JPH04183586A - 部品吸着ノズル - Google Patents

部品吸着ノズル

Info

Publication number
JPH04183586A
JPH04183586A JP31029990A JP31029990A JPH04183586A JP H04183586 A JPH04183586 A JP H04183586A JP 31029990 A JP31029990 A JP 31029990A JP 31029990 A JP31029990 A JP 31029990A JP H04183586 A JPH04183586 A JP H04183586A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
vacuum
port
suction nozzle
component
component suction
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP31029990A
Other languages
English (en)
Inventor
Yoshio Isogai
磯貝 良雄
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Fujitsu Ltd
Original Assignee
Fujitsu Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Fujitsu Ltd filed Critical Fujitsu Ltd
Priority to JP31029990A priority Critical patent/JPH04183586A/ja
Publication of JPH04183586A publication Critical patent/JPH04183586A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Manipulator (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔概 要〕 真空吸着方式によって部品を吸着して搬送する部品搬送
装置等の部品吸着部に装備される部品吸着ノズルに関し
、 部品把持ミスが発生しない高信顛性タイプの部品吸着ノ
ズルの提供を目的とし、 バキュームポートに通じる吸着ポートを装備してなる本
体部の一部に前記バキュームポートに通じるエア流入ポ
ートを備えると共に、前記バキュームポート内の真空度
が所定の閾値を超えた時にこのエア流入ポートを閉鎖す
るシャッターを装備してなる。
〔産業上の利用分野] 本発明は、真空吸着方式によって部品を吸着して搬送す
る部品搬送装置等の部品吸着部に装備される部品吸着ノ
ズルに関する。
近年、プリント板等に実装される電子部品は益々微小化
される傾向にあり、このため、これら電子部品のハンド
リング(取扱い)にメカニカルハンド(機械的に部品を
把持する方式のロボットハンド)を使用出来ない場合が
多い。従って最近はこれら電子部品を真空吸着方式によ
って把持するケースが増えてきた。
〔従来の技術〕
第5図は部品吸着部の従来構成を示す模式的回路図、第
6図は従来の部品吸着ノズルの構造を示す模式的要部側
断面図である。
この部品吸着部は第5図に示すように、圧縮奎気源51
から送られてきた空気をマフラ56側へ送出することに
よって真空状態を作り出す真空発生器53と、この真空
発生器53に接続された部品吸着ノズル50と、この部
品吸着ノズル50内に設けられたバキュームポーz(第
6図参照)内の真空度を検出する真空センサ55を装備
している。図中、52は圧縮空気源51から真空発生器
53に送られる圧縮空気の量を制御するソレノイドパル
プ、54は真空フィルタ、56は空気流によって生じる
騒音を防止するためのマフラである。
この部品吸着ノズル50は第6図に示すように、前記真
空発生器53に通じるバキュームポート1を装備すると
共に、本体部40の先端部分に当該バキュームポート1
に通じる吸着ポート3を備えている。この吸着ポート3
はバキュームポート1内を減圧状態にすることによって
部品3oを吸着して把持する。なお、前記バキュームポ
ート1には前記真空センサ55が接続されているが、こ
の真空センサ55は前記バキュームボート1内の真空度
が所定値に到達すると部品把持完了信号(以下スタンバ
イ信号と称する)を出力する。
第4図は従来の部品吸着ノズル動作時の真空度変化を示
すグラフであって、縦軸は真空度(単位−dg) 、横
軸は動作時間(単位5ee) 、Oは真空センサ55の
感度設定値、αは部品30を吸着した状態でバキューム
した時の到達真空度、βは部品3゜を吸着しない状態(
吸着ポート3が開放状B)でバキュームした時の到達真
空度、十Hは真空値が高い側のマージン幅(真空センサ
55の感度設定値0と部品30を吸着した状態でバキュ
ームした時の到達真空度αとの差幅)、−Hは真空値が
低い側のマージン幅(真空センサ55の感度設定値0と
部品30を吸着しない状態でバキュームした時の到達真
空度βとの差幅)、をそれぞれ示す。
以下第4図と第5図と第6図に基づいてこの部品吸着ノ
ズル50の動作を説明する。
■、先ずバキュームボー1−1の吸着ポート3を部品3
0上に位置決めする。
■、真空発生器53を駆動して部品吸着ノズル5oのバ
キュームポートl内を減圧状態にする。
■、バキュームポートl内が減圧されたことによって吸
着ポート3は部品30を吸着する。
■1部品吸着によってバキュームボート1内の真空度は
さらに上昇して真空センサ55の感度設定値0に到達す
る。
■、バキュームボート1内の真空度が真空センサ55の
感度設定値0に到達すると、この真空センサ55からス
タンバイ信号が出力される。
■、真空センサ55からのスタンバイ信号によって図示
されない駆動機構が作動して部品吸着ノズル50に把持
された部品30は所定位置へ搬送される。
〔発明が解決しようとする課題] 通常この部品吸着ノズル50は例えばLSI等の微小部
品を対象に製作されていることがら、吸着ポート3の断
面積が微小で、部品を吸着した時と部品を吸着しない時
