JPH04186169A

JPH04186169A - 電子部品検査装置

Info

Publication number: JPH04186169A
Application number: JP2316586A
Authority: JP
Inventors: Takeshi Kaneko; 猛金子
Original assignee: Nisshin Koki Co Ltd; Nissin Koki Co Ltd
Current assignee: Nippon Steel Texeng Co Ltd; Nissin Koki Co Ltd
Priority date: 1990-11-21
Filing date: 1990-11-21
Publication date: 1992-07-02
Anticipated expiration: 2011-01-10
Also published as: JPH081456B2

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】（産業上の利用分野）本発明はテープ状体に一定間隔で導電部が形成されてい
る電子部品の検査装置に関する。

（従来の技術）近年、第１２図、第１３図に示すＴ　Ａ　Ｂ　（Ｔａｐ
ｅＡｕｔｅｍａｔｅｄ　Ｂｏｎｄｉｎｇ）テープとよば
れる電子部品が用いられている。このＴＡＢテープ１は
、リール１５に巻かれた状態で取扱われる。ＴＡＢテー
プ１は、］フレーム単位で感電パターンなどによって構
成される導電部３が形成されている。この感電部３には
、半４体集積回路などがボンディングされ、第１３図に
示す一点鎖線に沿って切断されて、電卓、時計などの電
子機器に装備される。またＴＡＢテープ１の上下端部に
はパーホレーション４が形成されている。

ＴＡＢテープ１は導電部３の導電不良の有無などを検査
する必要がある。かかる検査はＴＡＢテープ検査装置に
よって行われる。ＴＡＢテープ検査装置は本願の出願人
によってなされた出願である特願平１−２９１７３１に
開示されている。

第１４図において符号１０はＴＡＢテープ検査装置を示
す。

同図において符号１１は装置本体を示し、この装置本体
１１には、一対のリール台１２．１３が設けられている
。リール台１２には、供給リール１５が取り付けられて
いる。この供給リール１５には、ＴＡＢテープ１と、ス
ペースフィルム１４が巻かれてし：る。このスペースフ
ィルム１４は、　′リール１５にＴＡＢテープ１が巻か
れた状態で運搬する際、ＴＡＢテープ１が損傷するのを
防止するものであり、ＴＡＢテープ１間に介在するよう
に巻かれている。リール台１３には収容リール１６が取
り付けられている。また装置本体１１にはスペースフィ
ルム誘導用のローラー１７が７個、配置されている。

装置本体１１には、供給側アイドルリール１８と供給側
スプロケット２ｏ、さらに収容側アイドルリール１９と
収容側スプロケット２１が配設されている。スプロケッ
ト２０．２１はモータによって駆動される。

符号２７．２８はテープクランプを示し、このテープク
ランプ２７．２８によって、ＴＡＢテープ１がクランプ
される。テープクランプ２７の左側方にはＴＡＢテープ
１の導電状態を検査する際に、ＴＡＢテープ１の送り量
等を検査するためのセンサ２９が配置されている。

符号２３は導電状態検査装置を示し、この導電状態検査
装置２３は上下方向、さらにＴ’Ａ　Ｂチー′ｊ１が張
られている方向（以下ｘ−ｘ”方向という）と、テープ
１へ直交する方向（以下Ｙ−Ｙ’方向という）へ移動す
る。

導電状態検査装置２３の上面には第１６図、第１７図に
示すように導電性ゴムシートによって構成された検査治
具５０が備えられている。この検査治具５０を構成する
導電性ゴムシートは、加圧状態でまたは無加圧状態のま
まで厚み方向に導電路を形成する複数の導電路形成部と
これら導電路形成部の相互間を絶縁する絶縁部とにより
構成されてなるものである。この導電性ゴムシートの具
体的な構成例としては、（１）金属繊維や炭素繊維等の
導電性繊維を弾性体シート中の厚み方向に並列に埋設し
た構成、（２）導電性ガーボンを含有してなる導電性ゴ
ムとを交互に積層した構成、（３）粒径１〜１００μｍ
程度の導電性磁性体粒子を弾性体シート中に厚み方向に
配列した状態で含有させた構成などを挙げることができ
る。そして、この導電性ゴムシートの下には、ＴＡＢテ
ープ１の被測定導電部３と対応する測定電極がプリント
基板などの形態で形成されている。検査治具５０にはテ
スターが接続されており、検査治具５０にＴＡＢテープ
１を接触させることによって第１３図に示したＴＡＢテ
ープ１の導電部３の導電状態を検査することができる。

