JPH04177152A - ホール観察法 - Google Patents
ホール観察法Info
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- JPH04177152A JPH04177152A JP30255590A JP30255590A JPH04177152A JP H04177152 A JPH04177152 A JP H04177152A JP 30255590 A JP30255590 A JP 30255590A JP 30255590 A JP30255590 A JP 30255590A JP H04177152 A JPH04177152 A JP H04177152A
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- Instruments For Viewing The Inside Of Hollow Bodies (AREA)
- Production Of Multi-Layered Print Wiring Board (AREA)
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野］
本発明は、プリント基板等の積層基板等に設けられたス
ルーホールのホール内壁の状態を観察する方法に関する
。
ルーホールのホール内壁の状態を観察する方法に関する
。
［従来の技術］
従来のｗＬ察法は実開昭６３−１２６８５６号公報に記
載のように、傾斜状反射面を先端に持つ軸をホール内部
に挿入し、ホール内壁の像を傾斜状反射面により反射さ
せ、ホール外部へ導びいて観察するものである。すなわ
ち、従来技術のホール観察法は第３図に示す様に、光源
１４からの照明光１５をハーフミラ−３２で反射させ、
スルーホール１２内部へ導びいて、スルーホール１２内
部に挿入した軸３４先端の反射面３４ａで、更に、反射
させスルーホール１２の内壁１２ａに照射させる。スル
ーホール１２の内壁１２ａの像は同様に軸３４先端の反
射面３４ａで反射されスルーホール外部へ導ひかれた後
、今度はハーフミラ−３２を通過したものが光学レンズ
系３５によって光電変換素子３６に結像し、検出されて
いた。
載のように、傾斜状反射面を先端に持つ軸をホール内部
に挿入し、ホール内壁の像を傾斜状反射面により反射さ
せ、ホール外部へ導びいて観察するものである。すなわ
ち、従来技術のホール観察法は第３図に示す様に、光源
１４からの照明光１５をハーフミラ−３２で反射させ、
スルーホール１２内部へ導びいて、スルーホール１２内
部に挿入した軸３４先端の反射面３４ａで、更に、反射
させスルーホール１２の内壁１２ａに照射させる。スル
ーホール１２の内壁１２ａの像は同様に軸３４先端の反
射面３４ａで反射されスルーホール外部へ導ひかれた後
、今度はハーフミラ−３２を通過したものが光学レンズ
系３５によって光電変換素子３６に結像し、検出されて
いた。
もう一つの従来の観察法は第４図（ａ）に示す様な細径
のファイバースコープ４０を用いてホール内壁を観察す
るものである。このファイバースコープ４ｏは、医学用
等に用いられている一般的なものと構造の上では同一の
ものである。光源（図示せず）からの照明光はライトガ
イド４１によって導かれ、スルーホール１２の内壁１２
ａを照射する。スルーホール１２の内壁１２ａの像はイ
メージガイド部１１によって接眼部へ導びかれて観察さ
れる。
のファイバースコープ４０を用いてホール内壁を観察す
るものである。このファイバースコープ４ｏは、医学用
等に用いられている一般的なものと構造の上では同一の
ものである。光源（図示せず）からの照明光はライトガ
イド４１によって導かれ、スルーホール１２の内壁１２
ａを照射する。スルーホール１２の内壁１２ａの像はイ
メージガイド部１１によって接眼部へ導びかれて観察さ
れる。
ファイバースコープ４ｏをスルーホール１２に挿入すれ
ば（第４図（ｂ））、スルーホール１２の内壁１２ａの
観察が可能になる。この場合、観察される像はスルーホ
ール１２の内壁１２ａが同心円状になったものであり、
第４図（ｃ）の様になる。スルーホール１２の口１２ｂ
