JPH04201055A - 研磨装置 - Google Patents
研磨装置Info
- Publication number
- JPH04201055A JPH04201055A JP33198490A JP33198490A JPH04201055A JP H04201055 A JPH04201055 A JP H04201055A JP 33198490 A JP33198490 A JP 33198490A JP 33198490 A JP33198490 A JP 33198490A JP H04201055 A JPH04201055 A JP H04201055A
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- Japan
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- polishing
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- 238000005498 polishing Methods 0.000 title claims abstract description 64
- 239000002131 composite material Substances 0.000 claims abstract description 14
- 238000000034 method Methods 0.000 description 4
- XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N Iron Chemical compound [Fe] XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 238000007517 polishing process Methods 0.000 description 2
- 235000001916 dieting Nutrition 0.000 description 1
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- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 229910052742 iron Inorganic materials 0.000 description 1
Landscapes
- Grinding And Polishing Of Tertiary Curved Surfaces And Surfaces With Complex Shapes (AREA)
- Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明はワークの研磨工程を自動化した研磨装置に関す
るものである。
るものである。
ワークの研磨面の研磨では複数回の繰り返しか必要であ
り、この繰り返し研磨を自動的に行なうための研磨装置
が特開平1−234150号公報に開示されている。こ
の従来装置では研磨装置の制御部をティーチングモート
にした状態でこの制御部に接続されたティーチンク装置
の手動動作によってワークの研磨面に沿って砥石を移動
し、こ 、の移動経路上の複数点位置を指定して二軸に
平行な研磨領域面がティーチングされる。制御部は予め
設定された研磨経路パターンによって記憶された研磨領
域面をプレイハック研磨する。このプレイバック工程は
設定された回数だけ繰り返し遂行される。
り、この繰り返し研磨を自動的に行なうための研磨装置
が特開平1−234150号公報に開示されている。こ
の従来装置では研磨装置の制御部をティーチングモート
にした状態でこの制御部に接続されたティーチンク装置
の手動動作によってワークの研磨面に沿って砥石を移動
し、こ 、の移動経路上の複数点位置を指定して二軸に
平行な研磨領域面がティーチングされる。制御部は予め
設定された研磨経路パターンによって記憶された研磨領
域面をプレイハック研磨する。このプレイバック工程は
設定された回数だけ繰り返し遂行される。
しかしながら、前記研磨領域設定は砥石を移動するため
の3つの移動手段の各移動方向を表すX軸、Y軸及びZ
軸のうちの2軸によって決定される平面上でのみ可能で
あり、ティーチング経路の設定自由度は非常に低い。そ
のため、円錐面のような研磨面に対する研磨の自動化が
できず、研磨作業の効率低下がさけられない。
の3つの移動手段の各移動方向を表すX軸、Y軸及びZ
