａはそれぞれ第１及び第２のリレー９₁，９₂
と直列に接続されて電源線１０₁と１０₂に接続さ
れている。第１のリレー９₁は、２つの常開接点
X₁と４つの常閉接点₁を備え、第２のリレー９₂
は２つの常開接点X₂と４つの常閉接点₂を備え
ている。 第３のリレー９₃は、前記第１のリレー９₁の常
開接点X₁、後述する第６のリレー９₆の常開接点
X₆及び前記第２のリレー９₂の常閉接点₂と直列
に接続されて電源線１０₁，１０₂に接続され、そ
の自己保持用常開接点X₃が前記常開接点X₁と並
列に接続され、第２のリレー９₂が不作動で且つ
第１のリレー９₁及び第６のリレー９₆が作動した
時作動し、その自己保持用常開接点X₃の閉成に
より、第１のリレー９₁が不作動になつても作動
を継続する（すなわち自己保持する）ようになつ
ており、第２の常開接点X₃の閉成により前記人
員管理用カウンタ８に加算動作を行なわせるよう
になつている。 １１は接点ｔを有するフアン作動タイマで、こ
れは第１のリレー９₁の常閉接点₁と直列に接続
されて第３のリレー９₃と並列に接続されている。 １２はエアシヤワー室２内に設けられたフアン
の作動コイルで、これはフアン作動タイマ１１の
接点ｔと直列に接続されてタイマ１１と並列接続
されている。 第４のリレー９₄は、第１、第２及び第３のリ
レー９₁，９₂及び９₃の常閉接点₁，₂，₃と
直列に接続され、その自己保持用常開接点X₄が
常閉接点₂，₃と並列に接続され、第１、第２
及び第３のリレー９₁，９₂，９₃が不作動時に作
動し、その自己保持用常開接点X₄の閉成により
第２及び第３のリレー９₂，９₃が作動しても作動
を継続する（すなわち自己保持する）ようになつ
ている。 第５のリレー９₅は、第１のリレー９₁の常閉接
点₁、第２及び第４リレー９₂，９₄の常開接点
X₂，X₄と直列に接続され、その自己保持用常開
接点X₅が常開接点X₂，X₄と並列に接続され、第
１のリレー９₁が不作動で且つ第２及び第４のリ
レー９₂，９₄の作動時に作動し、その自己保持用
接点X₅の閉成により第２及び第４のリレー９₂，
９₄が不作動になつてもその作動を継続する（す
なわち自己保持する）ようになつている。 第６のリレー９₆は、第１、第５及び第２のリ
レー９₁，９₅，９₂の常閉接点₁，₅，₂と直
列に接続され、その自己保持用常開接点X₆は、
第１及び第５のリレー９₁，９₅の常閉接点₁，
Ｘ₅と並列に接続され、第１、５及び第２のリレ
ー９₁，９₅，９₂が不作動の時に作動し、その自
己保持用常開接点X₆の閉成により第１及び第５
のリレー９₁，９₅が作動しても作動を継続する
（すなわち自己保持する）ようになつている。 第７のリレー９₇は、第２のリレー９₂の常開接
点X₂及び第９のリレー９₉の常閉接点₉と直列接
続され、その自己保持用常開接点X₇は常開接点
X₂と並列に接続され、第９のリレー９₉の不作動
で且つ第２のリレー９₂の作動時に作動し、その
自己保持用常開接点X₇の閉成により第２のリレ
ー９₂が不作動になつてもその作動を継続する
（すなわち自己保持する）ようになつている。 第８のリレー９₈は、第７及び第１のリレー９
_７，９₁の常開接点X₇，X₁及び第２のリレー９₂の
常閉接点₂と直列に接続され、その自己保持用
常開接点X₈は第７及び第１のリレー９₇，９₁の常
開接点X₇，X₁と並列に接続され、第２のリレー
９₂が不作動で且つ第７及び第１のリレー９₇，９
_１が作動した時作動し、自己保持用常開接点X₈の
閉成により第７及び第１のリレー９₇，９₁が不作
動になつても作動を継続する（すなわち自己保持