のバキュームポートl内の真空度の変化量、即ちマージ
ン幅(+H,−1()が小さいことから、真空センサ5
5の動作が不安定になり、動作ミス(吸着ポート3が部
品3oを吸着していないのに部品吸着ノズル5oが次の
動作に移ってしまうとか、或いは逆に吸着ポート3が部
品3゜を吸着しているのに部品吸着ノズル5oが動作を
開始しないといった現象)が屡々発生していた。
本発明は従来の部品吸着ノズルに関する問題点を解決す
るためになされたもので、動作ミスを生しることのない
部品吸着ノズルの提供を目的とする。
〔課題を解決するための手段] 本発明による部品吸着ノズルは第1図と第2図に示すよ
うに、バキュームポート1に通じる吸着ポート3を装備
してなる部品吸着ノズル20の一部に前記バキュームポ
ートlに通しるエア流入ポート5を備えると共に、バキ
ュームポートl内の真空度が所定の閾値を超えた時にこ
のエア流入ポート5を閉鎖するシャッター7を装備して
いる。
〔作 用〕
この部品吸着ノズル20は、バイパス的にバキュームポ
ート1に通じるエア流入ポート5を備えると共に、前記
バキュームボート1内の真空度が所定の閾値を超えた時
にこのエア流入ポート5を閉鎖するシャッター7を装備
していることから、真空センサ55のマージン幅が拡大
される。このため真空センサ55の誤動作が無くなり、
部品吸着ノズル20の動作が著しく安定する。
〔実 施 例〕
以下実施例図に基づいて本発明の詳細な説明する。
第1図は本発明による部品吸着部の構成を示す回路図、
第2図は本発明による部品吸着ノズルの一実施例を示す
模式的要部側断面図、第3図は本発明による部品吸着ノ
ズル動作時の真空度の変化を示すグラフであるが、前記
第4図、第5図、第6図と同一部分にはそれぞれ同一符
号を付している。
第1図に示すように、本発明による部品吸着部は前記第
5図に示したものとほぼ同じであるが、この部品吸着部
は部品吸着ノズル20の一部にシャッター7を備えてい
る点が従来の部品吸着ノズル50と異なる。
以下第2図に基づいて本発明による部品吸着ノズル20
の構造を説明する。
第2図に示すようにこの部品吸着ノズル20は、バキュ
ームポート1に通じる吸着ポート3を本体部10の一部
に備えると共に、当該バキュームポート1に通じるエア
流入ポート5と、バキュームポート1内の真空度が所定
の閾値を超えた時にこのエア流入ポート5は閉鎖するシ
ャッター7を装備している。前記エア流入ポート5は部
品吸着ノズルの外周面から内周面に貫通する円錐型の孔
であり、シャッター7はこのエア流入ポート5対応に形
成された円錐型の突起である。このシャッター7は、吸
着ポート3が部品30を吸着してバキュームポー1−1
内の真空度が所定の閾値を超えると矢印A方向に移動し
て前記エア流入ポート5を閉鎖する。図中、8は矢印A
−A’方向にその位置が移動するシャッター7を保持す
るシャッターホルダであり、9はこのシャッターホルダ
8を本体部10に固定する鋲である。なお、前記シャッ
ターホルダ8は弾力性を要求されることから例えばリン
青銅板等を用いて製作される。
以下第2図と第3図に基づいてこの部品吸着ノズルの動
作を説明する。第3図中、β8は部品を吸着しない状態
(この時は吸着ポート3とエア流入ポート5の両方が開
いている)でバキュームした時の到達真空度、Tはβ1
と0間に設定された閾値、α、は部品が吸着されて吸着
ポート3とシャッター7の両方が閉鎖された時の到達真
空度、+H”は真空値が高い側のマージン幅、−Hは真
空値が低い側のマージン幅をそれぞれ示す。
■、先ず部品吸着ノズルの吸着ポート3を部品30上に
位置決めしてバキュームを開始する。この時吸着ポート
3が部品30を吸着していないとバキュームボート1内
の真空度は閾値Tを超えることはないので真空センサ5
5は作動しない。しかし、吸着ポート3が部品30を吸
着している場合はバキュームボート1内の真空度は上昇
して閾値γを超える。
■、バキュームボート1内の真空度が閾値Tを超えると
バキュームボート1内の真空度が高くなり、シャッター
7は矢印A方向に吸引されてエア流入ポート5を閉鎖す
る。このシャッター7はバキュームボート1内の真空度
が低下するとシャッターホルダ8の復元力によって矢印
A゛方向移動して元の位置に復帰する。
■、吸着ボート3とエア流入ポート5の両方が閉じられ
たことによってバキュームボート1内の真空度は急激に
上昇して真空センサ55の感度設定値に達する。
■、バキュームボー1−1内の真空度が真空センサ55
の感度設定値Oを超えると真空センサ55からスタンバ
イ信号が出力され、部品吸着ノズル20は所定方向に駆
動される。
この部品吸着ノズルは、β1と0間に閾値Tが設けられ
ているので、真空センサ55の真空度検出マージン幅が
広(なり、部品吸着ノズルの動作が安定する。
〔発明の効果] 以上の説明から明らかなように、本発明による部品吸着
ノズルは、バキュームポート内の真空度を閾値によって
制御する構成になっているので、部品吸着ノズルの動作
が著しく安定する。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明による部品吸着部の構成を示す回路図、 第2図は本発明による部品吸着ノズルの一実施例を示す
模式的要部側断面図、 vJ3図は本発明による部品吸着ノズル動作時の真空度
変化を示すグラフ、 第4図は従来の部品吸着ノズル動作時の真空度変化を示
すグラフ、 第5図は部品吸着部の従来構成を示す模式的回路図、 第6図は従来の部品吸着ノズルの構造を示す模式的要部
側断面図である。 図において、1はバキュームポート、3は吸着ポート、
5はエア流入ポート、7はシャッター、8はシャッター
ホルダ、9は鋲、10と40は本体部、20と50は部
品吸着ノズル、51は圧縮空気源、52はソレノイドパ
ルプ、53は真空発生器、54は真空フィルタ、55は
真空センサ、56はマフラ、0は真空センサの感度設定
値、Tは閾値、をそれぞれ示す。 M8Bも帥品用場−城へ゛9ネTの β1図 4発切5t=J3却易暖着ノZ・ルめ−WJ閏嬉 2 
図 騙明+J3舒岳ル気メ1ノス俳1カVト帥ト角11ス≦
粛りa6ε3ミTGつ第3図 覗Uミ/l(1シ品4ノスール1ヒυn時角2号ミ粛イ
化やjミ掲第49

