JPH04203523A - 磁気軸受スピンドル - Google Patents
磁気軸受スピンドルInfo
- Publication number
- JPH04203523A JPH04203523A JP2331830A JP33183090A JPH04203523A JP H04203523 A JPH04203523 A JP H04203523A JP 2331830 A JP2331830 A JP 2331830A JP 33183090 A JP33183090 A JP 33183090A JP H04203523 A JPH04203523 A JP H04203523A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- bearing
- spindle
- gap
- protective
- circuit
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
- F16C32/00—Bearings not otherwise provided for
- F16C32/04—Bearings not otherwise provided for using magnetic or electric supporting means
- F16C32/0406—Magnetic bearings
- F16C32/044—Active magnetic bearings
- F16C32/0442—Active magnetic bearings with devices affected by abnormal, undesired or non-standard conditions such as shock-load, power outage, start-up or touchdown
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
- F16C33/00—Parts of bearings; Special methods for making bearings or parts thereof
- F16C33/02—Parts of sliding-contact bearings
- F16C33/04—Brasses; Bushes; Linings
- F16C33/043—Sliding surface consisting mainly of ceramics, cermets or hard carbon, e.g. diamond like carbon [DLC]
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
- F16C39/00—Relieving load on bearings
- F16C39/02—Relieving load on bearings using mechanical means
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
- F16C17/00—Sliding-contact bearings for exclusively rotary movement
- F16C17/10—Sliding-contact bearings for exclusively rotary movement for both radial and axial load
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Ceramic Engineering (AREA)
- Sliding-Contact Bearings (AREA)
- Magnetic Bearings And Hydrostatic Bearings (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
本発明は、磁気軸受スピンドルにおいて保護ベアリング
を改良することにより、性能を向上させたものに関する
。
を改良することにより、性能を向上させたものに関する
。
（従来の技術）
能動形磁気軸受には、制御装置の故障や過大な外乱なと
不慮の事故に対処するため、保護ベアリングが取付けら
れている。
不慮の事故に対処するため、保護ベアリングが取付けら
れている。
保護ベアリングにはころがり軸受が採用されており、こ
のころがり軸受と軸との隙間は０．１ｍ−ないし場合に
よっては１．０■鵬程度まで、軸受としては非常に広く
とられている。これはスピンドルとして成立させるため
