JPH04170511A - オシレートミラー装置 - Google Patents
オシレートミラー装置Info
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- JPH04170511A JPH04170511A JP2296477A JP29647790A JPH04170511A JP H04170511 A JPH04170511 A JP H04170511A JP 2296477 A JP2296477 A JP 2296477A JP 29647790 A JP29647790 A JP 29647790A JP H04170511 A JPH04170511 A JP H04170511A
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- Japan
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- mirror
- vibrator
- fixed
- mirror device
- axis
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-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B06—GENERATING OR TRANSMITTING MECHANICAL VIBRATIONS IN GENERAL
- B06B—METHODS OR APPARATUS FOR GENERATING OR TRANSMITTING MECHANICAL VIBRATIONS OF INFRASONIC, SONIC, OR ULTRASONIC FREQUENCY, e.g. FOR PERFORMING MECHANICAL WORK IN GENERAL
- B06B1/00—Methods or apparatus for generating mechanical vibrations of infrasonic, sonic, or ultrasonic frequency
- B06B1/02—Methods or apparatus for generating mechanical vibrations of infrasonic, sonic, or ultrasonic frequency making use of electrical energy
- B06B1/04—Methods or apparatus for generating mechanical vibrations of infrasonic, sonic, or ultrasonic frequency making use of electrical energy operating with electromagnetism
- B06B1/045—Methods or apparatus for generating mechanical vibrations of infrasonic, sonic, or ultrasonic frequency making use of electrical energy operating with electromagnetism using vibrating magnet, armature or coil system
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B7/00—Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements
- G02B7/18—Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements for prisms; for mirrors
- G02B7/182—Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements for prisms; for mirrors for mirrors
- G02B7/1821—Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements for prisms; for mirrors for mirrors for rotating or oscillating mirrors
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- Electromagnetism (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
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- General Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Apparatuses For Generation Of Mechanical Vibrations (AREA)
- Laser Beam Processing (AREA)
- Mechanical Optical Scanning Systems (AREA)