導電状態検査装置２３の上側には、加圧装置２５が設け
られている。加圧装置２５には、加圧板−５＝Ｑｔと加圧ばねによって構成された加圧部が設けられ、この
加圧部は導電状態検査装置２３の検査治具５０に対向し
ている。加圧装置２５は上下方向（以下Ｚ−Ｚゝ方向と
いう）に動作できる。

符号３０は、ＴＡＢテープ１と検査治具５０との位置を
検出するための装置を示す。この装置３０の詳細な構成
を第１５図に示す。

同図において符号３１は位置検出装置を示し、この位置
検出装置３１はＬ字形状を有しており、Ｙテーブル３２
に固定されている。Ｙテーブル３２はＹ−Ｙ’方向移動
自在にしてＸテーブル３３に取り付けられ、このＹテー
ブル３２はモータ３５によって駆動される。Ｘテーブル
３３はＸ−Ｘ゛方向移動自在にしてベース３４に取り付
けられ、とのＸテーブル３３はモータ３６によって駆動
される。

第１９図、第２０図に位置検出装置３１の内部構造を示
す。同図に示すように位置検出装置３１のヘッド部３８
の先端部上下面には、開口部４ｏ、４１が形成されてい
る。ヘッド部３８内には直角＝６− 一プリズム４２が、支持台４３に接着されて設けられてい
る。この直角プリズム４２は開口部４０．４１から入射
した光を直角方向へ反射するものである。直角プリズム
４２の反射方向には、対物レンズ４４がレンズホルダ４
５に保持されて配置されている。さらにヘット部３８内
の基端部には、反射プリズム４６が配置されている。反
射プリズム４６の反射方向には、カメラＣａ及び画像処
理装置６０が備えられており、カメラＣａによって対物
レンズ４４の結像を撮像し、この像を画像処理装置６０
によって画像処理してＴＡＢテープ１と検査治具５０の
位置比較を行う。

符号４８．４９は照明灯を示し、これらの照明灯４８．
４９は、ヘッド部３８の」二下面先端部に図示しない機
構によって支持されている。

次にＴＡＢテープ検査装置１０の動作について説明する
。

ＴＡＢテープ検査装置１ｏの動作開始時において、加圧
装置２５は上方に移動した状態となっており、この加圧
装置２５の加圧部は、導電状態検査装置２３の上面に設
けられた検査治具５０から離れた状態となっている。さ
らにテープクランプ２７．２８は、ＴＡＢテープ１を保
持する状態となっておらず、ＴＡＢテープ１は走行可能
な状態となっている。

スプロケット２０．２１の回転動作によって、供給リー
ル１５からＴＡＢテープ１が引き出され、所定のピッチ
すなわち１フレ一ム単位（検査単位）毎、−点鎖線で示
す経路にしたがって送られ、収容リール１６に巻き取ら
れる。この際、スペースフィルム１４はスペースフィル
ム誘導用ローラー１７に誘導されて、収容リール１６に
巻き取られる。

ＴＡＢテープ１の導電状態検査装置２３に設けられた検
査治具５０に対する位置決め動作、ならびにＴＡＢテー
プ１の導電状態を検査するための動作について第２１図
のフローチャートにしたがって説明する。

ＴＡＢテープ１が所定ピッチ送られると、ＴＡＢテープ
１は停止しくステップｓｉ）、テープクランプ２７．２
８によって、Ｔ　Ａ　Ｂテープ１が保持され、ＴＡＢテ
ープ１の検査対象となる部分が固定され、同時に平面度
が保たれた状態となる（ステップＳ７．）。この時、必
電状態検査装＠２３はテープ１と離間対向した待機位置
にいる。

そして、Ｙテーブル３２とともに、位置検出装置３１が
Ｙ方向へ移動し、位置検出装置３１のヘッド部３８は、
第１６図、第１７回、第１８図に示すようにＴＡＢテー
プ１と導電状態検査装置２３との間へ進出する（ステッ
プＳ３）。

