JPH04198873A - 回路パターン導通検査装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、ＬＣＤ　（液晶表示器）等における各種の回
路パターンの導通（断線、ショートの有無等）を検査す
る装置に関するものである。

〔従来の技術〕

ＬＣＤにおける回路パターンの断線及びショートの有無
を検査する一つの方法として、第４図に示すように、接
触子を固定し基板を相互逆方向に連続的に移動させて、
パターンを接触子でなぞる方式のものがある。

この方式は、第５図に示すように、パターン７の一ライ
ン６の左端に電流供給用接触子１、右端にオープン検出
用接触子２、および隣接するライン６にショート検出用
接触子３をそれぞれ当接させ、電流供給用接触子１に電
流を供給してオープン検出用接触子２およびショート検
出用接触子３からライン６の抵抗値を読み取ることによ
って、そのライン６の断線やショートの有無を検査する
ものである。尚、これら三つの接触子は一体化されてい
る。

〔発明が解決しようとする課題〕

しかし、この従来の方法では以下のような問題があった
０ ■　三つの接触子が一体化しているので、検査の対象と
なるパターン７のライン６は左右等ピツチでなければな
らない。従って、第６図に示すように、ライン６の一端
に取出し端子１４が設けられ、ライン６の左端と右端と
が等ピッチでない場合は等ピッチであるＢ−Ｃ間のライ
ン６しか検査出来なかった。そのため、Ａ−８間に断線
等の欠陥があったとしても、その欠陥については検出で
きなかった。

■　ＬＣＤ等におけるパターン７は、通常、ライン６と
ライン６との間隔（ギャップ８）は非常に狭く、しかも
各ライン６の抵抗値をなぞりながら連続して読み取るこ
ととしているので、第７図に示すように、接触子がギャ
ップ８上に位置する時、接触子自体で上のライン６と下
のライン６をショートさせてしまうことになる。このた
約、従来の装置では接触子より細いギャップ８のパター
ン７は読み取りが不可能とされていた。。又、逆にパタ
ーン７のギャップ８幅に対応して接触子の太さを設定す
ると接触子の先端を数μｍという非常に尖鋭とせざるを
えず、ライン６や基板１５を損傷してしまう結果となる
。

■　基板１５上は、パターン７によって凹凸が形成され
ており、よって接触子が連続的にパターン７をなぞる際
、パターン７上を飛び跳ねたり振動したりすることにな
る。よって、正しい抵抗値を読み取ることが困難であっ
た。

本発明は、こうした問題に鑑み創案されたもので、ライ
ン６が等ピッチでないパターン７の検査が可能で、接触
子でライン６をショートさせることがないと共にライン
６や基板１５を損傷させず、さらに常に正しい抵抗値を
読み取る検査装置を提供することをその課題とする。

〔課題を解決するための手段〕

そのための手段として、少なくとも、電流供給用接触子
１、第一ラインセンサーカメラ４、オープン検出用接触
子２、ショート検出用接触子３、および第二ラインセン
サーカメラ５で構成することとした。

電流供給用接触子１は、パターン７を構成するライン６
の片端に摺接する。第一ラインセンサーカメラ４は、電
流供給用接触子１とライン６との位置関係を検出すべく
、電流供給用接触子１の上方に位置してその電流供給用
接触子１と共に同一駆動源によって移動するものである
。

オープン検出用接触子２は、前記ライン６の他端に摺接
し、ショート検出用接触子３は、オープン検出用接触子
２と共に移動し、前記ライン６に隣接するライン６の他
端に摺接するものである。

そして、第二ラインセンサーカメラ５は、オープン検出
用接触子２とライン６との位置関係を検出すべく、オー
プン検出用接触子２の上方に位置してそのオープン検出
用接触子２と共に同一駆動源によって移動するものであ
る。

〔作用〕

第１図は、パターン７のライン６と電流供給用接触子１
　（オープン検出用接触子２）と第一ラインセンサーカ
メラ４　（第二ラインセンサーカメラ５）との位置関係
を示している。電流供給用接触子１と第一ラインセンサ
ーカメラ４は、同一駆動源によって同時にパターン７上
を移動する。

又、オープン検出用接触子２、ショート検出用接触子３
および第二ラインセンサーカメラ５は、同一駆動源によ
って移動する。第一ラインセンサーカメラ４等と第二ラ
インセンサーカメラ５等をそれぞれパターン７上を移動
させ、両ラインセンサーカメラ４．５によって電流供給
用接触子１およびオープン検出用接触子２とライン６と
の位置関係を検出し、両者の位置関係が設定位置（通常
は、ライン６の中央）に達した状態において、電流供給
用接触子１に電流を流し、オープン検出用接触子２およ
びショート検出用接触子３からライン６の抵抗値を測定
し、そのライン６に断線やショートが発生しているか否
かを判断する。