- Reciprocating, Oscillating Or Vibrating Motors (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野コ
本発明は、オシレートミラー装置に係り、更に詳細には
レーザ加工装置の如き加工装置に使用されるオシレート
ミラー装置に係る。
レーザ加工装置の如き加工装置に使用されるオシレート
ミラー装置に係る。
［従来の技術］
例えば特開昭５８−１８４０８０号公報に記載されてい
る如く、レーザ加工装置等に使用されるオシレートミラ
ー装置は、従来より一般に、ミラーと、ミラーに固定さ
れ互いに共働して揺動軸線を郭定する一対の回動輪と、
回動軸を回動可能に支持する支持手段と、揺動軸線より
離れた位置にてミラーに係合し揺動軸線に対しねじれの
関係をなす直線に沿ってミラーを揺動軸線の周りに加振
する一つの加振手段とを有している。かかるオシレート
ミラー装置に於ては、ミラーが加振手段によって加振さ
れることにより揺動軸線の周りに往復揺動せしめられ、
これによりミラーに入射された光が反射されると共にオ
シレートされる。
る如く、レーザ加工装置等に使用されるオシレートミラ
ー装置は、従来より一般に、ミラーと、ミラーに固定さ
れ互いに共働して揺動軸線を郭定する一対の回動輪と、
回動軸を回動可能に支持する支持手段と、揺動軸線より
離れた位置にてミラーに係合し揺動軸線に対しねじれの
関係をなす直線に沿ってミラーを揺動軸線の周りに加振
する一つの加振手段とを有している。かかるオシレート
ミラー装置に於ては、ミラーが加振手段によって加振さ
れることにより揺動軸線の周りに往復揺動せしめられ、
これによりミラーに入射された光が反射されると共にオ
シレートされる。
［発明が解決しようとする課題］
しかし上述の如きオシレートミラー装置に於ては、ミラ
ーは揺動軸線の一方の側に於てのみ加振手段によって加
振されることにより揺動軸線の周りに往復揺動せしめら
れるので、ミラーに固定された回動輪は揺動軸線に垂直
な応力及び曲げ応力を繰り返し受け、そのため回動輪及
びこれを支持する支持手段の軸受部が比較的早期に摩損
し、その結果光が適正にオシレートされなくなったりオ
シレートミラー装置自体が比較的大きく振動し易くなり
、また加振手段によりミラーに与えられたエネルギの一
部が回動輪及びその軸受部に於て消費されるため、高い
振動数にて効率よく光をオシレートさせることが困難で
ある。
ーは揺動軸線の一方の側に於てのみ加振手段によって加
振されることにより揺動軸線の周りに往復揺動せしめら
れるので、ミラーに固定された回動輪は揺動軸線に垂直
な応力及び曲げ応力を繰り返し受け、そのため回動輪及
びこれを支持する支持手段の軸受部が比較的早期に摩損
し、その結果光が適正にオシレートされなくなったりオ
シレートミラー装置自体が比較的大きく振動し易くなり
、また加振手段によりミラーに与えられたエネルギの一
部が回動輪及びその軸受部に於て消費されるため、高い
振動数にて効率よく光をオシレートさせることが困難で
ある。
本発明は、従来のオシレートミラー装置に於ける上述の
如き問題に鑑み、耐久性に優れ、オシレートミラー装置
自体の振動か小さく、高い振動数にて効率よく光をオシ
レートすることができるよう改良されたオシレートミラ
ー装置を提供することを目的としている。
如き問題に鑑み、耐久性に優れ、オシレートミラー装置
自体の振動か小さく、高い振動数にて効率よく光をオシ
レートすることができるよう改良されたオシレートミラ
ー装置を提供することを目的としている。
［課題を解決するための手段］
上述の如き目的は、本発明によれば、ミラーと、前記ミ
ラーを揺動軸線の周りに揺動可能に支持する支持手段と
、前記揺動軸線の両側にて前記ミラーに係合し相互に逆
位相にて前記ミラーを前記揺動軸線の周りに加振する一
対の加振手段とを有するオシレートミラー装置によって
達成される。
ラーを揺動軸線の周りに揺動可能に支持する支持手段と
、前記揺動軸線の両側にて前記ミラーに係合し相互に逆
位相にて前記ミラーを前記揺動軸線の周りに加振する一
対の加振手段とを有するオシレートミラー装置によって
達成される。
［発明の作用］
上述の如き構成によれば、ミラーは相互に逆位相にて加
振する一対の加振手段により揺動軸線の両側にて揺動軸
線の周りに加振され、これにより支持手段のミラーを支
持する部分に作用する応力及び該部分により消費される
エネルギが低減されるので、オシレートミラー装置の耐
久性か改善されると共にオシレートミラー装置自体の振
動が低減され、またオシレートミラー装置を従来に比し
て高い振動数にて効率よく作動させることか可能になる
。
振する一対の加振手段により揺動軸線の両側にて揺動軸
線の周りに加振され、これにより支持手段のミラーを支
持する部分に作用する応力及び該部分により消費される
エネルギが低減されるので、オシレートミラー装置の耐
久性か改善されると共にオシレートミラー装置自体の振
動が低減され、またオシレートミラー装置を従来に比し
て高い振動数にて効率よく作動させることか可能になる
。
以下に添付の図を参照して本発明を実施例について詳細
に説明する。
に説明する。
［実施例コ
第１図及び第２図はそれぞれ本発明によるオシレートミ
ラー装置の一つの実施例を示す正面図及び側面図、第３
図及び第４図はそれぞれ第１図及び第２図に示された実
施例に組込まれた一方の加振器をそのシャフト等を除去
した状態にて示す背面図及び縦断面図である。