第２０図に示すように照明灯４９によって導電状態検査
装置２３の上面に設けられた検査治具５０のエツジ部周
辺が照明される。この導電状態検査袋ｗ２３側からの反
射光は、開口部４１からヘッド部３８内に入り、直角プ
リズム４２によって対物レンズ４４に向かって反射され
る。さらに対物レンズ４４を通過した光は、反射プリズ
ム４６によって反射されカメラＣａに導かれて、対物レ
ンズ４４の結像として検査治具５０のエツジ部分がカメ
ラＣａによって撮像される。そして画像処理によって検
査治具５０のエツジ部分の位置が画像処理装置６０に記
憶される（ステップＳ４）。

次に、照明灯４８によってテープ１が照明される。この
テープ１側からの反射光は、開口部４０からヘッド部３
８内に入り、反射プリズム４２によって対物レンズ４４
に向かって反射される。さらに対物レンズ４４を通過し
た光は、反射プリズム４６によって反射しカメラＣａに
導かれて、対物レンズ４４の結像としてＴＡＢテープ１
の検査対象となる部分がカメラＣａによって撮像され、
画像処理によって検査対象の位置を検出する（ステップ
Ｓ５）。

そして画像処理装置６０によって検出されたＴＡＢテー
プ１．の位置と、既に記憶されている検査治具５０のエ
ツジ部分に位置を比較し、検査対象となるＴＡＢテープ
１の部分と、検査治具５０とのずれを求め、導電状態検
査装置２３の移動を指示する（ステップｓｇ）。勿論、
ずれが無ければ指示はでない。

次いで、この画像処理結果に基づいて、モータの作動を
コンピュータによって制御して、導電状態検査装置２３
をＸ方向およびＹ方向へ移動させて、ＴＡＢテープ１の
検査治具５０に対する位置合わせを行う（ステップＳ７
）。

その後、位置検出袋ｗ３１をＹテーブル３２とともにＹ
゛方向移動させ、位置検出装置３１のヘッド部３８をＴ
ＡＢテープ１と導電状態検査装置２３との間の外へ後退
させる（ステップ５１１）。

次いで、導電状態検査装置２３を上昇させてから加圧装
置２５を下降させ、加圧部によってＴＡＢテープ１の導
電部３を検査治具５０に押しつけて、導電部３の導電状
態を検査する（ステップＳ９）。

さらに、検査装置１０は検査開始前の状態に復帰して（
ステップ５１ｏ）、ＴＡＢテープの走行、停止、テープ
クランプ２７．２８によるＴＡＢテープ１のクランプ、
加圧装置２５の下降、および導電状態検査装置２３の上
昇によるＴＡＢテープ１の導電部３の導電状態の検査工
程を繰り返して行う。

上記位置検出装置３１による導電状態検査装置２３の検
査治具５０のエツジ部分の撮像ならびにエツジ部分の位
置記憶、ＴＡＢテープ１の撮像、さらにＴＡＢテープ１
の導電部３と検査治具５０の位置合わせ動作は、通常、
一つの供給リール１５に巻装されたＴＡＢテープ１の検
査が終了し、新たに検査するＴＡＢテープ１が巻装され
た供給リール１５をＴＡＢテープ検査装置１０に取り付
けてＴＡＥテープ検査装置１０を再始動した際に行う。

（発明が解決しようとする課題）しかしながらＴＡＢテープ１は製造上の誤差があったり
、また温度変化にともなって伸縮するので、導電部３ど
うし間の寸法は必ずしも一定ではない。したがってＴＡ
Ｂテープ１と検査治具５０を検査動作の開始前に位置決
めしても、検査動作中しこＴＡＢテープ１の導電部３ど
うし間の寸法誤差が累積し、検査治具５０とＴＡＢテー
プ１の導電部３とのずれが段々大きくなる。検査治具５
０と導電部３とのずれが一定以上になると、検査を行う
ことができなくなってしまう。このため検査＝１１− を中断して、ＴＡＢテープ１と検査治具５０との位置合
わせをやりなおさなけれ□ばならない。

また検査治具５０とＴＡＢテープ１の導電部３とのずれ
が許容範囲内にあるうちは検査を行うことは可能である
が、検査治具５０に対する導電部３のずれがあると検査
を高精度に行うことができない場合がある。