は中心に観察されることになる。なおイメージガイド部
１１には、先端に結像レンズ４２が付属している。
ば（第４図（ｂ））、スルーホール１２の内壁１２ａの
観察が可能になる。この場合、観察される像はスルーホ
ール１２の内壁１２ａが同心円状になったものであり、
第４図（ｃ）の様になる。スルーホール１２の口１２ｂ
は中心に観察されることになる。なおイメージガイド部
１１には、先端に結像レンズ４２が付属している。
更に、もう一つの従来の観察法は第５図に示す様に、フ
ァイバースコープ４ｏよりも細い穴径のスルーホール１
２でも観察可能にするため、ファイバースコープ４０の
イメージガイド部１１のみをスルーホール１２に挿入し
、観察するものである。照明光１５はハーフミラ−３２
によって反射し、光学レンズ系３５でイメージガイド部
１１の検出端１１ａに入射して観察端１１ｂよりスルー
ホール１２の内壁１２ａを照射する。スルーホール１２
の内壁１２ａの像はイメージガイド部１１を伝って光学
レンズ系３５を通り、ハーフミラ−３２を通過して観察
される。
ァイバースコープ４ｏよりも細い穴径のスルーホール１
２でも観察可能にするため、ファイバースコープ４０の
イメージガイド部１１のみをスルーホール１２に挿入し
、観察するものである。照明光１５はハーフミラ−３２
によって反射し、光学レンズ系３５でイメージガイド部
１１の検出端１１ａに入射して観察端１１ｂよりスルー
ホール１２の内壁１２ａを照射する。スルーホール１２
の内壁１２ａの像はイメージガイド部１１を伝って光学
レンズ系３５を通り、ハーフミラ−３２を通過して観察
される。
［発明が解決しようとする課題］
上記従来の実開昭６３−１２６８５６号公報による観察
法はアスペクト比の高くないスルーホール１２について
考えられたもので、高密度プリント基板のスルーホール
の様に、アスペクト比が高くスルーホール１２の径が細
い場合は対応が困難である。
法はアスペクト比の高くないスルーホール１２について
考えられたもので、高密度プリント基板のスルーホール
の様に、アスペクト比が高くスルーホール１２の径が細
い場合は対応が困難である。
すなわち、第６＠に示す様な細くて長いスルーホール１
２では、軸３４もスルーホール１２に応して細くて長く
しなくてはならず、先端の反射面３４ａの製作が難かし
くなる。また、スルーホール１２には傾きのあるものも
あり、軸３４をスルーホール１２内壁１２ａに接触させ
ずに出し入れさせたり、回動させたりする事が難しい。
２では、軸３４もスルーホール１２に応して細くて長く
しなくてはならず、先端の反射面３４ａの製作が難かし
くなる。また、スルーホール１２には傾きのあるものも
あり、軸３４をスルーホール１２内壁１２ａに接触させ
ずに出し入れさせたり、回動させたりする事が難しい。
軸３４を接触させる事はスルーホール内壁１２ａに傷を
つけて状態を変えてしまう可能性や、軸３４自体を損傷
する可能性があり問題である。更に、照明光１５の一部
や検出光６１の一部がスルーホール１２の端１２ｃによ
って遮られてしまい、充分な明るさの観察像を得る事が
出来ない。
つけて状態を変えてしまう可能性や、軸３４自体を損傷
する可能性があり問題である。更に、照明光１５の一部
や検出光６１の一部がスルーホール１２の端１２ｃによ
って遮られてしまい、充分な明るさの観察像を得る事が
出来ない。
他方、上記従来の第３図の観察法では、ファイバースコ
ープ４０よりも細い穴径のスルーホール１２の観察は事
実上無理である。（現在量も細いファイバースコープ４
０の径は０．５５閣である。）ファイバースコープ４０
の一般的な構造はライトガイド４１とイメージガイド部
１１が一組になっている。ライトガイド４１はイメージ
ガイド部１１で画像をｍ察する際の照明を導く手段とし
て必要であり、ライトガイド４１を取り除いたものでは
スルーホール１２の内壁１２ ａのｍ察が出来ない。
ープ４０よりも細い穴径のスルーホール１２の観察は事
実上無理である。（現在量も細いファイバースコープ４
０の径は０．５５閣である。）ファイバースコープ４０
の一般的な構造はライトガイド４１とイメージガイド部
１１が一組になっている。ライトガイド４１はイメージ
ガイド部１１で画像をｍ察する際の照明を導く手段とし