ラー装置の一つの実施例を示す正面図及び側面図、第３
図及び第４図はそれぞれ第１図及び第２図に示された実
施例に組込まれた一方の加振器をそのシャフト等を除去
した状態にて示す背面図及び縦断面図である。
これらの図に於て、１０は中央にレーザビームの如き光
が照射される円板形のミラーを示しており、１２はミラ
ーホールダを示している。ミラーホールダ１２はその正
面より見て垂直方向に延在する一対の上下のアーム部と
水平方向に延在する一対の左右のアーム部とを有する実
質的に十字形をなし、ミラーはホールダの上下のアーム
部の先端にボルトにより固定された板状のミラー押え１
４及び１６によりホールダに固定されている。
が照射される円板形のミラーを示しており、１２はミラ
ーホールダを示している。ミラーホールダ１２はその正
面より見て垂直方向に延在する一対の上下のアーム部と
水平方向に延在する一対の左右のアーム部とを有する実
質的に十字形をなし、ミラーはホールダの上下のアーム
部の先端にボルトにより固定された板状のミラー押え１
４及び１６によりホールダに固定されている。
ホールダ１２の左右のアーム部の先端にはそれ自身周知
の十字ばね１８及び２０の一端が固定されており、これ
らのばねの他端はオシレートミラー装置の正面より見て
実質的に「ヨ」の字をなすフレーム２２の中央フレーム
部２２ａに固定された接続板２４及び２６とこれらの接
続板に固定されたばね押え２８及び３０との間に固定さ
れている。十字ばね１８及び２０は、それらの軸線が互
いに整合し且第１図に示されている如くオシレートミラ
ー装置の正面より見てミラー１０の中心を通るよう配設
されており、これによりミラー１０及びホールダ１２は
二つの十字ばねの軸線と同軸の揺動軸線３２の周りにフ
レーム２２に対し相対的に揺動し得るようになっている
。またミラーホールダ１２には冷却水通路３４が設けら
れており、ホース３６より通路３４を経てホース３８へ
冷却水か流れることにより、ミラー及びホールダが冷却
されるようになっている。
の十字ばね１８及び２０の一端が固定されており、これ
らのばねの他端はオシレートミラー装置の正面より見て
実質的に「ヨ」の字をなすフレーム２２の中央フレーム
部２２ａに固定された接続板２４及び２６とこれらの接
続板に固定されたばね押え２８及び３０との間に固定さ
れている。十字ばね１８及び２０は、それらの軸線が互
いに整合し且第１図に示されている如くオシレートミラ
ー装置の正面より見てミラー１０の中心を通るよう配設
されており、これによりミラー１０及びホールダ１２は
二つの十字ばねの軸線と同軸の揺動軸線３２の周りにフ
レーム２２に対し相対的に揺動し得るようになっている
。またミラーホールダ１２には冷却水通路３４が設けら
れており、ホース３６より通路３４を経てホース３８へ
冷却水か流れることにより、ミラー及びホールダが冷却
されるようになっている。
かくしてミラーホールダ１２、十字ばね１８及び２０、
フレーム２２等はミラー１０を揺動軸線３２の周りに揺
動可能に支持する支持手段を構成している。尚十字ばね
１８及び２０は一端にてミラーホールダ１２又は接続板
２４．２６に固定され他端にて接続板又はホールダによ
り軸受を介して回転可能に支持された剛固な軸に置換え
られてもよい。
フレーム２２等はミラー１０を揺動軸線３２の周りに揺
動可能に支持する支持手段を構成している。尚十字ばね
１８及び２０は一端にてミラーホールダ１２又は接続板
２４．２６に固定され他端にて接続板又はホールダによ
り軸受を介して回転可能に支持された剛固な軸に置換え
られてもよい。
ミラー１０及びホールダ１２の背後には一対の加振器４
０及び４′２がフレーム２２により固定されている。加
振器４０及び４２は各々の軸線４１Ｕ及び４１Ｌに沿っ
て延在するシャフト４４Ｕ及び４４Ｌを有し、これらの
シャフトの一端はミラー押え１４及び１６の側とは反対
の側にてミラーホールダ１２の上下アーム部の先端にね
じ込みにより連結固定されている。第２図に示されてい
る如く、これらのシャフトの軸線４１Ｕ及び４１Ｌは揺
動軸線３２より上下方向に等距離隔置されており、揺動
軸線３２に対しねじれの関係をなすよう水平に且互いに
平行に延在している。
０及び４′２がフレーム２２により固定されている。加
振器４０及び４２は各々の軸線４１Ｕ及び４１Ｌに沿っ
て延在するシャフト４４Ｕ及び４４Ｌを有し、これらの
シャフトの一端はミラー押え１４及び１６の側とは反対
の側にてミラーホールダ１２の上下アーム部の先端にね
じ込みにより連結固定されている。第２図に示されてい
る如く、これらのシャフトの軸線４１Ｕ及び４１Ｌは揺
動軸線３２より上下方向に等距離隔置されており、揺動
軸線３２に対しねじれの関係をなすよう水平に且互いに
平行に延在している。
第３図及び第４図に示されている如く、加振器４０は断
面ヨーク形のハウジング４８Ｕと、一端にてハウジング
の端壁に固定された永久磁石５０Ｕと、ボルト５１Ｕに
よりハウジングの開口端に固定され永久磁石の他端を遊
嵌状態にて受入れるエンドプレート５２Ｕとを有してい
る。エンドプレート５２Ｕはそれにボルト５３Ｕによっ
て固定された支持リング５４Ｕと、該リングに当接し周
方向に均等に隔置された三つのダイヤフラム５６Ｕと、
一端にてダイヤフラム５６Ｕに当接し周方向に均等に隔
置された三つの円筒形のスペーサ５８Ｕと、ダイヤフラ
ム５６Ｕに整合して配置されスペーサ５８Ｕによりダイ
ヤフラム５６Ｕより軸線方向に隔置されたダイヤフラム
