JPH0418972Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 〔考案の目的〕 「産業上の利用分野」 この考案は、例えば半導体製造装置等に使用さ
れる平板状のワークの移送装置において、該ワー
クの送り不良を検出する装置を備えた送り装置に
関する。

「従来の技術」 本出願人は先に、リードフレームや半導体基板
のような平板状のワークにボンデイング加工を施
す新規な装置を開発して特許出願（特願昭60−
102187号）したが、その装置の中には次に述べる
ようなワーク移送装置が含まれている。即ち、そ
のワーク移送装置はワーク供給用マガジン内に収
納されている未加工のワークの中から１枚を押し
出してこれを加工部であるヒートステージ上に位
置せしめると同時にヒートステージ上にあつた加
工済みの１枚のワークを押してこれをワーク収納
用マガジン内に収納するようにしたものである。
このワーク移送装置について第５〜８図を参照し
つつ説明する。

先づ、ワークＷを満載したワーク供給用マガジ
ン１をマガジン載置台２上に置き、空のワーク収
納用マガジン３をマガジン載置台４上に置く。す
ると、ワーク供給用マガジン１の最上段の高さ
と、ワーク収納用マガジン３の最上段の高さとは
ヒートステージ５の上面の高さと等しくなる。次
に図示省略した駆動装置を駆動させると、ワーク
送りアーム１７とスライダ１３とこれに固定され
たビーム部材１４は、一体となつてレール１６に
沿つて移動する。ワーク送りアーム１７の先端に
取付けられた曲線状の板ばね１８がワーク供給用
マガジン１の最上段にあるワークＷを押し出し、
ワークＷを加工部であるヒートステージ５上に位
置せしめる。最初はヒートステージ５上に加工済
みのワークは無いが、第２回目以降はヒートステ
ージ５上に加工済みワークW₁があるので、第２
回目以降は未加工のワークＷの押し出しと同時
に、スライダ１３に設けられた送りピン２０が加
工済みのワークW₁を押してこれをワーク収納用
マガジン３の最上段（空段）に押し入れる。その
後、駆動装置によりスライダ１３及びワーク送り
アーム１７はレール１６に沿つて後退し、元の位
置（第５，６図図示位置）に戻る。

この戻りの工程では、送りピン２０によつて、
折角ヒートステージ５上に送り込まれた未加工の
ワークＷを再びワーク供給用マガジン１側に戻し
てしまうようなことがないように、図外に設けた
光センサと電気カムとの協働により信号を発しソ
レノイド２７を駆動して送りピン２０を持上げ
る。即ち、ソレノイド２７を駆動すると、そのア
クチユエータ２８が戻しばね２９のばね力に抗し
て前進し、その先端部に取付けたピン３３を介し
て揺動レバー３０の端部が押されるので、揺動レ
バー３０は支点ピン３２を中心として揺動し、ピ
ン３４を介して送りピン２０を持上げる。図外に
設けた光センサによりワーク送りアーム１７及び
スライダ１３が元の位置（第５，６図図示位置）
に戻つたことが確認されると、モータ３５，３６
に信号が与えられ、その回転によりマガジン載置
台２，４がいづれも１段分だけ上昇し、それぞ
れ、次の未加工のワークＷの移送及び加工済みの
ワークW₁の移送に備える。以下同様な動作が繰
返され、すべてのワークに加工が施されてワーク
収納用マガジン３が満杯となり、ワークの供給用
マガジン位置が空になつた時、装置全体の運転が
停止される。

「考案が解決しようとする問題点」 上記の装置において、加工済みのワークW₁が
送りピン２０に押されて前進している間、ワーク
W₁がなんら外力を受けることなくなめらかに滑
つて行く場合には問題はないが、例えばワークが
障害物にぶつかる等、予期しない事態によりその
動きが妨げられた場合には無理な力が各機構に加
わつて機構の破損やモータの焼付き、ワークの破
損等をひき起すおそれがある。

本考案は上記のようなワーク送り装置における
問題点を解消し、ワークの送りが正常でない場合
の検出手段を備えてワーク送り不良の場合に装置
を停止させることにより、装置の保全を計ること
のできる送り装置を提供することを目的とするも
のである。

