JPH04188433A - 磁気記録媒体の製造方法 - Google Patents
磁気記録媒体の製造方法Info
- Publication number
- JPH04188433A JPH04188433A JP31925590A JP31925590A JPH04188433A JP H04188433 A JPH04188433 A JP H04188433A JP 31925590 A JP31925590 A JP 31925590A JP 31925590 A JP31925590 A JP 31925590A JP H04188433 A JPH04188433 A JP H04188433A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- crucible
- magnetic
- electron beams
- recording medium
- electron beam
- Prior art date
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- Pending
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- Manufacturing Of Magnetic Record Carriers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
口産業上の利用分野コ
本発明は磁気記録媒体の製造方法に関する。史に詳細に
は、本発明は記録再生特性の改暦された磁気記録媒体の
製造方法に関する。
は、本発明は記録再生特性の改暦された磁気記録媒体の
製造方法に関する。
［従来の技術］
高密度記録技術に対する要求の、グ６まりと共に、光記
録、半導体メモリなき様々な分野で活発な技術改良が進
められるようになった。特に磁気記録の分野では従来の
磁性粉塗布型記録媒体に代わり、高密度記録材料として
Ｃｏ−Ｎｉ５ Ｃｏ−Ｃｒなどの磁性薄膜の研究が盛ん
に行われるようになった。
録、半導体メモリなき様々な分野で活発な技術改良が進
められるようになった。特に磁気記録の分野では従来の
磁性粉塗布型記録媒体に代わり、高密度記録材料として
Ｃｏ−Ｎｉ５ Ｃｏ−Ｃｒなどの磁性薄膜の研究が盛ん
に行われるようになった。
・般に、ｃｏなとの強磁性金属あるいはそれらの合金（
例えば、Ｃｏ−Ｎ１）からなる磁性薄膜を有する磁気記
録媒体は、強磁性金属あるいはその合金を真空槽内に設
けられた坩堝内で電−ｆ線照射により溶解し、加熱され
蒸発した金属蒸気をポリエステルなどのプラスチ、クフ
ィルムからなるＪ１磁磁性体」−に被着することにより
形成される。
例えば、Ｃｏ−Ｎ１）からなる磁性薄膜を有する磁気記
録媒体は、強磁性金属あるいはその合金を真空槽内に設
けられた坩堝内で電−ｆ線照射により溶解し、加熱され
蒸発した金属蒸気をポリエステルなどのプラスチ、クフ
ィルムからなるＪ１磁磁性体」−に被着することにより
形成される。
〔発明が解決しようとする課題］
前記電子線照射は、坩堝内の金属を均一に加熱させるた
めに、電子線を所定の距離で走査させる方法か用いられ
ている。
めに、電子線を所定の距離で走査させる方法か用いられ
ている。
しかし、この方法では、特に大型装置になると、電子線
の照射スボ７ト位置か坩堝の端部に在る場合はと、非磁
性基体へ到達する粒子の入射角度か斜め方向に分散し、
柱状粒子の成長や結晶の配向性か悪化して記録＋ｊｆ生
特性に悪影響を与える。
の照射スボ７ト位置か坩堝の端部に在る場合はと、非磁
性基体へ到達する粒子の入射角度か斜め方向に分散し、
柱状粒子の成長や結晶の配向性か悪化して記録＋ｊｆ生
特性に悪影響を与える。
従って、本発明の目的は、ｉｊｒ記従来技術における入
射粒子角度が斜め方向に分散しているという問題を解決
し、以て記録再生特性の改占された磁気記録媒体を提供
することである。
射粒子角度が斜め方向に分散しているという問題を解決
し、以て記録再生特性の改占された磁気記録媒体を提供
することである。
［課題を解決するためのｆ段コ
前記目的を達成するために、本発明では、電子線加熱に
よる連続蒸着法で、非磁性基体りに強磁性金属薄膜層を
形成することからなる磁気記録媒体の製造方法において
、 強磁性金属材料を溶解する坩堝に電子線を照射して加熱
蒸発させるにあたり、電子線の走査幅りと、坩堝内の強
磁性金属材料表面と蒸発粒子の非磁性基体への最低入射