軸のうちの2軸によって決定される平面上でのみ可能で
あり、ティーチング経路の設定自由度は非常に低い。そ
のため、円錐面のような研磨面に対する研磨の自動化が
できず、研磨作業の効率低下がさけられない。
本発明はティーチング経路の設定自由度を高めて研磨作
業の効率を向上し得る研磨装置を提供することを目的と
する。
業の効率を向上し得る研磨装置を提供することを目的と
する。
そのために本発明では、3次元空間上の規定する3つの
座標の第1の座標方向に沿った移動経路を持つ第1の手
段と、第1の移動手段によって支持されるとともに、第
2の座標方向に沿った移動経路を持つ第2の移動手段と
、第2の移動手段によって支持されるとともに、第3の
座標方向に沿った移動経路を持つ第3の移動手段と、第
3の移動手段によって支持されるとともに、第3の座標
方向の周りの第4の座標方向に沿った移動経路を持つ第
4の移動手段と、第4の移動手段によって支持された砥
石と、前記第1、第2、第3及び第4の座標のうちの3
つの座標の選択によって砥石で研磨される領域を設定す
るための研磨領域設定手段と、前記設定された研磨領域
に従って前記選択された3つの座標方向の移動手段の複
合駆動データを記憶するとともに、この記憶された3方
向視合駆動データに基づいて前記選択された3つの座標
方向の移動手段の駆動を制御する駆動制御手段とにより
研磨装置を構成した。
座標の第1の座標方向に沿った移動経路を持つ第1の手
段と、第1の移動手段によって支持されるとともに、第
2の座標方向に沿った移動経路を持つ第2の移動手段と
、第2の移動手段によって支持されるとともに、第3の
座標方向に沿った移動経路を持つ第3の移動手段と、第
3の移動手段によって支持されるとともに、第3の座標
方向の周りの第4の座標方向に沿った移動経路を持つ第
4の移動手段と、第4の移動手段によって支持された砥
石と、前記第1、第2、第3及び第4の座標のうちの3
つの座標の選択によって砥石で研磨される領域を設定す
るための研磨領域設定手段と、前記設定された研磨領域
に従って前記選択された3つの座標方向の移動手段の複
合駆動データを記憶するとともに、この記憶された3方
向視合駆動データに基づいて前記選択された3つの座標
方向の移動手段の駆動を制御する駆動制御手段とにより
研磨装置を構成した。
駆動制御手段はティーチングモードの状態で設定された
研磨領域に従って選択された3つの座標方向の移動手段
の複合駆動データを記憶する。プレイハックのモートの
状態では駆動制御手段は3方向へ同時に複合駆動される
駆動データを含む複合駆動データを逐次読み出し、この
続出データに基づいて選択された3つの座標方向の各移
動手段の駆動制御を行なう。これにより砥石が設定され
た研磨領域に沿って移動し、砥石の3方向への同時移動
も含む研磨のプレイバックが行われる。
研磨領域に従って選択された3つの座標方向の移動手段
の複合駆動データを記憶する。プレイハックのモートの
状態では駆動制御手段は3方向へ同時に複合駆動される
駆動データを含む複合駆動データを逐次読み出し、この
続出データに基づいて選択された3つの座標方向の各移
動手段の駆動制御を行なう。これにより砥石が設定され
た研磨領域に沿って移動し、砥石の3方向への同時移動
も含む研磨のプレイバックが行われる。
以下、本発明を具体化した一実施例を第1〜4図に基つ
いて説明する。
いて説明する。
基台1の左右両端部上には一対の支柱2が立設されてお
り、両支柱2の両端部間にはガイド枠3が架設支持され
ている。ガイド枠3上には第1の移動体4が移動可能に
支持されており、正逆転可能なモータ5の作動によって
ガイド枠3上を左右動(X方向)する。第1の移動体4
には第2の移動体6が前後方向(Y方向)に移動支持さ
れており、正逆転可能なモータ7の作動によって前後動
する。第2の移動体6には支軸8が上下に移動可能に挿
通支持されており、正逆転可能なモータ9の作動によっ
て上下動(X方向)する。
り、両支柱2の両端部間にはガイド枠3が架設支持され
ている。ガイド枠3上には第1の移動体4が移動可能に
支持されており、正逆転可能なモータ5の作動によって
ガイド枠3上を左右動(X方向)する。第1の移動体4
には第2の移動体6が前後方向(Y方向)に移動支持さ
れており、正逆転可能なモータ7の作動によって前後動
する。第2の移動体6には支軸8が上下に移動可能に挿
通支持されており、正逆転可能なモータ9の作動によっ
て上下動(X方向)する。
支軸8の下端にはモータ11Aか止着されており、モー
タ11Aの出力ロットには支持枠10が取り付けられて
