JPH02126358U - - Google Patents

Description

【図面の簡単な説明】

第１図は本案の一実施例を示す縦断面図、第２
図は試料ホールダの動作を示す断面図である。 １……試料室、２……支持体、３……Ｏリング
、４……試料ホールダ、５……移動軸、６……試
料台、７……筒、８……固定軸、９……対物レン
ズ、１０……試料、１１……Ｏリング、１２……
移動棒、１３……小ねじ、１４……小ねじ。

Claims (1)

1. 【実用新案登録請求の範囲】 １ 試料を保持した試料ホールダを電子線光軸と
   直交する方向から挿入し、真空シールで気密を保
   ちながら試料ホールダを軸心方向に移動させて試
   料の移動を行うようにした試料ホールダにおいて
   、試料ホールダが検鏡位置にセツトされた時、真
   空シール部から大気側を切り離せるような構造と
   し、視野選択の際、真空シール部から真空側のみ
   を移動させるようにしたことを特徴とする電子顕
   微鏡に於ける試料ホールダの構造。 ２ 前記試料ホールダ検鏡位置にセツトされた時
   、視野選択の範囲外では真空シール部から大気側
   を切り離せないようにした請求の範囲第１項に記
   載された電子顕微鏡に於ける試料ホールダの構造
   。