本発明は上記従来の問題点に着目してなされたものであ
り、検査を中断してＴＡＢテープと検査治具との位置合
わせをやりなおす必要がなく、また検査を常に高精度に
維持できる電子部品検査装置を提供することを目的とす
る。

（課題を解決するための手段）本発明の電子部品検査装置は、表面に導電部が一定間隔
で形成されているテープを張設した状態で走行、停止さ
せるテープ走行停止手段と、前記テープの検査対象とな
る導電部に対向して配置されテープに接触する検査治具
と、前記検査治具に接続され導電部の導電状態を検査す
る導電状態検査手段と、前記テープの検査動作を停止し
た状態で前記テープの導電部と前記検査治具双方の位置
を比較する位置比較手段と、前記位置比較手段の比較結
果に基づいてテープを移動させ導電部の検査治具に対す
る位置合わせを行う移動手段とを有する電子部品検査装
置において、前記位置比較手段はテープの導電部の検査動作中に検査
対象となっている導電部より後に検査対象となる導電部
の位置を予め記憶されている基準位置と比較する第２の
機能を有し、前記移動手段は位置比較手段の第２の機能
による比較結果に基づいてテープを移動させ、前記後に
検査対象となる導電部が検査される前に当該導電部の検
査治具に対する位置合わせを行う第２の機能を有するこ
とを特徴とするものである。

（作　用）本発明の電子部品検査装置によれば、位置比較手段の第
２の機能によって、テープの導電部の検査動作中に検査
対象となっている導電部より後に検査対象となる導電部
の位置と、予め記憶されている基準位置とが比較され、
この比較結果に基づいて、移動手段かテープを移動させ
て、前記後に検査対象となる導電部が検査される前に当
該導電部の検査治具しこ対する位置合わせか行われる。

したがって導電部とうしの間の寸法誤差による導電部と
検査治具とのすれは検査動作中において補正され、当該
寸法誤差が累積することはない。

（実　施　例）以下本発明の実施例を第１図から第１１図の図面に基づ
いて説明する。

第１図、第２図において符号１００は、電子部品検査装
置としてのＴＡＢテープ検査装置を示す。

このＴＡＢテープ検査装置１００は従来例のＴＡＢテー
プ検査装置８．１０と同様の機能をもつ装置、部材を有
しているので、同様の機能をもつ装置、部材については
従来例と同じ符号を付して、その説明は省略する。

同図おいて符号１１］は装置本体を示し、この装置本体
１１１には、一対のリール台１２．１３が設けられてい
る。リール台１２には、供給り一ル１５が取り付けられ
ている。この供給リール１５にはＴＡＢテープ１が巻か
れている。リール台１３には、収容リール１６が取り付
けられている。

さらし′−装置本体１１１にはテレビ受像機１５１が備
えられている。

また装置本体１１１には、一対の誘導ローラ１１８．１
１９が備えられている。さらに装置本体１１１にはテー
プガイドユニット１３０ａ、１３０ｂが備えられている
。このテープガイドユニット１３０ａ、１３０ｂは、Ｔ
ＡＢテープ１を挾んで対向して配置された一対のローラ
、二組が一つのユニッ１へに備えられて構成されている
。テープガイドユニット１３０ａ、１３０ｂは、図示し
ない機構によって矢印で示す方向へ揺動できる。

符号１３２は移動手段としての移動ブロックを示し、こ
の移動ブロック１３２には、一対のテープクランプ２７
．２８、一対のスプロケット２０．２１および加圧装置
２５が備えられている。移動ブロック１３２は第３図に
示すようにｘ−ｘ゛方向Ｙ−Ｙ’力方向ｚ−ｚ’力方向
動作できる。

検査治具５ｏはプリント基板１３３上に設置されでおり
、検査治具５０は図示しない支持台上に固定されている
。プリント基板１３３にはＴＡＢテープ１の導電部３と
対応する測定電極が形成されている。プリン１一基板１
３３はアナライザ１４］−に接続されており、検査治具
５０にＴＡＢテープ１を接触させることによってＴ　Ａ
、　Ｂテープ１の導電部３の導電状態を検査することが
できる。これらプリン１一基板１３３とアナライザ１４
　］−）こよって心心電状態検査段が構成されている。