いる。支持枠1oにはそ一タ11Bが水平方向に支持さ
れている。支持枠1oにはガイドロット12かモータ1
1Bの駆動ねじロッドllaに平行になるように支持さ
れており、駆動ねじロッドlla及びガイドロッド12
にはエアシリンダ15か支持されている。エアシリンダ
15はモータ11Bの正逆作動によってガイドロッド1
2に沿って螺合移動する。エアシリンダ29の駆動ロッ
ドにはエアモータ13が支持されている。エアモータ1
3には砥石14が取付けられており、エアモータ13の
作動によって回転する。
タ11Aの出力ロットには支持枠10が取り付けられて
いる。支持枠1oにはそ一タ11Bが水平方向に支持さ
れている。支持枠1oにはガイドロット12かモータ1
1Bの駆動ねじロッドllaに平行になるように支持さ
れており、駆動ねじロッドlla及びガイドロッド12
にはエアシリンダ15か支持されている。エアシリンダ
15はモータ11Bの正逆作動によってガイドロッド1
2に沿って螺合移動する。エアシリンダ29の駆動ロッ
ドにはエアモータ13が支持されている。エアモータ1
3には砥石14が取付けられており、エアモータ13の
作動によって回転する。
砥石14はエアシリンダ15の作用圧によってワークW
に所定圧力で接触し、砥石14の回転によってワークW
の接触部が研磨される。砥石14はモータ11.Aの作
動によって軸8の周りを公転(ω方向)する。
に所定圧力で接触し、砥石14の回転によってワークW
の接触部が研磨される。砥石14はモータ11.Aの作
動によって軸8の周りを公転(ω方向)する。
第2図に示すように制御コンピュータCにはスタートス
イッチ16、停止スイ・ソチ17、軸選択スイッチ18
、研磨モード設定器19、プレイバック回数設定器20
、位置指定スイッチ21及びティーチング装置22か接
続されている。中央演算処理部CPU、データメモリC
1及びプログラムメモリC2からなる制御コンピュータ
Cはスタートスイッチ16、停止スイッチ17、軸選択
スイッチ18、研磨モード設定器19、プレイバック回
数設定器20、位置指定スイ・ソチ21及びティーチン
グ装置22からの入力情報、サーボモータ型の各モータ
5,7,9.11A、11Bからのフィードバック信号
及びプログラムメモリC2内のプログラムデータに基づ
いて各モータ5,7゜9、11A、11Bの駆動制御を
行なう。
イッチ16、停止スイ・ソチ17、軸選択スイッチ18
、研磨モード設定器19、プレイバック回数設定器20
、位置指定スイッチ21及びティーチング装置22か接
続されている。中央演算処理部CPU、データメモリC
1及びプログラムメモリC2からなる制御コンピュータ
Cはスタートスイッチ16、停止スイッチ17、軸選択
スイッチ18、研磨モード設定器19、プレイバック回
数設定器20、位置指定スイ・ソチ21及びティーチン
グ装置22からの入力情報、サーボモータ型の各モータ
5,7,9.11A、11Bからのフィードバック信号
及びプログラムメモリC2内のプログラムデータに基づ
いて各モータ5,7゜9、11A、11Bの駆動制御を
行なう。
ティーチング装置22には5つのエンコーダ23.24
,25,26.27が内蔵されている。
,25,26.27が内蔵されている。
エンコーダ23はティーチング装置22上の操作レバー
22aの傾動方向及び傾動量に応じた信号を出力し、制
御コンピュータCはエンコーダ23からの信号に基づい
てモータ5の駆動を制御す、る。
22aの傾動方向及び傾動量に応じた信号を出力し、制
御コンピュータCはエンコーダ23からの信号に基づい
てモータ5の駆動を制御す、る。
以下、同様にエンコーダ24と操作レバー22bとモー
タ7、エンコーダ25と操作し/< −22Cとモータ
9、エンコーダ26と操作し/< −22dとモータl
IA、エンコーダ27と操作レバー22eとモータ11
Bとが対応する。
タ7、エンコーダ25と操作し/< −22Cとモータ
9、エンコーダ26と操作し/< −22dとモータl
IA、エンコーダ27と操作レバー22eとモータ11
Bとが対応する。
第4図は研磨プログラムを示すフローチャートである。
以下、このフローチャートに従って研磨処理を説明する
。
。
スタートスイッチ16のON操作によって制御コンピュ
ータCはコマンド受付待機状態に入る。
ータCはコマンド受付待機状態に入る。
研磨モード設定器19の操作によってティーチングモー
ドを指令すると、制御コンピュータCはティーチングモ
ードに入り、軸選択スイッチ18の操作によってX軸、
Y軸、Z軸及びω軸のうちの3軸を選択すれば制御コン