角度部分までの距離Ｈか、Ｈ／ （Ｌ／２）≧０．８ の関係を満足することを特徴とする磁気記録媒体の製造
方法を提供する。
よる連続蒸着法で、非磁性基体りに強磁性金属薄膜層を
形成することからなる磁気記録媒体の製造方法において
、 強磁性金属材料を溶解する坩堝に電子線を照射して加熱
蒸発させるにあたり、電子線の走査幅りと、坩堝内の強
磁性金属材料表面と蒸発粒子の非磁性基体への最低入射
角度部分までの距離Ｈか、Ｈ／ （Ｌ／２）≧０．８ の関係を満足することを特徴とする磁気記録媒体の製造
方法を提供する。
［作用］
本発明考が長年にわたり広範な実験を続けた紡毛、非磁
性基体トに強磁性金属層を電ｒ−線加熱蒸着法により形
成するにあたり、坩堝内にｒ・め充填した強磁性金属材
料に、電ｒ１ｉ！を走査しながら照射して加熱蒸発させ
て蒸着する際、第１図（ａ）に示す電子線の走査幅り、
と、第１図（ｂ）に示す坩堝内の強磁性金属材料表面か
ら蒸発拉ｒの昇磁ｆｆ１基体への最低入射角度部分まで
の距１１１１ｔＨが、Ｈ／ （Ｌ／２）≧０．８ の関係を満足さぜるこ乏により記録ｌＴ生特性か改西さ
れた磁気記録媒体が得られることを発見した。
性基体トに強磁性金属層を電ｒ−線加熱蒸着法により形
成するにあたり、坩堝内にｒ・め充填した強磁性金属材
料に、電ｒ１ｉ！を走査しながら照射して加熱蒸発させ
て蒸着する際、第１図（ａ）に示す電子線の走査幅り、
と、第１図（ｂ）に示す坩堝内の強磁性金属材料表面か
ら蒸発拉ｒの昇磁ｆｆ１基体への最低入射角度部分まで
の距１１１１ｔＨが、Ｈ／ （Ｌ／２）≧０．８ の関係を満足さぜるこ乏により記録ｌＴ生特性か改西さ
れた磁気記録媒体が得られることを発見した。
これは、坩堝内の強磁性金属材料表面から 非磁性基体
までの距離を大きくすること、および／または、電子線
の走査幅を狭くすることによって、蒸発粒子の非磁性基
体への入射角度分散を減少させ、粒子の成長や結晶の配
向性を均一にするものである。
までの距離を大きくすること、および／または、電子線
の走査幅を狭くすることによって、蒸発粒子の非磁性基
体への入射角度分散を減少させ、粒子の成長や結晶の配
向性を均一にするものである。
しかし、電子線の走査幅りと、坩堝内の強磁性金属材料
表面から蒸発＄！７ Ｔの非磁性Ｊ＾体への最低入射角
度部分までの距＃Ｈが、Ｈ／ （Ｌ／２）＜０．８では
、電Ｙ−線の照射スポット位置か坩堝の端部にある時に
、非磁性基体りに到達する粒子の入射角度か極めて分散
し、粒子の成長や結晶の配向性が、を化する。
表面から蒸発＄！７ Ｔの非磁性Ｊ＾体への最低入射角
度部分までの距＃Ｈが、Ｈ／ （Ｌ／２）＜０．８では
、電Ｙ−線の照射スポット位置か坩堝の端部にある時に
、非磁性基体りに到達する粒子の入射角度か極めて分散
し、粒子の成長や結晶の配向性が、を化する。
本発明の製造り法は垂直蒸ｎおよび斜め蒸着の別なく、
電子線加熱による連続蒸着ならば全てについて実施でき
る。
電子線加熱による連続蒸着ならば全てについて実施でき
る。
本発明の磁気記録媒体に使用される非磁性基板としては
、ポリイミド、ポリエステル、ポリエチレンテレフタレ
ート等の高分子フィルムなとが好適である。
、ポリイミド、ポリエステル、ポリエチレンテレフタレ
ート等の高分子フィルムなとが好適である。
［実施例コ
以ド、実施例により本発明を更に詳細に説明する。
実１１外↓二」Ｙ
厚さ１０μｍのポリエチレンテレフタレートフィルムお
よびＣｏ−２０ａｔ％Ｎｉ合金を連続真空蒸着装置に挿
増し、ｌＸｌ０−５Ｔｏｒｒ以上まて真空脱気した。次
いで、電子銃のビームを走査して坩堝内のＣｏ−Ｎｉ合
金を照射して加熱蒸発させ、回転ドラｔ、に沿って走行
するボリエ千し／テレフタレートフィルムｌ−に厚さ０
．２μｍのＣｏ−Ｎ１からなる強磁性金属層を？ＪＲＪ
形成した。このとき、表１に示すように、電子線の走査
幅りと、坩堝内の強磁性金属材料表面と蒸発粒子の非磁
性基体への最低入射角度部分との距離Ｈを変化させて蒸
着した。その後、所定の幅に裁断して磁気テープを作製
した。
よびＣｏ−２０ａｔ％Ｎｉ合金を連続真空蒸着装置に挿
増し、ｌＸｌ０−５Ｔｏｒｒ以上まて真空脱気した。次
いで、電子銃のビームを走査して坩堝内のＣｏ−Ｎｉ合
金を照射して加熱蒸発させ、回転ドラｔ、に沿って走行
するボリエ千し／テレフタレートフィルムｌ−に厚さ０
．２μｍのＣｏ−Ｎ１からなる強磁性金属層を？ＪＲＪ
形成した。このとき、表１に示すように、電子線の走査
幅りと、坩堝内の強磁性金属材料表面と蒸発粒子の非磁
性基体への最低入射角度部分との距離Ｈを変化させて蒸
着した。その後、所定の幅に裁断して磁気テープを作製
