JPH0420228U - - Google Patents

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JPH0420228U
JPH0420228U JP1990061231U JP6123190U JPH0420228U JP H0420228 U JPH0420228 U JP H0420228U JP 1990061231 U JP1990061231 U JP 1990061231U JP 6123190 U JP6123190 U JP 6123190U JP H0420228 U JPH0420228 U JP H0420228U
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JP
Japan
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bubbler
mocvd
organometallic material
crystal growth
small bubbles
Prior art date
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JP1990061231U
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Description

【図面の簡単な説明】
第１図は、この考案の一実施例であるＭＯバブ
ラーの断面図、第２図はこの考案の他の実施例を
示すＭＯバブラーの断面図、第３図は従来のＭＯ
バブラーの断面図である。 図において、１１はバブラー、１２はＭＯ材料
、１３はＭＯ材料１２をバブリングするためのＨ
２、１４はＨ２１３を導入する配管、１５は半径
を大きくして上部よりＨ２が出ないようにした焼
結フイルター、１６はＭＯ材料１２中に導入され
たＨ２の気泡、１７は小さいままＭＯ材料の液面
に到達した気泡、３４は配管形状を変えたＨ２を
導入する配管、３５は上向きに付けられた焼結フ
イルターを示す。なお、図中、同一符号は同一、
または相当部分を示す。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 有機金属材料を詰め込んだ容器にＨ２を導入し
    て前記有機金属材料をバブリングし、Ｈ２に前記
    有機金属材料を飽和させ、これをＭＯＣＶＤ装置
    等の反応系に供給するＭＯバブラーにおいて、微
    少流量のバブリングを安定するために、Ｈ２を導
    入する配管の先に、焼結フイルターを設けて、前
    記有機金属材料中にＨ２を小さな気泡として供給
    するＭＯバブラーに小さな気泡がでる位置をＨ２
    を導入する配管より離れた位置にしたことを特徴
    とするＭＯＣＶＤ結晶成長装置。
JP1990061231U 1990-06-07 1990-06-07 Pending JPH0420228U (ja)

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JPH0420228U true JPH0420228U (ja) 1992-02-20

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