JPH04184243A - 水晶薄板双晶検査装置 - Google Patents
水晶薄板双晶検査装置Info
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- JPH04184243A JPH04184243A JP31522190A JP31522190A JPH04184243A JP H04184243 A JPH04184243 A JP H04184243A JP 31522190 A JP31522190 A JP 31522190A JP 31522190 A JP31522190 A JP 31522190A JP H04184243 A JPH04184243 A JP H04184243A
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- 239000010453 quartz Substances 0.000 title abstract description 5
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N silicon dioxide Inorganic materials O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 title abstract description 5
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- 238000002441 X-ray diffraction Methods 0.000 description 1
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- Closed-Circuit Television Systems (AREA)
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野］
本発明は、水晶薄板双晶検査装置に関し、特に画像処理
による水晶板外観検査機に関する。
による水晶板外観検査機に関する。
［従来の技術１
従来、結晶性を検査するには、予め結晶表面に圧縮空気
によって微粒子を吹付けて表面を粗面化し、このとき結
晶欠陥が生じている場合は結晶の表面に凹凸が生じるこ
とを利用して検査を行う方法（特開昭６０−１２９６４
０号）と、結晶にＸ線を照射しながら結晶試料を回転さ
せ、Ｘ線回折が生じた地点を検出することにより、結晶
方位及び双晶の有無を判定する方法（特開昭５８−１６
５０４５号）とがあった。
によって微粒子を吹付けて表面を粗面化し、このとき結
晶欠陥が生じている場合は結晶の表面に凹凸が生じるこ
とを利用して検査を行う方法（特開昭６０−１２９６４
０号）と、結晶にＸ線を照射しながら結晶試料を回転さ
せ、Ｘ線回折が生じた地点を検出することにより、結晶
方位及び双晶の有無を判定する方法（特開昭５８−１６
５０４５号）とがあった。
［発明が解決しようとする課題］
この従来の方式では、前者は結晶試料に外乱を与えると
いう問題点があり、後者は、Ｘ線管やＸ ゛線検出器等
のように取扱いがむずかしいものを含み、かつ結晶試料
の回転機槽など構成機器が大がかりであるという装置の
コスト面で問題点があった。
いう問題点があり、後者は、Ｘ線管やＸ ゛線検出器等
のように取扱いがむずかしいものを含み、かつ結晶試料
の回転機槽など構成機器が大がかりであるという装置の
コスト面で問題点があった。
本発明の目的は、水晶薄板の画像を入力し、水品薄板上
の双晶の有無を検出する検査装置を提供することにある
。
の双晶の有無を検出する検査装置を提供することにある
。
［課題を解決するための手段］
前記目的を達成するため、本発明に係る水晶薄板双晶検
査装置は、水晶薄板の画像を入力し、水晶薄板上の双晶
の有無を検出する検査装置において、 水晶薄板を異なる方向から照明する複数台の照明器と、 前記照明器の点灯を切替える点灯切替器と、前記点灯切
替器と同期して、照明された水晶薄板の画像を入力する
画像入力手段と、 前記画像入力手段から得る画像を複数枚記憶する記憶手
段と、 前記記憶手段に記憶された画像を相互比較して、その差
分値を出力する演算部と、 前記演算部が出力する差分値を評価して、双晶の有無を
出力する判定部とを有するものである。
査装置は、水晶薄板の画像を入力し、水晶薄板上の双晶
の有無を検出する検査装置において、 水晶薄板を異なる方向から照明する複数台の照明器と、 前記照明器の点灯を切替える点灯切替器と、前記点灯切
替器と同期して、照明された水晶薄板の画像を入力する
画像入力手段と、 前記画像入力手段から得る画像を複数枚記憶する記憶手
