JPH081456B2

JPH081456B2 - 電子部品検査装置

Info

Publication number: JPH081456B2
Application number: JP2316586A
Authority: JP
Inventors: 猛金子
Original assignee: 日新工機株式会社
Priority date: 1990-11-21
Filing date: 1990-11-21
Publication date: 1996-01-10
Anticipated expiration: 2011-01-10
Also published as: JPH04186169A

Description

【発明の詳細な説明】（産業上の利用分野）本発明はテープ状体に一定間隔で導電部が形成されて
いる電子部品の検査装置に関する。

（従来の技術）近年、第12図、第13図に示すTAB（Tape Autemated Bo
nding）テープとよばれる電子部品が用いられている。
このTABテープ１は、リール15に巻かれた状態で取扱わ
れる。TABテープ１は、１フレーム単位で導電パターン
などによって構成される導電部３が形成されている。こ
の導電部３には、半導体集積回路などがボンディングさ
れ、第13図に示す一点鎖線に沿って切断されて、電卓、
時計などの電子機器に装備される。またTABテープ１の
上下端部にはパーホレーション４が形成されている。

TABテープ１は導電部３の導電不良の有無などを検査
する必要がある。かかる検査はTABテープ検査装置によ
って行われる。TABテープ検査装置は本願の出願人によ
ってなされた出願である特願平１−291731（特開平３−
152480号公報）で提案されている。

第14図において符号10はTABテープ検査装置を示す。

同図において符号11は装置本体を示し、この装置本体
11には、一対のリール台12、13が設けられている。リー
ル台12には、供給リール15が取り付けられている。この
供給リール15には、TABテープ１と、スペースフィルム1
4が巻かれている。このスペースフィルム14は、リール1
5にTABテープ１が巻かれた状態で運搬する際、TABテー
プ１が損傷するのを防止するものであり、TABテープ１
間に介在するように巻かれている。リール台13には収容
リール16が取り付けられている。また装置本体11にはス
ペースフィルム誘導用のローラー17が７個、配置されて
いる。

装置本体11には、供給側アイドルリール18と供給側ス
プロケット20、さらに収容側アイドルリール19と収容側
スプロケット21が配設されている。スプロケット20、21
はモータによって駆動される。

符号27、28はテープクランプを示し、このテープクラ
ンプ27、28によって、TABテープ１がクランプされる。
テープクランプ27の左側方にはTABテープ１の導電状態
を検査する際に、TABテープ１の送り量等を検査するた
めのセンサ29が配置されている。

符号23は導電状態検査装置を示し、この導電状態検査
装置23は上下方向、さらにTABテープ１が張られている
方向（以下Ｘ−Ｘ′方向という）と、テープ１へ直交す
る方向（以下Ｙ−Ｙ′方向という）へ移動する。

導電状態検査装置23の上面には第16図、第17図に示す
ように導電性ゴムシートによって構成された検査治具50
が備えられている。この検査治具50を構成する導電性ゴ
ムシートは、加圧状態でまたは無加圧状態のままで厚み
方向に導電路を形成する複数の導電路形成部とこれら導
電路形成部の相互間を絶縁する絶縁部とにより構成され
てなるものである。この導電性ゴムシートの具体的な構
成例としては、（１）金属繊維や炭素繊維等の導電性繊
維を弾性体シート中の厚み方向に並列に埋設した構成、
（２）導電性カーボンを含有してなる導電性ゴムとを交
互に積層した構成、（３）粒径１〜100μｍ程度の導電
性磁性体粒子を弾性体シート中に厚み方向に配列した状
態で含有させた構成などを挙げることができる。そし
て、この導電性ゴムシートの下には、TABテープ１の被
測定導電部３と対応する測定電極がプリント基板などの
形態で形成されている。検査治具50にはテスターが接続
されており、検査治具50にTABテープ１を接触させるこ
とによって第13図に示したTABテープ１の導電部３の導
電状態を検査することができる。

導電状態検査装置23の上側には、加圧装置25が設けら
れている。加圧装置25には、加圧板と加圧ばねによって
構成された加圧部が設けられ、この加圧部は導電状態検
査装置23の検査治具50に対向している。加圧装置25は上
下方向（以下Ｚ−Ｚ′方向という）に動作できる。