６０Ｕとを担持している。これらのリング５４Ｕ１スペ
ーサ５８Ｕ及びダイヤフラム５６Ｕ、６０Ｕは軸線４１
Ｕに整合されており、スペーサ５８Ｕ及びダイヤフラム
５６Ｕ、６０Ｕはボルト５９Ｕによりリング５４Ｕに固
定されている。またこれらのリング、スペーサ及びダイ
ヤフラムの内側には振動子６２Ｕがリング及びスペーサ
に対し相対的に軸線４１Ｕに沿って往復動可能に配置さ
れている。
面ヨーク形のハウジング４８Ｕと、一端にてハウジング
の端壁に固定された永久磁石５０Ｕと、ボルト５１Ｕに
よりハウジングの開口端に固定され永久磁石の他端を遊
嵌状態にて受入れるエンドプレート５２Ｕとを有してい
る。エンドプレート５２Ｕはそれにボルト５３Ｕによっ
て固定された支持リング５４Ｕと、該リングに当接し周
方向に均等に隔置された三つのダイヤフラム５６Ｕと、
一端にてダイヤフラム５６Ｕに当接し周方向に均等に隔
置された三つの円筒形のスペーサ５８Ｕと、ダイヤフラ
ム５６Ｕに整合して配置されスペーサ５８Ｕによりダイ
ヤフラム５６Ｕより軸線方向に隔置されたダイヤフラム
６０Ｕとを担持している。これらのリング５４Ｕ１スペ
ーサ５８Ｕ及びダイヤフラム５６Ｕ、６０Ｕは軸線４１
Ｕに整合されており、スペーサ５８Ｕ及びダイヤフラム
５６Ｕ、６０Ｕはボルト５９Ｕによりリング５４Ｕに固
定されている。またこれらのリング、スペーサ及びダイ
ヤフラムの内側には振動子６２Ｕがリング及びスペーサ
に対し相対的に軸線４１Ｕに沿って往復動可能に配置さ
れている。
第３図及び第５図に示されている如く、各ダイヤフラム
６０Ｕは実質的に円弧状をなす板状の可撓性材料にて形
成されており、その中央部に径方向内方へ突出する突部
５ＱＵａを有している。また各ダイヤフラム６０Ｕは実
質的にその幅方向中央に設けられ突部６０Ｕａに於て径
方向内方へ変位されたスリット６０Ｕｂを有している。
６０Ｕは実質的に円弧状をなす板状の可撓性材料にて形
成されており、その中央部に径方向内方へ突出する突部
５ＱＵａを有している。また各ダイヤフラム６０Ｕは実
質的にその幅方向中央に設けられ突部６０Ｕａに於て径
方向内方へ変位されたスリット６０Ｕｂを有している。
各ダイヤフラム６０Ｕはその突部６０Ｕａが振動子６２
Ｕの円筒状の外周面に接着により固定されたスリーブ６
４Ｕとリング６６Ｕとの間に挾持されることにより振動
子に固定されている。各ダイヤフラム５６Ｕもダイヤフ
ラム６０Ｕと同様に形成されており、その突部が振動子
６２Ｕの円筒状の外周面に接着により固定されたスリー
ブ６４Ｕと振動子６２Ｕの肩部との間に挾持されること
により振動子に固定されている。第４図に示されている
如く、振動子６２Ｕにはそれが良好に振動し得るよう加
振器の内外を連通接続する連通孔６２Ｕａが設けられて
いる。
Ｕの円筒状の外周面に接着により固定されたスリーブ６
４Ｕとリング６６Ｕとの間に挾持されることにより振動
子に固定されている。各ダイヤフラム５６Ｕもダイヤフ
ラム６０Ｕと同様に形成されており、その突部が振動子
６２Ｕの円筒状の外周面に接着により固定されたスリー
ブ６４Ｕと振動子６２Ｕの肩部との間に挾持されること
により振動子に固定されている。第４図に示されている
如く、振動子６２Ｕにはそれが良好に振動し得るよう加
振器の内外を連通接続する連通孔６２Ｕａが設けられて
いる。
振動子６２Ｕの内端には円筒形の駆動コイル６８Ｕが固
定されており、該コイルは永久磁石５０Ｕとエンドプレ
ート５２Ｕとの間にこれらより僅かに隔置された状態に
て軸線に沿って延在している。駆動コイル６８Ｕはそれ
に交流電流が通電されることにより励磁されると、永久
磁石５０Ｕと共働してハウジング４８Ｕに対し相対的に
振動子６２Ｕを軸線４１Ｕに沿って往復動させる作用を
なす。
定されており、該コイルは永久磁石５０Ｕとエンドプレ
ート５２Ｕとの間にこれらより僅かに隔置された状態に
て軸線に沿って延在している。駆動コイル６８Ｕはそれ
に交流電流が通電されることにより励磁されると、永久
磁石５０Ｕと共働してハウジング４８Ｕに対し相対的に
振動子６２Ｕを軸線４１Ｕに沿って往復動させる作用を
なす。
ハウジング４８Ｕの端壁、永久磁石５０Ｕ１振動子６２
Ｕにはそれぞれ軸線４１Ｕに沿って延在しシャツ）４４
Ｕを往復動可能に受入れる孔４９Ｕ、５１Ｕａ、６３Ｕ
が設けられている。振動子６２Ｕの孔６３Ｕにはフラン
ジを有するスリーブ７０Ｕが第４図には示されていない
ビスにより固定されている。スリーブ７０Ｕにはシャフ
ト４４Ｕの他端が挿通され、その先端に螺合するナツト
７２Ｕによりシャフト４４Ｕの他端がスリーブ７０Ｕ及
び振動子６２Ｕに固定されている。永久磁石５０Ｕの孔
５１Ｕａの他端にはばね座部材７４Ｕが嵌込まれており
、該ばね座部材と振動子６２Ｕとの間には圧縮コイルば
ね７６Ｕが弾装されている。
Ｕにはそれぞれ軸線４１Ｕに沿って延在しシャツ）４４
Ｕを往復動可能に受入れる孔４９Ｕ、５１Ｕａ、６３Ｕ
が設けられている。振動子６２Ｕの孔６３Ｕにはフラン
ジを有するスリーブ７０Ｕが第４図には示されていない
ビスにより固定されている。スリーブ７０Ｕにはシャフ
ト４４Ｕの他端が挿通され、その先端に螺合するナツト
７２Ｕによりシャフト４４Ｕの他端がスリーブ７０Ｕ及
び振動子６２Ｕに固定されている。永久磁石５０Ｕの孔
５１Ｕａの他端にはばね座部材７４Ｕが嵌込まれており
、該ばね座部材と振動子６２Ｕとの間には圧縮コイルば
ね７６Ｕが弾装されている。
