JPH04194377A - クライオポンプ - Google Patents
クライオポンプInfo
- Publication number
- JPH04194377A JPH04194377A JP32287690A JP32287690A JPH04194377A JP H04194377 A JPH04194377 A JP H04194377A JP 32287690 A JP32287690 A JP 32287690A JP 32287690 A JP32287690 A JP 32287690A JP H04194377 A JPH04194377 A JP H04194377A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- cryopanel
- cryopump
- gas
- heat shield
- shield plate
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Compressors, Vaccum Pumps And Other Relevant Systems (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、ルーバーブラインド形クライオポンプにおけ
る、クライオパネル配置位置の最適化により、排気速度
増大させた構造に関する。
る、クライオパネル配置位置の最適化により、排気速度
増大させた構造に関する。
［従来の技術］
従来の装置は、特開昭６１−１６９６８２号公報に記載
の様に、液体ヘリウム等で極低温に冷却したクライオパ
ネルを、ガス分子流入口の面に対してほぼ直角に、かつ
、一定間隔で複数枚配置している。
の様に、液体ヘリウム等で極低温に冷却したクライオパ
ネルを、ガス分子流入口の面に対してほぼ直角に、かつ
、一定間隔で複数枚配置している。
［発明が解決しようとする課題］
従来のクライオポンプでは、入射ガス粒子の運動を考慮
したクライオパネルの配置の最適化が行なわれておらず
、クライオポンプの単位体積当りの排気速度を小さいと
いう問題があった。
したクライオパネルの配置の最適化が行なわれておらず
、クライオポンプの単位体積当りの排気速度を小さいと
いう問題があった。
しかし、最近の大形核融合実験装置に使用する中性粒子
入射装置では、水素９重水素の大排気容量のクライオポ
ンプが必要となっている。一方、中性粒子入射装置は、
真空容器で構成するため、内部に設置するクライオポン
プの、ビーム対向面開口面積及び体積を小さくする。す
なわち、高性能小型化を図る事によって、真空容器を小
さくして、製造コストを低減する事が重要となる。
入射装置では、水素９重水素の大排気容量のクライオポ
ンプが必要となっている。一方、中性粒子入射装置は、
真空容器で構成するため、内部に設置するクライオポン
プの、ビーム対向面開口面積及び体積を小さくする。す
なわち、高性能小型化を図る事によって、真空容器を小
さくして、製造コストを低減する事が重要となる。
本発明の目的は、同一体積のクライオポンプ内に排気面
となるクライオパネルの配置を最適化してポンプの排気
速度を増す事にある。
となるクライオパネルの配置を最適化してポンプの排気
速度を増す事にある。
［課題を解決するための手段］
上記巨的を達成するために、本発明は、熱シールドだけ
が設置されていた、ガス分子流入口面と直角に配置した
クライオパネルの後側に、ガス分子流入口面と平行にク
ライオパネルを設置した。
が設置されていた、ガス分子流入口面と直角に配置した
クライオパネルの後側に、ガス分子流入口面と平行にク
ライオパネルを設置した。
［作用］
ガス分子流入口面より入射したガス粒子は、熱シールド
板に当り反射をくり返しながら、熱シールド板を通過可
能な入射角でクライオパネルに入射した時のみ、クライ
オパネルで凝縮・排気される。従って例えば、ガス分子
流入口面となす角が直角に近い入射角で入射したガス粒
子は、熱シールドで反射されてそのままクライオポンプ
から出てしまい、排気速度が向上しない理由の一つにな
っている。従って、ガス分子流入口面に直角に配置した
クライオパネルの後側に、ガス分子流入口面と平行にク
ライオパネルを設置する事により、ガス分子流入口面に
直角に配置したクライオパネル後側の熱シールド板に当
って反射し、クライオパネルに吸着されずにクライオポ
ンプから出でゆく粒子数を減少させる事により排気速度
を向上させる。
板に当り反射をくり返しながら、熱シールド板を通過可
能な入射角でクライオパネルに入射した時のみ、クライ
オパネルで凝縮・排気される。従って例えば、ガス分子
流入口面となす角が直角に近い入射角で入射したガス粒
子は、熱シールドで反射されてそのままクライオポンプ
から出てしまい、排気速度が向上しない理由の一つにな
っている。従って、ガス分子流入口面に直角に配置した
クライオパネルの後側に、ガス分子流入口面と平行にク
ライオパネルを設置する事により、ガス分子流入口面に
直角に配置したクライオパネル後側の熱シールド板に当
って反射し、クライオパネルに吸着されずにクライオポ
ンプから出でゆく粒子数を減少させる事により排気速度
を向上させる。
［実施例］
以下、本発明の一実施例を第１図により説明する。クラ
イオポンプの前面に配置した低温の前面熱シールド板１
の間から破線矢印方向に排気すべきガス分子がクライオ
ポンプ内に流入する。極低温のクライオパネル２を、ク
ライオポンプガス分子流入口面に対してほぼ直角に前面
熱シールド板１の背後に設置し、更に、クライオパネル
３を、クライオポンプガス分子流入口面に対して平行に
、後面熱シールド板４の前面かつ、クライオパネル２の
背後に設置する。クライオパネル２の左右側面には角度
α傾けた低温のルーバ群５を設けている。又クライオパ
ネル３のクライオポンプガス分子流入口面側には、シェ
ブロン群６を設ける。
イオポンプの前面に配置した低温の前面熱シールド板１
の間から破線矢印方向に排気すべきガス分子がクライオ
ポンプ内に流入する。極低温のクライオパネル２を、ク
ライオポンプガス分子流入口面に対してほぼ直角に前面
熱シールド板１の背後に設置し、更に、クライオパネル
３を、クライオポンプガス分子流入口面に対して平行に
、後面熱シールド板４の前面かつ、クライオパネル２の
背後に設置する。クライオパネル２の左右側面には角度
