JPS6244452Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 本考案は電子顕微鏡において、試料を光軸と直
交する方向から挿入するタイプ（サイドエントリ
ータイプ）の試料移動装置に関する。

斯かるサイドエントリータイプにおける試料移
動装置としては第１図に示す様な構造のものが広
く使用されている。

図中１は電子顕微鏡の鏡筒、２は該鏡筒１の壁
に回転可能に挿入された傾斜体で、その軸心が電
子線光軸Ｚと交叉する様に置かれており、又該傾
斜体２の内側には球体軸受３を介して保持筒４が
同芯状に、しかも回動且つ移動可能に挿入されて
いる。該保持筒４の内側には試料ホルダー５が同
芯状に移動可能に挿入されている。該試料ホルダ
ー５の一端（真空側）は対物レンズの上磁極（図
示せず）と下磁極６との間に挿入され、又光軸Ｚ
と交叉する部分に試料７が装着されている。８は
前記保持筒４を球体軸受３を中心にして回動させ
ることにより試料７を試料ホルダー５の軸心と直
交する方向（Ｙ方向）に水平移動させるための押
しネジで、傾斜体２に螺合されている。又該押し
ネジ８の反対側にはこの押しネジと保持筒との係
合を常に維持するためのスプリング９が設けてあ
る。

１０は前記鏡筒１の壁に移動可能に貫通，保持
された駆動棒で、該駆動棒は前記傾斜体２の軸心
の延長線上におかれ、且つ光軸Ｚを中心にして試
料ホルダー５の鏡筒１への挿入位置と反対側に置
かれる。又該駆動棒の真空側は連結棒１１を介し
て前記試料ホルダー５の先端に連結されている。
この連結棒１１の試料ホルダー５と駆動棒１０と
の夫々の連結点１２及び１３部分において例えば
ピンポツト，ピポツト軸受が用いられ、連結棒１
１が試料ホルダー５及び駆動棒１０に対して夫々
自由に傾動できる様に係合されている。１４は該
連結棒１１を常に駆動棒１０側に押し付けるため
のスプリングで、試料交換のために試料ホルダー
５を図中右方向に移動して保持筒４からぬき出し
た際、連結棒１１が駆動棒１０から外れるのを防
止する役目を果し、該スプリング１４は駆動棒１
０に固定された案内筒１５に保持されている。

一方前記駆動棒１０の大気側には鏡筒１に回動
自在に保持されたテコ体１６の一端が係合されて
いる。前記テコ体１６の他端には鏡筒１に螺合さ
れた押しネジ１７が係合されている。従つて該押
しネジ１７を回して前後させると、テコ体１６を
介してその前後移動が駆動棒１０に伝達されるた
め、連結棒１１及び試料ホルダー５が軸心方向
（Ｘ方向）に移動し、試料７がＸ方向に移動す
る。その結果、押しネジ８と１７とを任意に操作
することにより試料７を任意方向に水平移動させ
ることができる。一方傾斜体２を回せば、球体軸
受３，保持筒４及び試料ホルダー５が回転するた
め、試料７を傾斜させることができる。尚図示し
ないが試料ホルダー５を球体軸受３を中心にして
紙面に対して垂直方向に首振運動させ、試料７を
光軸Ｚ方向に移動させるための押しネジが傾斜体
２に螺合されている。又前記保持筒４と試料ホル
ダー５及び鏡筒１と駆動棒１０との夫々の間には
キー及びキー溝が設けてあつて、試料ホルダー及
び駆動棒の回転は阻止してある。

斯かる従来装置においては、試料７をＹ方向に
移動せしめる際の試料ホルダー５の首振運動をス
ムーズに行うために、試料ホルダー５と駆動棒１
０との間に連結棒１１を介在せしめている。この
とき該連結棒１１には第２図に示す様に連結棒の
荷重をＷ及び連結点１３から連結棒の重心Ｃまで
の距離をＬとした場合、Ｗ・Ｌなるモーメントが
常に加えられており、そのため外部振動の影響を
受けやすい。

