JPH0420228U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPH0420228U JPH0420228U JP6123190U JP6123190U JPH0420228U JP H0420228 U JPH0420228 U JP H0420228U JP 6123190 U JP6123190 U JP 6123190U JP 6123190 U JP6123190 U JP 6123190U JP H0420228 U JPH0420228 U JP H0420228U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- bubbler
- mocvd
- organometallic material
- crystal growth
- small bubbles
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 7
- 230000005587 bubbling Effects 0.000 claims description 2
- 239000013078 crystal Substances 0.000 claims 3
- 238000002488 metal-organic chemical vapour deposition Methods 0.000 claims 3
- 125000002524 organometallic group Chemical group 0.000 claims 3
- 239000007769 metal material Substances 0.000 claims 1
- 229920006395 saturated elastomer Polymers 0.000 claims 1
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 1
Description
第１図は、この考案の一実施例であるＭＯバブ
ラーの断面図、第２図はこの考案の他の実施例を
示すＭＯバブラーの断面図、第３図は従来のＭＯ
バブラーの断面図である。 図において、１１はバブラー、１２はＭＯ材料
、１３はＭＯ材料１２をバブリングするためのＨ
２、１４はＨ２１３を導入する配管、１５は半径
を大きくして上部よりＨ２が出ないようにした焼
結フイルター、１６はＭＯ材料１２中に導入され
たＨ２の気泡、１７は小さいままＭＯ材料の液面
に到達した気泡、３４は配管形状を変えたＨ２を
導入する配管、３５は上向きに付けられた焼結フ
イルターを示す。なお、図中、同一符号は同一、
または相当部分を示す。
ラーの断面図、第２図はこの考案の他の実施例を
示すＭＯバブラーの断面図、第３図は従来のＭＯ
バブラーの断面図である。 図において、１１はバブラー、１２はＭＯ材料
、１３はＭＯ材料１２をバブリングするためのＨ
２、１４はＨ２１３を導入する配管、１５は半径
を大きくして上部よりＨ２が出ないようにした焼
結フイルター、１６はＭＯ材料１２中に導入され
たＨ２の気泡、１７は小さいままＭＯ材料の液面
に到達した気泡、３４は配管形状を変えたＨ２を
導入する配管、３５は上向きに付けられた焼結フ
イルターを示す。なお、図中、同一符号は同一、
または相当部分を示す。
Claims (1)
- 有機金属材料を詰め込んだ容器にＨ２を導入し
て前記有機金属材料をバブリングし、Ｈ２に前記
有機金属材料を飽和させ、これをＭＯＣＶＤ装置
等の反応系に供給するＭＯバブラーにおいて、微
少流量のバブリングを安定するために、Ｈ２を導
入する配管の先に、焼結フイルターを設けて、前
記有機金属材料中にＨ２を小さな気泡として供給
するＭＯバブラーに小さな気泡がでる位置をＨ２
を導入する配管より離れた位置にしたことを特徴
とするＭＯＣＶＤ結晶成長装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6123190U JPH0420228U (ja) | 1990-06-07 | 1990-06-07 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6123190U JPH0420228U (ja) | 1990-06-07 | 1990-06-07 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0420228U true JPH0420228U (ja) | 1992-02-20 |
Family
ID=31589302
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6123190U Pending JPH0420228U (ja) | 1990-06-07 | 1990-06-07 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0420228U (ja) |
-
1990
- 1990-06-07 JP JP6123190U patent/JPH0420228U/ja active Pending
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CA2446415A1 (en) | Plant-growing system having an aerator | |
| JPH0420228U (ja) | ||
| JPS63136796U (ja) | ||
| JPH0122480Y2 (ja) | ||
| JPH0177357U (ja) | ||
| JPS63108629U (ja) | ||
| JPS5942350Y2 (ja) | 瓶用液体注出具 | |
| JPS5929466U (ja) | 給水管などに嵌込み可能な流量調節具 | |
| JPS5891500U (ja) | メタンガス発生装置 | |
| JPH0174751U (ja) | ||
| JPS58185158U (ja) | 液体容器における注出口カセツトの取付構造 | |
| JPS6416534U (ja) | ||
| JPS5874919U (ja) | うがい器 | |
| JPS62187572U (ja) | ||
| JPS59180706U (ja) | 水の炭酸除去装置 | |
| JPH0478996U (ja) | ||
| JPS61150029U (ja) | ||
| JPH01139875U (ja) | ||
| JPS63193430U (ja) | ||
| JPH0281603U (ja) | ||
| JPS6428997U (ja) | ||
| JPS59138497U (ja) | 竪型曝気槽を備えた水処理装置 | |
| JPH0161929U (ja) | ||
| JPH03109607U (ja) | ||
| JPS6351605U (ja) |