JPH0417107A - 薄膜磁気ヘッド - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ この発明は、ＶＴＲ１電子マルチカメラ、フロッピーデ
ィスクドライブなどの磁気記録再生装置に装備される薄
膜磁気ヘッドに関するものである。

［従来の技術］ 第９図は、例えば特開昭６３−３１１６１５号公報に開
示された従来の薄膜磁気ヘッドであって、第９図（Ａ）
は平面図、第９図（Ｂ）は第９図（Ａ）のＸ−Ｘ線断面
図である。

同図において、（１）は非磁性セラミックからなる基板
、（２）は磁性層で形成された下部磁気コア、（３）は
磁性層で形成された上部磁気コア、（４）は５１０２で
形成されたギャップ、（５）は絶縁層、（６）は導電層
で形成されたコイル、（７）は保護層、（８）は上部コ
イル（６）の電極である。

十、記−ヒ下磁気コア（３Ｌ（２）　、ギャップ（４）
、絶縁層（５）、コイル（６）などは基板（１）ヒにス
パッタリングや真空蒸着などの薄膜堆積処理によって形
成されている。

このような薄膜磁気へ・ンドはギャップ部のトラック幅
およびギャップ長を可及的に小さくすることができ、高
密度記録が可能である。また、磁気コア（２）　、　（
３１が小さく、ギヤ・ツブ（４）の極めて近くにコイル
（６）が形成されているので、効率がよいなど多くの利
点を有している。

上記のような薄膜磁気ヘッドは、第１０図（Δ）および
（ＩＩ）に汀くされるように、Ｌ謁各横１戊要素に英小
文字（ａ）　、　（ｂ）の枝記５ｙを付して示した２つ
の薄膜磁気へ・ソトｆ９Ａ）、　［９Ｂ）　ヲヘットヘ
ース（ＩＱ）に貼り付けて複合磁気ヘットを構成し、こ
れをＶＴＲなどの回転ヘット式磁気記録再生装置におけ
る磁気ヘッドとして使用される。

ここで、薄膜磁気ヘッド（９Ａ）　、　（９８１の基板
（１ａ）および　（１ｂ）を、角度をイ・］けて切断す
ることにより、ギャップ（４）にアジマス角をつけてお
り、また、基板ｆｌａｔ、　（Ｉｂ）を切断する角度を
逆にすることにより、逆アジマスをつけている。

第１１図は電子通信学会技術研究報告ＭＲ８６３０の１
５頁に示された従来の他の薄膜磁気ヘッドであって、同
図において、（１）はセラミックス基板、（２ａｌ　、
　（２ｂ）および（３ａ）　、　ｆ３ｂ）はそれぞれ磁
性層で形成された下部磁気コアおよび上部磁気コア、（
４）はギャップ、（６ａ）　、　（６ｂ）は銅などの導
電層で形成されたコイル、（８ａ）　、　（８ｂｌ　は
１−９記コイルｆ６ａｌ　、　ｆ６ｂｌ　の電極であり
、１つのへラドチップ中に２つのヘットエレメントを設
けたものである。このような薄膜磁気ヘッドはマルチチ
ャンネル化にも適している。

［発明が解決しようとする課題］ 従来の薄膜磁気ヘットは以−ヒのように構成されテイル
ノテ、＝】イル（６１、（６ａｌ　、　（６ｂ）の電極
（８）（ｆｌｌｌ　、　（８ｂ）がギャップ（４）とほ
ぼ同−而−ヒにあり、保護層ｆ７）　、　ｆ７ａ）　、
　（７ｈｌが電極（８）　、　（８ａ）　、　（８ｂ）
のトにかからないようにする必要がある。

また、磁気媒体との接触状態を良好に保ち、摩耗を減ら
ずため、保護層ｆ７）　、　（７ａ）　、　（７ｂ）　
ノ、１−に補強用セラミックスなどを貼り付けることが
考えられるが、−上記した理由により保護層（７）（７
ａ）　、　　ｆ７ｂｌ−トに補強材を貼り付けることは
困難である。

また、第１０図に示したように、薄膜磁気ヘッドをヘッ
ドベース（１０）に貼り付けた場合、電極（８ａｌ　、
　（８ｂｌ　の位置は対向する内側面となるから、電極
ｆ８ａ）　、　（８ｂｌ　に導線を接続することが困難
になる。

この発明は」−記のような問題点を解決するためになさ
れたもので、保護層を電極の全面にわたって被覆り能と
するとともに、保護層の上に補強材を貼り付けることが
でき、また、ヘッドベースに薄膜磁気ヘッドを貼り付け
て複合磁気ヘッドとして使用するとき、電極への導線の
接続を容易にすることができる薄膜磁気ヘットを提供す
ることを１、ニ１的とする。