ピュータCはこの選択3軸の座標のみの入力を許容する
。
ドを指令すると、制御コンピュータCはティーチングモ
ードに入り、軸選択スイッチ18の操作によってX軸、
Y軸、Z軸及びω軸のうちの3軸を選択すれば制御コン
ピュータCはこの選択3軸の座標のみの入力を許容する
。
3軸選択後、制御コンピュータCはポイントティーチン
グ処理へ移行する。ポイント数設定器28の操作によっ
てポイント数■を指定すると、制御コンピュータCはポ
イント数1を記憶し、ティーチング装置22からのエン
コーダ信号入力に備える。この状態で選択された3軸に
対応する操作レバー22a〜22eを操作すると、制御
コンピュータCはティーチング装置22からのエンコー
ダ信号を選択3軸に対応するモータに出力する。
グ処理へ移行する。ポイント数設定器28の操作によっ
てポイント数■を指定すると、制御コンピュータCはポ
イント数1を記憶し、ティーチング装置22からのエン
コーダ信号入力に備える。この状態で選択された3軸に
対応する操作レバー22a〜22eを操作すると、制御
コンピュータCはティーチング装置22からのエンコー
ダ信号を選択3軸に対応するモータに出力する。
この駆動制御状態で位置指定スイッチ21のON操作を
行えば制御コンピュータCはこのON操作時の砥石14
の位置P1に対応するポイント位置データを記憶する。
行えば制御コンピュータCはこのON操作時の砥石14
の位置P1に対応するポイント位置データを記憶する。
第3図(a)の例ては6点P 1. P 2. P a
、 P 4. P s、 P sがポイント位置となり
、ポイント位置P 2. P 3. P s、 P s
で表される曲面S1が研磨領域となる。点P1と点P4
とを結ぶ直線L1はY−Z平面上にあり、X座標は一定
である。
、 P 4. P s、 P sがポイント位置となり
、ポイント位置P 2. P 3. P s、 P s
で表される曲面S1が研磨領域となる。点P1と点P4
とを結ぶ直線L1はY−Z平面上にあり、X座標は一定
である。
従って、直線L1上の変位は座標Y、 Zて表される
。直線L1上を移動するのは砥石14の公転中心である
。即ち、砥石14はX−Y平面上で直線り、を中心とし
て曲面S1に接する研磨を行なう。
。直線L1上を移動するのは砥石14の公転中心である
。即ち、砥石14はX−Y平面上で直線り、を中心とし
て曲面S1に接する研磨を行なう。
rlは砥石14の公転半径である。従って、軸選択スイ
ッチ18及び位置指定スイッチ21は研磨領域設定手段
を構成する。
ッチ18及び位置指定スイッチ21は研磨領域設定手段
を構成する。
位置指定スイッチ21のON操作回数、即ち指定された
ポイント数iが設定ポイント数1に達すると制御コンピ
ュータCは砥石14をポイント位置P2の位置へ復帰し
、ティーチングモードを解除して研磨モード選択に備え
る。
ポイント数iが設定ポイント数1に達すると制御コンピ
ュータCは砥石14をポイント位置P2の位置へ復帰し
、ティーチングモードを解除して研磨モード選択に備え
る。
制御コンピュータCでは設定された研磨領域面S1及び
第3図(c)の研磨経路パターンGに基づいて選択され
た3軸座標Y、 Z、ωにおける複合駆動データを作
成記憶する。即ち、モータ7゜9、11A、11Bの駆
動量を作成記憶する。ティーチンク工程完了後の研磨モ
ート設定器19の選択操作によってプレイバックモート
を指令すれば制御コンピュータCは記憶された複合駆動
データを順次読出し、この読出駆動量をモータ7.9゜
11A、11Bに出力する。これにより砥石14か研磨
領域面S1上で研磨経路パターンG′に沿って移動しつ
つ研磨領域面S1を研磨する。プレイハック回数設定器
20によってプレイバック回数かMに設定してあれば制
御コンピュータCは研磨領域面S1の研磨を繰り返す。
第3図(c)の研磨経路パターンGに基づいて選択され
た3軸座標Y、 Z、ωにおける複合駆動データを作
成記憶する。即ち、モータ7゜9、11A、11Bの駆
動量を作成記憶する。ティーチンク工程完了後の研磨モ
ート設定器19の選択操作によってプレイバックモート
を指令すれば制御コンピュータCは記憶された複合駆動
データを順次読出し、この読出駆動量をモータ7.9゜
11A、11Bに出力する。これにより砥石14か研磨
領域面S1上で研磨経路パターンG′に沿って移動しつ
つ研磨領域面S1を研磨する。プレイハック回数設定器
20によってプレイバック回数かMに設定してあれば制
御コンピュータCは研磨領域面S1の研磨を繰り返す。