する）ようになつている。 第９のリレー９₉は第１のリレー９₁の常閉接点
Ｘ₁と直列に接続されて第８のリレー９₈及び第２
のリレー９₂の常閉接点₂の直列回路と並列に接
続され、第１のリレー９₁が不作動で且つ第１及
び第７のリレー９₁，９₇が作動又は第８のリレー
９₈が作動する時作動するようになつている。 次に上記実施例の作動を下記のシーケンス図を
参照して説明する。

【表】

【表】 エアシヤワ室２に入らない状態において、第４
及び第６のリレー９₄，９₆が作動している。入室
者が前室３からエアシヤワー室２の前室側扉４を
開放すると、前室側扉検知器５が作動してその接
点５ａを閉じ、第１のリレー９₁が作動する。該
第１のリレー９₁の作動により第３のリレー９₃が
作動してその自己保持用常開接点X₃が閉成する。
第３のリレー９₃の作動でクリーンルーム内人員
管理用カウンタ８が作動し、１を加算する。前室
側扉４を閉じると、第１のリレー９₁の不作動に
なつてフアン作動タイマ１１が作動を開始し、フ
アン作動コイル１２を所定時間付勢する。かくて
エアシヤワーが所定時間行なわれる。 エアシヤワーが終了し、人がクリーンルーム側
扉６を明けてクリーンルーム１内に入室すると、
クリーンルーム側扉検知器７が作動してその接点
７ａを閉じ、第２のリレー９₂が作動する。第２
のリレー９₂の作動で第６のリレー９₆が不作動に
なり、第３のリレー９₃が不作動になると共に第
７のリレー９₇が作動し自己保持される。クリー
ンルーム側扉６を閉じると、検出器７が不作動に
なり、第２のリレー９₂は不作動になつて常閉接
点₂が閉成する。かくて第８のリレー９₈は第１
のリレー９₁が作動すれば作動する作動準備状態
すなわちカウンタ８の減算準備状態になる。第４
のリレー９₄は、前室側扉４が開いた時不作動に
なるが、クリーンルーム側扉６を閉じると再び作
動しその作動が自己保持される。 クリーンルーム１から出室するために、クリー
ンルーム側扉６を開けてエアシヤワー室２に入室
すると、クリーンルーム側扉検知器７が作動し第
２のリレー９₂が作動して第５のリレー９₅が作動
して自己保持されるとともに第６のリレー９₆が
不作動になる。 クリーンルーム側扉６を閉じた状態において、
第４及び第５のリレー９₄，９₅は作動状態を継続
しており、第７のリレー９₇も入室時に作動し作
動状態を継続しているので、前室側扉４を開放す
ると、検知器５が作動することにより第１のリレ
ー９₁が作動し、その結果第８のリレー９₈が作動
し、カウンタ８が１を減算する。前室側扉４を開
放しても、前述のように第６のリレー９₆はクリ
ーンルーム側扉６を閉じた後も不作動を継続して
いるから、第３のリレー９₃は不作動しない。し
たがつてカウンタ８が再び１を加算することがな
い。（以上のように第４及び第５のリレー９₄，９
_５は出室時に前室側扉４を開いてもカウンタ８が
加算しないようにするために必要である。）前室
側扉４を閉じると第１リレー９₁が不作動になり
第９のリレー９₉が作動し、その常閉接点₉の開
放により第７のリレー９₇は不作動になり、第８
のリレー９₈に直列に接続された常開接点X₇が開
成されるので、再び前室側扉４を開き第１のリレ
ー９₁を作動させても第８のリレー９₈を作動して
カウンタ８を誤動作させることはない。 前室側扉４を閉じても第８のリレー９₈は作動
を継続するが、前室３より更に人がクリーンルー
ム１へ入室しようとして前室側扉４を開放してエ
アシヤワー室２へ入り、クリーンルーム側扉６を
開放した状態で第８のリレー９₈は不作動状態に
なり原状に復帰する。クリーンルーム１から退室
