JPH0416562A - 窒化けい素系焼結体の製造方法 - Google Patents
窒化けい素系焼結体の製造方法Info
- Publication number
- JPH0416562A JPH0416562A JP2119236A JP11923690A JPH0416562A JP H0416562 A JPH0416562 A JP H0416562A JP 2119236 A JP2119236 A JP 2119236A JP 11923690 A JP11923690 A JP 11923690A JP H0416562 A JPH0416562 A JP H0416562A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- sintering
- atmosphere
- temp
- silicon nitride
- si3n4
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Ceramic Products (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
〔産業上の利用分野1
本発明は、窒化けい素系焼結体の製造方法に関し、詳し
くは窒化けい素系セラミンクス原料粉末を成形後焼結す
る窒化けい素系焼結体の製造方法の焼結工程の改良に関
するものである。 窒化けい素、サイアロンなどの窒化けい素系セラミック
スは1機械的強度が高く、耐摩耗性、耐熱性に優れてい
ることから、各種耐火物材料、エンジン部材等として有
望視されている。 [従来の技術] 窒化けい素、サイアロンなどの窒化けい素系セラミック
スの焼結方法としては、先ず窒化けい素粉末又はサイア
ロン粉末に必要に応して助剤を配合した原料粉末を成形
した後、常圧又は加圧の窒素ガス雰囲気中で焼結する方
法が知られている。 [発明が解決しようとする課題1 しかしながら、従来法で製造された窒化けい素系セラミ
ックスの強度は、1200℃を超える高温下では低下が
大きく、高温用部材としてはなお不十分てあった。 高温強度を向上させる方法として、例えば焼結後に粒界
ガラス相を結晶化させる熱処理工程を設ける方法が提案
されているが、この方法では高温強度の低下割合は少な
くなるが、粒界の結晶化の際に歪みが入るため室温強度
が低下し、それに伴い高温強度自体の値も低くなり、結
果として十分な高温強度を得るには到っていない。
くは窒化けい素系セラミンクス原料粉末を成形後焼結す
る窒化けい素系焼結体の製造方法の焼結工程の改良に関
するものである。 窒化けい素、サイアロンなどの窒化けい素系セラミック
スは1機械的強度が高く、耐摩耗性、耐熱性に優れてい
ることから、各種耐火物材料、エンジン部材等として有
望視されている。 [従来の技術] 窒化けい素、サイアロンなどの窒化けい素系セラミック
スの焼結方法としては、先ず窒化けい素粉末又はサイア
ロン粉末に必要に応して助剤を配合した原料粉末を成形
した後、常圧又は加圧の窒素ガス雰囲気中で焼結する方
法が知られている。 [発明が解決しようとする課題1 しかしながら、従来法で製造された窒化けい素系セラミ
ックスの強度は、1200℃を超える高温下では低下が
大きく、高温用部材としてはなお不十分てあった。 高温強度を向上させる方法として、例えば焼結後に粒界
ガラス相を結晶化させる熱処理工程を設ける方法が提案
されているが、この方法では高温強度の低下割合は少な
くなるが、粒界の結晶化の際に歪みが入るため室温強度
が低下し、それに伴い高温強度自体の値も低くなり、結
果として十分な高温強度を得るには到っていない。
本発明者らは、窒化けい素系セラミックス焼結体の高温
強度を向上させる焼結条件について検討した結果、最終
燒結に先立って還元性雰囲気下で熱処理することが有効
であることを見出し、本発明に到達した。 すなわち、本発明は、窒化けい素系セラミックス原料粉
末を成形後焼結する窒化けい素系焼結体の製造方法にお
いて、最終燒結温度を超えない温度範囲で、還元性ガス
を含有する雰囲気中で熱処理を行った後、常圧又は加圧
下の窒素ガス雰囲気中で最終燒結を行うことを特徴とす
る窒化けい素系セラミックスの製造方法である。 [作用〕 還元性ガス雰囲気下での熱処理が窒化けい素系セラミッ
クス焼結体の高温強度を向上させる理由は必ずしも明ら
かではないが、以下の理由によるものと考えられる。 一般に、N化けい素粉末やサイアロン粉末には過剰の表
面酸素等が含まれており、これが高温強度の低下の原因
と考えられる。本発明の場合、最終的に緻密化が終Yす
る前の段階で、還元性ガスを含有する雰囲気で熱処理す
ることにより、過剰酸素が除去され、少な(ともその点
で高温強度低下の原因が除かれる結果、高温強度が向上
するものと推定される。 r発明の詳細な説明1 以下、本発明を具体的に説明する。 (原料粉末) 本発明における窒化けい素系セラミックス原料としては
