JPH04199055A - ペリクル構造体 - Google Patents

ペリクル構造体

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JPH04199055A
JPH04199055A JP2331499A JP33149990A JPH04199055A JP H04199055 A JPH04199055 A JP H04199055A JP 2331499 A JP2331499 A JP 2331499A JP 33149990 A JP33149990 A JP 33149990A JP H04199055 A JPH04199055 A JP H04199055A
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〈産業上の利用分野〉 本発明は、ペリクル構造体に関する。　詳しくは、ペリ
クル膜と枠体とが十分な接着強度を有するペリクル構造
体に関する。
〈従来の技術〉 ＩＣ，ＬＳＩ等の集積回路の製造において、半導体基板
上に回路パターンを形成するために用いられるホトマス
クやレチクルには、露光されるパターン上に塵埃等の異
物が付着したり、ホトマスクやレチクル上に異物が付着
して露光時にこの異物の影がパターン上に投影されたり
するのを防止するため、ペリクルを装着して露光に供さ
れる。
このペリクルは、従来、ニトロセルロース等からなるペ
リクル膜と、このペリクル膜が上部に張設されたアルミ
ニウム等からなる枠体とから構成されるものであり、ホ
トマスクやレチクルを覆うようにして、これらに重ねら
れて使用される。　　このようなペリクルを使用するこ
とにより、前述のようなホトマスクやレチクルへの異物
の付着防止と共に、仮にペリクル膜上に異物が付着して
も、露光時に投影される異物の投影像はパターン上には
結像しない所謂ピンボケ像となるために、このような異
物による悪影響を排除することができる。
ところで、このようなペリクルのペリクル膜、あるいは
さらに枠体の内面には、ペリクル内部に侵入した異物が
ホトマスクやレチクルに付着するのを防止するための粘
着剤層、ペリクル膜よって露光光が反射され露光光量が
低下するのを防止するための反射防止層、両者を兼ねた
粘着性の反射防止層、等のコーティング層が各種設けら
れているが、このようなコーティング層がペリクル膜と
枠体との間に介在するために、ペリクル膜と枠体とを直
接の接着した場合にくらべて接着強度が低くなってしま
うという問題点がある。
〈発明が解決しようとする課題〉 通常ペリクルは、スピンコード等の方法ニよって、ペリ
クル膜上の全面に亘って前述の粘着性の反射防止層や非
粘着性の反射防止層等のコーティング層を形成した後、
各種の接着剤によってペリクル膜と枠体とを接着するこ
とにより形成される。
どころが、反射防止層等辺コーティング層とペリクル膜
、あるいは枠体との接着強度が低く、結果的にペリクル
膜と枠体との接着強度が低くなってしまう。
そのため、ペリクル膜面の異物除去のために行われるエ
アブロ−等の際に、ペリクル膜と枠体とが剥離してしま
う等の問題点が生じている。
本発明の目的は、前記従来技術の問題点を解決すること
にあり、少なくともペリクル膜の一方の面、特に枠体と
の接着面にコーティング層を有するペリクル構造体であ
って、ペリクル膜と枠体との間に十分な接着強度を有し
、ペリクル膜面の異物除去のためのエアブロ−等を行っ
ても、両者が剥離することがないペリクル構造体を提供
することにある。
く課題を解決するための手段〉 前記目的を達成するために、本発明は、上下に貫通する
開口部を有する枠体と、前記枠体の開口上端に張設され
、少なくとも一方の面にコーティング層を有するペリク
ル膜とを有し、前記枠体と前記ペリクル膜とが前記コー
ティング層を溶解可能な接着剤によって接着されてなる
