JPH04179901A - カラーフィルターの製造方法 - Google Patents

カラーフィルターの製造方法

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JPH04179901A
JPH04179901A JP2307850A JP30785090A JPH04179901A JP H04179901 A JPH04179901 A JP H04179901A JP 2307850 A JP2307850 A JP 2307850A JP 30785090 A JP30785090 A JP 30785090A JP H04179901 A JPH04179901 A JP H04179901A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
film
substrate
dye film
electrolysis
pattern
Prior art date
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Pending
Application number
JP2307850A
Other languages
English (en)
Inventor
Fumiaki Matsushima
文明 松島
Kuniyasu Matsui
松井 邦容
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Seiko Epson Corp
Original Assignee
Seiko Epson Corp
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Filing date
Publication date
Application filed by Seiko Epson Corp filed Critical Seiko Epson Corp
Priority to JP2307850A priority Critical patent/JPH04179901A/ja
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、液晶デイスプレィ等に用いられるカラーフィ
ルターの製造方法に関し、詳細にはその湿式電解による
製造法に関する。
〔従来の技術〕
レドックス反応性を有する界面活性剤のミセル水溶液中
に有機顔料をコロイド分散した仮、該ミセル水溶液中で
電解により有機顔料を析出させ、色素膜を形成すること
によるカラーフィルターについて我々は特願している(
1!!f開平2−24603)が例えば本カラーフィル
ターを液晶パネル用として用いるにあたっては色素膜を
電解形成する際に用いた基板上の透明電極(工TOなど
)を、そのまま液晶駆動用にも用いられるという大きな
メリットがあった。ところが、透明電極を液晶駆動用工
Cが実装できるようにデザインしなければならない制約
上、電解成膜においても一般的な電解法で用いられるよ
うな対向電極基板を用いることにより成膜するほうが、
容易であった。ところが、大量生産を考えるとき、電解
槽中で多数枚の基板を同時処理しよ5とした場合各成膜
基板に対し、個々に対向電極基板を設置しなければなら
ないことは、それに必要なスペースを槽中に確保せざる
を得ないことであり、−バッチ当りの処理枚数を必然的
に減らすか、より大きな電解槽を作らざるを得ないこと
になる。
〔発明が解決しようとする課題〕
ところが先に述べたような電解成膜に用いた透明電極を
液晶駆動に用いず、液晶駆動に用いる電極は改めて、色
素膜上に形成して用いるよ5なカラーフィルターにつ、
いては、電解成膜に用いる透明電極のパターン形状の自
由度が増すため、同一基板内に容易に成膜電極と対向電
極を設けることが可能となる。従って、本発明の目的と
するところは、電解成膜に用いた基板上の透明電極を、
そのまま液晶駆動に用いないタイプのカラーフィルター
形成においては、色素膜を電解成膜する基板内に成膜電
極と対向電極を設けることにより、別途、対向基板を用
いる必要のない電解成膜法を提供することにある。
〔課題を解決するための手段〕
湿式電解法によるカラーフィルターの製造において、電
解に際し、色素膜を成膜する同一基板上の透BAt極の
うち一部をアノード、一部をカソードとして電解を行な
うことにより色素膜を形成することを特徴とする。
湿式電解法とじては、ンドックス反応性を有する界面活
性剤のミセル水溶液中に有機顔料を分散し、コロイド化
した後、このコロイド溶液中で電解を行なう方法を用い
ることが好適である。
すなわち、上述の電解による色素膜は有機顔料微粒子の
堆積膜であるため、色素膜は多(の空隙をもった構造と
なり、電解液中では、液が浸透することにより導電性を
示す場合が多い。従って、色素膜を形成した透明電極も
電解時に対向電極として用いられる点が大きなメリット
となる。
〔実施例〕
(実施例1) 6インチ角のガラス基板上に透明電極として、工To(
工ndium Tin (lxide  )薄膜を形成
し第1図に示すような、パターンにフォトリングラフイ
ーを用いてパターニングした。
次に色素膜を形成するために、第1表に示した組成のR