、従来の常圧焼結又は加圧焼結に用いられてきた原料粉
末でよ(、例えば ■窒化けい素粉末に稀土類酸化物、 Al2oz、 M
gO。 MgAjxO4等の焼結助剤を配合した窒化けい素用填
結原料。 ■β−サイアロン粉末に必要に応じて焼結助剤を配合し
たβ−サイアロン用焼結原料、 ■513N4 、 AjN 、 Al2O3等を適宜配
合したα−又はβ−サイアロン用焼結原料 などを用いることができる。 (成形) 上記の焼結原料は、その後、金型によるプレス成形、C
IP成形などにより成形される。 (還元性ガス処理) 本発明の窒化けい素系セラミックスの製造方法では、成
形体は最終燒結に先立って還元性ガスを含む雰囲気ガス
流通下で熱処理される。 還元性ガスは、水素、炭化水素などが用いられ、そのま
ま又は窒素ガスとの混合ガスで用いられる。混合ガスの
場合、還元性ガスの含有量はl容量%以上が好ましい。 l容置%未満の濃度では還元力が不十分で、焼結体の高
温強度向上効果が十分得られないおそれがある。 熱処理温度は1200℃以上で最終燒結温度を超えない
温度、好ましくは1500−1700”cまで昇温する
。昇温後、還元性雰囲気のまま保持するとよい。還元性
雰囲気での熱処理温度が1200”C未満では高温強度
向上の効果が小さ(、逆に高温では成形体が還元分解す
るおそれがある。 (焼結処理) 次いで炉内を窒素ガスで置換したのち、常圧又は加圧下
で最終的に焼結する。 この際の焼結温度は、窒化けい素、サイアロンなと窒化
けい素系セラミックスに関係なく、常圧窒素雰囲気下で
は1700〜1800℃、窒素ガス加圧雰囲気下では1
800〜2000℃であり、窒素ガス圧力は0.5〜1
0MPa 15〜lOQkg/cm”lが好ましい。 [実施例] 次に実施例を用いて説明する。 以下の実施例においては次の材料を用いた。 窒化けい素1si3Ll : 信越化学工業■製にSN−10M。 β−サイアロン: 日本セメント■製、Z=0.5゜ 徳山曹達■製、Type F。 昭和電工■製、 AL−160sG−6、日商岩井商事
扱い。 AjN : Aj、03 : y、o、 : 実施例1〜8 窒化けい素粉末88重量部に焼結助剤としでA1□03
及びY2O1をそれぞれ6重量部配合し、ミル混合した
ものを直径5011m、厚さlO■1にプレス成形し、
炉内にセットし1表−1に示す還元性ガスとM素との混
合ガスを雰囲気ガスとして10分間熱処理し、次いで窒
素ガスのみを炉内に導入して常圧窒素雰囲気にした後、
1780℃で180分間境結填結った。 得られた焼結体を、 JIS R1601に規定された
形状に加工し、 1200℃での3点曲げ強度を測定し
た。 測定結果を表−1に示す。 比較例1 実施例1において、水素ガスによる処理を行わずに窒素
雰囲気での焼結のみをを行った。 得られた焼結体の曲げ強度を表−1に示す。 実施例9及び比較例2 表=1の組成の原料配合の成形体を、水素濃度10容量
%の雰囲気で1600℃で10分間熱処理した後、窒素
ガス雰囲気下、1780℃で180分間煩結処理した。 比較のため、同じ組成の成形物を還元性ガス処理せず、
窒素ガス雰囲気下、1780℃で180分間境結処理し
た。 両者で得られた焼結体の曲げ強度を表−1に示す。 実施例1O及び比較例3 表−1に示すサイアロン組成物の成形体を、実施例5と
同様に処理して得られた焼結体と、水素ガス処理を行わ
ない以外は同様にして得られた焼結体のそれぞれの曲げ
強度を表−1に示す。 「発明の効果】 実倉例から明らかなように、窒化けい素系セラミックス
の焼成に際して、予め還元性雰囲気下で焼成することに
より、窒化けい素系焼結体の高温強度が向上し、高温用
部材としての用途が大幅に拡大した。
強度を向上させる焼結条件について検討した結果、最終
燒結に先立って還元性雰囲気下で熱処理することが有効
であることを見出し、本発明に到達した。 すなわち、本発明は、窒化けい素系セラミックス原料粉
末を成形後焼結する窒化けい素系焼結体の製造方法にお
いて、最終燒結温度を超えない温度範囲で、還元性ガス
を含有する雰囲気中で熱処理を行った後、常圧又は加圧
下の窒素ガス雰囲気中で最終燒結を行うことを特徴とす
る窒化けい素系セラミックスの製造方法である。 [作用〕 還元性ガス雰囲気下での熱処理が窒化けい素系セラミッ
クス焼結体の高温強度を向上させる理由は必ずしも明ら
かではないが、以下の理由によるものと考えられる。 一般に、N化けい素粉末やサイアロン粉末には過剰の表
面酸素等が含まれており、これが高温強度の低下の原因
と考えられる。本発明の場合、最終的に緻密化が終Yす
る前の段階で、還元性ガスを含有する雰囲気で熱処理す
ることにより、過剰酸素が除去され、少な(ともその点
で高温強度低下の原因が除かれる結果、高温強度が向上
するものと推定される。 r発明の詳細な説明1 以下、本発明を具体的に説明する。 (原料粉末) 本発明における窒化けい素系セラミックス原料としては
、従来の常圧焼結又は加圧焼結に用いられてきた原料粉