て必要であり、ライトガイド４１を取り除いたものでは
スルーホール１２の内壁１２ ａのｍ察が出来ない。
また、従来の第４図の観察法ではイメージガイド部１１
を、そのままライトガイドとして使用する事によってフ
ァイバースコープ４０よりも細い穴径のスルーホール１
２をａｍしようとしているが、照明光１５がイメージガ
イド１１内で検出光に侵入してハレーションを起こして
しまい、実際に像が観察出来ない。
を、そのままライトガイドとして使用する事によってフ
ァイバースコープ４０よりも細い穴径のスルーホール１
２をａｍしようとしているが、照明光１５がイメージガ
イド１１内で検出光に侵入してハレーションを起こして
しまい、実際に像が観察出来ない。
照明光１５をスルーホール１２のイメージガイド部１１
を挿入していない側から照射した場合も同様にハレーシ
ョンを起こしてしまう。
を挿入していない側から照射した場合も同様にハレーシ
ョンを起こしてしまう。
本発明の目的は、細くて長いホールであっても不都合無
く観察出来る、ホール検査法を提供する事にある。
く観察出来る、ホール検査法を提供する事にある。
［課題を解決するための手段］
上記目的は、第３図に示した様なミラーを用いる方法で
はなく、第５図の様にイメージガイド部のみを用い、か
つ、第４図に示したファイバースコープ４０の様なライ
トガイド４１とイメージガイド部１１の二つの機能を持
たせ、イメージガイド部１１にライトガイド４１の光が
直接影響する事の無い様に出来る蛍光検出法を用いれば
達成される。
はなく、第５図の様にイメージガイド部のみを用い、か
つ、第４図に示したファイバースコープ４０の様なライ
トガイド４１とイメージガイド部１１の二つの機能を持
たせ、イメージガイド部１１にライトガイド４１の光が
直接影響する事の無い様に出来る蛍光検出法を用いれば
達成される。
［作用］
本発明では、ホール観察法がイメージを伝達する部分の
みのファイバー径が有れば済むので、傾きの有るホール
等でも挿入さえ出来、別に設けた照明で励起光を照射す
る事が出来れば、従来より細くて長いホールであっても
容易に観察することが可能になる。
みのファイバー径が有れば済むので、傾きの有るホール
等でも挿入さえ出来、別に設けた照明で励起光を照射す
る事が出来れば、従来より細くて長いホールであっても
容易に観察することが可能になる。
［実施例］
以下添付の図面に示す実施例により、更に詳細に本発明
について説明する。
について説明する。
第１図に本発明の第一の実施例を示す。図示する様に、
ファイバースコープよりも細い穴径をもつスルーホール
１２に対し、ファイバースコープ４０のイメージガイド
部１１のみを取り立したものを挿入する。イメージガイ
ド部１１の検出端１１ａ側には蛍光顕微１Ｉｔ１３を配
置する。光源１４からの照明光１５は紫色フィルタ１６
によって紫色成分だけとなり、波長分離フィルタ１７に
よって反射され、対物レンズ１８でイメージガイド部１
１の検出端１１ａに入射して観察端１１ｂよりスルーホ
ール１２の内壁１２ａを照射する。スルーホール１２の
内壁１２ａの像はイメージガイド部１１を伝って顕微鏡
１３の対物レンズ１８の焦点面に導かれるが、内壁１２
ａの像の内、蛍光成分のみが波長分離フィルタ１７と黄
フィルタ１９を検出光１５ａとして通過して接眼レンズ
２０より観察出来る。
ファイバースコープよりも細い穴径をもつスルーホール
１２に対し、ファイバースコープ４０のイメージガイド
部１１のみを取り立したものを挿入する。イメージガイ
ド部１１の検出端１１ａ側には蛍光顕微１Ｉｔ１３を配
置する。光源１４からの照明光１５は紫色フィルタ１６
によって紫色成分だけとなり、波長分離フィルタ１７に
よって反射され、対物レンズ１８でイメージガイド部１
１の検出端１１ａに入射して観察端１１ｂよりスルーホ
ール１２の内壁１２ａを照射する。スルーホール１２の
内壁１２ａの像はイメージガイド部１１を伝って顕微鏡
１３の対物レンズ１８の焦点面に導かれるが、内壁１２
ａの像の内、蛍光成分のみが波長分離フィルタ１７と黄
フィルタ１９を検出光１５ａとして通過して接眼レンズ
２０より観察出来る。
蛍光検出を応用し、照明光１５と検出光１５ａを分離出
来る様にする事によれば、照明光１５のガイドと検出光
