JPH04204319A - Detection coil output signal processing device - Google Patents
Detection coil output signal processing deviceInfo
- Publication number
- JPH04204319A JPH04204319A JP2339129A JP33912990A JPH04204319A JP H04204319 A JPH04204319 A JP H04204319A JP 2339129 A JP2339129 A JP 2339129A JP 33912990 A JP33912990 A JP 33912990A JP H04204319 A JPH04204319 A JP H04204319A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- phase
- detection
- output signal
- signal
- output
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Landscapes
- Indication And Recording Devices For Special Purposes And Tariff Metering Devices (AREA)
- Measuring Magnetic Variables (AREA)
- Measuring Instrument Details And Bridges, And Automatic Balancing Devices (AREA)
- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Magnetic Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。(57) [Summary] This bulletin contains application data before electronic filing, so abstract data is not recorded.
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、渦流式探傷装置や荷重センサ、位置検出装置
等の検出コイルの出力信号の、温度の変化によるドリフ
トを補償する信号処理装置に関する。DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION [Industrial Application Field] The present invention relates to a signal processing device that compensates for the drift due to temperature changes in the output signal of a detection coil of an eddy current flaw detection device, a load sensor, a position detection device, etc. .
渦流式探傷装置や荷重センサまたは位置検出装置等にお
いては、被検出部材の電気磁気的特性の変化を、検出コ
イルを用いてコイル特性（自己インダクタンス、相互イ
ンダクタンスなど）の変化として検知することがしばし
ば行われている。しかし、検出コイルの出力特性は、環
境の変動によって影響を受け、ゼロ点等が変動する。特
に、コイル自身の温度変化による影響が太きい。このた
め、従来は、検出コイルと別に温度検出用のコイルを設
け、この温度検出用コイルによって温度補正信号を出力
させ、検出コイルの出力信号を温度補正信号によって補
正し、温度変化による影響を除去するようにしている。In eddy current flaw detection equipment, load sensors, position detection equipment, etc., changes in the electromagnetic characteristics of the detected member are often detected as changes in coil characteristics (self-inductance, mutual inductance, etc.) using a detection coil. It is being done. However, the output characteristics of the detection coil are affected by environmental changes, and the zero point etc. vary. In particular, the influence of temperature changes in the coil itself is significant. For this reason, conventionally, a temperature detection coil was provided separately from the detection coil, and this temperature detection coil outputs a temperature correction signal, and the output signal of the detection coil was corrected by the temperature correction signal to eliminate the influence of temperature changes. I try to do that.
しかし、上記のように、検出コイルと別に温度検出用コ
イルを設けて補正を行う方法は、検出コイル用と温度検
出用コイルとの信号処理回路を設ける必要があり、二重
の信号処理回路を設けなければならず、て装置が複雑化
するばかりでなく、高価となる。However, as mentioned above, the method of performing correction by providing a temperature detection coil separately from the detection coil requires the provision of signal processing circuits for the detection coil and the temperature detection coil, which requires a dual signal processing circuit. This not only makes the device complicated but also expensive.
本発明は、上記従来技術の欠点を解消するためになされ
たもので、温度変化に基づくゼロ点等の変動を安価に補
正することができる検出コイルの出力信号処理装置を提
供することを目的としている。The present invention has been made in order to eliminate the drawbacks of the above-mentioned conventional technology, and an object of the present invention is to provide an output signal processing device for a detection coil that can inexpensively correct fluctuations in the zero point etc. due to temperature changes. There is.
検出コイル自身や周囲環境の温度が変化すると、コイル
自身の磁気特性や被検出部材の透磁率の変化等によって
検出コイルのインダクタンスが変化し、検出部の出力信
号の位相がずれてくる。When the temperature of the detection coil itself or the surrounding environment changes, the inductance of the detection coil changes due to changes in the magnetic properties of the coil itself or the magnetic permeability of the detected member, and the phase of the output signal of the detection section shifts.
この温度が変化に伴い位相ずれが生ずることに注目して
なされたもので、上記の目的を達成するために、本発明
の第１は、被検出部材の電磁気的変化を検出する検出部
の検出コイルに基準信号を与える交流信号源と、この交
流信号源の出力信号を受け、所定の角度だけ位相をずら
して出力する移相器と、前記検出部の出力信号が入力す
るとともに、前記移相器の出力を受けて、前記検出部の
出力信号を移相検波する位相検波器とを有することを特
徴としている。This invention was developed by paying attention to the fact that a phase shift occurs as the temperature changes.In order to achieve the above object, the first aspect of the present invention is to detect the electromagnetic change of the detected member. an alternating current signal source that provides a reference signal to the coil; a phase shifter that receives the output signal of the alternating current signal source, shifts the phase by a predetermined angle, and outputs the output signal; and a phase detector that receives the output of the detector and performs phase shift detection on the output signal of the detector.