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 真空吸着方式によって部品を吸着して搬送する部品搬送
    装置等の部品吸着部に装備される部品吸着ノズルであっ
    て、 バキュームポート(1)に通じる吸着ポート(3)を装
    備してなる本体部(10)の一部に前記バキュームポー
    ト(1)に通じるエア流入ポート(5)を備えると共に
    、前記バキュームポート(1)内の真空度が所定の閾値
    を超えた時にこのエア流入ポート(5)を閉鎖するシャ
    ッター(7)を装備してなることを特徴とする部品吸着
    ノズル。
JP31029990A 1990-11-15 1990-11-15 部品吸着ノズル Pending JPH04183586A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP31029990A JPH04183586A (ja) 1990-11-15 1990-11-15 部品吸着ノズル

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP31029990A JPH04183586A (ja) 1990-11-15 1990-11-15 部品吸着ノズル

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH04183586A true JPH04183586A (ja) 1992-06-30

Family

ID=18003553

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP31029990A Pending JPH04183586A (ja) 1990-11-15 1990-11-15 部品吸着ノズル

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPH04183586A (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5800613A (en) * 1995-07-11 1998-09-01 Yazaki Corporation Seed supplying mechanism in seed gel coating apparatus

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5800613A (en) * 1995-07-11 1998-09-01 Yazaki Corporation Seed supplying mechanism in seed gel coating apparatus

Similar Documents

Publication Publication Date Title
WO2005090011A1 (ja) 真空吸着ユニット
JPS6210793B2 (ja)
JP2022136223A (ja) 部品供給装置および部品供給方法
JP3849589B2 (ja) 電子部品実装装置および電子部品実装方法
JPH04183586A (ja) 部品吸着ノズル
KR960033203A (ko) 부품 탑재 방법 및 탑재 장치
JP4030038B2 (ja) 通気性ワーク取り出し・保持装置及び通気性ワークの取り扱い方法
JP4002123B2 (ja) 表面実装機
JP3697889B2 (ja) 電子部品実装装置
JPH07266274A (ja) 真空吸着装置
JP3718995B2 (ja) 電子部品実装方法
JPS6093026A (ja) 部品供給装置の供給端構造
JP2712458B2 (ja) 部品吸着方法及び部品吸着子
WO1993006973A1 (fr) Dispositif d'aspiration
JPH03264287A (ja) 吸引式ピックアップ装置
JPH066099A (ja) 部品未吸着検出方法
CN115674243A (zh) 真空机械手及半导体工艺设备
JPH06246236A (ja) パーツフィーダ
JPH0569998A (ja) 真空供給用ユニツト
JPH0445040A (ja) リードフレームの転送装置
JP2765189B2 (ja) 電子部品装着機用真空エジェクタ
JPH1168391A (ja) 真空ノズル装置
JPS6125002A (ja) 部品検出装置
JP4429454B2 (ja) 電子部品実装装置
JP4938900B1 (ja) 空圧切り替え機構及びこれを備えたワーク搬送装置