１５ａのガイドに同一の光ファイバを用いても、検出光
１５ａに照明光１５によるハレーションが出ない。また
、蛍光による［１を察は銅めっき部を暗く、ボイド部（
基材が露出している所）を明るく観察出来るので、コン
トラストの良い画像が得られ、ボイドの有無が明確に分
る。
来る様にする事によれば、照明光１５のガイドと検出光
１５ａのガイドに同一の光ファイバを用いても、検出光
１５ａに照明光１５によるハレーションが出ない。また
、蛍光による［１を察は銅めっき部を暗く、ボイド部（
基材が露出している所）を明るく観察出来るので、コン
トラストの良い画像が得られ、ボイドの有無が明確に分
る。
プリント板基材による蛍光の発生は、文献ＩＥＥＥ Ｔ
ｒａｎｓ、 ＰＡＭＩ Ｖｏｌ、ｌＯ，Ｎｏ、Ｉ Ｐ、
６９（１９８８）に示されている。
ｒａｎｓ、 ＰＡＭＩ Ｖｏｌ、ｌＯ，Ｎｏ、Ｉ Ｐ、
６９（１９８８）に示されている。
第２図に本発明の第二の実施例を示す、第一の実施例と
同様にイメージガイド部１１と蛍光顕微［１３を用いる
が、照明としては別に照明用ファイバ２１を用いている
。照明用ファイバ２１から出射した光は、照明用ファイ
バ２１の先端部に取り着けられた紫色フィルタ１６によ
って紫色成分だけとなり、スルーホール１２内部を照明
する。
同様にイメージガイド部１１と蛍光顕微［１３を用いる
が、照明としては別に照明用ファイバ２１を用いている
。照明用ファイバ２１から出射した光は、照明用ファイ
バ２１の先端部に取り着けられた紫色フィルタ１６によ
って紫色成分だけとなり、スルーホール１２内部を照明
する。
照明光そのものが黄フィルタ１９によってカットされ、
蛍光成分のみが観察出来るのは第一の実施例と同様であ
る。
蛍光成分のみが観察出来るのは第一の実施例と同様であ
る。
［発明の効果］
本発明によれば、高密度積層プリント基板のスルーホー
ルの様に特に細くて長いホールであってもその内壁を観
察する事が出来る。従来は内壁を観察するためには、基
板を破壊検査せざるを得なかったが、本発明により、破
壊検査をせずに済むようになる。また、螢光を用いた場
合には、内壁めっきはがれ欠陥（ボイド）の有無が直接
ＩＩ！察できるようになる。
ルの様に特に細くて長いホールであってもその内壁を観
察する事が出来る。従来は内壁を観察するためには、基
板を破壊検査せざるを得なかったが、本発明により、破
壊検査をせずに済むようになる。また、螢光を用いた場
合には、内壁めっきはがれ欠陥（ボイド）の有無が直接
ＩＩ！察できるようになる。
第１図および第２図は本発明によるホール観察法の説明
図、 第３図ないし第６図はホール観察法の従来技術の説明図
である。 符号の説明 １１・・・イメージガイド部。 １３・・・蛍光顕微鏡、 １６・・・紫色フィルタ、 １７・・・波長分離フィルタ、 １９・・・黄フィルタ。 ／２Ｑ 第 ２図 第 ３０ 第４０
図、 第３図ないし第６図はホール観察法の従来技術の説明図
である。 符号の説明 １１・・・イメージガイド部。 １３・・・蛍光顕微鏡、 １６・・・紫色フィルタ、 １７・・・波長分離フィルタ、 １９・・・黄フィルタ。 ／２Ｑ 第 ２図 第 ３０ 第４０
Claims (3)
- １．細長い穴の内壁を観察するため、先端に結像レンズ
の付けられた画像伝達用の光フアイバを前記穴の中に押
入し、前記光フアイバにより前記穴の内部の画像を、前
記穴の外に伝達し、伝達した前記画像を外部に設けられ
た拡大光学系により観察することを特徴とするホール観
察法。 - ２．請求項１において、挿入した前記光フアイバに光を
入射させ、前記光ファイバから出射した光を前記穴の内
壁照明光として利用するホール観察法。 - ３．請求項２において、対象穴内壁の材質が、螢光を発
生する材質と、発生しない材質から構成されている場合
、照明光として、螢光を励起する帯域の波長の光を用い
るか、同帯域の光のみを通す光学フィルタを付加するこ
とによって、特定帯域の光を照明光として用い、また、
前記光フアイバによって前記穴の外部に伝達された光の
うち、螢光帯域の光のみを選択する光学フィルタを設け
ることにより、螢光による前記穴の内壁画像を観察する