符号１３１は位置検出装置を示し、この位置検出装置］
３１．は第４図に示すようにＹテーブル１４２にＹ−Ｙ
’力方向移動自在に取り付けられている。位置検出装置
１３１はＹモータ１８０によって作動する送りねし機構
１８１によってＹ−Ｙ゛方向移動する。Ｙテーブル１４
２はＺテーブル１４３にｚ−ｚ’力方向移動自在に取り
付けられており、Ｘモータ１４４によってｚ−ｚ’力方
向移動する。このＺテーブル１４３はＸテーブル］−４
５にｘ−ｘ’力方向移動自在に取り付けられており、Ｘ
モータ１４６によってｘ−ｘ’力方向移動する。

第５図に位置検出装置１３１の内部構造を示す。

同図において符号１６０は画像処理装置を示し、この画
像処理装置１６０はカメラＣａによって撮像された画像
を処理する。画像処理装置１６０は従来例のＴ　Ａ、　
Ｂテープ検査装置１０に装備されている画像処理装置６
０と同様の機能の他、後述するＴＡＢテープ１の所定の
パーホレーシゴン４と予め記憶されている基準となるパ
ーホレーションの画像４ａとを比較することによって、
導電部３の位置を検出する第２の機能を有している。

位置検出装置１３１と画像処理装置１６０によって位置
比較手段が構成されている。

次に第６図、第７図に示すフローチャートにしたがって
ＴＡＢテープ１の検査治具５０に対する位置決め動作、
ＴＡＢテープ１の導電部３の導電状態を検査するための
動作、および検査動作中における導電部３どうし間の寸
法誤差等の累積を補正する動作について説明する。

ＴＡＢテープ１がスプロケノ１へ２ｏ、２１の回転動作
によってＴＡＢテープ１が所定のピッチすなわち所定の
フレーム単位（検査単位）送られると、ＴＡＢテープ１
は停止しくステップＳ工）、テープガイドユニット１３
０ａ、１３０ｂが揺動してＴＡＢテープ１がスプロケッ
ト２ｏ、２１の中心を結んだ線と平行となるように調整
され、そしてテープクランプ２７．２８によって第８図
に示す、ＴＡＢテープ１の検査対象となるフレームＡが
クランプされる（ステップＳ２）。

次いで移動ブロック１３２が２方向へ移動しくステップ
Ｓ３）、位置検出装置１３１のヘッド部３８がＹ方向へ
移動し、第１６図から第１８図に示した従来例と同様に
してＴＡＢテープ１と検査治具５０との間に進出する（
ステップＳ４）。そして位置検出装置１３１、カメラＣ
ａ、画像処理装置１６０が従来例の場合と同様にして、
ＴＡＢテープ１のフレームＡと検査治具５０を撮像し、
フレームＡと検査治具５０のずれを検出する（ステップ
Ｓ、）、（ステップＳ６）、（ステップＳ７）。ずれが
ある場合は、移動ブロック１３２をｘ−ｘ’力方向Ｙ−
Ｙ゛方向へ移動し、テープクランプ２７．２８によって
保持されているＴＡＢテープ１を移動させ、ＴＡＢテー
プ１の検査対象となるフレームＡと検査治具５０との位
置合わせを行う（ステップｓｅ）。

次いでヘッド部３８がＹ゛方向移動し、ＴＡＢテープ１
と検査治具５０との間の外へ後退する（ステップＳＳ）
。

次に移動ブロック１３２が２゛方向へ移動しくステラフ
Ｓ工。）、加圧装置２５によってフレームＡの導電部３
が検査治具５ｏに押しつけられ、フレームＡの導電部３
の導電状態が検査される（ステップＳ□、）。そして移
動ブロック１８２に搭載されている加圧装置２５が２方
向へ移動し、加圧装置２５によるフレームＡの加圧が解
除される（ステップＳ１□）。その後テープクランプ２
７．２８によるクランプが解除される（ステップ５１３
）。