第２図及び第６図に示されている如く、ハウジング４８
Ｕの端壁に設けられた孔４９Ｕは雌ねじを有し、該孔に
はシャフト４４Ｕを遊嵌状態にて受入れる中空のボルト
７８Ｕがねじ込まれている。
Ｕの端壁に設けられた孔４９Ｕは雌ねじを有し、該孔に
はシャフト４４Ｕを遊嵌状態にて受入れる中空のボルト
７８Ｕがねじ込まれている。
ボルト７８Ｕはこれに螺合するナツト８０Ｕによりハウ
ジング４８Ｕの端壁に固定されている。ミラーホールダ
１２にはこれに隣接した位置にてシャフト４４Ｕに螺合
するナツト８２Ｕによりばね座部材８４Ｕが固定されて
おり、ばね座部材８４Ｕとボルト７８Ｕのヘッド部との
間には圧縮コイルばね８６Ｕが弾装されている。
ジング４８Ｕの端壁に固定されている。ミラーホールダ
１２にはこれに隣接した位置にてシャフト４４Ｕに螺合
するナツト８２Ｕによりばね座部材８４Ｕが固定されて
おり、ばね座部材８４Ｕとボルト７８Ｕのヘッド部との
間には圧縮コイルばね８６Ｕが弾装されている。
尚加振器４２も加振器４０と同様に構成されており、第
１図及び第２図に於ては第３図及び第４図に示された加
振器４０の構成部材に対応する加振器４２の構成部材に
はＵの記号に代えてＬの記号か添えられている点を除き
同一の符号か付されている。
１図及び第２図に於ては第３図及び第４図に示された加
振器４０の構成部材に対応する加振器４２の構成部材に
はＵの記号に代えてＬの記号か添えられている点を除き
同一の符号か付されている。
第７図は第１図乃至第６図に示された実施例の電気系統
を示す回路図である。図示の実施例に於ては、駆動コイ
ル６８Ｕ及び６８Ｌは互いに逆方向に電流が流れること
により互いに逆の極性にて励磁されるよう直列に接続さ
れているか、互いに逆の極性にて励磁される限り並列に
接続されていてもよい。これらの駆動コイルには駆動電
源９０より交流電流が供給されるようになっており、そ
の交流電流の周波数は発振器９２により制御されるよう
になっている。尚第２図に示されている如く、エンドプ
レート５２Ｕには可動部分の振幅を検出する振幅センサ
９４がブラケット９６を介して固定されており、該振幅
センサの検出結果は図には示されていない表示パネルに
表示されるようになっている。
を示す回路図である。図示の実施例に於ては、駆動コイ
ル６８Ｕ及び６８Ｌは互いに逆方向に電流が流れること
により互いに逆の極性にて励磁されるよう直列に接続さ
れているか、互いに逆の極性にて励磁される限り並列に
接続されていてもよい。これらの駆動コイルには駆動電
源９０より交流電流が供給されるようになっており、そ
の交流電流の周波数は発振器９２により制御されるよう
になっている。尚第２図に示されている如く、エンドプ
レート５２Ｕには可動部分の振幅を検出する振幅センサ
９４がブラケット９６を介して固定されており、該振幅
センサの検出結果は図には示されていない表示パネルに
表示されるようになっている。
作動に於ては、図には示されていない電源スィッチが閉
成されると、発振器９２により設定された周波数にて駆
動電源９０により駆動コイル６８Ｕ及び６８Ｌへ交流電
流か供給され、これによりこれらのコイルか励磁される
。この場合駆動コイル６８Ｕ及び６８Ｌは第７図に示さ
れている如く互いに逆方向に電流か流れるよう直列に接
続されているので、これらのコイルは常に互いに逆の極
性にて励磁される。
成されると、発振器９２により設定された周波数にて駆
動電源９０により駆動コイル６８Ｕ及び６８Ｌへ交流電
流か供給され、これによりこれらのコイルか励磁される
。この場合駆動コイル６８Ｕ及び６８Ｌは第７図に示さ
れている如く互いに逆方向に電流か流れるよう直列に接
続されているので、これらのコイルは常に互いに逆の極
性にて励磁される。
かくして駆動コイルか励磁されることにより、加振器４
０及び４２のシャフト４４Ｕ及び４４Ｌは第２図で見て
左右の方向に互いに逆方向に繰返し往復動せしめられ、
これによりミラー１０及びミラーホールダ１２か十字ば
ね１８及び２０の周りに、即ち揺動軸線３２の周りに繰
返し往復揺動せしめられ、ミラーの中央に照射された光
が第２図で見て上下方向にオシレートされる。
０及び４２のシャフト４４Ｕ及び４４Ｌは第２図で見て
左右の方向に互いに逆方向に繰返し往復動せしめられ、
これによりミラー１０及びミラーホールダ１２か十字ば
ね１８及び２０の周りに、即ち揺動軸線３２の周りに繰
返し往復揺動せしめられ、ミラーの中央に照射された光
が第２図で見て上下方向にオシレートされる。
尚ミラー１０、ミラーホールダ１２、駆動コイル、振動
子、シャフト、ダイヤフラム等の可動部材の慣性重量及
び慣性モーメントを調整したり、ボルト７８Ｕ及び７８
Ｌのねじ込み量を調節することによってばね８６Ｕ及び
８６Ｌの押圧力を調整することにより、可動部分の共振
振動数を対応する加振器の駆動周波数に一致させること
が好ましい。
子、シャフト、ダイヤフラム等の可動部材の慣性重量及
び慣性モーメントを調整したり、ボルト７８Ｕ及び７８
Ｌのねじ込み量を調節することによってばね８６Ｕ及び
８６Ｌの押圧力を調整することにより、可動部分の共振
振動数を対応する加振器の駆動周波数に一致させること
が好ましい。
第８図は図示の実施例に於てばね８６Ｕ及び８６Ｌの押
圧力を調整することにより可動部分の共振周波数が２０
０ Ｈｚに設定され、加振器の駆動周波数、従って発振
器９２の発振周波数が２００Ｈｚに設定された場合に於
ける振動数と振幅センサ９４により検出された振幅との