には、不慮の事態には保護ベアリングのころがり軸受が
軸を支持できることと、通常の運転では軸が保護ベアリ
ングに接触することがないように、安全上の観点からほ
ぼこのような値になっている。
のころがり軸受と軸との隙間は０．１ｍ−ないし場合に
よっては１．０■鵬程度まで、軸受としては非常に広く
とられている。これはスピンドルとして成立させるため
には、不慮の事態には保護ベアリングのころがり軸受が
軸を支持できることと、通常の運転では軸が保護ベアリ
ングに接触することがないように、安全上の観点からほ
ぼこのような値になっている。
磁気軸受を構成する電磁石のロータとステータとの隙間
は、保護ベアリングが接触しても当たらないようにさら
に広くされている。
は、保護ベアリングが接触しても当たらないようにさら
に広くされている。
（発明が解決しようとする課題）
上述の従来技術のように広い隙間では、軸の位置を検出
するセンサの感度（増幅回路の電圧増幅度）を上げるこ
とができない、すなわち、このような広い隙間で制御回
路の増幅度を上げると、軸の位置が設定より少しでもず
れると増幅回路がすぐ飽和してしまい制御不能となるか
らである。
するセンサの感度（増幅回路の電圧増幅度）を上げるこ
とができない、すなわち、このような広い隙間で制御回
路の増幅度を上げると、軸の位置が設定より少しでもず
れると増幅回路がすぐ飽和してしまい制御不能となるか
らである。
このため、軸の位置が隙間内の全領域を変化しても飽和
しない程度の増幅度までしか上げることができず、結果
的に軸受性能とくに軸受の精度、剛性を向上させること
ができない。このため、工作機械用スピンドルのように
主軸の精度、剛性を必要とする用途には不十分であった
。
しない程度の増幅度までしか上げることができず、結果
的に軸受性能とくに軸受の精度、剛性を向上させること
ができない。このため、工作機械用スピンドルのように
主軸の精度、剛性を必要とする用途には不十分であった
。
本発明は、保護ベアリングの形式、構造および材質を改
善して許容隙間を可能な限り狭（し、それに伴って増幅
回路の感度を上げ、磁気軸受スピンドルの精度、剛性を
太き（向上させるものである。
善して許容隙間を可能な限り狭（し、それに伴って増幅
回路の感度を上げ、磁気軸受スピンドルの精度、剛性を
太き（向上させるものである。
（課題を解決するための手段）
このため本発明は、特許請求の範囲に記載した磁気軸受
スピンドルを提供することにより従来技術の課題を解決
した。
スピンドルを提供することにより従来技術の課題を解決
した。
（実施例）
第１図ないし第３図に本発明の一実施例を示す。
図において１はスピンドルの主軸、２は外筒、３は主軸
を駆動するモータ、４はスピンドルヘッド側のラジアル
磁気軸受、５はスピンドルテール側のラジアル磁気軸受
、６はスラスト磁気軸受、７および８は各ラジアル方向
の軸位置を検出するセンサ、９はスピンドルの前蓋、１
０は同じく後蓋を示している。
を駆動するモータ、４はスピンドルヘッド側のラジアル
磁気軸受、５はスピンドルテール側のラジアル磁気軸受
、６はスラスト磁気軸受、７および８は各ラジアル方向
の軸位置を検出するセンサ、９はスピンドルの前蓋、１
０は同じく後蓋を示している。
ここに使用される保護ベアリングは、ラジアル方向、ス
ラスト方向とも耐熱、耐摩耗の材質からなるセラミック
すべり軸受であり、主軸の高速回転中の接触にも耐えら
れるようになっている。
ラスト方向とも耐熱、耐摩耗の材質からなるセラミック
すべり軸受であり、主軸の高速回転中の接触にも耐えら
れるようになっている。
主軸１が前蓋９を貫通している個所には、その詳細を第
２図に示すようにスピンドルヘッド側の保護ベアリング
が設けられている。前蓋９にはセラミック製の保護ベア
リングステータ１２が嵌合固着されており、これと対向
して主軸１にはセラミック製の保護ベアリングロータ１
１が嵌合固着されている。このスピンドルヘッド側はと
くに磁気ベアリングの剛性を高くする必要から、保護ベ
アリングにおけるロータ１１とステータ１２との隙間は
、１０μｍに設定されている。なお、１３は保護ベアリ
ングの部分を覆う前カバーであり、１４は主軸に嵌合さ
れてセンサターゲットとなるスリーブである。また、ス
ピンドルテール側の保護ベアリングはその詳細を第３図
に示す、外筒２の内径側にスラスト磁気軸受のステータ
に隣接して固定された取付リング１５に、セラミック製
の保護ベアリングステータ１６が嵌合固着され、止め輪
１８で抜は止めされている。保護ベアリングステータ１
６に対向して主軸１にはセラミック製の保護ベアリング
ロータ１７が嵌合固着されている。この保護ベアリング
ロータ１７の内寄に隣接してスラストに対抗するセラミ