ことを特徴とするペリクル構造体を提供する。
以下、本発明のペリクル構造体について、添付の図面を
基に詳細に説明する。
第１図に、本発明のペリクル構造体の一実施例の概略断
面図が示される。
第１図に示されるペリクル構造体１０は、基本的に、ペ
リクル膜１２と、上下に貫通する開口部を有し、このペ
リクル膜１２を開口上端に張設する枠体１４とから構成
されるものであり、ペリクル膜１２の内面側には、第１
コーテイングＮ１６および第１コーテイング！ｆＩ１６
の上面の第２コーティング層１８が形成される。　　こ
のような本発明のペリクル構造体１０においては、ペリ
クル膜１２と枠体１４とは、第１コーティング層１６お
よび第２コーティング層１８を溶解可能な接着剤２０に
よって接着されてなるものであり、ペリクル膜１２と枠
体１４との接着時に前記コーティング層を溶解除去して
、実質的に第１コーティング層１６および第２コーティ
ング層１８のいずれをも介さず、接着剤２０によって直
接接着される。
なお、以下の説明は第１コーティング層１６および第２
コーティング層１８の２層のコーティング層を有する場
合について行うが、本発明はこれに限定されるものでは
ない。
本発明のペリクル構造体１０に適用されるペリクル膜１
２としては、ホトリソグラフィのレジストプロセスに適
用される露光光の透過率が高い膜体であれば特に限定は
な（、適用される露光光に応じて適宜設定すればよい。
例えば波長３５０〜４５０　ｎｍの光で露光を行う場合
にはニトロセルロース、エチルセルロース、プロピオン
酸セルロース等が好適に例示される。　特に平均光線透
過率および膜強度の点でニトロセルロースが好ましく、
中でも、１１〜１２．５％、特に１１．５〜１２．２％
の硝化度（％）を宵し、平均分子量（重量平均、Ｍ　ｗ
　）　５０．０００〜３５０．０００　、特に７０．０
００〜３２０，０００のニトロセルロースが好適に適用
される。
なお、ペリクル膜１２の膜厚は特に限定はしないが、通
常５００〜５０００ｒｖ程度である。
枠体１４は、上下に貫通する開口部を有する円筒、角筒
状等の筒状体である。　その材料としては、従来のペリ
クル構造体に適用される各種のものがいずれも適用可能
であり、例えばアルマイト処理されたアルミニウム等が
例示される。
本発明のペリクル構造体１０のペリクル膜１２内面には
、第１コーティング層１６および第２コーティング層１
８が形成される。　第１コーティング層１６および第２
コーティング層１８（以下、両者をまとめてコーティン
グ層とする）は、ペリクル構造体１０内に侵入したゴミ
、ホコリ等の異物を貼着し、かつ入射した露光光がペリ
クル膜１２によって反射されることを防止する粘着性の
反射防止層や、非粘着性の反射防止層等、各種の機能を
有し、かつ、前述の露光光に対して高い透過率を有する
薄膜層である。
このようなコーティング層としては特に限定はなく、従
来のペリクル構造体に適用されるすべてものが例示され
るが、−例としては、特開平１−１２０５５５号公報に
開示されるフッ素系ポリマー、シリコン系ポリマー等か
らなる光線透過率の高い粘着性物質層、特開平ｌ−２６
２５４８号公報に開示される高屈折率ポリマーと低屈折
率ポリマーとを有する高光透過性防塵膜等が例示され、
必要に応じて各種の組み合わせで形成される。
コーティング層の層厚は膜の材質や機能等に応じて、適
した層厚を適宜決定すればよいが、通常は３０〜５００
ｎｍ程度である。
さらに、必要に応じて、枠体１４の内壁面にも各種のコ
ーティング層を形成してもよい。
本発明のペリクル構造体１０は、このようなペリクル膜
１２と枠体１４とを、前述のコーティング層を溶解可能
な接着剤２０によって接着した構成を有するものである
。
コーティング層は通常は前述のようにスピンコード等に
よって形成される。　そのため、コーティング層はペリ
クル膜１２の全面に亘って形成されてしまうので、ペリ