ラインセンサーカメラ４および５の画像認識のための照
明は、第１図に示すように、ハーフミラ−１６を介して
落射照明方式の反射光で行う。

第２図は、第一ラインセンサーカメラ４　（第二ライン
センサーカメラ５）の出力波形を示したも゛のである。

この出力波形に示されるように、ギャップ８部分では、
パターン７の無い直接ガラス面の反射率の最も大きい箇
所になるので、その画像レベルは最も高いレベル（Ａ）
となる。ライン６部分では、導伝膜面の乱反射により反
射光が減衰されるので、それよりやや低いレベル（Ｂ）
となる。そして、電流供給用接触子１部分では、接触子
１そのものが黒く反射光が無いので、最も低いレベル（
ＯＶ）となる。

このような原理から、同図に示すｄの幅がライン６幅の
１／２であることを計測することによって、電流供給用
接触子１　（オープン検出用接触子２）の先端がライン
６の中央に到達したことを検知出来る。次に、ライン６
の両端に位置するそれぞれのラインセンサーカメラ４．
５が、それぞれの接触子１．２がライン６の中央に位置
していることを読み取った後に、抵抗値読み取り開始の
信号を送りその抵抗値を読み取る。オープン検出用接触
子２における抵抗値が、通常のライン６の抵抗値（例え
ば、数１０にΩ）であれば、そのライン６は正常に導通
していると判断し、逆にそれよりもはるかに大きい抵抗
値（例えばＭΩ）であれば断線と判断する。

又、この状態で隣接するライン６に当接しているショー
ト検出用接触子３における抵抗値が、例えばメグオーム
（ＭΩ）であればショートしておらず、逆にそれよりも
はるかに低い抵抗値が測定されればショートしていると
判断することが出来る。

なお、上記の数値は一例を示したもので、例えば、ＬＣ
Ｄの品質（ラフなパターンでできている単なる数字表示
用ＬＣＤや液晶ＴＶ用のファインパターン等）や目的が
異なれば、導通時の抵抗値やライン間のリーク抵抗値は
異なり、−概に１０にΩとか１０ＭΩとは規定はできな
い。さらに、ＬＣＤに限定されることはなく、フィルム
上に導電樹脂を塗ったパターンの特殊目的にも適用する
ことができ、この場合のパターン抵抗値はほぼ数１００
Ωで、パターン間のリークは１００ＭΩを要求される。

本発明においては、従来装置と異なり、電流供給用接触
子１と、オープン検出用接触子２′Ｊ６よびショート検
出用接触子３とを異なる駆動源によって別個に移動させ
、それぞれが独自のラインセンサーカメラ４．５によっ
てライン６の中央に位置したことを検出することとして
いるので、ライン６のピッチが左右異なっていても正確
に各ライン６の導通を検査することが出来る。

又、本発明はライン６と接触子１．２をラインセンサー
カメラ４．５によって画像認識し、接触子１，２がパタ
ーン７の中央に到達したことを検出した瞬間にのみ抵抗
値を読み取り、接触子１．２．３がギャップ８上に位置
する時は抵抗値を読み取らないこととすれば、接触子１
．２．３でライン６間をショートしても検査に支障はな
い。ライン６の幅は、通常、接触子の太さより太い。よ
って、本発明においては、接触子の先端を尖鋭にする必
要はなく、その結果、基板１５あるいはライン６を傷つ
けることもない。すなわち、パターン７の中央に接触子
１．２．３が到達したことを検出しているから、ギャッ
プ８は狭くても良く、接触子１．２．３の太さに関係な
しに検査動作が行われる。しかも、ライン６が充分に太
いので、接触子１．２．３も太くすることができ、もっ
てライン６を傷付けないのである。

又さらに、本発明においては、接触子がライン６の中央
に位置した状態を検知することが出来るので、その状態
で接触子を一時停止させて抵抗値を測定することによっ
て、接触子が飛び跳ねたり振動したりという従来の欠点
を是正することが出来、常に正確な検査を行うことが出
来る。

〔実施例〕

第３図に本発明の一実施例を示す。これは、ＬＣＤの回
路パターン７の導通を検査する装置である。電流供給用
接触子（ニードル）１と第一ラインセンサーカメラ４は
左側駆動部９に固定し、進退移動自在に設定している。