ック製カラー１９が主軸に嵌合固着され、さらに、保護
ベアリングロータ１７の端寄に隣接して逆方向のスラス
トに対抗するセラミック製カラー２０が主軸に嵌合され
ていて、スラスト磁気軸受のロータディスク２１を介し
て二重ナツト２２により締結固定されている。なお、２
３はスラスト磁気軸受のステータである。このスピンド
ルテール側の保護ベアリングの各隙間は、ロータ１７と
ステータ１６の間、ステータ１６とカラー１９の間およ
びステータ１６とカラー２０の間はそれぞれ１００μｍ
であり、スピンドルヘッド側の隙間に比べ大きくされて
いる。
２図に示すようにスピンドルヘッド側の保護ベアリング
が設けられている。前蓋９にはセラミック製の保護ベア
リングステータ１２が嵌合固着されており、これと対向
して主軸１にはセラミック製の保護ベアリングロータ１
１が嵌合固着されている。このスピンドルヘッド側はと
くに磁気ベアリングの剛性を高くする必要から、保護ベ
アリングにおけるロータ１１とステータ１２との隙間は
、１０μｍに設定されている。なお、１３は保護ベアリ
ングの部分を覆う前カバーであり、１４は主軸に嵌合さ
れてセンサターゲットとなるスリーブである。また、ス
ピンドルテール側の保護ベアリングはその詳細を第３図
に示す、外筒２の内径側にスラスト磁気軸受のステータ
に隣接して固定された取付リング１５に、セラミック製
の保護ベアリングステータ１６が嵌合固着され、止め輪
１８で抜は止めされている。保護ベアリングステータ１
６に対向して主軸１にはセラミック製の保護ベアリング
ロータ１７が嵌合固着されている。この保護ベアリング
ロータ１７の内寄に隣接してスラストに対抗するセラミ
ック製カラー１９が主軸に嵌合固着され、さらに、保護
ベアリングロータ１７の端寄に隣接して逆方向のスラス
トに対抗するセラミック製カラー２０が主軸に嵌合され
ていて、スラスト磁気軸受のロータディスク２１を介し
て二重ナツト２２により締結固定されている。なお、２
３はスラスト磁気軸受のステータである。このスピンド
ルテール側の保護ベアリングの各隙間は、ロータ１７と
ステータ１６の間、ステータ１６とカラー１９の間およ
びステータ１６とカラー２０の間はそれぞれ１００μｍ
であり、スピンドルヘッド側の隙間に比べ大きくされて
いる。
制御回路は第４図に示すように一般的なＰＤＩ方式のフ
ィードバック制御であり、センサアンプから電流アンプ
までの全体の周波数特性は、比例回路Ｐ、微分回路Ｄ、
積分回路Ｉを適当な増幅率で加電すると第５図に示すよ
うな特性を得る。第５図において、■成分とＰ成分の交
点の周波数をｆ、、Ｐ成分とＤ成分の交点Ｕの周波数を
ｆｌ、Ｄ成分の上限の点Ｖの周波数をｆｔとすると、Ｐ
成分は剛性を、Ｄ成分はダンピング（′＄ｉ衰）を与え
るものであるから、Ｕ点におけるダンピングを十分きか
せるためには、■点の周波数ｆ２を普通Ｕ点の周波数を
ｆ、の１０倍程度のところに設定する。７点が高いとダ
ンピングはよくきくが回路全体がそれだけ不安定になる
。また、■点が低すぎるとダンピング効果が得られない
。このような特性をもつ制御回路にセンサと電磁石を接
続し、フィードバンクループを形成してスピンドル主軸
を能動的に保持するとき、系全体のブロック線図は第６
図のようになる。ここにＳｏ 、Ｓｒ ％ Ｓｚはそ
れぞれ第５図における周波数ｆ。、ｆ、、ｆ。
ィードバック制御であり、センサアンプから電流アンプ
までの全体の周波数特性は、比例回路Ｐ、微分回路Ｄ、
積分回路Ｉを適当な増幅率で加電すると第５図に示すよ
うな特性を得る。第５図において、■成分とＰ成分の交
点の周波数をｆ、、Ｐ成分とＤ成分の交点Ｕの周波数を
ｆｌ、Ｄ成分の上限の点Ｖの周波数をｆｔとすると、Ｐ
成分は剛性を、Ｄ成分はダンピング（′＄ｉ衰）を与え
るものであるから、Ｕ点におけるダンピングを十分きか
せるためには、■点の周波数ｆ２を普通Ｕ点の周波数を
ｆ、の１０倍程度のところに設定する。７点が高いとダ
ンピングはよくきくが回路全体がそれだけ不安定になる
。また、■点が低すぎるとダンピング効果が得られない
。このような特性をもつ制御回路にセンサと電磁石を接
続し、フィードバンクループを形成してスピンドル主軸
を能動的に保持するとき、系全体のブロック線図は第６
図のようになる。ここにＳｏ 、Ｓｒ ％ Ｓｚはそ
れぞれ第５図における周波数ｆ。、ｆ、、ｆ。
に相等するラプラス空間における値である。このような
構成の能動形磁気スピンドルに外乱または回転誤差Ｘ′
が入力されたとき、系全体としてこのＸ′をゼロにする
ようにフィードバックが働くのであるが、完全にＸ′＝
０になるわけではなく、いまＸという値に収束したと仮
定すると、Ｘ ／Ｘ′という値は第５図の周波数特性と