間の関係を示すグラフである。第８図より、可動部分の
共振振動数か加振器の駆動周波数に一致するよう調整さ
れることにより、振動数が共振振動数である場合に可動
部分の振幅が最大になり、これによりオシレートミラー
装置を最も効率的に作動させることができることが解る
。
圧力を調整することにより可動部分の共振周波数が２０
０ Ｈｚに設定され、加振器の駆動周波数、従って発振
器９２の発振周波数が２００Ｈｚに設定された場合に於
ける振動数と振幅センサ９４により検出された振幅との
間の関係を示すグラフである。第８図より、可動部分の
共振振動数か加振器の駆動周波数に一致するよう調整さ
れることにより、振動数が共振振動数である場合に可動
部分の振幅が最大になり、これによりオシレートミラー
装置を最も効率的に作動させることができることが解る
。
以上に於ては本発明を特定の実施例について詳細に説明
したが、本発明はかかる実施例に限定されるものではな
く、本発明の範囲内にて他の種々の実施例が可能である
ことは当業者にとって明らかであろう。
したが、本発明はかかる実施例に限定されるものではな
く、本発明の範囲内にて他の種々の実施例が可能である
ことは当業者にとって明らかであろう。
［発明の効果］
以上の説明より明らかである如く、本発明によれば、ミ
ラーは相互に逆位相にて加振する一対の加振手段により
揺動軸線の両側にて揺動軸線の周りに加振され、これに
より支持手段のミラーを支持する部分に作用する応力及
び該部分により消費されるエネルギが低減されるので、
オシレートミラー装置の耐久性を改善することができ、
オシレートミラー装置を従来に比して高い振動数にて効
率よく作動させることができ、更にはオシレートミラー
装置自体の振動を低減してオシレートミラー装置が組込
まれた一加工装置の他の部分に伝達される振動や周囲環
境に発散される騒音を低減することかできる。
ラーは相互に逆位相にて加振する一対の加振手段により
揺動軸線の両側にて揺動軸線の周りに加振され、これに
より支持手段のミラーを支持する部分に作用する応力及
び該部分により消費されるエネルギが低減されるので、
オシレートミラー装置の耐久性を改善することができ、
オシレートミラー装置を従来に比して高い振動数にて効
率よく作動させることができ、更にはオシレートミラー
装置自体の振動を低減してオシレートミラー装置が組込
まれた一加工装置の他の部分に伝達される振動や周囲環
境に発散される騒音を低減することかできる。
第１図及び第２図はそれぞれ本発明によるオシレートミ
ラー装置の一つの実施例を示す正面図及び側面図、第３
図及び第４図はそれぞれ第１図及び第２図に示された実
施例に組込まれた一方の加振器をそのシャフト等を除去
した状態にて示す背面図及び縦断面図、第５図は第３図
に示された加振器の一つのダイヤフラムを拡大して示す
部分図、第６図は第２図に示された加振器の一端を拡大
して示す部分断面図、第７図は第１図乃至第６図に示さ
れた実施例の電気系統を示す回路図、第８図はオシレー
トミラー装置の具体的実施例に於ける加振器の振動数と
振幅との間の関係を示すグラフである。 １０・・・ミラー、１２・・・ミラーホールダ、１８．
２０・・・十字ばね、３４・・・冷却水通路、４０．４
２・・・加振器、４４Ｕ、４４Ｌ・・・シャフト、５０
Ｕ・・・永久磁石、７８Ｕ、７８Ｌ・・・ボルト、８６
Ｕ、８６Ｌ・・・圧縮コイルばね、９０・・・駆動電源
、９２・・・発振器、９４・・・振幅センサ 特 許 出 願 人 トヨタ自動車株式会社代
理 人 弁理士 明 石 昌
毅ｓ １ 図 １２・・ミラーホールダ １８．２０・・十字ばね ４０．４２・・加振器 第 ３ 図 ４０・・加振器 ５４ｕ・・支持リンク ５８ｕ・・スペーサ ６０Ｕ・・ダイヤフラム ６２Ｕ・・振動子 第４ 図 ４０・・加振器 ５０Ｕ・ ホ久磁石 ５４ｕ・・支持リング ５６Ｕ・・ダイヤフラム ５８Ｕ・・スペーサ ６０Ｕ・・ダイヤフラム ６２ＬＩ・・振動子 凍 ５ 図 兼 ６ 図 １０・・ ミラー １２・・ ミラーホールダ ４４ｕ・・シャフト 鷹７ 図 振動数（囮
ラー装置の一つの実施例を示す正面図及び側面図、第３
図及び第４図はそれぞれ第１図及び第２図に示された実
施例に組込まれた一方の加振器をそのシャフト等を除去
した状態にて示す背面図及び縦断面図、第５図は第３図
に示された加振器の一つのダイヤフラムを拡大して示す
部分図、第６図は第２図に示された加振器の一端を拡大
して示す部分断面図、第７図は第１図乃至第６図に示さ
れた実施例の電気系統を示す回路図、第８図はオシレー
トミラー装置の具体的実施例に於ける加振器の振動数と
振幅との間の関係を示すグラフである。 １０・・・ミラー、１２・・・ミラーホールダ、１８．
２０・・・十字ばね、３４・・・冷却水通路、４０．４
２・・・加振器、４４Ｕ、４４Ｌ・・・シャフト、５０
Ｕ・・・永久磁石、７８Ｕ、７８Ｌ・・・ボルト、８６
Ｕ、８６Ｌ・・・圧縮コイルばね、９０・・・駆動電源
、９２・・・発振器、９４・・・振幅センサ 特 許 出 願 人 トヨタ自動車株式会社代
理 人 弁理士 明 石 昌
毅ｓ １ 図 １２・・ミラーホールダ １８．２０・・十字ばね ４０．４２・・加振器 第 ３ 図 ４０・・加振器 ５４ｕ・・支持リンク ５８ｕ・・スペーサ ６０Ｕ・・ダイヤフラム ６２Ｕ・・振動子 第４ 図 ４０・・加振器 ５０Ｕ・ ホ久磁石 ５４ｕ・・支持リング ５６Ｕ・・ダイヤフラム ５８Ｕ・・スペーサ ６０Ｕ・・ダイヤフラム ６２ＬＩ・・振動子 凍 ５ 図 兼 ６ 図 １０・・ ミラー １２・・ ミラーホールダ ４４ｕ・・シャフト 鷹７ 図 振動数（囮