クル膜１２と枠体１４との接着は、このコーティング層
を介して行われることになる。　ところが、コーティン
グ層を介して両者の接着を行うと、必要にして十分な接
着強度を得ることができず、異物除去のためのエアブロ
−の際に両者が剥離してしまう等の不都合があるのは前
述のとおりである。　また、ペリクル膜１２の接着部分
のコーティング層を除去、あるいはマスキングをしてコ
ーティング層を形成して、ペリクル膜１２と枠体１４と
を直接接着する方法も考えられるが、手間がかかり、ペ
リクル構造体の生産性を著しく低下させることとなって
しまう。
これに対し、本発明のペリクル構造体１０においては、
コーティング層を溶解可能な接着剤２０でペリクル膜１
２と枠体１４とを接着してなる構成とすることにより、
第２図に示されるようにペリクル膜１２の全面にコーテ
ィング層を形成した後、ペリクル膜１２と枠体１４との
接着時に接着剤２０によってコーティング層を溶解除去
し、接着剤２０を硬化してペリクル膜１２と枠体１４と
を実質的に直接接着することを可能とし、第１図に示さ
れるペリクル構造体１０とするものである。
このような構成とすることにより、十分な接着強度を得
ることができ、ペリクル膜面の異物除去のためのエアブ
ロ−等を行っても両者が剥離することがなく、また、エ
アブロ−の圧力を向上させることもできるので、異物の
ない状態で、良好なホトレジストの露光を行うことがで
きる。
接着剤２０は、ペリクル膜１２および枠体１４の材質、
さらにはコーティング層の材質に応じて、適宜選択され
るものであり、ペリクル膜１２と枠体１４とを確実に接
着することができ、さらにコーティング層を溶解可能な
各種の接着剤を、各部材の材質に応じて適宜選定すれば
よい。　また、複数の接着剤を混合して用いてもよ（、
トルエン等の各種の溶媒と混合して用いられてもよい。
具体的には、例えばペリクル膜１２がニトロセルロース
で、コーティング層がフッ素系の樹脂である場合には、
通常光硬化性の接着剤の基材として利用されるウレタン
アクリレート樹脂やイソボロニルアクリレートに、フッ
素樹脂コーティング層を溶解するテトラヒドロフルフリ
ルアクリレートやフェノキシエチルアクリレートを５〜
３０％添加した接着剤等が好適に適用される。
以下、このようなペリクル構造体１０の作製方法につい
て述べる。
まず、第２図に示されるように、ペリクル膜１２の少な
くとも一方の面に、スピンコード、デイツプコート、ロ
ールコート等の方法によって第１コーティング層１６オ
よび第２コーティング層１８を形成する。
次いで、第３図に示されるように、枠体１４のペリクル
膜１２との接着部分である上端面に接着剤２０を塗布す
る。　この接着剤２０は、上記コーティング層を溶解可
能なものであるのは前述のとおりである。
その後、ペリクル膜１２と枠体との接着部分を密着させ
、紫外線照射、加熱等、接着剤２０に応じた方法でこれ
を硬化し、ペリクル構造体１０とすればよい。
〈実施例〉 以下、具体的な実施例を挙げ、本発明をより詳細に説明
する。
厚さ２８５０ｎｍのニトロセルロース製のペリクル膜１
２の一方の面に、スピンコードを用い、まず、アルキル
ナフタレンポリマーからなる第１コーティング層１６を
、次いで、フッ素樹脂からなる第２コーテイング４１８
を形成した。　なお、第１コーティング層１６の膜厚は
６５ｎｍ、第２コーティング層１８の膜厚は８０ｎｏ＋
であった。
このようして形成したペリクル膜１２を用い、各種のペ
リクル構造体を作製した。
［ペリクル構造体ａ］　　（本発明例）接着剤２０とし
て、下記組成（重量比）ウレタンアクリレート樹脂　　
　　　５１イソボロニルアクリレート　　　　　３０テ
トラヒドロフルフリル アクリレート　１５ モノ（２−アクリロイルオキシエチル）アシッドホスフ
ェート　１ メチルフェニルグリオキシエステル　　３ヒドロキノン
モノメチルエーテル　０．０１を有する接着剤を用いて
