JPH04178545A - 透明帯状体の検査方法及び装置 - Google Patents
透明帯状体の検査方法及び装置Info
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- JPH04178545A JPH04178545A JP30797590A JP30797590A JPH04178545A JP H04178545 A JPH04178545 A JP H04178545A JP 30797590 A JP30797590 A JP 30797590A JP 30797590 A JP30797590 A JP 30797590A JP H04178545 A JPH04178545 A JP H04178545A
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Landscapes
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
- Closed-Circuit Television Systems (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
本発明は、透明な帯状体に存在する欠陥部を光学的に検
査する方法及び装置に関するものである。
査する方法及び装置に関するものである。
特開平２−８３４３８号公報に記載された検査装置は、
透明体に光を照射してスクリーン上にその投影像を形成
し、この投影像をＴＶカメラで撮像して欠陥部の評価を
行っている。これによれば、自動車のウィンドガラス等
の表面欠陥を非接触で検査することができ、検査工程を
合理化できる利点がある。
透明体に光を照射してスクリーン上にその投影像を形成
し、この投影像をＴＶカメラで撮像して欠陥部の評価を
行っている。これによれば、自動車のウィンドガラス等
の表面欠陥を非接触で検査することができ、検査工程を
合理化できる利点がある。
しかしながら上記公報記載の検査装置では透明体に発散
光を照射しているため、欠陥部の位置が光の照射範囲の
中央部にあるときと端部にあるときとで、スクリーンに
投影される陰影の度合いが変わってしまう。したがって
、光の照射範囲の中央部では欠陥の検出精度が高いが、
光の照射範囲の端部ではその検出精度が低くなりやすい
という欠点がある。 特に、透明な支持体に透明な塗布層を形成して製品とな
すような場合、塗布ムラも欠陥部として検出したいとき
には、このような欠陥部によりスクリーン上に投影され
る陰影の変化は非常に微弱であり、上記装置では対応す
ることができない。 また、透明な支持体を帯状体として供給し、透明な塗布
層を形成した後にその移送ライン内で検査を行う場合に
は、不良品をできるだけ減らすには、欠陥部の検出を高
精度にしかもリアルタイムで行う必要がある。
光を照射しているため、欠陥部の位置が光の照射範囲の
中央部にあるときと端部にあるときとで、スクリーンに
投影される陰影の度合いが変わってしまう。したがって
、光の照射範囲の中央部では欠陥の検出精度が高いが、
光の照射範囲の端部ではその検出精度が低くなりやすい
という欠点がある。 特に、透明な支持体に透明な塗布層を形成して製品とな
すような場合、塗布ムラも欠陥部として検出したいとき
には、このような欠陥部によりスクリーン上に投影され
る陰影の変化は非常に微弱であり、上記装置では対応す
ることができない。 また、透明な支持体を帯状体として供給し、透明な塗布
層を形成した後にその移送ライン内で検査を行う場合に
は、不良品をできるだけ減らすには、欠陥部の検出を高
精度にしかもリアルタイムで行う必要がある。
本発明は上記背景を考慮してなされたもので、検出精度
が高く、しかもリアルタイムでの欠陥検出を可能とした
検査方法及び装置を提供することを目的とする。
が高く、しかもリアルタイムでの欠陥検出を可能とした
検査方法及び装置を提供することを目的とする。
本発明は連続的に移送される透明な帯状体に存在する欠
陥部を光学的に検出するにあたり、帯状体に対して平行
光発生器からの平行光を検査光として照射し、その透過
光を撮像しで得られるビデオ信号を評価して欠陥部の検
出を行うことを特徴とする。 上記検査に用いられる装置は、平行光発生器と、帯状体
を挟み前記平行光発生器と対向して配置されたスクリー
ンと、このスクリーンに形成された像を撮像する撮像手
段、そして撮像手段から出力されるビデオ信号を評価し
て欠陥部の有無を判定する処理装置とから構成される。 上記平行光発生器は、光源、光源からの光を平行光にす
