JPH0417507Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 ［考案の目的］ （産業上の利用分野） この考案は高純度材料保存容器の出入口カプラ
ー取付構造に係り、半導体製造の際等に使用され
る高純度のエツチング材、フオトレジスト材、ド
ーピングソース、洗浄材、或いはバイオテクノロ
ジー関係に使用する材料の如き高純度材料を保存
する容器において、この容器から突出した出入口
に、高純度材料の移動用パイプを連結すべく装着
可能にしたカプラーを取付ける際に、容器内の不
純物（以下パーテイクルと称す）が入つて高純度
材料内に混入されないようにした高純度材料保存
容器の出入口カプラー取付構造に関する。

（従来の技術） 従来から、前述の如き高純度材料は、大型の保
存容器に大量に保存され、使用の際に移動用パイ
プで出口から使用箇所まで供給して使われてい
る。

この大型の容器は、例えば、ステンレス鋼にて
形成されその内面を特殊フツ素樹脂等でコーテイ
ングして内部にパーテイクルが発生しないように
形成されている。そして、この容器には、ガス圧
によつて高純度材料を送り出すためのガス入口用
と高純度材料の出口用との２本の筒体が突出して
形成されており、この筒状にネジ込み等に手段に
より移動用パイプ連結用のカプラーが取付けてあ
り、容器内の高純度材料へのパーテイクルの混入
を極めて少なくして高純度材料を厳重に保存して
いる。

一方、実公昭48−9885号公報にて液体容器が提
案され、容器の開口部分に鍔を有する漏斗がその
鍔部分を開口部に当接させ配されており、その漏
斗を貫通させて鍔部分を開口部にネジによつて固
定して通孔同士を連通させて取付けるようにした
キヤツプを有する構造が開示されている。

（考案が解決しようとする問題点） 〈従来の技術の問題点〉 ところが、前記カプラーは、容器内にパーテイ
クルが入らないようにするために、先端の孔を細
くしてノズル状に形成してある。そのため、使用
に際しては何等問題はないが、例えば、この容器
内に高純度材料を入れる時、特に短時間で満杯に
する時等にはカプラーを取外し、その後、再びカ
プラーをネジ込んで取付けるようにして作業を行
なわなければならなかつた。又、カプラーの先端
がノズル状になつていなくともカプラーの取付け
取外しはある程度行なわれていた。

そうすると、カプラーのネジ込みの際に、ネジ
部同士の摺動によつて非常に微小なパーテイクル
が若干ではあるが発生する。ところが、この種の
高純度材料は極微小なパーテイクルであつても混
入は許されないので前記摺動によつて発生する微
小なパーテイクルでも混入してしまえば高純度材
料が使用不能になつてしまい、このネジ込み方式
のカプラー取付構造にとつて大きな問題点となつ
ていた。又、このネジ部が、高純度材料が触れる
可能性の多い位置に存在するのであれば、このネ
ジ部にも前述したコーテイングを施さなくてはな
らないが、前述したようにネジ部同士が摺動する
ためにコーテイング材が少量ずつではあるが徐々
に剥離されていつてそれ自体がパーテイクルとな
つてしなうと同時に、コーテイングが剥げてしま
つた部分から腐蝕したりしてパーテイクルが発生
し、且つ耐久性にも劣ることになつてしまう問題
点があつた。

そこで、ここに、前述した液体容器の構造を採
用したとすると、漏斗自体を手などで押えてキヤ
ツプを回転させれば、一見漏斗は回転せず取付け
られるように見えるが、この種の高純度材料保存
容器の密閉は、確実に行わなくてはならない関係
で強力な力で行う必要がある。

そうすると、その漏斗部分は手で押えているだ
けなので回つていないようでいて若干は回転して
いることが多く、それにより微少ではあるがパー
テイクルの発生がさけられないという問題点があ
つた。

そこで、この考案は、上述した問題点に鑑み、
高純度材料に触れる可能性の非常に少ない場所に
ネジ等の係止手段を配し、しかも、摺動によつて
発生するパーテイクルが容器内に入らないように
し、そして、カプラーを簡単に取付けられるよう
にすることを課題として案出されたものである。

