JPH0419478Y2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0419478Y2 JPH0419478Y2 JP13598788U JP13598788U JPH0419478Y2 JP H0419478 Y2 JPH0419478 Y2 JP H0419478Y2 JP 13598788 U JP13598788 U JP 13598788U JP 13598788 U JP13598788 U JP 13598788U JP H0419478 Y2 JPH0419478 Y2 JP H0419478Y2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- oil
- pump
- level gauge
- rotary vacuum
- shower pipe
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
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Description
【考案の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本考案は油回転真空ポンプに関する。
油回転真空ポンプはポンプ全体がオイルづけに
され、容器内部に少しずつオイルが入つてできる
油膜によつて潤滑と気密が保たれ、回転子の回転
によつて排気が行なわれるものである。
され、容器内部に少しずつオイルが入つてできる
油膜によつて潤滑と気密が保たれ、回転子の回転
によつて排気が行なわれるものである。
一般的な油回転真空ポンプの内部構成は第２図
に示されるようなものである。すなわち、第２図
において１はモーター、２はポンプユニツトで、
これは主にシリンダー、ローター、ベーンなどか
ら構成されている。前記モーター１によつてポン
プユニツト２内のローター及びベーンが回転し、
真空槽に接続している吸気口３から吸入されたガ
スを排気口４から排出する。オイルはオイルタン
クを兼ねたポンプケース８内に入つており、オイ
ルポンプ５によつて吸い上げられてオイル循環パ
イプ６を通り、オイル分配弁９へ送り込まれる。
オイル分配弁９からポンプユニツト２内及びポン
プユニツト２上の排気弁、オイルシール等にオイ
ルが供給される。分配使用されるオイルは一部で
あり、それ以外の余剰オイル１２はそのまゝポン
プケース８内に戻される。余剰油は、機種によつ
て異なるが例えば全体の25〜40％程度である。
又、ポンプユニツト２内に送られたオイルも排気
ガスと共にポンプケース８内に戻される。オイル
はこの循環を繰り返す。
に示されるようなものである。すなわち、第２図
において１はモーター、２はポンプユニツトで、
これは主にシリンダー、ローター、ベーンなどか
ら構成されている。前記モーター１によつてポン
プユニツト２内のローター及びベーンが回転し、
真空槽に接続している吸気口３から吸入されたガ
スを排気口４から排出する。オイルはオイルタン
クを兼ねたポンプケース８内に入つており、オイ
ルポンプ５によつて吸い上げられてオイル循環パ
イプ６を通り、オイル分配弁９へ送り込まれる。
オイル分配弁９からポンプユニツト２内及びポン
プユニツト２上の排気弁、オイルシール等にオイ
ルが供給される。分配使用されるオイルは一部で
あり、それ以外の余剰オイル１２はそのまゝポン
プケース８内に戻される。余剰油は、機種によつ
て異なるが例えば全体の25〜40％程度である。
又、ポンプユニツト２内に送られたオイルも排気
ガスと共にポンプケース８内に戻される。オイル
はこの循環を繰り返す。
オイルは、ガラスやプラスチツクなどの透明な
材料で構成されるオイルレベルゲージ７によつて
外部から観察され、オイルの残量や、汚れ、劣化
の程度などが判断される。
材料で構成されるオイルレベルゲージ７によつて
外部から観察され、オイルの残量や、汚れ、劣化
の程度などが判断される。
油回転真空ポンプが接続している真空槽（図示
せず）中でCVDやエツチング等が行われると多
量の粉体が発生する。このような場合、真空槽か
ら排出された粉体が真空ポンプ中に入り、オイル
レベルゲージ内面に付着してオイルの状態が観察
できなくなるという問題点があつた。オイル不足
に気がつかないまゝ油回転真空ポンプの運転を続
けたゝめにトラブルが発生するというケースもあ
る。オイル量を確認する手段として浮き子等を利
用したセンサーもあるが、コストアツプにつなが
る。
せず）中でCVDやエツチング等が行われると多
量の粉体が発生する。このような場合、真空槽か
ら排出された粉体が真空ポンプ中に入り、オイル
レベルゲージ内面に付着してオイルの状態が観察
できなくなるという問題点があつた。オイル不足
に気がつかないまゝ油回転真空ポンプの運転を続
けたゝめにトラブルが発生するというケースもあ