末でよ(、例えば ■窒化けい素粉末に稀土類酸化物、 Al2oz、 M
gO。 MgAjxO4等の焼結助剤を配合した窒化けい素用填
結原料。 ■β−サイアロン粉末に必要に応じて焼結助剤を配合し
たβ−サイアロン用焼結原料、 ■513N4 、 AjN 、 Al2O3等を適宜配
合したα−又はβ−サイアロン用焼結原料 などを用いることができる。 (成形) 上記の焼結原料は、その後、金型によるプレス成形、C
IP成形などにより成形される。 (還元性ガス処理) 本発明の窒化けい素系セラミックスの製造方法では、成
形体は最終燒結に先立って還元性ガスを含む雰囲気ガス
流通下で熱処理される。 還元性ガスは、水素、炭化水素などが用いられ、そのま
ま又は窒素ガスとの混合ガスで用いられる。混合ガスの
場合、還元性ガスの含有量はl容量%以上が好ましい。 l容置%未満の濃度では還元力が不十分で、焼結体の高
温強度向上効果が十分得られないおそれがある。 熱処理温度は1200℃以上で最終燒結温度を超えない
温度、好ましくは1500−1700”cまで昇温する
。昇温後、還元性雰囲気のまま保持するとよい。還元性
雰囲気での熱処理温度が1200”C未満では高温強度
向上の効果が小さ(、逆に高温では成形体が還元分解す
るおそれがある。 (焼結処理) 次いで炉内を窒素ガスで置換したのち、常圧又は加圧下
で最終的に焼結する。 この際の焼結温度は、窒化けい素、サイアロンなと窒化
けい素系セラミックスに関係なく、常圧窒素雰囲気下で
は1700〜1800℃、窒素ガス加圧雰囲気下では1
800〜2000℃であり、窒素ガス圧力は0.5〜1
0MPa 15〜lOQkg/cm”lが好ましい。 [実施例] 次に実施例を用いて説明する。 以下の実施例においては次の材料を用いた。 窒化けい素1si3Ll : 信越化学工業■製にSN−10M。 β−サイアロン: 日本セメント■製、Z=0.5゜ 徳山曹達■製、Type F。 昭和電工■製、 AL−160sG−6、日商岩井商事
扱い。 AjN : Aj、03 : y、o、 : 実施例1〜8 窒化けい素粉末88重量部に焼結助剤としでA1□03
及びY2O1をそれぞれ6重量部配合し、ミル混合した
ものを直径5011m、厚さlO■1にプレス成形し、
炉内にセットし1表−1に示す還元性ガスとM素との混
合ガスを雰囲気ガスとして10分間熱処理し、次いで窒
素ガスのみを炉内に導入して常圧窒素雰囲気にした後、
1780℃で180分間境結填結った。 得られた焼結体を、 JIS R1601に規定された
形状に加工し、 1200℃での3点曲げ強度を測定し
た。 測定結果を表−1に示す。 比較例1 実施例1において、水素ガスによる処理を行わずに窒素
雰囲気での焼結のみをを行った。 得られた焼結体の曲げ強度を表−1に示す。 実施例9及び比較例2 表=1の組成の原料配合の成形体を、水素濃度10容量
%の雰囲気で1600℃で10分間熱処理した後、窒素
ガス雰囲気下、1780℃で180分間煩結処理した。 比較のため、同じ組成の成形物を還元性ガス処理せず、
窒素ガス雰囲気下、1780℃で180分間境結処理し
た。 両者で得られた焼結体の曲げ強度を表−1に示す。 実施例1O及び比較例3 表−1に示すサイアロン組成物の成形体を、実施例5と
同様に処理して得られた焼結体と、水素ガス処理を行わ
ない以外は同様にして得られた焼結体のそれぞれの曲げ
強度を表−1に示す。 「発明の効果】 実倉例から明らかなように、窒化けい素系セラミックス
の焼成に際して、予め還元性雰囲気下で焼成することに
より、窒化けい素系焼結体の高温強度が向上し、高温用
部材としての用途が大幅に拡大した。
Claims (1)
- (1)窒化けい素系セラミックス原料粉末を成形後焼結
する窒化けい素系境結体の製造方法において、最終燒結
温度を超えない温度範囲で、還元性ガスを含有する雰囲
気中で熱処理を行った後、常圧又は加圧下の窒素ガス雰
囲気中で最終燒結を行うことを特徴とする窒化けい素系
セラミックスの製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2119236A JPH0416562A (ja) | 1990-05-09 | 1990-05-09 | 窒化けい素系焼結体の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2119236A JPH0416562A (ja) | 1990-05-09 | 1990-05-09 | 窒化けい素系焼結体の製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0416562A true JPH0416562A (ja) | 1992-01-21 |
Family
ID=14756334