［課題を解決するための手段］ この発明に係る薄膜磁気ヘッドは、基板の切断面にコイ
ルの電極が形成されるように構成したことを特徴とする
。

［作用］ この発明によれば、基板を切断したとき、この基板の切
断面にコイルの電極が形成されているので、薄膜磁気ヘ
ッドをヘッドベースに貼り付けて複合磁気ヘッドとして
使用するとき、電極を導線の接続しやすい位置にするこ
とができ、また保護層の形態に影響されないですむ。

［発明の実施例］ 以下、この発明の一実施例を図面にもとづいて説明する
。

第１図はこの発明の一実施例による薄膜磁気ヘッドをボ
ず外観斜視図、第２図はその薄膜磁気ヘッドの内部構造
を示す斜視図であり、同図において、第９図ないし第１
１図に示す従来例と同一もしくは相当部分には同一の符
号を付して、それの説明を省略する。

第１図および第２図において、（１８）は非磁性セラミ
ックスからなる補強材、（１００）は基板（１）を切断
したときの切断面で、この切断面（１００）にコイル（
８）の電極（８ａ）　、　（８ｂ）が形成されるように
構成したものである。

第３図（Ａ）および（Ｂ）は上記のように構成された薄
膜磁気ヘッドをヘッドベース（１ｏ）に貼り付けた状態
の正面図および平面図であり、電極（８ａ）　、　（８
ｂ）が基板（１）ノ切断面（１００）　ニ形成゛されて
いるので、ヘッドチップをヘッドベース（１０）に貼り
付けたのちに、導線（１１）を電極（８ａ）、（８ｂ）
に接続することが容易になる。

なお、−Ｆ記実施例では、１つのへラドチップに対し１
つの磁気ヘッドエレメントを設けたものを示したが、第
４図に示すように、薄膜磁気へラドニレメン）　（９Ａ
）、（９Ｂ）を２つもしくはそれ以上設けてもよく、こ
の場合、マルチチャンネル記録用の磁気ヘッドを容易に
１５することかできる。

なお、第４図においては、２つの薄膜磁気ヘッド（９Ａ
）、　ｆ９Ｂ）の各構成要素について、第１図の該当部
分の符号に英小文字（ａ）　、　（ｂｌ　の枝記号を付
して示しており、また、電極については、（８ａ）ｆ８
ｂｌ　、　（８ａｌ）　、　（８ｂ２１の符号を付して
示している。

また、ｌ−記実施例では、保護層（７）の上に補強材（
１９）を設けたが、補強材（１９）は必ずしも設ける必
要がない。

また、手記実施例では、切断した基板（１１をそのまま
ヘッドチ・ツブとしているが、第４図で小した構成の２
つのへラドチップを第５図に示すように、接着材（１５
）により接着して１つのヘッドチップとしてもよい。こ
のとき、同図に示すように、アジマス角の異なるヘッド
チップを接着することにより、マルチチャンネル なう複合磁気ヘッドが容易に得られる。

また、電極（８）に接続する導線（１１）は通常の単線
であってもよいが、フレシキブル基板のように複数の導
体で構成されたものでよく、この場合、電極（８）への
接続をより容易におこなえる効果がある。

つぎに、この発明に係る薄膜磁気ヘッドを製造するのに
適した方法の一例について説明する。

第６図（Ａｌ　に示すように、基＆（１）にドリルやレ
ーザ加工機などを用いて所定の穴を形成して、この穴に
金属をメツキや圧入などにより充填し、電極（８ａｌ　
、　（８ｂ）を形成する工程と、第６図（Ｂｌ　に小す
ように、スパッタリングや真空蒸着などの薄膜堆積処理
により薄膜磁気ヘッドを基板（１）七に形成し、かつ、
コイル（６）を電極（８ａｌ　、　（８ｂｌ　に接続す
る［稈と、第６図［Ｃ）に示すように、基板（１）トを
合成樹脂もしくはガラスなどで覆って保護層（７）を形
成する工程と、第６図ｆＤ）に示すように、保護層＋７
）　ｔに補強材（１９）を貼り付ける工程と、第６図（
Ｅ）に示すように、第６図（Ｄ）Ｑ）−Ｌ程で得られた
ブロックを切断して、所望のへラドチップを形成する工
程とからなるもので、電極（８ａ）　、　ｆ８ｂ）を通
るように上記ブロックを切断する。これにより、切断面
（１００１に電極（８ａ）　、　（８ｂｌが形成される
。