段と、 前記記憶手段に記憶された画像を相互比較して、その差
分値を出力する演算部と、 前記演算部が出力する差分値を評価して、双晶の有無を
出力する判定部とを有するものである。
［作用］
水晶薄板を異なる方向から照明し、照明された水晶薄板
の画像を入力し、その画像を複数枚記憶し、記憶された
画像を相互比較してその差分値を出力し、差分値を評価
して、双晶の有無を出力する。
の画像を入力し、その画像を複数枚記憶し、記憶された
画像を相互比較してその差分値を出力し、差分値を評価
して、双晶の有無を出力する。
〔実施例１
次に本発明について第１図を参照して説明する。
第１図は、本発明の一実施例を示すブロック図である。
図において、本発明の水晶薄板双晶検査装置においては
、水晶薄板ｌの画像がフレームメモリ６ａ、６ｂ、６ｃ
、６ｄに記憶される。すなわち、水晶薄板１は、スポッ
ト照明器２ａ、２ｂ、２ｃ。
、水晶薄板ｌの画像がフレームメモリ６ａ、６ｂ、６ｃ
、６ｄに記憶される。すなわち、水晶薄板１は、スポッ
ト照明器２ａ、２ｂ、２ｃ。
２ｄによって透過照明され、スポット照明器２ａ。
２ｂ、２ｃ、２ｄは点灯切替器３によって一度に一つず
つ順番に点灯するように制御される。水晶薄板１の画像
は、２次元カメラ４．Ａ／Ｄ変換器５を通してフレーム
メモリ６ａ、６ｂ、６Ｃ，６ｄに記憶される。このとき
、スポット照明器２ａで照明された画像はフレームメモ
リ６ａへ、スポット照明器２ｂによる画像はフレームメ
モリ６ｂへ、スポット照明器２ｃによる画像はフレーム
メモリ６ｃへ、スポット照明器２ｄによる画像はフレー
ムメモリ６ｄへ、それぞれ記憶され、合計４回の画像入
力が行われる。次に双晶の有無の判定が行われる。すな
わち、最大値検出器７は、フレームメモリ６ａ〜６ｄを
同時にラスクスキャンしてデータを比較し、その中の最
大値を出力する。
つ順番に点灯するように制御される。水晶薄板１の画像
は、２次元カメラ４．Ａ／Ｄ変換器５を通してフレーム
メモリ６ａ、６ｂ、６Ｃ，６ｄに記憶される。このとき
、スポット照明器２ａで照明された画像はフレームメモ
リ６ａへ、スポット照明器２ｂによる画像はフレームメ
モリ６ｂへ、スポット照明器２ｃによる画像はフレーム
メモリ６ｃへ、スポット照明器２ｄによる画像はフレー
ムメモリ６ｄへ、それぞれ記憶され、合計４回の画像入
力が行われる。次に双晶の有無の判定が行われる。すな
わち、最大値検出器７は、フレームメモリ６ａ〜６ｄを
同時にラスクスキャンしてデータを比較し、その中の最
大値を出力する。
より詳しく言いかえるならば、フレームメモリ６ａの、
成る任意の画素の値が、他のフレームメモリ６ｂ、６ｃ
、６ｄの対応する画素の値とを相互に比較して、４つの
値の内の最大値を出力する手段である。同様に最小値検
出器８は最小値を出力する。差分器９は最大値検出器７
と最小値検出器８の出力の差分をとる。その出力は蓄積
加算器１０で加算して蓄積される。比較器１２は、フレ
ームメモリ６ａ、６ｂ、６ｃ、６ｄに対する以上のよう
なラスクスキャンが終了したら、蓄積加算器１０の出力
結果と、基準値入力端子１１から得られる基準値とを比
較器１２によって比較して、出ツノ結果が基準値を上回
るならば、双晶有無出力端子１３に双晶有を示す信号を
出力する。次に水晶薄板の双晶検出の原理について第２
図〜第５図を参照しながら説明する。
成る任意の画素の値が、他のフレームメモリ６ｂ、６ｃ
、６ｄの対応する画素の値とを相互に比較して、４つの
値の内の最大値を出力する手段である。同様に最小値検
出器８は最小値を出力する。差分器９は最大値検出器７
と最小値検出器８の出力の差分をとる。その出力は蓄積
加算器１０で加算して蓄積される。比較器１２は、フレ
ームメモリ６ａ、６ｂ、６ｃ、６ｄに対する以上のよう
なラスクスキャンが終了したら、蓄積加算器１０の出力
結果と、基準値入力端子１１から得られる基準値とを比
較器１２によって比較して、出ツノ結果が基準値を上回
るならば、双晶有無出力端子１３に双晶有を示す信号を
出力する。次に水晶薄板の双晶検出の原理について第２
図〜第５図を参照しながら説明する。
エツチング処理後の水晶薄板１に双晶がある場合、斜め
下方から透過照明を行うと、結晶方位の違いから、水晶
薄板１と、その中の双晶をなす部分との明度とは異なる
。さらにこの明度の差異は照明の方向によって変動する
。第２図は、この照明方向に対する、双晶部分の明度変
動の様子を示す。水晶薄板１の双晶部分が他の部分に対
し最も明るい明度となるときの照明方向をＯｏとすると
、４５°方向を変えた場合は双晶部分と他の部分とが同
じ中間明度になり、９０°の場合は双晶部分が暗部とな
る。即ち、照明方向によって９０’おきに明暗が交代す