［考案の構成］ （問題点を解決するための手段） この考案は、内部に不純物が存在しないように
した高純度材料保存容器から突出させた略筒状の
出入口と、この出入口と当接して通孔を連通させ
ると共に、他の場所へ高純度材料を移動させる移
動用パイプを装着可能にしたカプラーと、出入口
とカプラーとを係止する取付具とからなり、出入
口は、その端面を適幅の平面としたカプラーとの
当接面とし、カプラーは、その一方の端部にフラ
ンジを形成すると共に、フランジを含む端面を前
記出入口とほぼ同じ幅の平面としてその出入口と
の当接面とし、取付具は、有底筒状でその底にフ
ランジを除くカプラーを貫通させると共に、出入
口の当接面とカプラーの当接面との間に密閉リン
グを介在させながら取付具をカプラーに被せ、取
付具内周と出入口外周との間の回転によつて係止
する係止手段により出入口とカプラーとを係止す
べく形成し、少なくとも出入口の通孔から端面ま
でには耐蝕性に優れたフツ素樹脂にてなるコーテ
イング層を形成し、前記カプラーの出入口との当
接面には、弾性材で滑りにくいＯリングにてなる
密閉リングをその当接面のほぼ中央部分に配して
介在させたことにより上述した問題点を解決する
ものである。

（作用） 内部に不純物が存在しないようにした高純度材
料保存容器から突出させた略筒状の出入口の適幅
の端面をカプラーとの当接面とし、出入口と当接
して通孔を連通させると共に、他の場所へ高純度
材料を移動させる移動用パイプを装着可能にした
カプラーは、その一方の端部にフランジを形成す
ると共に、フランジを含む端面を出入口との当接
面でその出入口の端面とほぼ同じ幅となるように
形成しておき、少なくとも出入口の通孔から端面
までには耐蝕性に優れたフツ素樹脂にてなるコー
テイング層を形成し、前記カプラーの出入口との
当接面には、弾性材で滑りにくいＯリングにてな
る密閉リングをその当接面のほぼ中央部分に配し
て介在させ、有底筒状の取付具を、その底にフラ
ンジを除くカプラーを貫通させると共に、取付具
をカプラーに被せ、カプラーを手等で押えておい
て取付具内周と出入口外周との間の回転によつて
係止する係止手段により出入口とカプラーとを係
止することで、出入口側にフツ素樹脂のコーテイ
ング層を形成したことでその出入口でのパーテイ
クルの発生をなくする。

しかも、出入口の通孔から端面までフツ素樹脂
のコーテイング層にて覆われている関係で非常に
滑りやすく、回転によつて係止する係止手段で出
入口とカプラーとを係止しようとすると手で押え
てもどうしてもカプラーが回転しやすいが、カプ
ラー側の端面のほぼ中央部分に弾性材で滑りにく
いＯリングにてなる密閉リングを介在させている
ので、カプラーの回転防止と密閉との両方の役目
を果し、出入口とカプラーとは、手で押えること
で全く滑らない状態のまま係止し取付けられる。
又、仮に、若干滑つたとしても、カプラー側の端
面のほぼ中央部分にＯリングが配されているか
ら、カプラーが最も滑りやすい係止初期の段階で
は出入口の端面にはＯリングのみが接触している
ため、その滑りによるパーテイクルは通孔の端縁
までは移動してこず、パーテイクルの侵入は全く
ないのである。

（実施例） 以下、図面を参照してこの考案の実施例を説明
すると次の通りである。

すなわち、図に示す符号１はステンレス鋼製の
容器であり、その上部には、筒状のガス入口２と
高純度材料の出口３とが突出形成されている。

この容器１は、第１図に示すように、口部４に
フランジ５を設け、このフランジ５と略同径の出
入口取付板６をフランジ５にボルト７等によつて
被着固定することで密閉すべく形成されている。

そして、出入口取付板６には、フランジ５に被
着する前に、予め、ガス入口２と出口３とが溶接
等により突出すべく固着されており、被着した後
は、出入口取付板６内はガス入口２と出口３との
通孔８，９のみによつて外界とつながつている。
又、出入口取付板６による密閉状態を良好なもの
とするために、フランジ５と出入口取付板６との
間には、Ｏリングの如き弾性材にて形成してある
密閉リング１０を介在させておく。更に、容器１
の内面から出入口取付板６、そしてガス入口２と
出口３との通孔８，９内面、及びガス入口２と出
口３との端面、端部外周面まで特殊フツ素樹脂に
てコーテイング層２５を形成し、それによつて耐
蝕性に優れた面とすることで容器１内にパーテイ
クルが発生しないようにしてある。

一方、前記ガス入口２と出口３とには、容器１
内の高純度材料を他の場所、つまり使用箇所まで
供給すべく移動させるための移動用パイプ１１
を、ワンタツチで装着することができるカプラー
１２が取付けられるように形成してある。

その取付構造は次の通りである。

すなわち、出口３の場合、第２図に示すよう
に、突出した筒状の外周にはネジ１３が螺刻され
ていると共に、その端部にネジ１３の外径より小
径のフランジ１４が形成されていて、フランジ１
４を含む端面を適当な幅の平面となるように形成
してある。