る。オイル量を確認する手段として浮き子等を利
用したセンサーもあるが、コストアツプにつなが
る。
本考案は上述の点に鑑みてなされたもので、従
来の油回転真空ポンプに簡単に、かつ低コストで
取り付けられるオイルレベルゲージを提供するこ
とを目的とする。
来の油回転真空ポンプに簡単に、かつ低コストで
取り付けられるオイルレベルゲージを提供するこ
とを目的とする。
上記目的は、本考案によれば、ケーシングと、
オイルポンプと、前記ケーシングの壁面に固定さ
れ、透明材からなるオイルレベルゲージとを備え
前記オイルポンプによりオイルを循環させるよう
にした油回転真空ポンプにおいて、前記オイルポ
ンプの吸い上げたオイルの一部をシヤワーパイプ
を介して前記オイルレベルゲージの内面に流出さ
せたことを特徴とする油回転真空ポンプによつて
達成される。
オイルポンプと、前記ケーシングの壁面に固定さ
れ、透明材からなるオイルレベルゲージとを備え
前記オイルポンプによりオイルを循環させるよう
にした油回転真空ポンプにおいて、前記オイルポ
ンプの吸い上げたオイルの一部をシヤワーパイプ
を介して前記オイルレベルゲージの内面に流出さ
せたことを特徴とする油回転真空ポンプによつて
達成される。
上記のように構成されたオイルレベルゲージを
設けることによつて常に付着物を洗い落として透
明性を維持するからポンプ内部のオイル状態をよ
く観察することができ、適切な時にオイルを補充
したり交換できる。
設けることによつて常に付着物を洗い落として透
明性を維持するからポンプ内部のオイル状態をよ
く観察することができ、適切な時にオイルを補充
したり交換できる。
本考案の実施例について第１図を参照して説明
すると、第２図に示した従来の油回転真空ポンプ
のオイル分配弁９から分岐させてシヤワーパイプ
１０を設け、その先端は透明ガラス製のオイルレ
ベルゲージ７の内面上部中央にオイルが当るよう
な位置に設定する。オイルポンプ５によつて吸い
上げられるオイルの量はかなり多く、しかもオイ
ル分配弁９からポンプユニツト２中に供給される
のでそのうち60〜75％程度なので、シヤワーパイ
プ１０の先端からはオイルはかなり勢いよく流れ
出る。オイルレベルゲージ７の内面上部中央に当
つたオイルはそこから扇状に広がりながら流れ落
ち、それによつてオイルレベルゲージ７内面に付
着した粉体等は洗い流されるように除去される。
従つてオイルレベルゲージ７の外からオイル面１
１が良く見え、オイルの残量や汚れ、劣化の程度
などが観察されるので、適切な時にオイルの補充
や交換をすることができる。
すると、第２図に示した従来の油回転真空ポンプ
のオイル分配弁９から分岐させてシヤワーパイプ
１０を設け、その先端は透明ガラス製のオイルレ
ベルゲージ７の内面上部中央にオイルが当るよう
な位置に設定する。オイルポンプ５によつて吸い
上げられるオイルの量はかなり多く、しかもオイ
ル分配弁９からポンプユニツト２中に供給される
のでそのうち60〜75％程度なので、シヤワーパイ
プ１０の先端からはオイルはかなり勢いよく流れ
出る。オイルレベルゲージ７の内面上部中央に当
つたオイルはそこから扇状に広がりながら流れ落
ち、それによつてオイルレベルゲージ７内面に付
着した粉体等は洗い流されるように除去される。
従つてオイルレベルゲージ７の外からオイル面１
１が良く見え、オイルの残量や汚れ、劣化の程度
などが観察されるので、適切な時にオイルの補充
や交換をすることができる。
シヤワーパイプ１０から流れ出るオイルの勢い
があまり強くない時はシヤワーパイプ１０の先端
の径を絞るなどしてオイルに圧力を与え、シヤワ
ー状にオイルが当るようにても良い。
があまり強くない時はシヤワーパイプ１０の先端
の径を絞るなどしてオイルに圧力を与え、シヤワ
ー状にオイルが当るようにても良い。
以上、本考案の実施例について説明したが、勿
論本考案はこれに限定されることなく、本考案の
技術的思想に基づいて種々の変形が可能である。
論本考案はこれに限定されることなく、本考案の
技術的思想に基づいて種々の変形が可能である。
例えば実施例ではオイル分配弁９からシヤワー
パイプ１０を分岐させているが、オイルポンプ５
の直後からはどこからでも分岐させることが可能
である。
パイプ１０を分岐させているが、オイルポンプ５
の直後からはどこからでも分岐させることが可能
である。
オイルレベルゲージ７の材質は外からオイル面
１１が見える物であれば良く、透明のプラスチツ
ク等であつても良い。
１１が見える物であれば良く、透明のプラスチツ
ク等であつても良い。
オイルレベルゲージ７の部分が連通管になつて
いる場合はシヤワーパイプ１０の先端を連通管に
挿入して連通管内壁面にオイルを流すように設定
する。
いる場合はシヤワーパイプ１０の先端を連通管に
挿入して連通管内壁面にオイルを流すように設定
する。
本考案の応用として、ポンプケース８内部の各
部分にオイルが当るようにシヤワーパイプを設