した。
表１
各実施例における磁気テープについて、試料振動型磁力
計を用いて磁気特性を測定した。また、電磁変換特性測
定機を用いて７ＭＨｚの正位波を記録した時の７ＭＨｚ
の１耳生出力を測定した。表２に、各実施例のテープの
角形比および７ＭＨｚｒＪ、主出力（標キメクルテープ
比）を示す。
計を用いて磁気特性を測定した。また、電磁変換特性測
定機を用いて７ＭＨｚの正位波を記録した時の７ＭＨｚ
の１耳生出力を測定した。表２に、各実施例のテープの
角形比および７ＭＨｚｒＪ、主出力（標キメクルテープ
比）を示す。
表２
表２に示された結果から明らかなように、実施例１〜４
で得られた、Ｈ／ （Ｌ／２）≧０．８の要件を満たす
磁気テープは、この要件を満たさない実施例５の磁気テ
ープに比べて、角形比および７ＭＨｚ Ｍ主出力が共に
高いことから、本発明の磁気テープ製造方法によれば、
記録再生特性を向上させることができる。
で得られた、Ｈ／ （Ｌ／２）≧０．８の要件を満たす
磁気テープは、この要件を満たさない実施例５の磁気テ
ープに比べて、角形比および７ＭＨｚ Ｍ主出力が共に
高いことから、本発明の磁気テープ製造方法によれば、
記録再生特性を向上させることができる。
［発明の効果］
以上説明したように、本発明によれば、電子線加熱によ
る連続斜め蒸着法で非磁性基体−ヒに強磁性金属薄膜層
を形成するために、強磁性金属材料を溶解する坩堝に電
子線を照射して加熱蒸発させる際、電子線の走査幅りと
、坩堝内の強磁性金属材料表面と蒸発粒子の非磁性基体
への最低入射角度部分までの距離Ｈが、Ｈ／（Ｌ／２）
≧０．８となるようにして蒸着を行うと記録再生特性か
向ｆ−シた磁気記録媒体か得られる。
る連続斜め蒸着法で非磁性基体−ヒに強磁性金属薄膜層
を形成するために、強磁性金属材料を溶解する坩堝に電
子線を照射して加熱蒸発させる際、電子線の走査幅りと
、坩堝内の強磁性金属材料表面と蒸発粒子の非磁性基体
への最低入射角度部分までの距離Ｈが、Ｈ／（Ｌ／２）
≧０．８となるようにして蒸着を行うと記録再生特性か
向ｆ−シた磁気記録媒体か得られる。
第１図（ａ）は連続斜め７４打装置における蒸発源とド
ラムを側面から見た模式図であり、第１図（ｂ）は連続
斜め蒸着装置における蒸発源とドラムを正面から見た模
式図である。 １・・・回転ドラム、２・・・非磁性基体、３・・・坩
堝。
ラムを側面から見た模式図であり、第１図（ｂ）は連続
斜め蒸着装置における蒸発源とドラムを正面から見た模
式図である。 １・・・回転ドラム、２・・・非磁性基体、３・・・坩
堝。
Claims (1)
- （１）電子線加熱による連続蒸着法で、非磁性基体上に
強磁性金属薄膜層を形成することからなる磁気記録媒体
の製造方法において、 強磁性金属材料を溶解する坩堝に電子線を照射して加熱
蒸発させるにあたり、電子線の走査幅Ｌと、坩堝内の強
磁性金属材料表面と蒸発粒子の非磁性基体への最低入射
角度部分までの距離Ｈが、Ｈ／（Ｌ／２）≧０．８ の関係を満足することを特徴とする磁気記録媒体の製造
方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP31925590A JPH04188433A (ja) | 1990-11-22 | 1990-11-22 | 磁気記録媒体の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP31925590A JPH04188433A (ja) | 1990-11-22 | 1990-11-22 | 磁気記録媒体の製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04188433A true JPH04188433A (ja) | 1992-07-07 |
Family
ID=18108154
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP31925590A Pending JPH04188433A (ja) | 1990-11-22 | 1990-11-22 | 磁気記録媒体の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH04188433A (ja) |
-
1990
- 1990-11-22 JP JP31925590A patent/JPH04188433A/ja active Pending
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