一方、カプラー１２の方は、一方の端部にフラ
ンジ１５を形成すると共にフランジ１５を含む端
面を前記出口３の端面とほぼ同様な幅の平面と
し、他方の端部は前記移動用パイプ１１がワンタ
ツチで装着できる装着手段１６を形成した筒状で
他方の端面にはノズル状に通孔９を細くした送出
孔１７を形成し、外部からのパーテイクルの侵入
の極力防ぐと共に、当接面同士を当接させた時
に、平面同士の接触として高純度材料がその間に
停滞することがないようにする。

そして、前記カプラー１２の一方の端面には、
Ｏリングにてなる密閉リング１８を装着する装着
溝１９を形成しておき、出口３の端面とカプラー
１２の一方の端面との間に密閉リング１８を介在
させるように形成する。この密閉リングは、Ｏリ
ングにて形成されているので、その材質は弾力性
を有して滑りにくいゴム製となつている。又、こ
の単面における装着溝１９の内側は、後記導出パ
イプ２０の端部を挟持できるように他の部分より
も若干凹ませるように形成しておく。これらの出
口３とカプラー１２との取付けは、取付具２１に
て行なわれる。

この取付具２１は、有底円筒状で、内周面の開
口端から略中間部分程度までネジ２２を螺刻し、
底の中心にはフランジ１５を除くカプラー１２が
貫通可能な貫通孔２３を開穿しておく。

そして、出口３の通孔９とカプラー１２の通孔
２４とを連通させて当接面同士を当接させ、前述
のように、出口３の当接面とカプラー１２の当接
面との間に密閉リング１８を介在させる。それと
共に、ガス入口２からのガス注入による圧力によ
つて高純度材料を外部に送出す導出パイプ２０の
端部を出口３とカプラー１２との間に挟持し、取
付具２１を、その底にフランジ１５を除くカプラ
ー１２を貫通させながら取付具２１をカプラー１
２に被せ、カプラー１２を手等で押えておいて取
付具２１内周のネジ２２と出口３外周のネジ１３
との係止手段により出口３とカプラー１２とを螺
合係止する。

そうすると、カプラー１２を回転させなくとも
外側の取付具２１のみを回転させるだけで出口３
にカプラー１２を取付けることができるから、取
付けの際に出口３とカプラー１２との間に摺動す
る部分がなくなるためパーテイクルは発生せず、
容器１内の高純度材料にパーテイクルが混入する
ことはない。

尚、この場合に、出口３外周と取付具２１内周
との係止手段は、回転によつて係止するものであ
れば前記ネジ１３，２２に限定することはなく、
例えば、いわゆるバヨネツト方式等の係止手段で
も、或いはその他の手段であつても良いことは言
うまでもない。又、密閉リング１８はカプラー１
２側でなくとも出口３側に装着しても良いが、装
着溝が上向きとなるから高純度材料が溜つて停滞
してしまうことがあるのでカプラー１２側に装着
することが望ましい。

一方、ガス入口２とカプラー１２との取付け
は、第３図に示すように、出口３の場合と同様に
取付具２１によつて行なわれるものであり、その
場合、導出パイプ２０の挟持は必要ないのでカプ
ラー１２の当接面における装着溝１９の内側の部
分を凹ませる必要がない以外は第２図に示す出口
３の場合と同様である。

尚、図中の符号２６は口部４部分を保護し取手
の役目をも果す保護筒である。

［考案の効果］ 上述の如く構成したこの考案は、内部に不純物
が存在しないようにした高純度材料保存容器１か
ら突出させた略筒状の出入口２，３と、この出入
口２，３と当接して通孔８，９，２４を連通させ
ると共に、他の場所へ高純度材料を移動させる移
動用パイプ１１を装着可能にしたカプラー１２
と、出入口２，３とカプラー１２とを係止する取
付具２１とからなり、出入口２，３は、その端面
を適幅の平面としたカプラー１２との当接面と
し、カプラー１２は、その一方の端部にフランジ
１５を形成すると共に、フランジ１５を含む端面
を前記出入口２，３とほぼ同じ幅の平面としてそ
の出入口２，３との当接面とし、取付具２１は、
有底筒状でその底にフランジ１５を除くカプラー
１２を貫通させると共に、出入口２，３の当接面
とカプラー１２の当接面との間に密閉リング１８
を介在させながら取付具２１をカプラー１２に被
せ、取付具２１内周と出入口２，３外周との間に
回転によつて係止する係止手段により出入口２，
３とカプラー１２とを係止すべく形成したことに
より、出入口２，３の当接面同士の間に密閉リン
グ１８を介在させたことで出入口２，３とカプラ
ー１２とを係止固定することで、容器１は通孔
８，９，２４同士が連通されて外部とつながつて
いる以外は完全に密閉され得るものである。