符号30は、TABテープ１と検査治具50との位置を検出
するための装置を示す。この装置30の詳細な構成を第15
図に示す。

同図において符号31は位置検出装置を示し、この位置
検出装置31はＬ字形状を有しており、Ｙテーブル32に固
定されている。Ｙテーブル32はＹ−Ｙ′方向移動自在に
してＸテーブル33に取り付けられ、このＹテーブル32は
モータ35によって駆動される。Ｘテーブル33はＸ−Ｘ′
方向移動自在にしてベース34に取り付けられ、このＸテ
ーブル33はモータ36によって駆動される。

第19図、第20図に位置検出装置31の内部構造を示す。
同図に示すように位置検出装置31のヘッド部38の先端部
上下面には、開口部40、41が形成されている。ヘッド部
38内には直角プリズム42が、支持台43に接着されて設け
られている。この直角プリズム42は開口部40、41から入
射した光を直角方向へ反射するものである。直角プリズ
ム42の反射方向には、対物レンズ44がレンズホルダ45に
保持されて配置されている。さらにヘッド部38内の基端
部には、反射プリズム46が配置されている。反射プリズ
ム46の反射方向には、カメラ及び画像処理装置60が備え
られており、カメラによって対物レンズ44の結像を撮像
し、この像を画像処理装置60によって画像処理してTAB
テープ１と検査治具50の位置比較を行う。

符号48、49は照明灯を示し、これらの照明灯48、49
は、ヘッド部38の上下面先端部に図示しない機構によっ
て支持されている。

次にTABテープ検査装置10の動作について説明する。

TABテープ検査装置10の動作開始時において、加圧装
置25は上方に移動した状態となっており、この加圧装置
25の加圧部は、導電状態検査装置23の上面に設けられた
検査治具50から離れた状態となっている。さらにテープ
クランプ27、28は、TABテープ１を保持する状態となっ
ておらず、TABテープ１は走行可能な状態となってい
る。

スプロケット20、21の回転動作によって、供給リール
15からTABテープ１が引き出され、所定のピッチすなわ
ち１フレーム単位（検査単位）毎、一点鎖線で示す経路
にしたがって送られ、収容リール16に巻き取られる。こ
の際、スペースフィルム14はスペースフィルム誘導用ロ
ーラー17に誘導されて、収容リール16に巻き取られる。

TABテープ１の導電状態検査装置23に設けられた検査
治具50に対する位置決め動作、ならびにTABテープ１の
導電状態を検査するための動作について第21図のフロー
チャートにしたがって説明する。

TABテープ１が所定ピッチ送られると、TABテープ１は
停止し（ステップS₁）、テープクランプ27、28によっ
て、TABテープ１が保持され、TABテープ１の検査対象と
なる部分が固定され、同時に平面度が保たれた状態とな
る（ステップS₂）。この時、導電状態検査装置23はテー
プ１と離間対向した待機位置にいる。

そして、Ｙテーブル32とともに、位置検出装置31がＹ
方向へ移動し、位置検出装置31のヘッド部38は、第16
図、第17図、第18図に示すようにTABテープ１と導電状
態検査装置23との間へ進出する（ステップS₃）。

第20図に示すように照明灯49によって導電状態検査装
置23の上面に設けられた検査治具50のエッジ部周辺が照
明される。この導電状態検査装置23側からの反射光は、
開口部41からヘッド部38内に入り、直角プリズム42によ
って対物レンズ44に向かって反射される。さらに対物レ
ンズ44を通過した光は、反射プリズム46によって反射さ
れカメラに導かれて、対物レンズ44の結像として検査治
具50のエッジ部分がカメラによって撮像される。そして
画像処理によって検査治具50のエッジ部分の位置が画像
処理装置60に記憶される（ステップS₄）。

次に、照明灯48によってテープ１が照明される。この
テープ１側からの反射光は、開口部40からヘッド部38内
に入り、反射プリズム42によって対物レンズ44に向かっ
て反射される。さらに対物レンズ44を通過した光は、反
射プリズム46によって反射しカメラに導かれて、対物レ
ンズ44の結像としてTABテープ１の検査対象となる部分
がカメラによって撮像され、画像処理によって検査対象
の位置を検出する（ステップS₅）。

そして画像処理装置60によって検出されたTABテープ
１の位置と、既に記憶されている検査治具50のエッジ部
分に位置を比較し、検査対象となるTABテープ１の部分
と、検査治具50とのずれを求め、導電状態検査装置23の
移動を指示する（ステップS₆）。勿論、ずれが無ければ
指示はでない。

次いで、この画像処理結果に基づいて、モータの作動
をコンピュータによって制御して、導電状態検査装置23
をＸ方向およびＹ方向へ移動させて、TABテープ１の検
査治具50に対する位置合わせを行う（ステップS₇）。