る凹面鏡とから構成することができる。 さらに、撮像手段としてＣＣＤラインセンサを利用し、
帯状体の地合濃度等によるノイズ成分の影響を受けない
ようにその電荷蓄積時間を適宜制御してビデオ信号を得
ることができる。
陥部を光学的に検出するにあたり、帯状体に対して平行
光発生器からの平行光を検査光として照射し、その透過
光を撮像しで得られるビデオ信号を評価して欠陥部の検
出を行うことを特徴とする。 上記検査に用いられる装置は、平行光発生器と、帯状体
を挟み前記平行光発生器と対向して配置されたスクリー
ンと、このスクリーンに形成された像を撮像する撮像手
段、そして撮像手段から出力されるビデオ信号を評価し
て欠陥部の有無を判定する処理装置とから構成される。 上記平行光発生器は、光源、光源からの光を平行光にす
る凹面鏡とから構成することができる。 さらに、撮像手段としてＣＣＤラインセンサを利用し、
帯状体の地合濃度等によるノイズ成分の影響を受けない
ようにその電荷蓄積時間を適宜制御してビデオ信号を得
ることができる。
帯状体に平行光を照射するから、帯状体には均一な光量
の検査光が照射されるようになり、帯状体を透過してき
た光は、帯状体の欠陥部による濃淡を伴ったものになる
。特に、帯状体が透明な支持体とその表面に形成された
透明な塗布層とからなり、その塗布層に塗布ムラがある
ような場合でも平行光はその部分で屈折するから、やは
り透過光には濃淡のムラが生じる。したがって、本発明
方法によれば単にピンホールや塵等の検出だけでなく、
塗布ムラによる欠陥部も検出することが可能となる。 以下、図示した実施例にしたがって本発明について説明
する。
の検査光が照射されるようになり、帯状体を透過してき
た光は、帯状体の欠陥部による濃淡を伴ったものになる
。特に、帯状体が透明な支持体とその表面に形成された
透明な塗布層とからなり、その塗布層に塗布ムラがある
ような場合でも平行光はその部分で屈折するから、やは
り透過光には濃淡のムラが生じる。したがって、本発明
方法によれば単にピンホールや塵等の検出だけでなく、
塗布ムラによる欠陥部も検出することが可能となる。 以下、図示した実施例にしたがって本発明について説明
する。
本発明検査装置は、第２図に示したように、矢印Ｘ方向
に連続的に移送される透明な帯状体２の前面側に配置さ
れた平行光発生器３と、帯状体２の背後に配置された光
拡散反射性をもったスクリーン４と、スクリーン４の投
影像を帯状体２を通して撮像するビデオカメラ５と、第
１図に示したようにビデオカメラ５を駆動するカメラド
ライバ７、そしてビデオカメラ５か−ら得られるビデオ
信号を映像処理して欠陥出力を得る信号処理装置８とか
ら構成される。 平行光発生器３は、開口９を形成した浴装置０゜その中
に内蔵させた光源１１．絞り１２．凹面鏡１３とからな
る。光源１１には、例えば高い照度が得られるハロゲン
ランプ等が利用される。光源１１からの光は絞り１２に
より点光源からの光として凹面鏡１３に入射し、ここで
反射して平行光１５となる。平行光１５は帯状体２の検
査エリア２ａに垂直に照射され、さらに透過してスクリ
ーン４に投影される。 ビデオカメラ５には、撮像素子としてＣＣＤラインセン
サが用いられており、スクリーン４上の投影像４ａを撮
像してそのビデオ信号を出力する。 信号処理装置８は、バンドパスフィルタ１７．二値化回
路１８を備えている。バンドパスフィルタ１７は、ビデ
オカメラ５からのビデオ信号のうち、帯状体２の検査に
必要な周波数帯域の信号だけを透過させる。二値化回路
１８は、バンドパスフィルタ１７を透過してきた出力信
号のレベルを監視し、そのレベルが所定範囲を越えた異
常レベルであるときに欠陥信号を出力するようになって
いる。 なお帯状体２の移送方向における欠陥部位を特定するた
めには、信号処理装置８に帯状体２の移送信号を供給す
ればよく、また幅方向での欠陥部位を特定するには、カ
メラドライハフからのＣＣＤラインセンサドライブ信号
を用いることができる。 上記検査装置の作用は以下のとおりである。 第３図に示したように、帯状体２が透明な支持体２ａと
透明な塗布層２ｂからなるとき、塗布層２ｂに不純物の
混入による欠陥部２０ａがあるときには、その欠陥個所
に対応してスクリーン４上では光強度が低下する。また
、塗布ムラによる欠陥部２０ｂがあると、平行光１５は
塗布ムラの界面で屈折し、やはりスクリーン４上には不
均一な陰影が生じる。さらにピンホールによる欠陥部２
０ｃが存在する場合には、その個所では塗布層２ｂによ