このプレイバック回数mがMに達すると複合駆動データ
の読出を停止し、通常モードへ復帰する。
の読出を停止し、通常モードへ復帰する。
第3図(b)の研磨領域面S2は円錐面であり、直線L
2には砥石14の公転中心、r2は砥石14の公転半径
である。研磨領域面S2の研磨では交点中心となる直線
L2はZ軸に平行であり、直線L2上の公転中心変位は
Z軸座標で表される。
2には砥石14の公転中心、r2は砥石14の公転半径
である。研磨領域面S2の研磨では交点中心となる直線
L2はZ軸に平行であり、直線L2上の公転中心変位は
Z軸座標で表される。
研磨領域面S2の設定は第3図(a)の場合と同様にポ
イントP y、 P g、 P 9、P+o、 Pi
ll PI3の位置指定により決定される。
イントP y、 P g、 P 9、P+o、 Pi
ll PI3の位置指定により決定される。
すなわち、第3図(b)の研磨領域面S2の設定では2
つの座標軸Z、ωのみが選択される。
つの座標軸Z、ωのみが選択される。
本実施例の研磨装置によれば第3図(b)の比較的複雑
な円錐面形状の研磨領域面S2のみならず第3図(a)
のようなさらに複雑な曲面形状の研磨も可能である。即
ち、複合駆動データにはY軸、Z軸及びω・軸の各方向
の移動成分を同時に含む時間領域かあり、プレイバック
工程ではモータ7.9.11A、 11Bかこの時間
領域で同時駆動される。従って、座標軸Y、z、ωの各
軸のいずれにも移動成分を持つ自動プレイハックを行な
うことができ、自動研磨経路の設定自由度が非常に高い
。このような設定自由度の高さによって自動研磨可能な
研磨領域面の形状種類が多様化し、研磨作業の効率が大
幅に向上する。
な円錐面形状の研磨領域面S2のみならず第3図(a)
のようなさらに複雑な曲面形状の研磨も可能である。即
ち、複合駆動データにはY軸、Z軸及びω・軸の各方向
の移動成分を同時に含む時間領域かあり、プレイバック
工程ではモータ7.9.11A、 11Bかこの時間
領域で同時駆動される。従って、座標軸Y、z、ωの各
軸のいずれにも移動成分を持つ自動プレイハックを行な
うことができ、自動研磨経路の設定自由度が非常に高い
。このような設定自由度の高さによって自動研磨可能な
研磨領域面の形状種類が多様化し、研磨作業の効率が大
幅に向上する。
前記実施例ではY軸、Z軸及びω軸の3つが選択された
が、勿論他の3つの軸の組合せ、例えばX軸、Y軸及び
Z軸の選択も行なうことかできる。
が、勿論他の3つの軸の組合せ、例えばX軸、Y軸及び
Z軸の選択も行なうことかできる。
この場合には研磨領域面は平面となるが、この研磨平面
はX軸、Y軸及びZ軸のいずれに対しても平行ではない
。
はX軸、Y軸及びZ軸のいずれに対しても平行ではない
。
本発明は勿論前記実施例にのみ限定されるのではなく、
例えば特開平1−234150号公報に開示されるよう
なラインティーチングにおけるプレイバック研磨にも本
発明を適用することかできる。
例えば特開平1−234150号公報に開示されるよう
なラインティーチングにおけるプレイバック研磨にも本
発明を適用することかできる。
以上詳述したように本発明は、砥石を移動するための4
つの移動手段のうちから選択された3つの移動手段の3
方向複合駆動データに基ついてプレイバック工程時に前
記選択された3つの移動手段の駆動制御したので、砥石
か3方向への同時移動も含む複合駆動データに対応する
移動経路に沿って自動的に移動するという研磨経路の高
い設定自由度か得られ、このような設定自由度の高さに
よって自動研磨可能な研磨面の形状種類が多様化して研
磨作業の効率を大幅に向上し得るという優れた効果を奏
する。
つの移動手段のうちから選択された3つの移動手段の3
方向複合駆動データに基ついてプレイバック工程時に前
記選択された3つの移動手段の駆動制御したので、砥石
か3方向への同時移動も含む複合駆動データに対応する
移動経路に沿って自動的に移動するという研磨経路の高
い設定自由度か得られ、このような設定自由度の高さに
よって自動研磨可能な研磨面の形状種類が多様化して研
磨作業の効率を大幅に向上し得るという優れた効果を奏
する。
図面は本発明を具体化した一実施例を示し、第1図は研
磨装置の斜視図、第2図は駆動制御コンピュータ及びデ
ィーチング装置のブロック図、第3図(a)、(b)は
いずれもワーク上の研磨領域面を表す斜視図、第3図(
c)は研磨経路パターンを示す線図、第4図は研磨プロ
グラムを示すフローチャートである。 第1の移動手段を構成する移動体4及びモータ5、第2
の移動手段を構成する移動体6及びモータ7、第3の移