る。この明暗差が大きい水晶薄板を双晶有゛°りと判定
する。
下方から透過照明を行うと、結晶方位の違いから、水晶
薄板１と、その中の双晶をなす部分との明度とは異なる
。さらにこの明度の差異は照明の方向によって変動する
。第２図は、この照明方向に対する、双晶部分の明度変
動の様子を示す。水晶薄板１の双晶部分が他の部分に対
し最も明るい明度となるときの照明方向をＯｏとすると
、４５°方向を変えた場合は双晶部分と他の部分とが同
じ中間明度になり、９０°の場合は双晶部分が暗部とな
る。即ち、照明方向によって９０’おきに明暗が交代す
る。この明暗差が大きい水晶薄板を双晶有゛°りと判定
する。
第３図は、第１図の構成において、上から見た水晶薄板
１の周辺の照明器２の配置である。照明器２の方向は４
５°間隔に４つ配し、双晶がある場合、その明部及び暗
部の位相をカバーしている。
１の周辺の照明器２の配置である。照明器２の方向は４
５°間隔に４つ配し、双晶がある場合、その明部及び暗
部の位相をカバーしている。
第４図は、照咀器２ａ、２ｂを順に１つずつ点灯し、４
枚のフレームメモリ６ａ〜６ｄに順に入力した後のフレ
ームメモリ６ａ、６ｂ、６ｃ、６ｄ上の画像を示す。
枚のフレームメモリ６ａ〜６ｄに順に入力した後のフレ
ームメモリ６ａ、６ｂ、６ｃ、６ｄ上の画像を示す。
第５図は、第４図の画像６ａ〜６ｄに対し最大値検出器
７を通した画像イメージ１４、第６図は、同じく最小値
検出器８を通した画像イメージ１５であり、第７図は、
この両画像の差分画像イメージ１６である。この差分画
像に注目すると、双晶の部分は差分値が大きくなるので
、この差分値を評価することにより、双晶有無の判定を
行う。第１図の例では、その評価機構を、前記差分値の
蓄積加算結果である蓄積加算器１０の出力と、基準値入
力端子１１から入力される基準値との比較で有無を判定
している。。
７を通した画像イメージ１４、第６図は、同じく最小値
検出器８を通した画像イメージ１５であり、第７図は、
この両画像の差分画像イメージ１６である。この差分画
像に注目すると、双晶の部分は差分値が大きくなるので
、この差分値を評価することにより、双晶有無の判定を
行う。第１図の例では、その評価機構を、前記差分値の
蓄積加算結果である蓄積加算器１０の出力と、基準値入
力端子１１から入力される基準値との比較で有無を判定
している。。
［発明の効果］
以上説明したように本発明によれば、非接触計測であり
、結晶試料に外乱を与えることがなく、しかも通常の可
視光照明であるとともに、特別な可動部を持たない構成
であり、利用者は容易に装置を取扱うことができるとい
う効果を有する。
、結晶試料に外乱を与えることがなく、しかも通常の可
視光照明であるとともに、特別な可動部を持たない構成
であり、利用者は容易に装置を取扱うことができるとい
う効果を有する。
第１図は、本発明の一実施例を示すブロック図、第２図
は、水晶薄板上の双晶部分の照明方向による明度変化を
示す図、第３図は、水晶薄板と照明器の配置を上部から
見た様子を示す図、第４図は、水晶薄板の画像を取込ん
だフレームメモリの画像イメージを示す図、第５図は、
最大値検出処理後を示す図、第６図は、最小値検出処理
後を示す図、第７図は、第５図と第６図の画像の差分後
の画像イメージを示す図である。 ｌ・・・水晶薄板 ２ａ、２ｂ、２ｃ、２ｄ−スポット照明器３・・・点灯
切替器 ４・・・２次元カメラ５・・・Ａ／Ｄ
変換器 ６ａ、６ｂ、６ｃ、６ｄ−−・フレームメモリ７・・・
最大値検出器 ８・・・最小値検出器９・・・差
分器 １０・・・蓄積加算器１１・・・基
準値入力端子 １２・・・比較器１３・・・双晶有無
出力端子 １４・・・最大値検出器後の画像イメージ１５・・・最
小値検出器後の画像イメージ１６・・・差分器後の画像
イメージ 特許出願人 日本電気株式会社 第１図 第４図
は、水晶薄板上の双晶部分の照明方向による明度変化を
示す図、第３図は、水晶薄板と照明器の配置を上部から
見た様子を示す図、第４図は、水晶薄板の画像を取込ん
だフレームメモリの画像イメージを示す図、第５図は、
最大値検出処理後を示す図、第６図は、最小値検出処理
後を示す図、第７図は、第５図と第６図の画像の差分後
の画像イメージを示す図である。 ｌ・・・水晶薄板 ２ａ、２ｂ、２ｃ、２ｄ−スポット照明器３・・・点灯
切替器 ４・・・２次元カメラ５・・・Ａ／Ｄ
変換器 ６ａ、６ｂ、６ｃ、６ｄ−−・フレームメモリ７・・・
最大値検出器 ８・・・最小値検出器９・・・差
分器 １０・・・蓄積加算器１１・・・基
準値入力端子 １２・・・比較器１３・・・双晶有無
出力端子 １４・・・最大値検出器後の画像イメージ１５・・・最
小値検出器後の画像イメージ１６・・・差分器後の画像