その後、位置検出装置31をＹテーブル32とともにＹ′
方向へ移動させ、位置検出装置31のヘッド部38をTABテ
ープ１と導電状態検査装置23との間の外へ後退させる
（ステップS₈）。

次いで、導電状態検査装置23を上昇させてから加圧装
置25を下降させ、加圧部によってTABテープ１の導電部
３を検査治具50に押しつけて、導電部３の導電状態を検
査する（ステップS₉）。

さらに、検査装置10は検査開始前の状態に復帰して
（ステップS₁₀）、TABテープの走行、停止、テープクラ
ンプ27、28によるTABテープ１のクランプ、加圧装置25
の下降、および導電状態検査装置23の上昇によるTABテ
ープ１の導電部３の導電状態の検査工程を繰り返して行
う。

上記位置検出装置31による導電状態検査装置23の検査
治具50のエッジ部分の撮像ならびにエッジ部分の位置記
憶、TABテープ１の撮像、さらにTABテープ１の導電部３
と検査治具50の位置合わせ動作は、通常、一つの供給リ
ール15に巻装されたTABテープ１の検査が終了し、新た
に検査するTABテープ１が巻装された供給リール15をTAB
テープ検査装置10に取り付けてTABテープ検査装置10を
再始動した際に行う。

（発明が解決しようとする課題）しかしながらTABテープ１は製造上の誤差があった
り、また温度変化にともなって伸縮するので、導電部３
どうし間の寸法は必ずしも一定ではない。したがってTA
Bテープ１と検査治具50を検査動作の開始前に位置決め
しても、検査動作中にTABテープ１の導電部３どうし間
の寸法誤差が累積し、検査治具50とTABテープ１の導電
部３とのずれが段々大きくなる。検査治具50と導電部３
とのずれが一定以上になると、検査を行うことができな
くなってしまう。このため検査を中断して、TABテープ
１と検査治具50との位置合わせをやりなおさなければな
らない。

また検査治具50とTABテープ１の導電部３とのずれが
許容範囲内にあるうちは検査を行うことは可能である
が、検査治具50に対する導電部３のずれがあると検査を
高精度に行うことができない場合がある。

本発明は上記従来の問題点に着目してなされたもので
あり、検査を中断してTABテープと検査治具との位置合
わせをやりなおす必要がなく、また検査を常に高精度に
維持できる電子部品検査装置を提供することを目的とす
る。

（課題を解決するための手段）本発明の電子部品検査装置は、表面に導電部が一定間
隔で形成されているテープを張設した状態で走行、停止
させるテープ走行停止手段と、前記導電部に対向して配
置され、前記導電部に接触する検査治具と、前記検査治
具に接続され、前記導電部の導電状態を検査する導電状
態検査手段とを有する電子部品検査装置において、前記
検査治具が前記導電部より離間した状態である検査動作
停止時には、前記導電部と前記検査治具双方の位置を比
較する第１の機能を有し、かつ、前記検査治具が前記導
電部と接触した状態である検査動作時には、前記導電状
態検査手段が検査を行っている導電部よりもテープ走行
方向上流側の導電部の位置を、予め記憶されている基準
位置と比較する第２の機能を有する位置比較手段と、第
１の機能による比較結果に基づいて前記テープを移動さ
せ、前記導電部の前記検査治具に対する位置合わせを行
うと共に、第２の機能による比較結果に基づいて前記テ
ープを移動させ、前記テープ走行方向上流側の導電部が
検査される前に、当該導電部の前記検査治具に対する位
置合わせを行う移動手段を具備することを特徴とするも
のである。

（作用）本発明の電子部品検査装置によれば、位置比較手段の
第２の機能によって、テープの導電部の検査動作中に検
査対象となっている導電部より後に検査対象となる導電
部の位置と、予め記憶されている基準位置とが比較さ
れ、この比較結果に基づいて、移動手段がテープを移動
させて、前記後に検査対象となる導電部が検査される前
に当該導電部の検査治具に対する位置合わせが行われ
る。したがって導電部どうしの間の寸法誤差による導電
部と検査治具とのずれは検査動作中において補正され、
当該寸法誤差が累積することはない。

（実施例）以下本発明の実施例を第１図から第11図の図面に基づ
いて説明する。

第１図、第２図において符号100は、電子部品検査装
置としてのTABテープ検査装置を示す。このTABテープ検
査装置100は従来例はTABテープ検査装置10と同様の機能
をもつ装置、部材を有しているので、同様の機能をもつ
装置、部材については従来例と同じ符号を付して、その
説明は省略する。

