JPH0418435U - - Google Patents

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JPH0418435U
JPH0418435U JP5803890U JP5803890U JPH0418435U JP H0418435 U JPH0418435 U JP H0418435U JP 5803890 U JP5803890 U JP 5803890U JP 5803890 U JP5803890 U JP 5803890U JP H0418435 U JPH0418435 U JP H0418435U
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chemical
piping line
tank
filter device
chemical liquid
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JP5803890U
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【図面の簡単な説明】
第１図は、本考案に係る半導体処理用薬液循環
装置を含む半導体処理装置全体のシステム構成図
、第２図は、半導体処理用薬液循環装置を示す１
部破断斜視図、第３図は、第１図に示すコントロ
ールユニツトを概略的に示す斜視図である。 １……半導体処理装置、４……薬液槽、５……
半導体処理用薬液循環装置、６……ポンプ、７…
…フイルター装置、９……熱交換器、１８……ケ
ーシング。

Claims (1)

  1. 【実用新案登録請求の範囲】 (1) 薬液槽に接続され、この薬液槽に貯留して
    ある薬液を、供給配管ライン及び排出配管ライン
    を通して循環させる半導体処理用薬液循環装置で
    あつて、 前記排出配管ラインに接続してあるポンプと、 このポンプで吸引した薬液槽内薬液が送り込ま
    れるフイルター装置と、 前記供給配管ラインに接続してあり、前記フイ
    ルター装置で濾過された薬液が送り込まれて所定
    温度に熱交換された薬液を、前記給油配管ライン
    を通して前記薬液槽内に戻す熱交換器とを有し、 前記ポンプと、フイルター装置と、熱交換器と
    が、枠体により一体にユニツト化してあることを
    特徴とする半導体処理用薬液循環装置。 (2) 半導体を処理するための薬液を収容してあ
    る薬液槽と、 前記薬液槽に貯留してある薬液の一部を薬液槽
    外に排出する排出配管ラインと、 前記薬液槽内に薬液を供給する供給配管ライン
    と、 前記排出配管ラインに接続してあるポンプと、 このポンプで吸引した薬液槽内薬液が送り込ま
    れるフイルター装置と、 前記供給配管ラインに接続してあり、前記フイ
    ルター装置で濾過された薬液が送り込まれて所定
    温度に熱交換された薬液を、前記給油配管ライン
    を通して前記薬液槽内に戻す熱交換器とを有し、 前記ポンプと、フイルター装置と、熱交換器と
    、排出配管ラインと、供給配管ラインと、薬液槽
    とが、枠体により一体にユニツト化してある半導
    体処理装置。
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