ホール観察法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2302555A JP3020593B2 (ja) | 1990-11-09 | 1990-11-09 | スルーホールの内面観察方法及びその装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2302555A JP3020593B2 (ja) | 1990-11-09 | 1990-11-09 | スルーホールの内面観察方法及びその装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04177152A true JPH04177152A (ja) | 1992-06-24 |
| JP3020593B2 JP3020593B2 (ja) | 2000-03-15 |
Family
ID=17910388
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2302555A Expired - Fee Related JP3020593B2 (ja) | 1990-11-09 | 1990-11-09 | スルーホールの内面観察方法及びその装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3020593B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN119335717A (zh) * | 2024-10-19 | 2025-01-21 | 哈尔滨工业大学 | 一种基于梯度折射率透镜的微孔显微成像系统和方法 |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP5645573B2 (ja) * | 2010-09-29 | 2014-12-24 | 三菱電機株式会社 | 内燃機関のノック制御装置 |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS52135788A (en) * | 1976-05-07 | 1977-11-14 | Sony Corp | Detection of impurities |
| JPS5858376A (ja) * | 1981-09-30 | 1983-04-06 | 松下電工株式会社 | 門扉解錠装置 |
| JPS641940A (en) * | 1987-06-25 | 1989-01-06 | Hitachi Ltd | Through hole void inspection |
-
1990
- 1990-11-09 JP JP2302555A patent/JP3020593B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS52135788A (en) * | 1976-05-07 | 1977-11-14 | Sony Corp | Detection of impurities |
| JPS5858376A (ja) * | 1981-09-30 | 1983-04-06 | 松下電工株式会社 | 門扉解錠装置 |
| JPS641940A (en) * | 1987-06-25 | 1989-01-06 | Hitachi Ltd | Through hole void inspection |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN119335717A (zh) * | 2024-10-19 | 2025-01-21 | 哈尔滨工业大学 | 一种基于梯度折射率透镜的微孔显微成像系统和方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3020593B2 (ja) | 2000-03-15 |
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Legal Events
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