同図において符号111は装置本体を示し、この装置本
体111には、一対のリール台12、13が設けられている。
リール台12には、供給リール15が取り付けられている。
この供給リール15にはTABテープ１が巻かれている。リ
ール台13には、収容リール16が取り付けられている。さ
らに装置本体111にはテレビ受像機151が備えられてい
る。

また装置本体111には、一対の誘導ローラ118、119が
備えられている。さらに装置本体111にはテープガイド
ユニット130a、130bが備えられている。このテープガイ
ドユニット130a、130bは、TABテープ１を挾んで対向し
て配置された一対のローラ、二組が一つのユニットに備
えられて構成されている。テープガイドユニット130a、
130bは、図示しない機構によって矢印で示す方向へ揺動
できる。

符号132は移動手段としての移動ブロックを示し、こ
の移動ブロック132には、一対のテープクランプ27、2
8、一対のスプロケット20、21および加圧装置25が備え
られている。移動ブロック132は第３図に示すようにＸ
−Ｘ′方向、Ｙ−Ｙ′方向、Ｚ−Ｚ′方向へ動作でき
る。

検査治具50はプリント基板133上に設置されており、
検査治具50は図示しない支持台上に固定されている。プ
リント基板133にはTABテープ１の導電部３と対応する測
定電極が形成されている。プリント基板133はアナライ
ザ141に接続されており、検査治具50にTABテープ１を接
触させることによってTABテープ１の導電部３の導電状
態を検査することができる。これらプリント基板133と
アナライザ141によって導電状態検査手段が構成されて
いる。

符号131は位置検出装置を示し、この位置検出装置131
は第４図に示すようにＹテーブル142にＹ−Ｙ′方向へ
移動自在に取り付けられている。位置検出装置131はＹ
モータ180によって作動する送りねじ機構181によってＹ
−Ｙ′方向へ移動する。Ｙテーブル142はＺテーブル143
にＺ−Ｚ′方向へ移動自在に取り付けられており、Ｚモ
ータ144によってＺ−Ｚ′方向へ移動する。このＺテー
ブル143はＸテーブル145にＸ−Ｘ′方向へ移動自在に取
り付けられており、Ｘモータ146によってＸ−Ｘ′方向
へ移動する。

第５図に位置検出装置131の内部構造を示す。同図に
おいて符号160は画像処理装置を示し、この画像処理装
置160はカメラCaによって撮像された画像を処理する。
画像処理装置160は従来例のTABテープ検査装置10に装備
されている画像処理装置60と同様の機能の他、後述する
TABテープ１の所定のパーホレーション４と予め記憶さ
れている基準となるパーホレーションの画像4aとを比較
することによって、導電部３の位置を検出する第２の機
能を有している。

位置検出装置131と画像処理装置160によって位置比較
手段が構成されている。

次に第６図、第７図に示すフローチャートにしたがっ
てTABテープ１の検査治具50に対する位置決め動作、TAB
テープ１の導電部３の導電状態を検査するための動作、
および検査動作中における導電部３どうし間の寸法誤差
等の累積を補正する動作について説明する。

スプロケット20、21の回転動作によってTABテープ１
が所定のピッチすなわち所定のフレーム単位（検査単
位）送られると、TABテープ１は停止し（ステップ
S₁）、テープガイドユニット130a、130bが揺動してTAB
テープ１がスプロケット20、21の中心を結んだ線と平行
となるように調整され、そしてテープクランプ27、28に
よって第８図に示す、TABテープ１の検査対象となるフ
レームＡがクランプされる（ステップS₂）。

次いで移動ブロック132がＺ方向へ移動し（ステップS
₃）、位置検出装置131のヘッド部38がＹ方向へ移動し、
第16図から第18図に示した従来例と同様にしてTABテー
プ１と検査治具50との間に進出する（ステップS₄）。そ
して位置検出装置131、カメラCa、画像処理装置160が従
来例の場合と同様にして、TABテープ１のフレームＡと
検査治具50を撮像し、フレームＡと検査治具50のずれを
検出する（ステップS₅）、（ステップS₆）、（ステップ
S₇）。ずれがある場合は、移動ブロック132をＸ−Ｘ′
方向、Ｙ−Ｙ′方向へ移動し、テープクランプ27、28に
よって保持されているTABテープ１を移動させ、TABテー
プ１の検査対象となるフレームＡと検査治具50との位置
合わせを行う（ステップS₈）。次いでヘッド部38がＹ′
方向へ移動し、TABテープ１と検査治具50との間の外へ
後退する（ステップS₉）。