,G、Bの5原色の色素膜が形成できる電解液を作成し
た。電解液は、各成分を純水中に入れた後、超音波ホモ
ジナイザーにより1時間分散を行ない顔料をコロイド化
した。
第1図に示した基板を用い電解成膜を行なった。斜線部
分を工TOのパターンとして示した。
最初に第1図の1で示した工Toストライプパターンに
Rの色素膜の形成を試みた。1のパターンはすべて2の
部分で共通に接続されている。
1の1TOパターンをアノードとし、20部分で電気的
に電源とコンタクトした。また、3の工Toパターンす
べてを4の部分で電源とコンタクトしカソードとして用
いた。基板内の点線5より下の部分をRの電解液中に浸
漬し、0.4vの電圧を印加し20分電解を行なった。
その結果1の工ToパターンにRの色素膜が0.8μm
の膜厚で形成できた。成膜一基板を一旦150℃で30
分乾燥した。
続いて、6の点線で囲んだ部分に銀ペーストを塗布し、
7の工TOパターンすべてを導通した。
60部分を電源とコンタクトし、アノードとしてて用い
やはり前述の場合と同様に6の工Toパターンをカソー
ドとし、やはり、点線5より下の部分を今度はGの電解
液中に浸漬し、0.4vの電圧を印加し10分電解を行
なった。その結果7の工ToパターンにGの色素膜が0
.8μmの膜厚で形成できた。この時、Rの色素膜を形
成した1のパターンも同時に電気的に通電されるわけで
あるが、Rの色素膜は物性的に絶縁性が高く、Rの色素
膜上にGの色素膜が形成されることはなかった。
Gの色素膜を形成後基板を150℃で30分乾燥した。
続いて、3の工、T Oパターンをすべて4の箇所で電
源とコンタクトし、今度は3の工Toパターンをアノー
ドとし、カソードと′してはGの色素膜を形成した7の
工TOパターンをやはり60点線部で電源とコンタクト
して用いた。Gの色素膜は電解液中で導電性を示すため
カソードとして用いることができる。
Bの電解液中に基板を浸漬し、D、 4 Vの電圧を印
加することにより、10分電解を行なった。
その結果、3の工TOパターン上にBの色素膜が0.7
μmの膜厚で形成できた。
Bの色素膜を形成後、基板を150℃で30分乾燥した
以上の操作により、同一基板内の透明電極を、アノード
およびカソードとして用いることによりRn G s 
Bのストライプ状の色素膜を電解形成することができた
続いて、この基板の色素膜を形成した側の全面にアクリ
ル系の絶縁性樹脂を1μmの膜厚でオーバコートし、さ
らにこの樹脂オーバーコート上に再度工TOをスパッタ
リングにより015μmの膜厚で形成した。この基板は
TPTアクティブマトリクス液晶カラーパネル用カラー
フィルターとして用いることが可能となった。
(実施例2) 実施例1と同様にして、R,G、Bのストライプ上色素
膜パターンを形成した。やはり、この基板の色素膜を形
成した側の全面にポリイミド系の絶縁性樹脂を2μmの
膜厚でオーバーコートし、このオーバーコート上に再度
工Toをスパッタリングにより0.15μmの膜厚で形
成した。この工Toをフォトリソ、エツチング処理によ
り、ストライプ状の所定のパターンに加工した。その結
果、この基板はM工Mアクティブマトリクス液晶カラー
パネルあるいは、嚇純マトリクス液晶カラーパネルとし
て用いることが可能となった。
〔発明の効果〕
以上のように本発明により、同一基板上の電極をアノー
ドおよびカソードとして用いることで、湿式電解法によ
るカッ−フィルターの製造が可能となった。水沫は対向
電極を別途設置する必要がないため、電解槽内での一括
処理枚数を増やすことができるため大量生産にも効果的
である。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明を説明するために実施例で用いたカラー
フィルター基板を示す図。 1・・・・・・・・・工TOパターン(8色素膜を形成
)2・・・・・・・・・工Toパターン 5・・・・・・・・・工Toパターン(B色素膜を形成
)4・・・・・・・・・工Toパターン 5・・・・・・・・・電解時に基板を液中に浸漬するレ
ベル6・・・・・・・・・導電ペースト(銀ペーストな
ど)を塗布する部分 7・・・・・・・・・工Toパターン(0色素膜を形成
)以上 出願人 セイコ÷エプソン株式会社

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)湿式電解法によるカラーフィルターの製造におい
    て、電解に際し、色素膜を成膜する同一基板上の透明電
    極のうち一部をアノード、一部をカソードとして電解を
    行なうことにより色素膜を形成することを特徴とするカ
    ラーフィルターの製造方法。
  2. (2)湿式電解法として、レドックス反応性を有する界
    面活性剤のミセル水溶液中に有機顔料を分散し、コロイ
    ド化した後、このコロイド溶液を色素膜成膜用電解液と
    し用いることを特徴とする請求項1記載のカラーフィル
    ターの製造方法。
JP2307850A 1990-11-14 1990-11-14 カラーフィルターの製造方法 Pending JPH04179901A (ja)

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