また、オープン検出用接触子にニードル）２、ショート
検出用接触子（ニードル）３′Ｊ６よび第二ラインセン
サーカメラ５は、右側駆動部１０に進退移動自在に固定
している。左右駆動部９．１０には、それぞれ顕微鏡付
テレビカメラ１１を組付け、その後方に位置するテレビ
モニター１２に接触子１．２とライン６を拡大映像化す
る。パターン７の形状によって、最初に接触子１．２．
３とパターン７との位置関係を調整する必要があるが、
両者を映像化することによってその調整が容易である。

尚、左右側駆動部９．１０を駆動する駆動源としてパル
スモータを使用している。

回路パターン７を有する基板１５（本実施例においては
ガラス基板）は、定盤１３上に載置するもので、ライン
センサーカメラ５のすぐ下の位置に照明用のハーフミラ
−１６およびその側近に照明ランプ１４（第１図参照）
を設けている。

又、本実施例に示す装置は、断線・ショート等の欠陥の
あるライン６には自動的にマーキングし、目視によって
欠陥ライン６を確認できるようにしている。

尚、本発明装置は、ＬＣＤ回路パターンの断線、ショー
トの検査に限定されるものではなく、その他あらゆるパ
ターンの導通や回路特性の検査にも対応出来るものであ
る。

〔発明の効果〕

このように本発明においては、ラインの両端に摺接する
接触子を別々に駆動したので、ライン両端のピッチが等
しくなくてもそのラインの導通を検査することが出来る
。

又、本発明はラインと接触子との位置関係をラインセン
サーカメラによって画像認識した上でラインの抵抗値を
読み取ることとしているので、接触子でライン間をショ
ートしても検査に支障はなく、ライン間のギャップが狭
いパターンの導通も容易に検査することが出来、さらに
、尖鋭にした接触子先端で基板あるいはラインを傷つけ
ることもない。

又さらに、走行中の接触子の振動やジャンプがあっても
接触子をラインの中央で静止状態にして抵抗値を読み取
ることとしているので常に正確な検査を行うことが出来
る等、多くの優れた効果を発揮するものである。

【図面の簡単な説明】

第１図は、本発明の基本的な構成を示す構成説明図であ
る。 第２図は、ラインセンサーカメラの出力波形を示す説明
図である。 第３図は、本発明装置の一実施例を示す全体外観斜視図
である。 第４図は、基板（パターン）と接触子との摺接形態を示
す側面図である。 第５図は、各接触子とラインとの位置関係の一例を示す
説明平面図である。 第６図は、ピッチの異なるパターン例を示す平面図であ
る。 第７図は、接触子とギャップとの位置関係を示す説明平
面図である。 符号の説明 １；電流供給用接触子、２；オープン検出用接触子、３
；ショート検出用接触子、４；第一ラインセンサーカメ
ラ、５；第二ラインセンサーカメラ、６；ライン、７；
パターン、８；ギャップ、９；左側駆動部、１０；右側
駆動部、１１；顕微鏡付テレビカメラ、１２；テレビモ
ニター、１３；定盤、１４；取出し端子、１５；基板、
１６；ハーフミラ−０出願人　株式会社　オ　−　り　
製　作　所５−１ｙ＝ライン【ンプー〃メラ　　　６−
−−ライン　　７−−−バ！−ン８−−−〜イ・ノフ゛
第２図 第３図 １６−＝゛−′″−第４図 第５図 第６図 第７図

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. （１）回路パターン（７）の導通を検査する装置であっ
   て、 少なくとも、パターン（７）を構成するライン（６）の
   片端に摺接する電流供給用接触子（１）と、該電流供給
   用接触子（１）と前記ライン（６）との位置関係を検出
   すべく、該電流供給用接触子（１）の上方に位置して該
   電流供給用接触子（１）と共に同一の駆動源によって移
   動する第一ラインセンサーカメラ（４）と、 前記ライン（６）の他端に摺接するオープン検出用接触
   子（２）と、 該オープン検出用接触子（２）と共に移動すると共に、
   前記ラインに隣接するライン（６）の他端に摺接するシ
   ョート検出用接触子（３）と、 前記オープン検出用接触子（２）と前記ライン（６）と
   の位置関係を検出すべく、該オープン検出用接触子（２
   ）の上方に位置して該オープン検出用接触子（２）と共
   に同一の駆動源によって移動する第二ラインセンサーカ
   メラ（５）と、 から成る回路パターン導通検査装置。