〔考案の構成〕

「問題点を解決するための手段」 この考案は上記した問題点を解決するためにな
されたもので、その構成は、レールに沿つて移動
可能なスライダと、該スライダにスライダの移動
方向に交叉して取付けられたビーム部材と、該ビ
ーム部材に設けられ、かつワークの端部に当接可
能な先端部を有する送りピンとを備え、前記スラ
イダが前記レールに沿つて駆動装置により移動す
るとき、前記送りピンの前記先端部でワークを押
すことによりワークを前進させるようにしたワー
ク送り装置において、前記ビーム部材を前記スラ
イダにビーム部材の長手方向に平行な軸心でもつ
て回転可能に軸支し、ビーム部材に取付けた前記
送りピンの先端部がワーク側に向うよう付勢する
ばね部材をスライダとビーム部材との間に設ける
とともに前記ばね部材の付勢による送りピンの先
端部の回転位置を規制するストツパー手段をビー
ム部材とスライダとの間に設け、さらに、前記ス
ライダとビーム部材間に送りピンの先端部の変位
検出手段を設け、前記変位検出手段はビーム部材
に取付けられ、ビーム部材の軸支部による軸心か
ら半径方向の検出レバーと、該検出レバーにより
作動するスイツチを有し、スイツチはスライダに
取付けたことを特徴とするワークの送り装置であ
る。

「作用」 スライダ１３がレール１６に沿つて前進すると
き、スライダ１３に軸支されているビーム部材１
４はばね部材４６による引張りと、ストツパー手
段４１，４２による回転位置の規制を受けて回転
方向で定位置を保ち、したがつて送りピン２０の
位置も回転方向で定位置を保つており、ワーク
W₁は送りピン２０に押されて前進する。

ワークW₁に何らかの外力が作用して送りピン
２０が所定値以上の力を受けたとき、ビーム部材
１４はモーメントを受け、ばね部材４６の力に抗
して回転し、変位検出手段５０，５１が作動して
ワークの滑り不良検出信号が発せられる。この検
出信号を用いて、駆動装置を停止させたり、ある
いはモータ装置を逆転させたりして事故を未然に
防止する。

「実施例」 次に、本考案の一実施例を主として第１〜４図
を参照して説明するが、第５〜８図と同一の機能
を有する部材には第５〜８図と同じ符号を付し、
詳細説明は省略する。

この考案においては、ビーム部材１４はスライ
ダ１３に設けられたスライダ１３の移動方向に直
交する中心軸を持つ軸受４０により回転可能に軸
支されている。ビーム部材１４の回動位置に従つ
て決まる送りピン２０の回動位置を規制するスト
ツパー手段としてビーム部材１４の両端部付近に
は、ストツパーピン４１が固設され、その先端部
は、スライダ１３に固定された円柱状のストツパ
ー４２の円柱面に当接できるようになつている。
送りピン２０の先端部がワーク側に向うように付
勢するばね部材として、スライダ１３に植設され
た係止ピン４３の係止部４４と、ストツパーピン
４１の係止部４５との間には、引張りばね４６が
その中間部がストツパー４２の外周円弧面に沿う
ごとくに張設されていて、常時ストツパーピン４
１をストツパー４２に押し当てるように付勢して
いる。

また、送りピン２０の先端部の変位検出手段と
してスライダ１３には、ブラケツト４７を介して
変位検出センサである光センサ５０が固定され、
この光センサ５０の光路を遮断開放可能なごとく
に検出レバー５１がビーム部材１４に固定されて
いる。

図示のように、引張りばね４６の付勢によりス
トツパーピン４１がストツパー４２に当接してい
る場合には、光センサ５０の光路は検出レバー５
１の先端部によつて遮蔽されている。

以上の構成になる本実施例装置の作用を説明す
る。

スライダ１３及びビーム部材１４が一体となつ
て前進し、送りピン２０の先端部で加工済みのワ
ークW₁を押しながら前進させているとき、例え
ばワークW₁がマガジン３の溝側壁に干渉したり
してワークW₁に制動力がかかり、それによつて
生じる反力が送りピン２０に作用したとしても、
その反力によるビーム部材１４の時計廻りのモー
メント（第４図参照）が引張りばね４６によるビ
ーム部材１４の反時計廻りのモーメントよりも小
さい場合にはビーム部材１４は時計方向に回転せ
ず、送りピン２０はワークW₁を押して右行を続
ける。

他方、前記反力が所定値を越えて、時計廻りの
モーメントが反時計廻りのモーメントよりも大き
くなつた場合にはビーム部材１４及びこれに固定
されている検出レバー５１は、引張ばね４６の力
に抗して第４図で時計方向に回転する。すると、
それまで検出レバー５１で遮蔽されていた光セン
サ５０の光路が開かれるため、その光を光電変換
してワーク滑り不良信号を得、その信号に基づい
てワーク送りアーム１７及びスライダ１３の駆動
装置のモータの回転を停止させたり、あるいは該
モータの回転を逆転させて送りピン２０を後退さ
せる等して、事故を未然に防止する。