る吸収が全くないから、スクリーン４上での明るさは、
正常な部分に対して明るくなる。 第４図は、帯状体２に第３図に示した欠陥部２０ａ、２
０ｂ、２０ｃがあった場合のビデオ信号のレベル変化の
様子を示している。正常に塗布された塗布層２も、微視
的には高い周波数でレベルが変化しているが、このよう
な高周波信号はバンドパスフィルタ１７でカットされる
。二値化回路１８は、Ｌｌ’、Ｌ２の閾値で二値化を行
い、ビデオ信号のレベルが闇値Ｌ１よりも低いとき、そ
して闇値Ｌ２よりも高いときに欠陥信号を出力する。 したがって、第３図に示したそれぞれの欠陥部２０ａ、
２０ｂ、２０ｃの部分で欠陥信号が出力される。 こうして帯状体２を走行させながら検査を行ってゆく過
程で、信号処理装置８から欠陥信号が出力されたときに
は、その時点での帯状体２の移送信号から不良品の範囲
を特定することができ、また、カメラドライバ７からの
ドライブ信号を参照することによって、欠陥部の幅方向
での位置も特定することができる。もちろん、帯状体２
の移送信号、カメラドライバ７からのドライブ信号を欠
陥信号とともにマイクロコンピュータに入力して欠陥部
位を自動的に解析することもできる。 また、塗布ムラによる欠陥部２０ｂは、他の欠陥部２０
ａ、２０ｃと比較してスクリーン４上に現れる陰影の変
化の度合いがわずかであり、なかなか検出しにくい。し
かし、塗布ムラ欠陥は帯状体２の移送方向についである
長さをもって発生する傾向をもっている。したがって、
塗布ムラ欠陥に対する検査能を向上させるためには、ビ
デオカメラ５に用いているＣＣＤラインセンサの電荷蓄
積時間を長く設定する。これにより、塗布ムラ欠陥によ
るスクリーン４上での明暗は、帯状体２が適宜移送され
る間、積分して撮像されることになるから、スクリーン
４上の微弱な明暗変化に対しても充分な検査能力を維持
することが可能となる。 第５図は幅広の帯状体２４に対して同様の検査を行うと
きの構成を示している。この場合には、複数の平行光発
生器２５〜２日を、帯状体２４の幅方向で互いに部分的
に重畳するように配置し、非検査領域が生じないように
検査エリア２５ａ〜２８ａを設定しておく。帯状体２４
の背後には、上記実施例と同様にスクリーン４が配置さ
れ、各々の投影像は、平行光発生器２５〜２８の個々に
対応して配置された４台のビデオカメラで撮像される。 これによれば、帯状体２４の幅方向全域で平行光の照射
ができ、高い検査精度を維持できるようになる。 以上、図示した実施例にしたがって本発明について説明
してきたが、拡散反射性のスクリーン４から反射式にビ
デオカメラ５で撮像する代わりに、拡散透過型のスクリ
ーンを利用してスクリーンの背後からビデオカメラで撮
像してもよいことはもちろんである。 また、平行光を発生させるにあたり、凹面鏡として放物
面鏡を用いることができる他、反射型に代えてレンズを
利用したコリメート光学系を用いることも可能である。
に連続的に移送される透明な帯状体２の前面側に配置さ
れた平行光発生器３と、帯状体２の背後に配置された光
拡散反射性をもったスクリーン４と、スクリーン４の投
影像を帯状体２を通して撮像するビデオカメラ５と、第
１図に示したようにビデオカメラ５を駆動するカメラド
ライバ７、そしてビデオカメラ５か−ら得られるビデオ
信号を映像処理して欠陥出力を得る信号処理装置８とか
ら構成される。 平行光発生器３は、開口９を形成した浴装置０゜その中
に内蔵させた光源１１．絞り１２．凹面鏡１３とからな
る。光源１１には、例えば高い照度が得られるハロゲン
ランプ等が利用される。光源１１からの光は絞り１２に
より点光源からの光として凹面鏡１３に入射し、ここで
反射して平行光１５となる。平行光１５は帯状体２の検
査エリア２ａに垂直に照射され、さらに透過してスクリ
ーン４に投影される。 ビデオカメラ５には、撮像素子としてＣＣＤラインセン
サが用いられており、スクリーン４上の投影像４ａを撮
像してそのビデオ信号を出力する。 信号処理装置８は、バンドパスフィルタ１７．二値化回
路１８を備えている。バンドパスフィルタ１７は、ビデ
オカメラ５からのビデオ信号のうち、帯状体２の検査に
必要な周波数帯域の信号だけを透過させる。二値化回路
１８は、バンドパスフィルタ１７を透過してきた出力信
号のレベルを監視し、そのレベルが所定範囲を越えた異
常レベルであるときに欠陥信号を出力するようになって
いる。 なお帯状体２の移送方向における欠陥部位を特定するた
めには、信号処理装置８に帯状体２の移送信号を供給す
ればよく、また幅方向での欠陥部位を特定するには、カ
