JPH0418657U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPH0418657U JPH0418657U JP5989290U JP5989290U JPH0418657U JP H0418657 U JPH0418657 U JP H0418657U JP 5989290 U JP5989290 U JP 5989290U JP 5989290 U JP5989290 U JP 5989290U JP H0418657 U JPH0418657 U JP H0418657U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- substrate
- substrate holder
- forming apparatus
- film forming
- vacuum
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 8
- 239000000696 magnetic material Substances 0.000 claims 1
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Physical Vapour Deposition (AREA)
Description
図面は本考案の実施例を示し、第１図はその要
部を示す横方向の断面図、第２図は基板の斜視図
、第３図はカルーセル型スパツタリング装置の横
断面図、第４図は同縦断面図、第５図は基板ホル
ダに対するマスクの取付構造を示す断面図、第６
図は非磁性体の基板をマスクで保持する構造を示
す断面図である。 １……真空槽、６……基板ホルダ、６ａ……基
板取付面、１７，１８……マスク、Ｗ，Ｗ′……
基板。
部を示す横方向の断面図、第２図は基板の斜視図
、第３図はカルーセル型スパツタリング装置の横
断面図、第４図は同縦断面図、第５図は基板ホル
ダに対するマスクの取付構造を示す断面図、第６
図は非磁性体の基板をマスクで保持する構造を示
す断面図である。 １……真空槽、６……基板ホルダ、６ａ……基
板取付面、１７，１８……マスク、Ｗ，Ｗ′……
基板。
Claims (1)
- 真空成膜装置の真空槽内で成膜される基板を保
持する基板ホルダであつて、磁性体を吸着する磁
石からなることを特徴とする真空成膜装置の基板
ホルダ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5989290U JPH0418657U (ja) | 1990-06-06 | 1990-06-06 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5989290U JPH0418657U (ja) | 1990-06-06 | 1990-06-06 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0418657U true JPH0418657U (ja) | 1992-02-17 |
Family
ID=31586791
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5989290U Pending JPH0418657U (ja) | 1990-06-06 | 1990-06-06 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0418657U (ja) |
-
1990
- 1990-06-06 JP JP5989290U patent/JPH0418657U/ja active Pending