そして、出入口２，３とカプラー１２との取付
けは、有底筒状の取付具２１を、その底にフラン
ジ１５を除くカプラー１２を貫通させると共に、
取付具２１をカプラー１２に被せ、カプラー１２
を手等で押えておいて取付具２１内周と出入口
２，３外周との間の係止手段により出入口２，３
とカプラー１２とを係止することで行なえば、少
なくとも出入口２，３の通孔２４から端面までに
は耐蝕性に優れたフツ素樹脂にてなるコーテイン
グ層２５を形成し、前記カプラー１２の出入口と
の当接面には、弾性材で滑りにくいＯリングにて
なる密閉リング１８をその当接面のほぼ中央部分
に配して介在させ、有底筒状の取付具２１を、そ
の底にフランジ１５を除くカプラー１２を貫通さ
せると共に、取付具２１をカプラー１２に被せ、
カプラー１２を手等で押えておいて取付具２１内
周と出入口２，３外周との間の回転によつて係止
する係止手段により出入口２，３とカプラー１２
とを係止するから、出入口２，３側にフツ素樹脂
のコーテイング層を形成したことでその出入口
２，３でのパーテイクルの発生をなくすることが
できる。

しかも、出入口２，３の通孔２４から端面まで
フツ素樹脂のコーテイング層２５にて覆われてい
る関係で非常に滑りやすく、回転によつて係止す
る係止手段で出入口２，３とカプラー１２とを係
止しようとすると手で押えてもどうしてもカプラ
ー１２が回転しやすいが、カプラー１２側の端面
のほぼ中央部分に弾性材で滑りにくいＯリングに
てなる密閉リング１８を介在させているので、カ
プラー１２の回転防止と密閉との療法の役目を果
し、出入口２，３とカプラー１８とは、手で押え
ることで全く滑らない状態のまま係止し取付けら
れる。又、仮に、若干滑つたとしても、カプラー
１８側の端面のほぼ中央部分にＯリングが配され
ているから、カプラー１８が最も滑りやすい係止
初期の段階では出入口２，３の端面にはＯリング
のみが接触しているため、その滑りによるパーテ
イクルは通孔２４の端縁までは移動してこず、パ
ーテイクルの侵入は全くないのである。

従つて、この考案によれば、構造的に非常に簡
単なものであるにもかかわらず、カプラー取付時
の高純度材料保存容器内へのパーテイクルの侵入
をシヤツトアウトすることができ、高純度材料の
運搬供給の際に非常に便利であり、前記したよう
に構造も簡単であるから故障の少ない容器を安価
にて提供できる等の実用上有益な効果を奏する。

【図面の簡単な説明】

図面はこの考案の実施例を示すもので、第１図
は正断面図、第２図は高純度材料の出口の拡大断
面図、第３図はガス入口の拡大断面図である。 １……容器、２……ガス入口、３……出口、４
……口部、５……フランジ、６……出入口取付
板、７……ボルト、８……通孔、９……通孔、１
０……密閉リング、１１……移動用パイプ、１２
……カプラー、１３……ネジ、１４……フラン
ジ、１５……フランジ、１６……装着手段、１７
……送出孔、１８……密閉リング、１９……装着
溝、２０……導出パイプ、２１……取付具、２２
……ネジ、２３……貫通孔、２４……通孔、２５
……コーテイング層。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 内部に不純物が存在しないようにした高純度材
   料保存容器から突出させた略筒状の出入口と、こ
   の出入口と当接して通孔を連通させると共に、他
   の場所へ高純度材料を移動させる移動用パイプを
   装着可能にしたカプラーと、出入口とカプラーと
   を係止する取付具とからなり、出入口は、その端
   面を適幅の平面としたカプラーとの当接面とし、
   カプラーは、その一方の端部にフランジを形成す
   ると共に、フランジを含む端面を前記出入口とほ
   ぼ同じ幅の平面としてその出入口との当接面と
   し、取付具は、有底筒状でその底にフランジを除
   くカプラーを貫通させると共に、出入口の当接面
   とカプラーの当接面との間に密閉リングを介在さ
   せながら取付具をカプラーに被せ、取付具内周と
   出入口外周との間の回転によつて係止する係止手
   段により出入口とカプラーとを係止すべく形成
   し、少なくとも出入口の通孔から端面までには耐
   蝕性に優れたフツ素樹脂にてなるコーテイング層
   を形成し、前記カプラーの出入口との当接面に
   は、弾性材で滑りにくいＯリングにてなる密閉リ
   ングをその当接面のほぼ中央部分に配して介在さ
   せたことを特徴とする高純度材料保存容器の出入
   口カプラー取付構造。