メラドライハフからのＣＣＤラインセンサドライブ信号
を用いることができる。 上記検査装置の作用は以下のとおりである。 第３図に示したように、帯状体２が透明な支持体２ａと
透明な塗布層２ｂからなるとき、塗布層２ｂに不純物の
混入による欠陥部２０ａがあるときには、その欠陥個所
に対応してスクリーン４上では光強度が低下する。また
、塗布ムラによる欠陥部２０ｂがあると、平行光１５は
塗布ムラの界面で屈折し、やはりスクリーン４上には不
均一な陰影が生じる。さらにピンホールによる欠陥部２
０ｃが存在する場合には、その個所では塗布層２ｂによ
る吸収が全くないから、スクリーン４上での明るさは、
正常な部分に対して明るくなる。 第４図は、帯状体２に第３図に示した欠陥部２０ａ、２
０ｂ、２０ｃがあった場合のビデオ信号のレベル変化の
様子を示している。正常に塗布された塗布層２も、微視
的には高い周波数でレベルが変化しているが、このよう
な高周波信号はバンドパスフィルタ１７でカットされる
。二値化回路１８は、Ｌｌ’、Ｌ２の閾値で二値化を行
い、ビデオ信号のレベルが闇値Ｌ１よりも低いとき、そ
して闇値Ｌ２よりも高いときに欠陥信号を出力する。 したがって、第３図に示したそれぞれの欠陥部２０ａ、
２０ｂ、２０ｃの部分で欠陥信号が出力される。 こうして帯状体２を走行させながら検査を行ってゆく過
程で、信号処理装置８から欠陥信号が出力されたときに
は、その時点での帯状体２の移送信号から不良品の範囲
を特定することができ、また、カメラドライバ７からの
ドライブ信号を参照することによって、欠陥部の幅方向
での位置も特定することができる。もちろん、帯状体２
の移送信号、カメラドライバ７からのドライブ信号を欠
陥信号とともにマイクロコンピュータに入力して欠陥部
位を自動的に解析することもできる。 また、塗布ムラによる欠陥部２０ｂは、他の欠陥部２０
ａ、２０ｃと比較してスクリーン４上に現れる陰影の変
化の度合いがわずかであり、なかなか検出しにくい。し
かし、塗布ムラ欠陥は帯状体２の移送方向についである
長さをもって発生する傾向をもっている。したがって、
塗布ムラ欠陥に対する検査能を向上させるためには、ビ
デオカメラ５に用いているＣＣＤラインセンサの電荷蓄
積時間を長く設定する。これにより、塗布ムラ欠陥によ
るスクリーン４上での明暗は、帯状体２が適宜移送され
る間、積分して撮像されることになるから、スクリーン
４上の微弱な明暗変化に対しても充分な検査能力を維持
することが可能となる。 第５図は幅広の帯状体２４に対して同様の検査を行うと
きの構成を示している。この場合には、複数の平行光発
生器２５〜２日を、帯状体２４の幅方向で互いに部分的
に重畳するように配置し、非検査領域が生じないように
検査エリア２５ａ〜２８ａを設定しておく。帯状体２４
の背後には、上記実施例と同様にスクリーン４が配置さ
れ、各々の投影像は、平行光発生器２５〜２８の個々に
対応して配置された４台のビデオカメラで撮像される。 これによれば、帯状体２４の幅方向全域で平行光の照射
ができ、高い検査精度を維持できるようになる。 以上、図示した実施例にしたがって本発明について説明
してきたが、拡散反射性のスクリーン４から反射式にビ
デオカメラ５で撮像する代わりに、拡散透過型のスクリ
ーンを利用してスクリーンの背後からビデオカメラで撮
像してもよいことはもちろんである。 また、平行光を発生させるにあたり、凹面鏡として放物
面鏡を用いることができる他、反射型に代えてレンズを
利用したコリメート光学系を用いることも可能である。
以上に説明したとおり、本発明方法では連続的に移送さ
れる透明な帯状体について光学的に欠陥検出を行うにあ
たり、帯状体に平行光を照射するようにしているから、
欠陥部によってひきおこされる微弱な明暗変化に関して
も精度のよい欠陥検出を行うことができる。また、電荷
蓄積型のイメージセンサを内蔵したビデオカメラを用い
、そのビデオ信号に基づいて欠陥検出を行うので、電荷
蓄積時間を長くして積分機能を加味した検査もでき、目
視による判定が全くできないような欠陥についても自動
的に検出することができる。
れる透明な帯状体について光学的に欠陥検出を行うにあ
たり、帯状体に平行光を照射するようにしているから、
欠陥部によってひきおこされる微弱な明暗変化に関して
も精度のよい欠陥検出を行うことができる。また、電荷
蓄積型のイメージセンサを内蔵したビデオカメラを用い
、そのビデオ信号に基づいて欠陥検出を行うので、電荷
蓄積時間を長くして積分機能を加味した検査もでき、目
視による判定が全くできないような欠陥についても自動