本考案は斯様な点に鑑み、耐振性の向上をはか
ることを目的とするもので、以下第３図に基づき
詳説する。

第３図は本考案の要部を示す拡大断面図であ
り、第１図及び第２図と同一番号は同一構成要素
を示す。

即ち、本実施例においては、連結棒１１の重心
部の外周部分に突起、例えば球体１８を取り付け
ると共に、該球体１８を受ける円錐状の受面１９
を駆動棒１０に形成したことに特徴がある。前記
球体１８の中心は連結棒１１の重心Ｃと一致して
いる。

２０は駆動棒１０に形成された空洞で、この空
洞は前記受面１９に連通している。この空洞内に
は連結棒１１の端部１１ａが駆動体と非接触で挿
入され、それによつてこの連結棒の動きが阻害さ
れないようになつている。

而して連結棒１１は試料ホルダー５のＹ方向或
は光軸Ｚ方向の移動に応じて球体１８の中心（連
結棒１１の重心Ｃ）を支点にして回動（傾動）す
る。

斯様に駆動棒に対する連結棒の回動中心を連結
棒の重心に一致する様に構成すれば、連結棒には
従来の様にモーメントは発生しない。この様に連
結棒にモーメントが生じないとモーメントが生ず
るものに比べて見掛上の剛性が著じるしく増し、
その結果耐振性が向上するため、外部振動に対し
て強い試料移動装置を提供することができる。

尚前述の実施例では一本の連結棒の重心部分に
球体を取り付けたが、連結棒は球体を中心にして
分割してもよい。この場合球体を中心にして左右
の連結棒におけるモーメントが夫々等しくなる様
に構成することは言うまでもない。

又、連結棒の駆動棒への係合にあたつては試料
ホルダーを光軸方向に首振運動させる関係上、球
体を使用したが、試料ホルダーを光軸方向に首振
運動させる必要がないときには、その軸心が光軸
Ｚと平行で、しかも連結棒の重心と交差するよう
に配置された円柱状の突起を連結棒に取り付ける
と共に、この突起を受けるための受面を駆動棒に
光軸と直交する平面内で断面Ｖ状に形成すること
により連結棒を光軸と直交した平面内で回動でき
るようにしても良い。

【図面の簡単な説明】

第１図は従来例を示す平面断面図、第２図は第
１図で示す連結棒に発生するモーメントを説明す
るための図、第３図は本考案の要部を拡大断面図
である。 １……鏡筒、５……試料ホルダー、７……試
料、１０……駆動棒、１１……連結棒、１４……
スプリング、１５……案内筒、１６……テコ体、
１８……球体、１９……受面、２０……空洞。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 軸心が電子線光軸と直交するようにおかれ且つ
   光軸と直交した平面内で鏡筒に対して回動可能に
   取り付けられた保持筒４と、該保持筒内に移動可
   能に挿入され且つ試料７を保持した試料ホルダー
   ５と、前記保持筒を回動させて試料を試料ホルダ
   ーの軸心と直交する方向に移動させるための手段
   と、光軸を中心にして前記試料ホルダーの挿入位
   置と反対側におかれた駆動体１０と、該駆動体と
   前記試料ホルダーとを連結するための連結棒１１
   と、前記試料を移動させるため前記駆動体を試料
   ホルダーの軸心方向に移動させる手段とを備え、
   前記連結棒の重心部の外周部分に突起を設け、前
   記駆動体に該突起を受ける受面１９を形成し、該
   受面に連通する空洞２０を前記駆動体に形成し、
   前記突起を前記受け面に押圧させて前記連結棒が
   駆動体から外れるのを防止するための弾性体１４
   を該連結棒と駆動体との間に介在させ、前記連結
   棒の一端を前記試料ホルダーの先端に回動可能に
   係合すると共に、他端１１ａを前記空洞内に前記
   駆動体と非接触で配置するように構成したことを
   特徴とする電子顕微鏡等における試料移動装置。