JPH04168311A - 水晶式膜厚検出器 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明は、蒸着時の膜厚を計測する水晶式膜厚検出器に
関する。

〔従来の技術Ｊ 蒸着装置等を用いて基板上に金属や絶縁物等を成膜させ
る場合、成膜中にその付着量（膜厚）を計測するには一
般的に水晶式膜厚検出器が用いられる。

これは、膜が付着したことによる水晶発振子の共振周波
数の変化を検出し、対応する膜厚を知るものであるが、
成膜する厚さがある程度以上太きくなると共振周波数の
変化が大きくなりすぎて動作範囲をはずれる。

そこで、これを改善するため、網目状のマスクを有する
フードを水晶式膜厚検出器に取付けて水晶発振子への付
着量を軽減し、動作範囲を拡大させる例が知られている
。

［発明が解決しようとする課題］ 上述した従来の水晶式膜厚検出器は、第３図に示したよ
うに水晶発振子１５の正面に、網目状のマスク１４を有
するフード１６を取付けた構造であるため、第４図に示
すようにベルジャ７内の蒸発源ｌに対し、水晶式膜厚検
出器１３の開口部を正確に正対させる必要がある。図中
２は蒸発源１から発した金属、絶縁物で成膜する基板で
ある。

もし、蒸発源１と検出器１３との関係角度がずれた状態
で取付けた場合等は正確な膜厚計測が不可能となったり
、水晶式膜厚検出器１３の水晶の発信が不規則となり、
同じく正確な膜厚計測が不可能となる。また、蒸発源１
がふたつある場合などは連続的な蒸着は不可能である。

本発明の目的は、水晶式膜厚検出器の開口が蒸発源に正
対する角度から多少ずれていても正確に膜厚を計測しつ
る水晶式膜厚検出器を提供することにある。

〔課題を解決するための手段〕

上記目的を達成するため、本発明による水晶式膜厚検出
器においては、フードを有する水晶式膜厚検出器であっ
て、 フードは、水晶発振子よりも大口径の開口部を有し、該
開口部に網目状のマスクが取付けられたものである。

〔作用Ｊ 水晶式膜厚検出器に取付けたフードの開口径が検出器の
水晶発振子の大きさよりも十分に大きいため、蒸発源に
対する水晶発振器の正対関係位置に多少のずれがあった
ときでもフードの開口部に備えた網目状マスクを通して
膜厚を正確に計測できる。

〔実施例〕 次に、本発明の実施例について図面を参照して説明する
。第１図は本発明の一実施例を説明するための水晶式膜
厚検出器の断面図、第２図は本発明の一実施例を説明す
るための蒸着装置の概略図である。

第１図において、水晶式膜厚検出器３は、フード６を有
する点は従来と同じである。本発明においては、フード
６の開口径が検出器３の水晶発振子５の大きさよりも十
分に大きく、その開口部に網目状マスク４を取付けたも
のである。

第２図において、ベルジャ７内の高真空中で蒸発源１よ
り放射状に蒸発した蒸着材料は、基板２の表面に堆積し
ていくと同時にフード６の網目状マスク４をとおして水
晶式膜厚検出器３の水晶発振子５の表面に堆積する。水
晶式膜厚検出器３に取付けたフード６は、水晶発振子５
の大きさよりも口径が大きいため、水晶式膜厚検出器３
が正確に蒸発源１に向いていなくともフード６を通して
膜厚を正確に計測することができる。また、複数の蒸発
源から連続的に異なった金属を蒸着する場合も同様であ
ったことを確認している。

〔発明の効果Ｊ 以上説明したように、本発明によれば、水晶発振子より
も網目状マスクを取付けたフードの開口径が大きいため
に従来よりも水晶式膜厚検出器のセツティングが簡単に
でき、また複数の蒸発源がある場合でも連続に蒸着がで
きる効果を有するものである。

【図面の簡単な説明】

第１図は、本発明の一実施例を示す水晶式膜厚検出器の
断面図、第２図は、本発明の一実施例を用いた蒸着装置
概略図、第３図は、従来の水晶式膜厚検出器の断面図、
第４図は、従来の水晶式膜厚検出器を用いた蒸着装置概
略図である。 １・・・蒸発源　　　　　　２・・・基板３・・・水晶
式膜厚検出器　４・・・網目状マスク５・・・水晶発振
子　　　　６・・・フード７・・・ベルジャ

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. （１）フードを有する水晶式膜厚検出器であって、フー
   ドは、水晶発振子よりも大口径の開口部を有し、該開口
   部に網目状のマスクが取付けられたものであることを特
   徴とする水晶式膜厚検出器。