、ペリクル膜１２と枠体１４（アルマイト処理したアル
ミニウム製）とを接着して、第１図に示される本発明の
ペリクル構造体１０を作製した。
接着剤２０はトルエンを１：１（重量比）で混合して用
いた。　また、接着の際には、ペリクル膜１２と枠体１
４との接着部分を密着し、この接着部分を３０秒間加圧
した後、紫外線を２０００ｍｊ／ｃｍ”照射することに
より接着材２０の硬化行った。
なお、接着剤２０を硬化した後にペリクル膜１２と枠体
１４との接着部分を目視で確認したところ、コーティン
グ層はほとんど溶解除去され、実質的にペリクル膜１２
と枠体１４とが直接接着されていた。
［ペリクル構造体ｂ］　　（比較例） 前述のようにして作製したペリクル膜１２と枠体１４と
を、接着剤として、下記組成（重量比） ウレタンアクリレート樹脂　　　　　６１イソボロニル
アクリレート　　　　　３５モノ（２−アクリロイルオ
キシエチル）アシッドホスフェート　１ メチルフェニルグリオキシエステル　　３ヒドロキシモ
ノメチルエーテル　０．０１のものを用いて接着し、高
圧水銀ランプ光によってこの接着剤を硬化して乾燥して
、コーティング層を介してペリクル膜１２と枠体１４と
が接着されるペリクル構造体とした。　なお、接着剤は
トルエンを１＝１　（重量比）で混合して用いた。
［ペリクル構造体ｃｌ　　（比較例） コーティング層を全く有さないペリクル膜１２を用い、
これと枠体１４とを、前述のペリクル構造体すと同じ接
着剤１２を用い、同様にして接着した。
以上のようにして作製した各種のペリクル構造体のペリ
クル膜１２と枠体１４との接着強度を測定した。
測定は、エアノズルを用いて、ペリクル膜１２と枠体１
４との間をエアブロ−することによって行った。　結果
は下記のとおりである。
なお、下記の結果は、前述のようなエアブロ−による測
定を４か所行って、その平均である。
上記結果に示されるように、コーティング層を介してペ
リクル膜１２と枠体１４との接着を行ったペリクル構造
体すは接着強度が１．２ｋｇｆ／ｃｍ”であるのに対し
、ペリクル膜１２と枠体１４とを実質的に直接接着した
本発明のペリクル構造体ａは、コーティング層を全く有
さないペリクル構造体Ｃと同等で、コーティング層を介
して接着を行ったペリクル構造体すの３倍以上の接着強
度を有する。
以上の結果より、本発明の効果は明らかである。
〈発明の効果〉 以上詳細に説明したとおり、本発明のペリクル構造体は
、異物除去、露光光反射防止等の機能を有するコーティ
ング層を有するにもかかわらず、ペリクル膜と枠体との
間に十分な接着強度を有し、ペリクル膜面の異物除去の
ためのエアブロ−等を行っても、両者が剥離することが
ない。　また、エアブロ−の圧力を向上させることもで
きるので、異物のない状態で、良好なホトレジストの露
光を行うことができる。
【図面の簡単な説明】
第１図は１本発明に係るペリクル構造体の一例を示す概
略断面図である。 第２図および第３図は、第１図に示されるペリクル構造
体の作製方法を説明するための概略断面図である。 符号の説明 １０・・・ペリクル構造体、 １２・・・ペリクル膜、 １４・・・枠体、 １６・・・第１コーティング層、 １８・・・第２コーティング層、 ２０・・・接着剤 特許出願人　　三井石油化学工業株式会社同　　　ケミ
チック株式会社

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. （１）上下に貫通する開口部を有する枠体と、前記枠体
    の開口上端に張設され、少なくとも一方の面にコーティ
    ング層を有するペリクル膜とを有し、前記枠体と前記ペ
    リクル膜とが前記コーティング層を溶解可能な接着剤に
    よって接着されてなることを特徴とするペリクル構造体
    。
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