また、この切断面（＋００１を第６図（Ｄｌ．ｆＥｌ　
に示すように傾斜させることにより、アジマス角の付い
た磁気ヘッドを得ることができる。

なお、−上記実施例では、基板（１）に開けた電極形成
用の穴が途中でとまっているが、貫通していてもよい。

この場合、切断面（１００１　における電極面積が大き
くなり、しかも、この穴に金属を圧入して電極を形成す
る場合、製造が容易になるなどの効果がある。

つぎに、この発明に係る磁気ヘッドの他の製造方法につ
いて説明する。

第７図（Ａ）に示すように、基板ｆ１）に溝（２１ａ）
。

（２１ｂｌ　を加工する１−程と、第７図（Ｂ）に示す
ように，溝（２１ａ）　、　（２１ｂｌ　に棒状の金属
を電極（８ａ）（８ｂ）として固定する工程と、第７図
ｆｃｌ　に示すように、薄膜磁気ヘットを基板（１）［
−に形成し、かつ、コイル（６）を電極（８ａ）　、　
（８ｂ）に接続する工程と、第７図（Ｄｌ　に示すよう
に、基板（１）ト−を保，泡層（７）で覆う工程と、第
７図（Ｆ．）に示すように、保護層（７）」−に補強材
（１９）を貼り付ける］程と、第７図ｆＦｌ　に示すよ
うに、第７図ＦＥ）の工程で得られたブロックを切断し
て、所望のヘットチップを形成するに程とからなる。

１−２方法によるときは、電極（８ａ）　、　（８ｂｌ
　を形成するための加工が穴加工ではなく、溝加工であ
るから、第６図の場合にくらべて加にが容易となり、よ
り安価な磁気ヘットが得られる。

さらに、この発明に係る薄膜磁気ヘッドのもう１つの製
造方法について説明する。

第８図ｆＡ）に示すように、基板（１）上に薄膜磁気ヘ
ッドを形成する。このとき、電極を形成すべき個所に、
面積の広い仮の電極（８０ａ）　、　（８０ｈｌ　を形
成してコイル（６）を接続し、かつ、基板（１）トに形
成される仮の電極（８０ａｌ　、　（８０ｂｌの全てが
電気的につながるような配線をおこない、その一端を外
部電極（８Ｉ）とする。ついで、第８図（Ｂｌ　に示す
ように，電極（８０ａ）　、　（８０ｂｌが表面に露出
するように、マスク（８５）をかけるとともに、外部電
極（旧）に電線（８２）を接続し、電気メツキを長時間
おこなうことにより、第８図（Ｃ）に小すように、仮の
電極（８０ａ）　、　ｆａｏｂｌのにに電極（８ａ）　
、　ｆ８ｂ）を形成する。

ついで、第８図（Ｉｌｌに示すように、基板（１）１・
を保護層（７）で覆い、第８図（Ｅ）に示すように、補
強材（１９）を貼りイ」けて所定のブロックを形成した
のち、このブロックを切断することにより、第８図（ト
）のようなヘッドチップを製造する。

１記した製造方法によるときは、電極（８ａ）（８ｂ）
を形成するための穴加二に、溝加−［−が不要となり、
製造が容易で、安価な磁気へ・リドが得られる。

［発明の効果］ 以１−のように、この発明によれば、電極を基板の切断
面に設けたので、電極に電線を接続し易くなり、また、
保護層の形態に影響されない効県を奏する。

また、基板を切断する］−稈により同時に電極が形成さ
れるので、精度の高い磁気ヘッドを安価に製造すること
ができるという効果も奏する。。

【図面の簡単な説明】

第１図はこの発明の一実施例を示す薄膜磁気ヘッドの外
観斜視図、第２図は同内部構造を示す斜視図、第３図（
八）は薄膜磁気ヘッドをヘッドベースに貼り付けた状態
の正面図、第３図［Ｂｌ　は同゛［面図、第４図はこの
発明の他の実施例を示１斜視図、第５図はさらに他の実
施例を示す斜視図、第６図は製造方法の一例を示す工程
図、第７図は他の製造力ｄ、を示ず工程図、第８図はさ
らに他の製造方法を示す工程図、第９図（Ａ＋　は従来
の磁気ヘッドを示１平面図、第９図ｆＢｌは第９図（八
）のｘ−Ｘ線断面図、第１０図（Ａ）は従来の磁気へ・
リドなヘッドベースに貼り付けた状態のＩＥ面図、第１
０図ｆＢ）は同平面図、第１１図は従来の他の薄膜磁気
ヘッドを示す斜視図である。 （ｌｌ−Ｊ、ｊ−扱、（２１、（２ａ）　、　（２ｂ）
　−下部磁気コア、ｆ３）、　（３ａｌ　、　ｆ３ｂ）
−上部磁気コア、（４）　・・・ギャップ、（５）・・
・絶縁層、（６）・・・コーイル、（７）・・・保護層
、ｆ８）　、　（８ａ）　、　ｆ８ｂ）−電極、（１０
１・・・ヘッドベス、（Ｉ９）・・・補強材、（１００
１−・・切断面。 なお、図中の同一符号は同一または相′Ｍ１部分を示す
。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. （１）基板上に磁気コアおよびコイルを所定の形状に形
   成するとともに、この基板を切断してなる薄膜磁気ヘッ
   ドであって、上記基板の切断面に上記コイルの電極が形
   成されるように構成したことを特徴とする薄膜磁気ヘッ
   ド。