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2119236A Pending JPH0416562A (ja) | 1990-05-09 | 1990-05-09 | 窒化けい素系焼結体の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0416562A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| FR2701256A1 (fr) * | 1993-02-08 | 1994-08-12 | Europ Propulsion | Procédé d'obtention d'un matériau céramique à base de Sialon par réduction d'un précurseur aluminosilicaté et application à la formation de revêtement céramique sur un substrat réfractaire. |
-
1990
- 1990-05-09 JP JP2119236A patent/JPH0416562A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| FR2701256A1 (fr) * | 1993-02-08 | 1994-08-12 | Europ Propulsion | Procédé d'obtention d'un matériau céramique à base de Sialon par réduction d'un précurseur aluminosilicaté et application à la formation de revêtement céramique sur un substrat réfractaire. |
| EP0611180A1 (fr) * | 1993-02-08 | 1994-08-17 | Societe Europeenne De Propulsion | Procédé d'obtention d'un matériau céramique à base de Sialon par réduction d'un précurseur aluminosilicaté et application à la formation de revêtement céramique sur un substrat réfractaire |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN108585881A (zh) | 一种高热导率氮化硅陶瓷及其制备方法 | |
| WO1994027929A1 (fr) | Ceramique poreuse et son procede de production | |
| JPH0416562A (ja) | 窒化けい素系焼結体の製造方法 | |
| RU2239613C1 (ru) | Способ получения изделий на основе нитрида кремния | |
| JP2742619B2 (ja) | 窒化珪素質焼結体 | |
| JP3007732B2 (ja) | 窒化ケイ素−混合酸化物系焼結体およびその製造方法 | |
| JPS5918165A (ja) | 窒化珪素焼結体の製造方法 | |
| JP2696735B2 (ja) | 窒化珪素質焼結体の製造法 | |
| JP3124867B2 (ja) | 窒化珪素質焼結体及びその製造方法 | |
| JP3036207B2 (ja) | 窒化ケイ素焼結体の製造方法 | |
| JP2694369B2 (ja) | 窒化珪素質焼結体 | |
| JPH0585823A (ja) | 炭化ケイ素−窒化ケイ素−混合酸化物系焼結体およびその製造方法 | |
| JP2691294B2 (ja) | 窒化珪素質焼結体およびその製造方法 | |
| JP2940627B2 (ja) | 窒化けい素系セラミックス焼結体の製造方法 | |
| JP2694368B2 (ja) | 窒化珪素質焼結体の製造方法 | |
| JP3124866B2 (ja) | 窒化珪素質焼結体の製造方法 | |
| JPH01100064A (ja) | 窒化珪素質焼結体の製造方法 | |
| KR100207053B1 (ko) | 기계구조부품용 질화규소기 소결체의 제조방법 | |
| JPS62252388A (ja) | 窒化ケイ素焼結体 | |
| JPH08508458A (ja) | 窒素セラミックスの熱処理 | |
| JPH01282154A (ja) | 繊維強化酸窒化珪素焼結体の製造方法 | |
| JP2811493B2 (ja) | 窒化珪素質焼結体 | |
| JP2631102B2 (ja) | 窒化珪素質焼結体の製造方法 | |
| JPH06293566A (ja) | 窒化けい素質焼結体の製造方法 | |
| JPH0568428B2 (ja) |