α傾けた低温のルーバ群５を設けている。又クライオパ
ネル３のクライオポンプガス分子流入口面側には、シェ
ブロン群６を設ける。
極低温のクライオパネル２，３はクライオポンプガス流
入口方向からは直接見えない様に配置される。従来流入
口からクライオポンプ内に流入したガス分子は、ルーバ
ー５、後面熱シールド板４と衝突を繰返しながら、ある
ガス分子は流入口から流出するものもあったが、クライ
オパネル３を設ける事により依り従来後面熱シールド板
４に衝突反射してクライオポンプから流出していたガス
分子のうち、シェブロン６を通過出来たものは、クライ
オポンプ３に凝固・吸着する事ができる。
入口方向からは直接見えない様に配置される。従来流入
口からクライオポンプ内に流入したガス分子は、ルーバ
ー５、後面熱シールド板４と衝突を繰返しながら、ある
ガス分子は流入口から流出するものもあったが、クライ
オパネル３を設ける事により依り従来後面熱シールド板
４に衝突反射してクライオポンプから流出していたガス
分子のうち、シェブロン６を通過出来たものは、クライ
オポンプ３に凝固・吸着する事ができる。
流出するガス分子の割合を低減出来る。従って、本実施
例に依れば、ガスの排気速度を従来のルーバーブライン
ド型クライオポンプに比べて大きくする事が出来る。
例に依れば、ガスの排気速度を従来のルーバーブライン
ド型クライオポンプに比べて大きくする事が出来る。
第２図は、従来のルーバーブラインド型のクラ ・イ
オボンブを示す。
オボンブを示す。
第３図は本発明の他の実施例を示すもので、クライオパ
ネル３のガス流入口面側に設置する熱シールドを第１図
のシェブロン型からルーバー型にしたものである。本実
施例においてもクライオパネル３に吸着するガス分子が
あるため同様の効果がある。
ネル３のガス流入口面側に設置する熱シールドを第１図
のシェブロン型からルーバー型にしたものである。本実
施例においてもクライオパネル３に吸着するガス分子が
あるため同様の効果がある。
第４図は、本発明になる他の実施例を示すもので、第１
図、第３図と異なる点は、クライオポンプ３が、クライ
オパネル２の間ごとに分離しておらず、後面熱シールド
板４とほぼ同じ幅をもっている点である。本構造に依れ
ばクライオパネル３を分離していないため、構造的に単
純になる利点がある。
図、第３図と異なる点は、クライオポンプ３が、クライ
オパネル２の間ごとに分離しておらず、後面熱シールド
板４とほぼ同じ幅をもっている点である。本構造に依れ
ばクライオパネル３を分離していないため、構造的に単
純になる利点がある。
本発明に依れば、クライオパネルを後面熱シールド板の
ガス流入口と平行に設置できるので、クライオパネル面
が増加出来、ガスの排気速度を大きくできる。
ガス流入口と平行に設置できるので、クライオパネル面
が増加出来、ガスの排気速度を大きくできる。
第１図は、本発明の一実施例を説明するクライオポンプ
の断面図、第２図は、従来のルーバーブラインド型クラ
イオポンプ断面図、第３図、第４図は、他の例に依るク
ライオポンプ断面図である。 ■・・・前面熱シールド板、２・・・クライオパネル、
３・・・クライオパネル、４・・・後面熱シールド板、
５・・・第１図 を 第２図 第３１ 牛 第４図 −
の断面図、第２図は、従来のルーバーブラインド型クラ
イオポンプ断面図、第３図、第４図は、他の例に依るク
ライオポンプ断面図である。 ■・・・前面熱シールド板、２・・・クライオパネル、
３・・・クライオパネル、４・・・後面熱シールド板、
５・・・第１図 を 第２図 第３１ 牛 第４図 −
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、ガス分子を凝縮・吸着する極低温度に冷却したクラ
イオパネルと、前記クライオパネルを高温の輻射熱から
保護するために、低温に冷却した熱シールド板からなる
クライオポンプにおいて、 前記クライオパネルをガス分子流入口面と直角及び、ガ
ス分子流入口面と直角に配置したクライオパネルの後側
に、ガス分子流入口面と平行にクライオパネルを設置し
た事を特徴とするクライオポンプ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP32287690A JPH04194377A (ja) | 1990-11-28 | 1990-11-28 | クライオポンプ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP32287690A JPH04194377A (ja) | 1990-11-28 | 1990-11-28 | クライオポンプ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04194377A true JPH04194377A (ja) | 1992-07-14 |
Family
ID=18148602
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP32287690A Pending JPH04194377A (ja) | 1990-11-28 | 1990-11-28 | クライオポンプ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH04194377A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN115803525A (zh) * | 2020-07-08 | 2023-03-14 | 爱德华兹真空泵有限责任公司 | 低温泵 |
-
1990
- 1990-11-28 JP JP32287690A patent/JPH04194377A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN115803525A (zh) * | 2020-07-08 | 2023-03-14 | 爱德华兹真空泵有限责任公司 | 低温泵 |
| JP2023533534A (ja) * | 2020-07-08 | 2023-08-03 | エドワーズ バキューム リミテッド ライアビリティ カンパニー | クライオポンプ |
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