Claims (1)
- ミラーと、前記ミラーを揺動軸線の周りに揺動可能に支
持する支持手段と、前記揺動軸線の両側にて前記ミラー
に係合し相互に逆位相にて前記ミラーを前記揺動軸線の
周りに加振する一対の加振手段とを有するオシレートミ
ラー装置。
Priority Applications (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2296477A JP2986534B2 (ja) | 1990-11-01 | 1990-11-01 | オシレートミラー装置 |
| US07/782,342 US5172261A (en) | 1990-11-01 | 1991-10-24 | Oscillatory mirror device with two exciting means |
| DE4136035A DE4136035C2 (de) | 1990-11-01 | 1991-10-31 | Schwingspiegelvorrichtung |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2296477A JP2986534B2 (ja) | 1990-11-01 | 1990-11-01 | オシレートミラー装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04170511A true JPH04170511A (ja) | 1992-06-18 |
| JP2986534B2 JP2986534B2 (ja) | 1999-12-06 |
Family
ID=17834064
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2296477A Expired - Lifetime JP2986534B2 (ja) | 1990-11-01 | 1990-11-01 | オシレートミラー装置 |
Country Status (3)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5172261A (ja) |
| JP (1) | JP2986534B2 (ja) |
| DE (1) | DE4136035C2 (ja) |
Families Citing this family (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6742709B2 (en) | 1990-09-11 | 2004-06-01 | Metrologic Instruments, Inc. | Bar code symbol reading system employing electronically-controlled raster-type laser scanner for reading bar code symbols during hands-on and hands-free modes of operation |
| US6874689B2 (en) * | 1990-09-11 | 2005-04-05 | Metrologic Instruments, Inc. | Laser beam scanning device employing a scanning element having a flexible photo-etched gap region disposed between an anchored base portion and a light beam deflecting portion having a natural frequency of oscillation tuned by the physical dimensions of said flexible photo-etched gap region and forcibly oscillated about a fixed pivot point at an electronically-controlled frequency of oscillation substantially different from said natural resonant frequency of oscillation |
| JP2829192B2 (ja) * | 1992-05-15 | 1998-11-25 | 住友電気工業株式会社 | レ−ザビ−ムスキャナ |
| US5305152A (en) * | 1993-06-09 | 1994-04-19 | The United States Of America As Represented By The United States Department Of Energy | Evacuated optical structure comprising optical bench mounted to sidewall of vacuum chamber in a manner which inhibits deflection and rotation of the optical bench |
