JPH04194376A - クライオポンプ - Google Patents
クライオポンプInfo
- Publication number
- JPH04194376A JPH04194376A JP32287590A JP32287590A JPH04194376A JP H04194376 A JPH04194376 A JP H04194376A JP 32287590 A JP32287590 A JP 32287590A JP 32287590 A JP32287590 A JP 32287590A JP H04194376 A JPH04194376 A JP H04194376A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- cryopanel
- cryopump
- heat shield
- shield plate
- inlet
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Landscapes
- Compressors, Vaccum Pumps And Other Relevant Systems (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、極低温に冷却したクライオパネル面に、ガス
分子を凝縮・吸着して高速で排気するクライオポンプに
関する。
分子を凝縮・吸着して高速で排気するクライオポンプに
関する。
［従来の技術］
従来の装置は、特開昭６１−１６９６８２号公報に記載
のように、液体ヘリウム等で極低温に冷却した単一平坦
面のクライオパネルを、ガス流入口の面に対して直角に
、かつ一定間隔で複数枚配置している。このクライオパ
ネルがポンプ外の高温部から加熱されない様に、ガス流
入口面上でクライオパネルの前方の箇所に液体窒素等で
低温に冷却した前面熱シールド板を置き、クライオパネ
ルの両側面部には、同じく液体窒素で冷却したルーバブ
ラインド形の熱シールド板を配置している。また、クラ
イオパネルの奥方向、すなわち、クライオパネルの後側
にも液体窒素で冷却した後面熱シールド板を設けている
。ガス分子は、このルーバのすき間を通り、極低温のク
ライオパネルに衝突し、そこで凝固、吸着させる。
のように、液体ヘリウム等で極低温に冷却した単一平坦
面のクライオパネルを、ガス流入口の面に対して直角に
、かつ一定間隔で複数枚配置している。このクライオパ
ネルがポンプ外の高温部から加熱されない様に、ガス流
入口面上でクライオパネルの前方の箇所に液体窒素等で
低温に冷却した前面熱シールド板を置き、クライオパネ
ルの両側面部には、同じく液体窒素で冷却したルーバブ
ラインド形の熱シールド板を配置している。また、クラ
イオパネルの奥方向、すなわち、クライオパネルの後側
にも液体窒素で冷却した後面熱シールド板を設けている
。ガス分子は、このルーバのすき間を通り、極低温のク
ライオパネルに衝突し、そこで凝固、吸着させる。
前面熱シールド板の裏面、後面発シールド板、および、
ルーバの表面は、ふく射熱を吸収する様に黒色に表面処
理しており、外部の光線はこれらの熱シールド板に少な
くとも一度衝突したのち、クライオパネルに到達するよ
うに設計されている。
ルーバの表面は、ふく射熱を吸収する様に黒色に表面処
理しており、外部の光線はこれらの熱シールド板に少な
くとも一度衝突したのち、クライオパネルに到達するよ
うに設計されている。
排気するガス分子は、ポンプ前方に隣設された前面熱シ
ールド板間のガス流入口からクライオポンプ内に流入す
る。ガス分子はルーバ、または、後面熱シールド板に一
回もしくは数回衝突を繰返しながら、あるガス分子は流
入口から流出し、あるガス分子はクライパネルに到達し
て凝固、吸着させる。
ールド板間のガス流入口からクライオポンプ内に流入す
る。ガス分子はルーバ、または、後面熱シールド板に一
回もしくは数回衝突を繰返しながら、あるガス分子は流
入口から流出し、あるガス分子はクライパネルに到達し
て凝固、吸着させる。
上記従来技術は、ガス流入口面に直角に平坦面のクライ
オパネルの配置であり、クライオパネル奥行き方向の寸
法を確保する必要がある。
オパネルの配置であり、クライオパネル奥行き方向の寸
法を確保する必要がある。
本発明の目的は、このクライオパネル奥行き方向の寸法
を小さくして、クライオポンプのスペースファクターを
小さくすることにある。
を小さくして、クライオポンプのスペースファクターを
小さくすることにある。
上記目的を達成するために、本発明はクライオパネルを
クライオポンプ流入口面に対して傾斜をもった平坦面の
クライオポンプや平坦面でないクライオパネル面とした
ものである。
クライオポンプ流入口面に対して傾斜をもった平坦面の
クライオポンプや平坦面でないクライオパネル面とした
ものである。
［作用］
クライオパネルをクライオポンプ流入口面に対して傾斜
させた平坦面や、平坦面でないクライオパネル面とする
ことで、排気容量は同等として、ガス流入口面に直角な
りライオパネル奥行き方向の長さを短かくでき、クライ
オポンプ全体の占る容積と寸法を小さく８来る。
させた平坦面や、平坦面でないクライオパネル面とする
ことで、排気容量は同等として、ガス流入口面に直角な
りライオパネル奥行き方向の長さを短かくでき、クライ