また、本発明の第２は、被検出部材の電磁気的変化を検
出する検出部の検出コイルに基準信号を与える交流信号
源と、この交流信号源の出力信号を受け、所定の角度だ
け位相をずらして出力する移相器と、前記検出部の出力
信号が入力するとともに、前記移相器の出力を受けて、
前記検出部の出力信号を移相検波する位相検波器と、前
記検出コイルと前記被検出部材との少なくとのいずれか
一方の温度と前記検出部の出力信号の位相ずれとの関係
を示すデータを格納したメモリと、検出された前記温度
に対応した前記メモリ内のデータを読み出し、前記移相
器の移相量を制御する移相制御器とを有することを特徴
としている。The second aspect of the present invention also includes an AC signal source that provides a reference signal to a detection coil of a detection unit that detects electromagnetic changes in a member to be detected; A phase shifter that outputs a shifted output, and the output signal of the detection section is input, and the output of the phase shifter is received;
a phase detector that performs phase shift detection on the output signal of the detection section; and data indicating a relationship between the temperature of at least one of the detection coil and the detected member and the phase shift of the output signal of the detection section. and a phase shift controller that reads data in the memory corresponding to the detected temperature and controls the amount of phase shift of the phase shifter.
（作用〕
上記の如く構成した本発明の第１は、検出コイルなどが
一定温度変化したときに、移相器によって温度が変化し
たことによる位相のずれを生じた分だけ交流信号源の出
力信号の位相をずらし、これに基づいて位相検波するこ
とにより、温度変動により影響を小さくすることができ
、測定精度が向上する。(Function) The first aspect of the present invention configured as described above is that when the temperature of the detection coil etc. changes by a certain amount, the output signal of the AC signal source is By shifting the phase of the signal and performing phase detection based on this, the influence of temperature fluctuations can be reduced and measurement accuracy can be improved.
また、本発明の第２においては、検出コイルと被検出部
材との少なくとのいずれか一方の温度と検出部の出力信
号の位相ずれとの関係を求め、メモリに格納しておく。Further, in the second aspect of the present invention, the relationship between the temperature of at least one of the detection coil and the detected member and the phase shift of the output signal of the detection section is determined and stored in a memory.
そして、移相制御器が入力してきた温度に基づいて、メ
モリから対応する位相ずれ量を読み出し、交流信号源が
出力した基準信号が、メモリから読み出した位相ずれ分
だけ位相角がずれるように移相器を制御する。Then, the phase shift controller reads the corresponding phase shift amount from the memory based on the input temperature, and shifts the reference signal output from the AC signal source so that the phase angle is shifted by the phase shift read from the memory. Control phase equipment.
これにより、移相器は、交流信号源の出力信号を温度の
変動によって位相かずれた分に応じて交流信号源の出力
信号の位相をずらして検波回路に送り、検波回路がこの
位相をずらせた信号によって、検出部の出力信号を検波
する。従って、温度変化に伴う検出部の出力信号の位相
ずれを補正することができ、温度変化によるドリフトを
除去して検出精度を向上することができる。しかも、本
発明は、温度検出用コイルを用いるのと異なり、二重の
信号処理回路を必要とせず、装置の簡素化が図れて、コ
ストを低減することができる。As a result, the phase shifter shifts the phase of the output signal of the AC signal source according to the phase shift caused by the temperature fluctuation and sends it to the detection circuit, and the detection circuit shifts this phase. The output signal of the detection section is detected using the detected signal. Therefore, it is possible to correct the phase shift of the output signal of the detection section due to temperature change, and it is possible to eliminate drift due to temperature change and improve detection accuracy. Moreover, unlike the case where a temperature detection coil is used, the present invention does not require a double signal processing circuit, and the device can be simplified and costs can be reduced.
（実施例〕
本発明に係る検出コイルの出力信号処理装置の好ましい
実施例を、添付図面に従って詳説する。(Embodiment) A preferred embodiment of the detection coil output signal processing device according to the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.
第１図は、本発明の実施例に係る検出コイルの出力信号
処理装置のブロック図である。FIG. 1 is a block diagram of a detection coil output signal processing device according to an embodiment of the present invention.