け、ポンプケース内部に堆積した粉体等を除去す
るのに利用することもできる。
部分にオイルが当るようにシヤワーパイプを設
け、ポンプケース内部に堆積した粉体等を除去す
るのに利用することもできる。
本考案は以上説明したように構成されているの
で、以下に記載されるような効果を奏する。
で、以下に記載されるような効果を奏する。
すなわち従来の油回転真空ポンプにおいては利
用されていなかつた分配弁からの余剰オイルをシ
ヤワーパイプを取りつけるだけで有効に利用で
き、それによつてオイルレベルゲージ内面に付着
した粉体等が除去されてオイルの残量や汚れ、劣
化の程度が観察されるので適切な時にオイルの補
充や交換をすることができる。従つてオイル残量
確認のためのセンサーも不要になる。
用されていなかつた分配弁からの余剰オイルをシ
ヤワーパイプを取りつけるだけで有効に利用で
き、それによつてオイルレベルゲージ内面に付着
した粉体等が除去されてオイルの残量や汚れ、劣
化の程度が観察されるので適切な時にオイルの補
充や交換をすることができる。従つてオイル残量
確認のためのセンサーも不要になる。
又、オイルが常にオイルレベルゲージ内面に流
れているので、ゲージに粉体等が付着するのを防
止することができ、又ゲージに直接フツ酸などの
反応性ガスが触れることもないのでゲージの腐食
も防止できる。
れているので、ゲージに粉体等が付着するのを防
止することができ、又ゲージに直接フツ酸などの
反応性ガスが触れることもないのでゲージの腐食
も防止できる。
さらに又、オイルをゲージ等の内壁面に当てる
ことによつてオイルを冷却することが可能であ
る。
ことによつてオイルを冷却することが可能であ
る。
第１図は本考案の実施例を示す断面図、第２図
は従来の油回転真空ポンプの内部構成を示す断面
図である。 なお図において、５……オイルポンプ、７……
オイルレベルゲージ、９……オイル分配弁、１０
……シヤワーパイプ、１１……オイル面。
は従来の油回転真空ポンプの内部構成を示す断面
図である。 なお図において、５……オイルポンプ、７……
オイルレベルゲージ、９……オイル分配弁、１０
……シヤワーパイプ、１１……オイル面。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 (1) ケーシングと、オイルポンプと、前記ケーシ
ングの壁面に固定され、透明材からなるオイル
レベルゲージとを備え前記オイルポンプにより
オイルを循環させるようにした油回転真空ポン
プにおいて、前記オイルポンプの吸い上げたオ
イルの一部をシヤワーパイプを介して前記オイ
ルレベルゲージの内面に流出させたことを特徴
とする油回転真空ポンプ。 (2) 前記シヤワーパイプは前記オイルポンプの吐
出口に接続されるオイル分配弁に接続されてい
る請求項(1)に記載の油回転真空ポンプ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13598788U JPH0419478Y2 (ja) | 1988-10-18 | 1988-10-18 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13598788U JPH0419478Y2 (ja) | 1988-10-18 | 1988-10-18 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0257030U JPH0257030U (ja) | 1990-04-25 |
| JPH0419478Y2 true JPH0419478Y2 (ja) | 1992-05-01 |
Family
ID=31396080
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP13598788U Expired JPH0419478Y2 (ja) | 1988-10-18 | 1988-10-18 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0419478Y2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2022516683A (ja) * | 2018-10-25 | 2022-03-01 | エドワーズ テクノロジーズ バキューム エンジニアリング （チンタオ） カンパニー リミテッド | 分離器システム |
-
1988
- 1988-10-18 JP JP13598788U patent/JPH0419478Y2/ja not_active Expired
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0257030U (ja) | 1990-04-25 |
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