密接な関係があり、ｘ／ｘ’の周波数特性を、制御回路
全体の増幅度Ｋをｒｏ、 １、ｆ２および質量Ｍに関連
させて適当に決めることによって、外乱補正量の周波数
特性を第７図のように設定することができる。すなわち
、Ｖ意思上の周波数では全く誤差を補正する能力はなく
、またｔＪ点においては誤差を１／１０程度まで圧縮す
ることが可能なように設定するのである。従って、回転
精度１μｍのスピンドルを実現するためには、まずセン
サターゲットの精度をｌｕｍ程度としバランスを良（す
る。
構成の能動形磁気スピンドルに外乱または回転誤差Ｘ′
が入力されたとき、系全体としてこのＸ′をゼロにする
ようにフィードバックが働くのであるが、完全にＸ′＝
０になるわけではなく、いまＸという値に収束したと仮
定すると、Ｘ ／Ｘ′という値は第５図の周波数特性と
密接な関係があり、ｘ／ｘ’の周波数特性を、制御回路
全体の増幅度Ｋをｒｏ、 １、ｆ２および質量Ｍに関連
させて適当に決めることによって、外乱補正量の周波数
特性を第７図のように設定することができる。すなわち
、Ｖ意思上の周波数では全く誤差を補正する能力はなく
、またｔＪ点においては誤差を１／１０程度まで圧縮す
ることが可能なように設定するのである。従って、回転
精度１μｍのスピンドルを実現するためには、まずセン
サターゲットの精度をｌｕｍ程度としバランスを良（す
る。
これによって７点以上の周波数における誤差は１μｍが
保証される。Ｕ点においては１０μｍまでの誤差が許さ
れるのであるから、タッチダウンベアリングとしての保
護ベアリングの隙間を１０μｍとする。保護ベアリング
の隙間を目標精度の１０倍程度というのはこの理由によ
る。このとき、Ｕ点において保護ベアリングの隙間の範
囲内で主軸の位置を移動させてみて、回路がまだ飽和し
ていなければｆｏ、ｆ、、ｆｔの値をもっと高いところ
に移動させ、逆に飽和してしまうようならｆｏ、ｆｔ、
ｆｔの値を低くして、Ｋの値を飽和点に達しない限界ま
で調整する。
保証される。Ｕ点においては１０μｍまでの誤差が許さ
れるのであるから、タッチダウンベアリングとしての保
護ベアリングの隙間を１０μｍとする。保護ベアリング
の隙間を目標精度の１０倍程度というのはこの理由によ
る。このとき、Ｕ点において保護ベアリングの隙間の範
囲内で主軸の位置を移動させてみて、回路がまだ飽和し
ていなければｆｏ、ｆ、、ｆｔの値をもっと高いところ
に移動させ、逆に飽和してしまうようならｆｏ、ｆｔ、
ｆｔの値を低くして、Ｋの値を飽和点に達しない限界ま
で調整する。
本発明において、保護ベアリングの隙間を１０μｍにせ
ばめ、かつ制御回路の増幅度を主軸がこの１０μｍの範
囲内を変位しても飽和しない最大値に設定することによ
って剛性が格段に向上した。
ばめ、かつ制御回路の増幅度を主軸がこの１０μｍの範
囲内を変位しても飽和しない最大値に設定することによ
って剛性が格段に向上した。
第８図に従来の能動型磁気軸受と今回のものとの比較を
しめず。一般に磁気軸受の剛性は周波数特性をもつ。最
も重要なのは動剛性の最小値であり静剛性ではない、従
来のものでは動剛性の最小値は１００ｇｆ／μｍという
のがベストのデータであったが、本発明のものはＩＫｇ
ｆ／μｍをかるくこえる。
しめず。一般に磁気軸受の剛性は周波数特性をもつ。最
も重要なのは動剛性の最小値であり静剛性ではない、従
来のものでは動剛性の最小値は１００ｇｆ／μｍという
のがベストのデータであったが、本発明のものはＩＫｇ
ｆ／μｍをかるくこえる。
精度については低速回転での精度は格段に向上した。第
９図にリサージ二波形での本発明と従来のものとの比較
をしめす、ただ問題はセンサターゲットの精度が直接現
れて、高速回転では外筒の振動が大きくなる。これはま
た別の問題でありターゲットの加工精度向上等で対処す
べきものである。
９図にリサージ二波形での本発明と従来のものとの比較
をしめす、ただ問題はセンサターゲットの精度が直接現
れて、高速回転では外筒の振動が大きくなる。これはま
た別の問題でありターゲットの加工精度向上等で対処す
べきものである。
（発明の効果）
本発明においては、磁気軸受スピンドルの保護ベアリン
グを耐熱・耐摩耗性のセラミック滑り軸受とするととも
に、主軸と保護ベアリングの隙間を目標精度の１０倍程
度とし、かつ制御装置の増幅回路の感度を隙間内で主軸
をどの位置に変位させても回路が飽和しない最大値に設
定しているので、磁気軸受スピンドルの運転中の軸受隙
間を非常に狭く設定することが可能となり、それに伴っ
てスピンドル主軸の精度、剛性を格段に向上させること
ができる。
グを耐熱・耐摩耗性のセラミック滑り軸受とするととも
に、主軸と保護ベアリングの隙間を目標精度の１０倍程