次に移動ブロック132がＺ′方向へ移動し（ステップS
₁₀）、加圧装置25によってフレームＡの導電部３が検査
治具50に押しつけられ、フレームＡの導電部３の導電状
態が検査される（ステップS₁₁）。そして移動ブロック1
32に搭載されている加圧装置25がＺ方向へ移動し、加圧
装置25によるフレームＡの加圧が解除される（ステップ
S₁₂）。その後テープクランプ27、28によるクランプが
解除される（ステップS₁₃）。

次に説明するステップS₁₄とステップS₁₆の動作は上記
したステップS₁₀からステップS₁₃までの動作と並行して
行われる。

位置検出装置131を第８図、第９図に示すようにフレ
ームＡの次に検査されるフレームＢに対向する位置に移
動させる（ステップS₁₄）。そして、位置検出装置131、
カメラCaによって第10図、第11図に示すようにフレーム
Ｂの所定のパーホレーション４を撮像し、この撮像した
パーホレーション４と画像処理装置160に記憶されてい
る基準となるパーホレーションの画像4aとを重ねあわせ
て比較し、基準となるパーホレーションの画像4aからパ
ーホレーション４がずれている方向、距離を検出する
（ステップS₁₅）。

所定のパーホレーション４と導電部３との位置関係は
一定となるように設定されている。したがってパーホレ
ーションの画像4aに対しパーホレーション４がずれてい
る方向、距離を検出すれば、フレームＢの導電部３が本
来あるべき位置からずれているか否か、さらにずれてい
る方向、距離を検出できる。

ステップS₁₅で検出されたフレームＢの導電部３のず
れ量が許容範囲を超え、補正不可能であると判断され
（ステップS₁₆）、しかもステップS₁₃のテープクランプ
27、28が解除されると、TABテープ１を１フレーム分送
り、すなわちフレームＢが検査治具50に対向する位置に
TABテープ１を移動させ（ステップS₁₇）、ステップS₁に
戻る。これはTABテープ１と検査治具50との位置決めを
やりなおすためである。ステップS₁₆でフレームＢの導
電部３が本来あるべき位置からずれていないか、または
ずれていてもずれ量が補正可能範囲であると判断され、
しかもステップS₁₃のテープクランプ27、28が解除され
ると、第７図に示すステップS₁₈に移行する。

ステップS₁₈では、TABテープ１が送られて（ステップ
S₁₈）、フレームＢの導電部３が検査治具50に対向する
位置に停止し（ステップS₁₉）、テープクランプ27、28
によってクランプされる（ステップS₂₀）。そしてステ
ップS₁₅においてフレームＢの導電部３が本来あるべき
位置からずれているか否かの判断に基づいて、TABテー
プ１の位置調整が必要であるか否かが判断される（ステ
ップS₂₁）。位置調整が必要であると判断されると移動
ブロック132がＸ−Ｘ′方向、Ｙ−Ｙ′方向へ移動し、T
ABテープ１を動かして、フレームＢの導電部３を本来あ
るべき位置に移動させる（ステップS₂₂）。また位置調
整は必要ないと判断された場合はステップS₂₃ならびに
ステップS₂₆に移行する（ステップS₂₅）。

ステップS₂₃において加圧装置25によってフレームＢ
が加圧され、検査治具50に押しつけられて、フレームＢ
の導電部３の導電状態が検査され（ステップS₂₃）、次
いでフレームＢの加圧が解除される（ステップS₂₄）。
そして導電部３の検査結果が異常ありと判断された場合
はステップS₃へ移行する。

次に説明するステップS₂₆、ステップS₂₇の動作はステ
ップS₂₃からステップS₂₅の動作と並行して行われる。

位置検出装置131によってフレームＣの所定のパーホ
レーション４がステップS₁₅と同様にして基準となるパ
ーホレーションの画像4aと比較され、フレームＣの導電
部３の位置ずれが検出される（ステップS₂₆）。そして
このフレームＣの導電部３のずれ量が許容範囲を超え、
補正不可能であると判断され（ステップS₂₇）、しかも
ステップS₂₅において導電部３の導電状態が異常なしで
あると判断されると、ステップS₂₈へ移行し、テープク
ランプ27、28によるTABテープ１のクランプが解除され
（ステップS₂₈）、第６図のステップS₁₇に移行する。