第１図において、出力信号処理装置１０に接続しである
検出部３０は、ブリッジ回路からなっている。このブリ
ッジ回路は、接続点ａ、Ｃ間と接読点ａ、ｄｆＦｉとに
検出コイルＬ３、Ｌｘが接続してあり、接続点ｃ、ｂと
接続点ｄ、ｂ間とに抵抗Ｒ，、Ｒ，が接続しである。In FIG. 1, a detection section 30 connected to the output signal processing device 10 is composed of a bridge circuit. In this bridge circuit, detection coils L3 and Lx are connected between connection points a and C and contact points a and dfFi, and resistors R, R, R, and R are connected between connection points c and b and connection points d and b. is connected.
検出コイルＬ、、Ｌ２は、例えば磁歪式のいわゆるブレ
スダクタ型荷重センサ３０の検出コイルであって、第２
図に示したように、薄板ケイ素鋼板の積層体３２の中央
部に設けた４つのコイル孔３４に巻いてあり、検出コイ
ルＬ１と検出コイルＬ、とが直交交差するように配置し
である。なお、第２図に示した矢印Ｆは、荷重センサ３
０に作用する荷重方向を示している。The detection coils L, L2 are, for example, detection coils of a magnetostrictive so-called breath-ductor type load sensor 30, and the second
As shown in the figure, the coils are wound around four coil holes 34 provided in the center of a laminate 32 of thin silicon steel plates, and the detection coil L1 and the detection coil L are arranged so as to intersect orthogonally. Note that the arrow F shown in FIG. 2 indicates the load sensor 3.
The direction of the load acting on zero is shown.
出力信号処理装置１０は、交流信号源としての発振器１
２と、この発振器１２の出力を増幅する出力増幅器１４
とを有し、出力増幅器１４の出力側がブリッジ回路の入
力側となっている接続点ａ、ｂに接続してあり、ブリッ
ジ回路に給電できるようにしである。また、出力信号処
理装置１０には、発振器１２の出力信号の位相を変える
移相器１６と、この移相器１６に移相制御信号を入力す
る移相制御器１８と、移相制御器１８に接続しであるメ
モリ２０とが設けであるとともに、ブリッジ回路の出力
側である接続点ｃ、ｄと移相器１６の出力側とに接続し
てあり、移相器１６の出力に基づいてブリッジ回路（検
出部３０）の出力″信号を位相検波する位相検波器２２
、位相検波器２２の出力信号から雑音を除去するフィル
タ２４、フィルタ２４を透過した信号を積分する積分器
２６、積分器２６の出力を増幅する増幅器２６を備えて
いる。そして、上記した移相制御器１８には、検出コイ
ルＬ、 、Ｌ２ と被検出部材との少なくとの一方の温
度を検出する温度センサ３６の検出信号が入力するよう
になっている。The output signal processing device 10 includes an oscillator 1 as an AC signal source.
2, and an output amplifier 14 that amplifies the output of this oscillator 12.
The output side of the output amplifier 14 is connected to connection points a and b, which are the input sides of the bridge circuit, so that power can be supplied to the bridge circuit. The output signal processing device 10 also includes a phase shifter 16 that changes the phase of the output signal of the oscillator 12, a phase shift controller 18 that inputs a phase shift control signal to the phase shifter 16, and a phase shift controller 18 that inputs a phase shift control signal to the phase shifter 16. The output side of the phase shifter 16 is connected to the connection points c and d, which are the output sides of the bridge circuit, and the output side of the phase shifter 16 is connected to the output side of the phase shifter 16. A phase detector 22 that detects the phase of the output signal of the bridge circuit (detection section 30)
, a filter 24 for removing noise from the output signal of the phase detector 22, an integrator 26 for integrating the signal transmitted through the filter 24, and an amplifier 26 for amplifying the output of the integrator 26. A detection signal from a temperature sensor 36 that detects the temperature of at least one of the detection coils L, L2 and the detected member is input to the phase shift controller 18 described above.
上記の如く構成した実施例の作用は、次のとおりである
。The operation of the embodiment configured as described above is as follows.
検出コイルＬｌ、Ｌｍを配置した周囲環境の温度や、例
えば第２図に示した荷重センサ３０を取り付けた被検出
部材の温度が変化すると、検出コイルし１、Ｌ２や積層
体３２の温度が変化する。When the temperature of the surrounding environment in which the detection coils Ll and Lm are arranged or the temperature of the detected member to which the load sensor 30 shown in FIG. do.