動手段を構成する支軸8及びモータ9、第4の移動手段
を構成するモータ11A。 11B、砥石14、ティーチンク゛装置22、研磨領域
設定手段を構成する軸選択スイッチ18及び位置指定ス
イッチ21、駆動制御手段としての制御コンピュータC
8 特許出願人 株式会社 長瀬鉄工所 代理人 弁理士 恩1)博宣 (ほか1名) 図 。。9 (C)
磨装置の斜視図、第2図は駆動制御コンピュータ及びデ
ィーチング装置のブロック図、第3図(a)、(b)は
いずれもワーク上の研磨領域面を表す斜視図、第3図(
c)は研磨経路パターンを示す線図、第4図は研磨プロ
グラムを示すフローチャートである。 第1の移動手段を構成する移動体4及びモータ5、第2
の移動手段を構成する移動体6及びモータ7、第3の移
動手段を構成する支軸8及びモータ9、第4の移動手段
を構成するモータ11A。 11B、砥石14、ティーチンク゛装置22、研磨領域
設定手段を構成する軸選択スイッチ18及び位置指定ス
イッチ21、駆動制御手段としての制御コンピュータC
8 特許出願人 株式会社 長瀬鉄工所 代理人 弁理士 恩1)博宣 (ほか1名) 図 。。9 (C)
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1、3次元空間上の位置を規定する3つの座標(X、Y
、Z)の第1の座標方向(X)に沿った移動経路を持つ
第1の移動手段(4、5)と、第1の移動手段(4、5
)によって支持されると共に、第2の座標方向(Y)に
沿った移動経路を持つ第2の移動手段(6、7)と、 第2の移動手段(6、7)によって支持されると共に、
第3の座標方向(Z)に沿った移動経路を持つ第3の移
動手段(8、9)と、 第3の移動手段(8、9)によって支持されると共に、
第3の座標方向(Z)の周りの第4の座標方向(ω)に
沿った移動経路を持つ第4の移動手段(11A、11B
)と、 第4の移動手段(11A、11B)によって支持された
砥石(14)と、 前記第1、第2、第3及び第4の座標(X、Y、Z、ω
)のうちの3つの座標の選択によって砥石(14)で研
磨される領域を設定するための研磨領域設定手段(18
、21)と、 前記設定された研磨領域に従って前記選択された3つの
座標方向の移動手段の複合駆動データを記憶すると共に
、この記憶された3つの座標方向の移動手段の駆動を制
御する駆動制御手段(C)とにより構成したことを特徴
とする研磨装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP33198490A JPH04201055A (ja) | 1990-11-28 | 1990-11-28 | 研磨装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP33198490A JPH04201055A (ja) | 1990-11-28 | 1990-11-28 | 研磨装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04201055A true JPH04201055A (ja) | 1992-07-22 |
Family
ID=18249842
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP33198490A Pending JPH04201055A (ja) | 1990-11-28 | 1990-11-28 | 研磨装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH04201055A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2010005708A (ja) * | 2008-06-24 | 2010-01-14 | Showa Seiko Kk | 多軸制御の成形金型のセル自動研磨装置、及びセル自動研磨方法 |
-
1990
- 1990-11-28 JP JP33198490A patent/JPH04201055A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2010005708A (ja) * | 2008-06-24 | 2010-01-14 | Showa Seiko Kk | 多軸制御の成形金型のセル自動研磨装置、及びセル自動研磨方法 |
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