オポンプ全体の占る容積と寸法を小さく８来る。
［実施例］
以下、本発明の一実施例を第１図により説明する。クラ
イオポンプの前面に配置した低温の前面熱シールド板１
の間から破線矢印方向に排気すべきガス分子がクライオ
ポンプ内に流入する。極低温の主クライオパネル２を、
クライオポンプガス分子流入口面に対して角度αを９０
’からＯｏの方へ小さくすることにより傾斜させ、前面
熱シールド板ｌの背後に配置し、その左右側面に、低温
のルーバ３群を設けている。ルーバのＢ面側には、ルー
バ３とわずかなすき開を隔てて、衝立板４を主クライオ
パネル２と熱的に一体化して設け、これを極低温に冷却
している。熱シールド板１の背後にも、主クライオパネ
ル２と一体化した衝立板５も配置している。またポンプ
奥行き方向の背後には、低温の後面熱シールド板６を設
けている。
イオポンプの前面に配置した低温の前面熱シールド板１
の間から破線矢印方向に排気すべきガス分子がクライオ
ポンプ内に流入する。極低温の主クライオパネル２を、
クライオポンプガス分子流入口面に対して角度αを９０
’からＯｏの方へ小さくすることにより傾斜させ、前面
熱シールド板ｌの背後に配置し、その左右側面に、低温
のルーバ３群を設けている。ルーバのＢ面側には、ルー
バ３とわずかなすき開を隔てて、衝立板４を主クライオ
パネル２と熱的に一体化して設け、これを極低温に冷却
している。熱シールド板１の背後にも、主クライオパネ
ル２と一体化した衝立板５も配置している。またポンプ
奥行き方向の背後には、低温の後面熱シールド板６を設
けている。
極低温の主クライオパネル２．衝立板４及び衝立板５は
、クライオポンプ流入口方向からは直接見えないように
、配置されている。流入口からクライオポンプ内に流入
したガス分子は、主クライオパネル、衝立板４，５で凝
固、吸着することができ、一部のガス分子はクライオポ
ンプ流入口から流出する。
、クライオポンプ流入口方向からは直接見えないように
、配置されている。流入口からクライオポンプ内に流入
したガス分子は、主クライオパネル、衝立板４，５で凝
固、吸着することができ、一部のガス分子はクライオポ
ンプ流入口から流出する。
このとき、角度αを小さくすることで舵面熱シールド板
１と後面熱シールド板６の距離りを短がくした構造とす
ることが８来る。
１と後面熱シールド板６の距離りを短がくした構造とす
ることが８来る。
第２図は、本発明の他の実施例を示すもので、主クライ
オパネル２は、クライオポンプ流入口面に対して、７字
形にして寸法りを短がくしている。
オパネル２は、クライオポンプ流入口面に対して、７字
形にして寸法りを短がくしている。
この場合、後面熱シールド板６は、クライオポンプ流入
口面に沿って全面に取付ける必要がなくなる。
口面に沿って全面に取付ける必要がなくなる。
［発明の効果］
本発明によれば、前面熱シールド板と後面熱シールド間
の距離を小さくできるので、クライオポンプのスペース
ファクタをよくする効果がある。
の距離を小さくできるので、クライオポンプのスペース
ファクタをよくする効果がある。
第１図は、本発明の一実施例を説明するクライオポンプ
のパネル配置断面図、第２図は他の例に係るパネル配置
の部分断面図である。
のパネル配置断面図、第２図は他の例に係るパネル配置
の部分断面図である。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、ガス分子を凝縮・吸着する極低温度に冷却したクラ
イオパネルと、前記クライオパネルを高温からのふく射
熱から保護する低温に冷却したふく射熱シールド板とか
らなるクライオポンプにおいて、 前記クライオポンプの流入口に対して、直角な平坦面の
クライオポンプとはしないことを特徴とするクライオポ
ンプ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP32287590A JPH04194376A (ja) | 1990-11-28 | 1990-11-28 | クライオポンプ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP32287590A JPH04194376A (ja) | 1990-11-28 | 1990-11-28 | クライオポンプ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04194376A true JPH04194376A (ja) | 1992-07-14 |
Family
ID=18148590
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP32287590A Pending JPH04194376A (ja) | 1990-11-28 | 1990-11-28 | クライオポンプ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH04194376A (ja) |
-
1990
- 1990-11-28 JP JP32287590A patent/JPH04194376A/ja active Pending
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