イメージ 特許出願人 日本電気株式会社 第１図 第４図
Claims (1)
- （１）水晶薄板の画像を入力し、水晶薄板上の双晶の有
無を検出する検査装置において、 水晶薄板を異なる方向から照明する複数台の照明器と、 前記照明器の点灯を切替える点灯切替器と、前記点灯切
替器と同期して、照明された水晶薄板の画像を入力する
画像入力手段と、 前記画像入力手段から得る画像を複数枚記憶する記憶手
段と、 前記記憶手段に記憶された画像を相互比較して、その差
分値を出力する演算部と、 前記演算部が出力する差分値を評価して、双晶の有無を
出力する判定部とを有することを特徴とする水晶薄板双
晶検査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2315221A JP2560539B2 (ja) | 1990-11-20 | 1990-11-20 | 水晶薄板双晶検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2315221A JP2560539B2 (ja) | 1990-11-20 | 1990-11-20 | 水晶薄板双晶検査装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04184243A true JPH04184243A (ja) | 1992-07-01 |
| JP2560539B2 JP2560539B2 (ja) | 1996-12-04 |
Family
ID=18062855
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2315221A Expired - Lifetime JP2560539B2 (ja) | 1990-11-20 | 1990-11-20 | 水晶薄板双晶検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2560539B2 (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| RU2494373C1 (ru) * | 2012-03-20 | 2013-09-27 | Российская академия наук Федеральное государственное бюджетное учреждение науки Институт систем обработки изображений Российской академии наук (ИСОИ РАН) | Способ определения оптических параметров кристаллического вещества |
| JP2014517914A (ja) * | 2011-04-18 | 2014-07-24 | イスメカ セミコンダクター ホールディング エス アー | 検査装置 |
| JP2015206701A (ja) * | 2014-04-22 | 2015-11-19 | キヤノン株式会社 | 光学検査方法、光学検査装置、および光学部材の製造方法 |
-
1990
- 1990-11-20 JP JP2315221A patent/JP2560539B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2014517914A (ja) * | 2011-04-18 | 2014-07-24 | イスメカ セミコンダクター ホールディング エス アー | 検査装置 |
| RU2494373C1 (ru) * | 2012-03-20 | 2013-09-27 | Российская академия наук Федеральное государственное бюджетное учреждение науки Институт систем обработки изображений Российской академии наук (ИСОИ РАН) | Способ определения оптических параметров кристаллического вещества |
| JP2015206701A (ja) * | 2014-04-22 | 2015-11-19 | キヤノン株式会社 | 光学検査方法、光学検査装置、および光学部材の製造方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2560539B2 (ja) | 1996-12-04 |
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