度とし、かつ制御装置の増幅回路の感度を隙間内で主軸
をどの位置に変位させても回路が飽和しない最大値に設
定しているので、磁気軸受スピンドルの運転中の軸受隙
間を非常に狭く設定することが可能となり、それに伴っ
てスピンドル主軸の精度、剛性を格段に向上させること
ができる。
第１図は本発明の一実施例を示す縦断面図、第２図は第
１図の■部分の拡大図、第３図は第１図のｍ部分の拡大
図、第４図は制御回路の構成の概略図、第５図は制御回
路の増幅度の周波数特性を示すグラフ、第６図は系全体
のブロック図、第７図は系全体での誤差補正量の周波数
特性を示すグラフ、第８図は磁気軸受の剛性の周波数特
性について本発明と従来技術との比較を示すグラフ、第
９図はりサージュ波形の比較図である。 １・・・主軸、２・・・外筒、３・・・モータ、４．５
・・・ラジアル磁気軸受、６・・・スラスト磁気軸受、
７．８・・・センサ、１１．１７・・・保護ベアリング
ロータ、１２．１６・・・保護ベアリングステータ、１
９．２０・・・保護ベアリングカラー。 代理人 弁理士 河 内 潤 二 第１図 第２図 第３図 第４図 第５図 Ｓａ数［Ｈ２］−− 制御回路のＭｌｌｌｌ数 箱性図 第７図 ｌｌＩ２！数（Ｈｚｌ − 外乱補正量の局波数特性 第８図 １ １０ １００
＋ＫＭＪＩ数［Ｈｚココ −気軸受の剛性のＭａ数時特 性９ＷＪ ２ ）ｒｍ ／ｄｉｖ ２ ｐｍ／ｄ
ｉｖ（Ａ）本発明による磁気軸受 （Ｂ）
従来の磁気軸受リサージ二波形による回転精度
１図の■部分の拡大図、第３図は第１図のｍ部分の拡大
図、第４図は制御回路の構成の概略図、第５図は制御回
路の増幅度の周波数特性を示すグラフ、第６図は系全体
のブロック図、第７図は系全体での誤差補正量の周波数
特性を示すグラフ、第８図は磁気軸受の剛性の周波数特
性について本発明と従来技術との比較を示すグラフ、第
９図はりサージュ波形の比較図である。 １・・・主軸、２・・・外筒、３・・・モータ、４．５
・・・ラジアル磁気軸受、６・・・スラスト磁気軸受、
７．８・・・センサ、１１．１７・・・保護ベアリング
ロータ、１２．１６・・・保護ベアリングステータ、１
９．２０・・・保護ベアリングカラー。 代理人 弁理士 河 内 潤 二 第１図 第２図 第３図 第４図 第５図 Ｓａ数［Ｈ２］−− 制御回路のＭｌｌｌｌ数 箱性図 第７図 ｌｌＩ２！数（Ｈｚｌ − 外乱補正量の局波数特性 第８図 １ １０ １００
＋ＫＭＪＩ数［Ｈｚココ −気軸受の剛性のＭａ数時特 性９ＷＪ ２ ）ｒｍ ／ｄｉｖ ２ ｐｍ／ｄ
ｉｖ（Ａ）本発明による磁気軸受 （Ｂ）
従来の磁気軸受リサージ二波形による回転精度
Claims (1)
- 主軸を回転させるモータと、主軸を非接触で支持する能
動形磁気軸受と、能動形磁気軸受における主軸の位置を
制御する制御装置と、主軸の位置が制御不能となったと
きに主軸に接触して支持する保護ベアリングを備えた磁
気軸受スピンドルにおいて、保護ベアリングを耐熱・耐
摩耗性のセラミック滑り軸受とするとともに、前記主軸
と保護ベアリングの隙間を目標精度の１０倍程度とし、
かつ制御装置の増幅回路の感度を前記隙間内で主軸をど
の位置に変位させても回路が飽和しない最大値に設定し
たことを特徴とする磁気軸受スピンドル。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2331830A JPH04203523A (ja) | 1990-11-29 | 1990-11-29 | 磁気軸受スピンドル |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2331830A JPH04203523A (ja) | 1990-11-29 | 1990-11-29 | 磁気軸受スピンドル |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04203523A true JPH04203523A (ja) | 1992-07-24 |
Family
ID=18248125
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2331830A Pending JPH04203523A (ja) | 1990-11-29 | 1990-11-29 | 磁気軸受スピンドル |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH04203523A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE102007032443A1 (de) * | 2007-07-10 | 2009-01-15 | Voith Patent Gmbh | Hybridlager und Verfahren zu dessen Herstellung |