| US7124950B2 (en) * | 1997-09-16 | 2006-10-24 | Metrologic Instruments, Inc. | Bar code symbol reading system employing electronically-controlled raster-type laser scanner for reading bar code symbols during on hands-on and hands-free modes of operation |
| US6094288A (en) * | 1998-12-08 | 2000-07-25 | Psc Scanning, Inc. | Scanner dither actuator with mirror mounting elements molded into spring |
| TW508653B (en) | 2000-03-24 | 2002-11-01 | Asml Netherlands Bv | Lithographic projection apparatus and integrated circuit manufacturing method |
| US6411426B1 (en) * | 2000-04-25 | 2002-06-25 | Asml, Us, Inc. | Apparatus, system, and method for active compensation of aberrations in an optical system |
Family Cites Families (11)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US1438974A (en) * | 1920-11-13 | 1922-12-19 | Western Electric Co | Piezo-electrical voltage indicator |
| US3532408A (en) * | 1968-05-20 | 1970-10-06 | Bulova Watch Co Inc | Resonant torsional oscillators |
| US3758199A (en) * | 1971-11-22 | 1973-09-11 | Sperry Rand Corp | Piezoelectrically actuated light deflector |
| JPS58184080A (ja) * | 1982-04-21 | 1983-10-27 | Toshiba Corp | レ−ザ加工装置 |
| US4632501A (en) * | 1984-02-16 | 1986-12-30 | General Scanning, Inc. | Resonant electromechanical oscillator |
| JPS60177316A (ja) * | 1984-02-24 | 1985-09-11 | Ngk Spark Plug Co Ltd | 光偏向装置 |
| DE3542154A1 (de) * | 1984-12-01 | 1986-07-10 | Ngk Spark Plug Co | Lichtumlenkvorrichtung |
| US4659932A (en) * | 1985-04-29 | 1987-04-21 | Texas Instruments Incorporated | Apparatus for interlacing infrared energy |
| US4690486A (en) * | 1985-04-29 | 1987-09-01 | Texas Instruments Incorporated | Four position interlacing apparatus |
| US4732440A (en) * | 1985-10-22 | 1988-03-22 | Gadhok Jagmohan S | Self resonant scanning device |
| JP2663543B2 (ja) * | 1988-08-20 | 1997-10-15 | 三菱電機株式会社 | 副鏡振動装置 |
-
1990
- 1990-11-01 JP JP2296477A patent/JP2986534B2/ja not_active Expired - Lifetime
-
1991
- 1991-10-24 US US07/782,342 patent/US5172261A/en not_active Expired - Lifetime
- 1991-10-31 DE DE4136035A patent/DE4136035C2/de not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| DE4136035A1 (de) | 1992-05-07 |
| JP2986534B2 (ja) | 1999-12-06 |
| US5172261A (en) | 1992-12-15 |
| DE4136035C2 (de) | 1996-02-01 |
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Legal Events
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