次に説明するステップＳ１４とステップＳ□６の動作は
上記したステップＳｉｎからステップＳｔａまでの動作
と並行して行われる。

位置検出装置１３１を第８図、第９図に示すようにフレ
ームＡの次に検査されるフレームＢに対向する位置に移
動させる（ステップ５１４）。そして、位置検出装置１
３１、カメラＣａによって第１０図、第１１図に示すよ
うにフレームＢの所定のパーホレーション４を撮像し、
この撮像したパーホレーション４と画像処理装置１６０
に記憶されている基準となるパーホレーションの画像４
ａと詮重ねあわせて比較し、基準となるパーホレーショ
ンの画像４ａからパーホレーション４がずれている方向
、距離を検出する（ステップ５１５）。

所定のパーホレーション４と導電部３との位置関係は一
定となるように設定されている。したがってパーホレー
ションの画像４ａに対しパーホレーション４がずれてい
る方向、距離を検出すれば、フレームＢの導電部３が本
来あるべき位置からずれているか否か、さらにずれてい
る方向、距離を検出できる。

ステップＳ１Ｓで検出されたフレームＢの導電部３のず
れ量が許容範囲を超え、補正不可能であると判断され（
ステップＳ□６）、しかもステップｓｉ３のテープクラ
ンプ２７．２８が解除されると、ＴＡＢテープ１を１フ
レーム分送り、すなわちフレームＢが検査治具５０に対
向する位置に移動させ（ステップＳ□７）、ステップＳ
□に戻る。これはＴＡＢテープ１と検査治具５０との位
置決めをやりなおすためである。ステップＳ工。でフレ
ームＢの導電部３が本来あるべき位置からずれていない
か、またはずれていてもずれ景が補正可能範囲であると
判断され、しかもステップＳ工、のテープクランプ２７
．２８が解除されると、第７図に示すステップＳｔＳに
移行する。

ステップＳＯＢでは、ＴＡＢテープ１が送られて（ステ
ップ８．８）、フレームＢの導電部３が検査治具５０に
対向する位置に停止しくステップｓ１．）、テープクラ
ンプ２７．２８によってクランプされる（ステップ５ｈ
ｏ）。そしてステップＳ工、においてフレームＢの導電
部３が本来あるべき位置からずれているか否かの判断に
基づいて、ＴＡＢテープ］の位置調整が必要であるか否
かが判断される（ステップ５２１）。位置調整が必要で
あると判断されると移動ブロック１−３２がｘ−ｘ’力
方向Ｙ−Ｙ”方向へ移動し、ＴＡＢテープ１を動かして
、フレームＢの導電部３を本来あるべき位置に移動させ
る（ステップ５２２）。また位置調整は必要ないと判断
された場合はステップＳ７．ｊならびにステップＳｚｃ
に移行する（ステップＳ７．）。

ステップＳ２３において加圧装置２５によってフレーム
Ｂが加圧され、検査治具５０に押しつけられて、フレー
ムＢの導電部３の導電状態が検査され（ステップ５２３
）、次いでフレームＢの加圧が解除される（ステップ５
２１）。そして導電部３の検査結果が異常ありと判断さ
れた場合はステップＳ３へ移行する。

次に説明するステップＳＡＧ、ステップＳ２□の動作は
ステップ５２３からステップＳ２５の動作と並行して行
われる。

位置検出装置１３１によってフレームＣの所定のパーホ
レーション４がステップＳ□５と同様にして基準となる
パーホレーションの画像４ａと比較され、フレームＣの
導電部３の位置ずれが検出される（ステップ５２６）。

そしてこのフレームＣの導電部３のずれ量が許容範囲を
超え、補正不可能であると判断され（ステップＳ２□）
、しかもステップＳ２５において導電部３の導電状態が
異常なしであると判断されると、ステップＳＯＢへ移行
し、テープクランプ２７．２８によるＴＡＢテープ１の
クランプが解除され（ステップＳ２．）、第６図のステ
ップＳ１、に移行する。

ステップＳＫＹでフレームＣの導電部３が本来あるべき
位置からずれていないか、またはずれていてもずれ量が
補正可能範囲であると判断され、しかもステップＳ２．
、おいて導電部３の導電状態が異常なし判断されると、
ＴＡＢテープ１のエンド（終端）か否かが判断され（ス
テップＳ２．）、エンドでない場合はＴ　Ａ、　Ｂテー
プ１のクランプが解除され（ステップ５３０）、ステッ
プＳｌ、ｌに移行する。