| CN104806631A (zh) * | 2015-03-01 | 2015-07-29 | 北京航空航天大学 | 一种用于磁悬浮高速旋转设备的径轴一体柔性保护轴承 |
| WO2019034187A1 (en) * | 2017-08-15 | 2019-02-21 | Rieter Cz S.R.O. | DEVICE FOR PROTECTING PARTS OF A WIRE ROTOR SYSTEM COMPRISING A MAGNETIC BEARING |
-
1990
- 1990-11-29 JP JP2331830A patent/JPH04203523A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE102007032443A1 (de) * | 2007-07-10 | 2009-01-15 | Voith Patent Gmbh | Hybridlager und Verfahren zu dessen Herstellung |
| US8330312B2 (en) | 2007-07-10 | 2012-12-11 | Voith Patent Gmbh | Hybrid bearing and method for the production thereof |
| CN104806631A (zh) * | 2015-03-01 | 2015-07-29 | 北京航空航天大学 | 一种用于磁悬浮高速旋转设备的径轴一体柔性保护轴承 |
| WO2019034187A1 (en) * | 2017-08-15 | 2019-02-21 | Rieter Cz S.R.O. | DEVICE FOR PROTECTING PARTS OF A WIRE ROTOR SYSTEM COMPRISING A MAGNETIC BEARING |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US5142177A (en) | Magnetically controlled bearing unit | |
| US4294493A (en) | Magnetic bearing assembly | |
| JPH04219493A (ja) | ターボ分子ポンプ | |
| JPH07256503A (ja) | スピンドル装置 | |
| JPS6024295B2 (ja) | 特にタ−ボエンジン用に供する実質的に水平な軸線を備えた長シヤフト用設置体 | |
| JPH04203523A (ja) | 磁気軸受スピンドル | |
| EP0193609A1 (en) | Controlled radial magnetic bearing device | |
| JP3463218B2 (ja) | 磁気軸受装置 | |
| JP3773709B2 (ja) | 高速回転体のバランス修正方法 | |
| JP7028975B2 (ja) | 回転子軸受を磁気的に除荷するための装置および方法 | |
| JP3019651B2 (ja) | 回転機の振動抑制装置 | |
| JPH04185910A (ja) | 静圧・磁気軸受スピンドル | |
| JP3301619B2 (ja) | 磁気軸受装置 | |
| JP4318395B2 (ja) | 磁気軸受装置を備えたロータの運転方法 | |
| JP4344601B2 (ja) | 磁気軸受の低擾乱化制御装置 | |
| WO1990001122A1 (en) | Electromagnetic bearings | |
| JP3395170B2 (ja) | スラスト磁気軸受の制御装置及び方法 | |
| JP2004324895A (ja) | 静圧磁気複合軸受 | |
| JP2000205259A (ja) | 磁気浮上回転体の回転数検出装置 | |
| JP3609614B2 (ja) | 静圧磁気複合軸受およびスピンドル装置 | |
| JP2005214310A (ja) | 静圧空気軸受スピンドル | |
| JPH1113761A (ja) | 静圧磁気複合軸受 | |
| JPS61286609A (ja) | 制御式ラジアル磁気軸受の制御装置 | |
| KR102902429B1 (ko) | 집적 구조의 하이브리드 스러스트 베어링 | |
| JPH02113117A (ja) | 磁気軸受装置 |