的に検出することができる。
第１図は本発明装置を示す概略構成図である。
第２図は本発明方法の実施状態を示す外観図である。
第３図は本発明の作用説明図である。
第４図は本発明の検査により得られるビデオ信号の波形
図である。 第５図は本発明の他の実施例を示す外観図である。 ２・・・帯状体 ３・・・平行光発生器 ４・・・スクリーン ５・・・ビデオカメラ ８・・・信号処理装置 １１・・光源 １３・・凹面鏡。 第２図 第５図
図である。 第５図は本発明の他の実施例を示す外観図である。 ２・・・帯状体 ３・・・平行光発生器 ４・・・スクリーン ５・・・ビデオカメラ ８・・・信号処理装置 １１・・光源 １３・・凹面鏡。 第２図 第５図
Claims (3)
- （１）連続的に移送される透明な帯状体に平行光を照射
し、前記帯状体を透過してきた光を撮像して濃淡を表す
ビデオ信号を得、このビデオ信号を評価して前記帯状体
の欠陥部を検出することを特徴とする透明帯状体の検査
方法。 - （２）連続的に移送される透明な帯状体に平行光を照射
する平行光発生器と、前記帯状体を挟んで前記平行光発
生器と対向して配置されたスクリーンと、このスクリー
ンに形成された像を電荷蓄積によって撮像する撮像手段
と、この撮像手段から出力されるビデオ信号に基づいて
前記帯状体の欠陥部を判定する処理装置とからなること
を特徴とする透明帯状体の検査装置。 - （３）前記平行光発生器は、光源と、この光源からの光
を平行光にする凹面鏡とからなることを特徴とする請求
項（２）記載の透明帯状体の検査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP30797590A JPH04178545A (ja) | 1990-11-14 | 1990-11-14 | 透明帯状体の検査方法及び装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP30797590A JPH04178545A (ja) | 1990-11-14 | 1990-11-14 | 透明帯状体の検査方法及び装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04178545A true JPH04178545A (ja) | 1992-06-25 |
Family
ID=17975407
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP30797590A Pending JPH04178545A (ja) | 1990-11-14 | 1990-11-14 | 透明帯状体の検査方法及び装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH04178545A (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008513742A (ja) * | 2004-09-17 | 2008-05-01 | ディー．バイス サイエンティフィック インコーポレーテッド | 直接像の技術を使用した平面の媒質の光学検査 |
| EP1866625A4 (en) * | 2005-04-06 | 2010-12-29 | Corning Inc | GLASS TESTING SYSTEM AND METHOD FOR ITS USE |
| JP2011203081A (ja) * | 2010-03-25 | 2011-10-13 | Fujifilm Corp | 欠陥検査装置 |
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| WO2013008392A1 (ja) * | 2011-07-13 | 2013-01-17 | パナソニック株式会社 | 錠剤検査装置及び錠剤検査方法 |
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| JPH0283438A (ja) * | 1988-09-21 | 1990-03-23 | Nissan Motor Co Ltd | 透明板表面の付着物等評価装置 |
-
1990
- 1990-11-14 JP JP30797590A patent/JPH04178545A/ja active Pending
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