なお、上記実施例では変位検出センサとして光
センサを用いたが、磁気センサを用いてもよい。
また、接触式のセンサ例えばリミツトスイツチを
用いてもよい。

〔考案の効果〕

この考案はレール１６に沿つて移動可能なスラ
イダ１３と、該スライダにスライダ１３の移動方
向に交叉して取付けられたビーム部材１４と、該
ビーム部材に設けられ、かつワークの端部に当接
可能な先端部を有する送りピン２０とを備え、前
記スライダ１３が前記レール１６に沿つて駆動装
置により移動するとき、前記送りピンの前記先端
部でワークを押すことによりワークを前進させる
ようにしたワーク送り装置において、前記ビーム
部材１４を前記スライダ１３にビーム部材１４の
長手方向に平行な軸心でもつて回転可能に軸支
し、ビーム部材に取付けた前記送りピン２０の先
端部がワーク側に向うよう付勢するばね部材４６
をスライダ１３とビーム部材１４との間に設ける
とともに前記ばね部材の付勢による送りピンの先
端部の回転位置を規制するストツパー手段４１，
４２をビーム部材１４とスライダ１３との間に設
け、さらに、前記スライダ１３とビーム部材１４
間に送りピン２０の先端部の変位検出手段５０，
５１を設け、前記位置検出手段５０，５１はビー
ム部材１４に取付けられ、ビーム部材１４の軸支
部による軸心から半径方向の検出レバー５１と、
該検出レバー５１により作動するスイツチ５０を
有し、スイツチ５０はスライダ１３に取付けたこ
とを特徴とするワークの送り装置としたから、ワ
ーク移送中に、なんらかの原因によつてワークの
送り不良が生じたときに、ワーク側から送りピン
に加わる反力を利用して、その反力が所定値を越
えた時には直ちにビーム部材を回転させることに
より、変位検出手段を作動させて送り不良信号を
得、その信号を用いて直ちに送り装置の駆動装置
を停止させたり、あるいは、該駆動装置を逆転さ
せる等して、事故を未然に防止することができ、
その際ビーム部材の回転中心から送りピン先端部
までの距離と該回転中心から変位検出手段の位置
までの距離との比即ちレバー比を適切に定めるこ
とにより、送りピン先端部に僅かな変位が生じて
も、速やかに送り不良検出信号を得ることができ
るという効果がある。

尚、本考案は送りピン先端が力によつてスライ
ダ進行方向とは反対方向に回転して逃げるように
できるので、送りピン或は送りピンが干渉した部
材の破損を防止するようにすることもできる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本考案の一実施例を示す平面図、第２
図は第１図の正面図、第３図は第２図における検
出部付近の拡大正面図、第４図は第３図のＡ矢視
図、第５図は本考案の装置が適用されるワーク送
り装置の平面図、第６図は同じく側面図、第７
図、第８図は従来例で第７図は第５，６図におけ
るワーク移送装置を示す平面図、第８図は第７図
の正面図である。 １……ワーク供給用マガジン、２……マガジン
載置台、３……ワーク収納用マガジン、４……マ
ガジン載置台、５……ヒートステージ、１３……
スライダ、１４……ビーム部材、１６……レー
ル、１７……ワーク送りアーム、１８……板ば
ね、２０……送りピン、２７……ソレノイド、２
８……アクチユエータ、２９……戻しばね、３０
……揺動レバー、３２……支点ピン、３３，３４
……ピン、３５，３６……モータ、４０……軸
受、４１……ストツパーピン、４２……ストツパ
ー、４３……係止ピン、４４，４５……係止部、
４６……引張りばね、４７……ブラケツト、５０
……光センサ、５１……検出レバー、Ｗ……ワー
ク、W₁……加工済みワーク。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. レール１６に沿つて移動可能なスライダ１３
   と、該スライダにスライダ１３の移動方向に交叉
   して取付けられたビーム部材１４と、該ビーム部
   材に設けられ、かつワークの端部材に当接可能な
   先端部を有する送りピン２０とを備え、前記スラ
   イダ１３が前記レール１６に沿つて駆動装置によ
   り移動するとき、前記送りピンの前記先端部でワ
   ークを押すことによりワークを前進させるように
   したワーク送り装置において、前記ビーム部材１
   ４を前記スライダ１３にビーム部材１４の長手方
   向に平行な軸心でもつて回転可能に軸支し、ビー
   ム部材１４に取付けた前記送りピン２０の先端部
   がワーク側に向うよう付勢するばね部材４６をス
   ライダ１３とビーム部材１４との間に設けるとと
   もに前記ばね部材の付勢による送りピンの先端部
   の回転位置を規制するストツパー手段４１，４２
   をビーム部材１４とスライダ１３との間に設け、
   さらに、前記スライダ１３とビーム部材１４間に
   送りピン２０の先端部の変位検出手段５０，５１
   を設け、前記変位検出手段５０，５１はビーム部
   材１４に取付けられ、ビーム部材１４の軸支部に
   よる軸心から半径方向の検出レバー５１と、該検
   出レバー５１により作動するスイツチ５０を有
   し、スイツチ５０はスライダ１３に取付けたこと
   を特徴とするワークの送り装置。