するものがクリーンルーム側扉６を開放した状態
でも第８のリレー９₈が不作動になり、原状に復
帰する。 かくて、エアシヤワー室２のカウンタ８により
クリーンルーム１内の人員を知ることができ、該
人員が所定数以上にならないように管理すること
ができる。 前記実施例において、エアシヤワー室２に警報
装置を設け、クリーンルーム１内の人員が所定数
以上のときカウンタ８の出力により警報を発生さ
せるようにすることができる。 またエアシヤワー室２にエアシヤワーの使用目
的を再確認させるための音声装置を設ければ、ク
リーンルーム内の清浄度が入室者の不注意で損わ
れることが無くなる。 （考案の効果） 以上説明したように、本考案によるときは、エ
アシヤワー室の前室側扉及びクリーンルーム側扉
に設けた扉検知器を介してクリーンルーム内の人
員を管理することができ、クリーンルーム内の清
浄度を高度に維持することができる効果を有す
る。

【図面の簡単な説明】

第１図は、本考案の１実施例のエアシヤワー室
の慨略的構成を示す線図、第２図はその電気回路
図である。 １……クリーンルーム、２……エアシヤワー
室、３……前室、４……前室側扉、５……前室側
扉検知器、６……クリーンルーム側扉、７……ク
リーンルーム側扉検知器、８……クリーンルーム
内人員管理用カウンタ、９₁〜９₉……リレー。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 清浄な空間を維持するクリーンルームの前室に
   設けられた空間であり、該前室側に前室側扉４及
   び前室側扉検知器５を、クリーンルーム側にクリ
   ーンルーム側扉６及びクリーンルーム側扉検知器
   ７をそれぞれ設けてなるエアシヤワー室におい
   て、前記前室側扉４が開き前室側扉検知器５が作
   動した時作動する第１のリレー９₁と、前記クリ
   ーンルーム側扉６が開きクリーンルーム側扉検知
   器７が作動した時作動する第２のリレー９₂と、
   第２のリレー９₂が不作動で且つ第１及び第６の
   リレー９₁，９₆の作動時に作動し、第１のリレー
   ９₁が不作動になつても作動を継続する第３のリ
   レー９₃と、第１、第２及び第３のリレー９₁，９
   _２，９₃が不作動時に作動し、第２及び第３のリレ
   ー９₂，９₃の少なくとも一方が作動しても作動を
   継続する第４のリレー９₄と、第１リレー９₁が不
   作動で且つ第２及び第４のリレー９₂，９₄の作動
   時に作動し、第２及び第４のリレー９₂，９₄のい
   ずれか一方が不作動になつても作動を継続する第
   ５のリレー９₅と、第１、第２及び第５のリレー
   ９₁，９₂，９₅の不作動時に作動し、第１及び第
   ５のリレー９₁，９₅の少なくとも一方が作動して
   も作動を継続する第６のリレー９₆と、第２のリ
   レー９₂が作動し且つ第９のリレー９₉の不作動時
   に作動し、第２のリレー９₂が不作動になつても
   作動を継続する第７のリレー９₇と、第２のリレ
   ー９₂が不作動で且つ第１及び第７のリレー９₁，
   ９₇の作動時に作動し、第１及び第７のリレー９
   _１，９₇の少なくとも一方が不作動になつても作動
   を継続する第８のリレー９₈と、第８のリレー９₈
   が作動し且つ第１のリレー９₁の不作動時に作動
   する第９のリレー９₉と、第３のリレー９₃の作動
   で加算を行い、第８のリレー９₈の作動で減算を
   行なうクリーンルーム内人員管理用カウンタ８を
   設けたことを特徴とするエアシヤワー室。