ステップS₂₇でフレームＣの導電部３が本来あるべき
位置からずれていないか、またはずれていてもずれ量が
補正可能範囲であると判断され、しかもステップS₂₅お
いて導電部３の導電状態が異常なしと判断されると、TA
Bテープ１のエンド（終端）か否かが判断され（ステッ
プS₂₉）、エンドでない場合はTABテープ１のクランプが
解除され（ステップS₃₀）、ステップS₁₈に移行する。

上記動作をTABテープ１がエンドであると判断され検
査動作が終了し、TABテープ検査装置100が停止するまで
（ステップS₃₁）繰り返して行う。

上記実施例では現在検査対象となっているTABテープ
１のフレームの一つ手前すなわち現在検査対象となって
いるフレームの次に検査対象となるフレームの導電部の
ずれを検出しているが、本発明はこれに限らず、複数フ
レーム後に検査対象とされるフレームのずれを検出して
もよい。

（発明の効果）以上のように本発明によれば、位置比較手段が第１の
機能と第２の機能とを有し、移動手段がそれぞれの比較
結果に基づいてテープを移動させるので、導電部と検査
治具とのずれの発生を防止できると共に、導電部間の寸
法誤差等による導電部と検査治具とのずれを検査動作時
に補正することにより、当該寸法誤差の累積を防止し
て、検査を中断して導電部と検査治具との位置合わせを
やり直すことなく、検査を常に高精度に維持することが
できる。

実施例に示すように検査治具50とアナライザ141とを
直結したので、検査信号のノズルの発生を最小限に押え
ることができるようになる。

移動ブロック132に加圧装置25等を搭載し、移動する
必要がある所定の部材、装置のみを移動することにした
ので、部材、装置の移動に必要な電力を最小限とするこ
とができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の実施例にかかるTABテープ検査装置の
正面図、第２図は同側面図、第３図は第１図と第２図に
示したTABテープ検査装置に装備されている移動ブロッ
クの斜視図、第４図は位置検出装置および位置検出装置
の駆動機構の斜視図、第５図は第１図と第２図に示した
TABテープ検査装置に装備されている位置検出装置の内
部構造を示す図、第６図と第７図は本発明にかかるTAB
テープ検査装置の動作を示すフローチャート、第８図と
第９図は本発明にかかるTABテープ検査装置の導電部の
位置検出動作を説明するための図、第10図と第11図は導
電部の位置検出動作を行うためTABテープのパーホレー
ションと画像形成装置に記憶されているパーホレーショ
ンの画像との比較動作を説明するための図、第12図と第
13図はTABテープを示す図、第14図は従来例にかかるTAB
テープ検査装置の平面図、第15図は第14図のTABテープ
検査装置に装備されている位置検出装置のおよび位置検
出装置の駆動機構の斜視図、第16図から第18図は従来例
にかかるTABテープ検査装置に装備されている位置検出
装置の動作を示す図、第19図と第20図は従来例にかかる
TABテープ検査装置に搭載されている位置検出装置の内
部構造を示す図、第21図は従来例にかかるTABテープ検
査装置の動作を示すフローチャートである。１…TABテープ３…導電部 50…検査治具 100…TABテープ検査装置 131…位置検出装置 132…移動ブロック 141…アナライザ 160…画像処理装置

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】表面に導電部が一定間隔で形成されている
テープを張設した状態で走行、停止させるテープ走行停
止手段と、前記導電部に対向して配置され、前記導電部に接触する
検査治具と、前記検査治具に接続され、前記導電部の導電状態を検査
する導電状態検査手段とを有する電子部品検査装置にお
いて、前記検査治具が前記導電部より離間した状態である検査
動作停止時には、前記導電部と前記検査治具双方の位置
を比較する第１の機能を有し、かつ、前記検査治具が前
記導電部と接触した状態である検査動作時には、前記導
電状態検査手段が検査を行っている導電部よりもテープ
走行方向上流側の導電部の位置を、予め記憶されている
基準位置と比較する第２の機能を有する位置比較手段
と、第１の機能による比較結果に基づいて前記テープを移動
させ、前記導電部の前記検査治具に対する位置合わせを
行うと共に、第２の機能による比較結果に基づいて前記
テープを移動させ、前記テープ走行方向上流側の導電部
が検査される前に、当該導電部の前記検査治具に対する
位置合わせを行う移動手段を具備することを特徴とする
電子部品検査装置。