JPH0417873U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0417873U JPH0417873U JP5861490U JP5861490U JPH0417873U JP H0417873 U JPH0417873 U JP H0417873U JP 5861490 U JP5861490 U JP 5861490U JP 5861490 U JP5861490 U JP 5861490U JP H0417873 U JPH0417873 U JP H0417873U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- substrate
- spinner head
- head structure
- gravity
- mark
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 4
- 230000005484 gravity Effects 0.000 claims 1
Landscapes
- Coating Apparatus (AREA)
Description
第１図ａ，ｂはこの考案の一実施例であるスピ
ナーヘツド構造を示す斜視図および平面図、第２
図ａ，ｂは従来のスピナーヘツド構造を示す斜視
図、第２図ｃは従来のスピナーヘツドに基板をセ
ツトした状態を示す斜視図である。図において、
１……真空吸着用穴、３……基板、４……ウエハ
セツト用目盛を示す。なお、図中、同一符号は同
一、または相当部分を示す。
ナーヘツド構造を示す斜視図および平面図、第２
図ａ，ｂは従来のスピナーヘツド構造を示す斜視
図、第２図ｃは従来のスピナーヘツドに基板をセ
ツトした状態を示す斜視図である。図において、
１……真空吸着用穴、３……基板、４……ウエハ
セツト用目盛を示す。なお、図中、同一符号は同
一、または相当部分を示す。
Claims (1)
- スピナーヘツドに基板を設置した状態で基板の
重心合わせが可能な目印を設けた事を特徴とする
スピナーヘツド構造。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5861490U JPH0417873U (ja) | 1990-06-01 | 1990-06-01 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5861490U JPH0417873U (ja) | 1990-06-01 | 1990-06-01 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0417873U true JPH0417873U (ja) | 1992-02-14 |
Family
ID=31584387
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5861490U Pending JPH0417873U (ja) | 1990-06-01 | 1990-06-01 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0417873U (ja) |
-
1990
- 1990-06-01 JP JP5861490U patent/JPH0417873U/ja active Pending