」−起動作をＴＡＢテープ１かエン１くであると判断さ
れ検査動作が終了し、ＴＡＢテープ検査装置１００が停
止するまで（ステップ５３−）繰り返して行う。

上記実施例では現在検査対象となっているＴＡＢテープ
１のフレームの一つ手前すなわち現在検査対象となって
いるフレームの次に検査対象となるフレームの導電部を
ずれを検出しているが、本発明はこれに限らず、複数フ
レーム後に検査対象とされるフレームのすれ夕検出して
もよい。

（発明の効果）以上のように本発明によれば、位置比較手段と移動手段
に第２の機能を備えたので、導電部どうしの間の寸法誤
差等による導電部と検査治具とのずれは検査動作中にお
いて補正され、当該寸法誤差が累積することはない。し
たがって検査を中断してテープ状電子部品の導電部と検
査治具との位置合わせやりなおす必要がなくなる。また
検査を常に高精度に維持することができるようになる。

実施例に示すように検査治具５０とアナライザ１４１と
を直結したので、検査信号のノイズの発生を最小限に押
えることができるようになる。

移動ブロック１３２に加圧装置２５等を搭載し、移動す
る必要がある所定の部材、装置のみを移動することにし
たので、部材、装置の移動に必要な電力を最小限とする
ことができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の実施例にかかるＴＡＢテープ検査装置
の正面図、第２図は同側面図、第３図は第１図と第２図
に示したＴＡＢテープ検査装置に装備されている移動ブ
ロックの斜視図、第４図は位置検出装置および位置検出
装置の駆動機構の斜視図、第５図は第１図と第２図に示
したＴＡＢテープ検査装置に装備されている位置検出装
置の内部構造を示す図、第６図と第７図は本発明にかか
るＴＡＢテープ検査装置の動作を示すフローチャート、
第８図と第９図は本発明にかかるＴＡＢテープ検査装置
の導電部の位置検出動作を説明するための図、第１０図
と第１１図は導電部の位置検出動作を行うためＴ　Ａ　
Ｂテープのパーホレーションと画像形成装置に記憶され
ているパーホレーションの画像との比較動作を説明する
ための図、第１２図と第１３図はＴＡＢテープを示す図
、第１４図は従来例にかかるＴＡＢテープ検査装置の平
面図、第１５図は第１４図のＴＡＢテープ検査装置に装
備されている位置検出装置のおよび位置検出装置の駆動
機構の斜視図、第１６図から第１８図は従来例にかかる
ＴＡＢテープ検査装置に装備されている位置検出装置の
動作を示す図、第１９図と第２０図は従来例にかかるＴ
ＡＢテープ検査装置に搭載されている位置検出装置の内
部構造を示す図、第２１図は従来例にかかるＴＡＢテー
プ検査装置の動作を示すフローチャートである。１・・・ＴＡＢテープ３・・・導電部５０・・・検査治具１００・・・Ｔ”　Ａ　Ｂテープ検査装置１３１・・・
位置検出装置１３２・・・移動ブロック１４１・・・アナライザ１６０・・・画像処理装置

Claims

【特許請求の範囲】

　表面に導電部が一定間隔で形成されているテープを張
設した状態で走行、停止させるテープ走行停止手段と、
前記テープの検査対象となる導電部に対向して配置され
テープに接触する検査治具と、前記検査治具に接続され
導電部の導電状態を検査する導電状態検査手段と、前記
テープの検査動作を停止した状態で前記テープの導電部
と前記検査治具双方の位置を比較する位置比較手段と、
前記位置比較手段の比較結果に基づいてテープを移動さ
せ導電部の検査治具に対する位置合わせを行う移動手段
とを有する電子部品検査装置において、前記位置比較手
段はテープの導電部の検査動作中に検査対象となってい
る導電部より後に検査対象となる導電部の位置を予め記
憶されている基準位置と比較する第２の機能を有し、前
記移動手段は位置比較手段の第２の機能による比較結果
に基づいてテープを移動させ、前記後に検査対象となる
導電部が検査される前に当該導電部の検査治具に対する
位置合わせを行う第２の機能を有することを特徴とする
電子部品検査装置。