JPH0416862U - - Google Patents

Info

Publication number
JPH0416862U
JPH0416862U JP5768990U JP5768990U JPH0416862U JP H0416862 U JPH0416862 U JP H0416862U JP 5768990 U JP5768990 U JP 5768990U JP 5768990 U JP5768990 U JP 5768990U JP H0416862 U JPH0416862 U JP H0416862U
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
linear motion
holder shaft
holder
swinging
supporting member
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP5768990U
Other languages
English (en)
Other versions
JPH0754916Y2 (ja
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed filed Critical
Priority to JP5768990U priority Critical patent/JPH0754916Y2/ja
Publication of JPH0416862U publication Critical patent/JPH0416862U/ja
Application granted granted Critical
Publication of JPH0754916Y2 publication Critical patent/JPH0754916Y2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Lifetime legal-status Critical Current

Links

Description

【図面の簡単な説明】
第１図は、この考案の一実施例に係るイオン注
入装置をイオンビームの進行方向に見て示す図で
ある。第２図は、第１図中のイオン注入装置を下
から見上げた図である。第３図は、第１図の直動
機構部分の左側面図である。第４図および第５図
は、それぞれ、第１図のイオン注入装置の動作状
態の例を示す図である。第６図は、イオンビーム
の中心の軌跡の例を示す図である。第７図は、従
来のイオン注入装置の一例をイオンビームの進行
方向に見て示す図である。 ２……イオンビーム、４……真空容器、４ａ…
…注入室、４ｂ……予備室、８……試料、１０…
…ホルダ、１４……ホルダ軸、３４……モータ、
３６……球面軸受、４４……支持部材、５４……
直動機構、６０……モータ、６８……揺動機構。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. イオンビームが導入される真空容器と、この真
    空容器内に収納されていて、イオン注入されるべ
    き試料を保持するホルダと、このホルダを支える
    ホルダ軸と、このホルダ軸をその軸方向に往復直
    線駆動する直動機構とを備えるイオン注入装置に
    おいて、前記ホルダ軸が真空容器を貫通する部分
    に、当該ホルダ軸を直動可能に支える球面軸受で
    あつて真空シール機能を有するものを設け、かつ
    この球面軸受の中心線上を中心にして揺動可能な
    支持部材を設けてこの支持部材で前記直動機構を
    支え、更に当該支持部材を直動機構およびホルダ
    軸と共に揺動させる揺動機構を設けたことを特徴
    とするイオン注入装置。
JP5768990U 1990-05-30 1990-05-30 イオン注入装置 Expired - Lifetime JPH0754916Y2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP5768990U JPH0754916Y2 (ja) 1990-05-30 1990-05-30 イオン注入装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP5768990U JPH0754916Y2 (ja) 1990-05-30 1990-05-30 イオン注入装置

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPH0416862U true JPH0416862U (ja) 1992-02-12
JPH0754916Y2 JPH0754916Y2 (ja) 1995-12-18

Family

ID=31582629

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP5768990U Expired - Lifetime JPH0754916Y2 (ja) 1990-05-30 1990-05-30 イオン注入装置

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPH0754916Y2 (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0517915U (ja) * 1991-08-09 1993-03-05 日新電機株式会社 イオン注入装置

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0517915U (ja) * 1991-08-09 1993-03-05 日新電機株式会社 イオン注入装置

Also Published As

Publication number Publication date
JPH0754916Y2 (ja) 1995-12-18

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR900019125A (ko) 이온주입장치 및 그 제어방법
JPS6161620U (ja)
JPS643699U (ja)
JPH0754916Y2 (ja) イオン注入装置
JPS6385665U (ja)
JPS63296831A (ja) 往復，旋回切替型の振とう機
JPS6244452Y2 (ja)
JPS62124755U (ja)
JPH041448U (ja)
JPS6220666U (ja)
JPS6258850U (ja)
JPS62154413U (ja)
GB1202192A (en) Improvements in and relating to electro-slag refining
JPH0388051U (ja)
JPH02126358U (ja)
JPS61129879U (ja)
JPH0312217U (ja)
JPS6419542U (ja)
JPS6354242U (ja)
FR2421759A2 (fr) Retroviseur exterieur a coupelle orientable de l'interieur du vehicule
JPS6279533U (ja)
JPS5993590U (ja) 遊戯乗物
JPS61202072U (ja)
JPH037458U (ja)
JPH0193122U (ja)