ところで、検出コイルＬ、 、Ｌ２の電磁気特性が全く
同じであり、かつ積層体３２が全体にわたって一様であ
れば、荷重センサに荷重か作用していない場合、周囲の
温度が変動しても検出部３０であるブリッジ回路の出力
端子となる接続点Ｃ１ｄは同電位であるはずである。と
ころが、一般に検出コイルＬ、、Ｌ２は、製作誤差や材
質のバラツキ等から電気磁気特性が異なり、また積層体
３２の電気磁気特性が部分的に異なっている。このため
、周囲温度等が変動り、被検出部材の温度が変化すると
、各検出コイルＬＬ、Ｌ２のインダクタンスが相違し、
回路ａ、ｃ、ｂと回路ａ、ｄ、ｂとでインピーダンスが
異なって、接続点ｃ、ｄ間の位相ずれを生ずる。従って
、例えば第２図の荷重センサ３０に荷重が作用していな
いにもかかわらず、温度が変化すると接点ｃ、ｄ間に電
圧が出力されてゼロ点が変動し、いわゆるドリフトを生
ずる。そこで、未実施例では、この温度の変化によるド
リフトを次のようにして補正している。By the way, if the electromagnetic characteristics of the detection coils L, , and L2 are exactly the same, and if the stacked body 32 is uniform throughout, the sensor will be able to detect even if the ambient temperature fluctuates when no load is acting on the load sensor. The connection point C1d, which is the output terminal of the bridge circuit 30, should be at the same potential. However, the detection coils L, L2 generally have different electromagnetic characteristics due to manufacturing errors, variations in materials, etc., and the electromagnetic characteristics of the laminate 32 also partially differ. Therefore, when the ambient temperature etc. fluctuates and the temperature of the detected member changes, the inductance of each detection coil LL, L2 will differ,
Impedances differ between circuits a, c, and b and circuits a, d, and b, resulting in a phase shift between connection points c and d. Therefore, even though no load is acting on the load sensor 30 in FIG. 2, for example, if the temperature changes, a voltage is output between the contacts c and d, causing the zero point to fluctuate, resulting in so-called drift. Therefore, in the unimplemented example, the drift due to this temperature change is corrected as follows.
まず、検出コイルＬｔ、Ｌｘまたは被検出部材の温度と
検出部３０の出力信号の位相ずれとの関係を予め求めて
おき、この関係をテーブルまたは関数等にしてメモリ２
０に格納しておく。また、荷重センサ３０にサーミスタ
等の温度センサ３６を装着し、荷重センサ３０の温度を
検出して、検出信号を移相制御器１８に入力する。First, the relationship between the temperature of the detection coils Lt, Lx or the detected member and the phase shift of the output signal of the detection unit 30 is determined in advance, and this relationship is stored in the memory 2 as a table or function.
Store it at 0. Further, a temperature sensor 36 such as a thermistor is attached to the load sensor 30 to detect the temperature of the load sensor 30 and input a detection signal to the phase shift controller 18 .
交流信号源である発振器１２は、駆動されて第３図（Ａ
）に示したような正弦波の基準信号を出力する。この発
振器１２の出力信号は、出力増幅器１４と移相器１６と
に入力される。The oscillator 12, which is an alternating current signal source, is driven as shown in FIG.
) Outputs a sine wave reference signal as shown in (). The output signal of this oscillator 12 is input to an output amplifier 14 and a phase shifter 16.
出力増幅器１４は、発振器１２の出力を増幅して検出部
３０であるブリッジ回路の入力端子となっている接続点
ａ、ｂに印加する。そして、ブリッジ回路の出力端子で
ある接続点ｃ、ｄからは、例えば第３図（Ｂ）に示した
ような、発振器１２の出力信号（基準信号）に対して９
０度位相の遅れた信号が出力される。この出力信号は、
例えば同図（Ｃ）に示したように、検出部３０の出力信
号に対して４５度位相が進んでいる（基準信号に対して
４５度位相が遅れている）荷重対応信号と、同図（Ｄ）
に示したように検出部３０の出力信号に対して４５度位
相が遅れている（基準信号に対して１３５３５度位相れ
ている）温度変動に基づく温度誤差信号からなっている
。The output amplifier 14 amplifies the output of the oscillator 12 and applies it to connection points a and b, which are input terminals of the bridge circuit that is the detection section 30. From the connection points c and d, which are the output terminals of the bridge circuit, the output signal (reference signal) of the oscillator 12, for example, as shown in FIG.
A signal with a phase delay of 0 degrees is output. This output signal is
For example, as shown in the same figure (C), the load corresponding signal whose phase is 45 degrees ahead of the output signal of the detection unit 30 (45 degrees phase delayed with respect to the reference signal) and the same figure (C) D)
As shown in FIG. 2, the signal is composed of a temperature error signal based on temperature fluctuations, which is delayed in phase by 45 degrees with respect to the output signal of the detection unit 30 (13535 degrees out of phase with respect to the reference signal).
一方、温度センサ３６は、荷重センサ３０の温度を検出
し、移相制御器１８に入力する。そして、移相制御器１
８は、温度センサ３６が検出した温度に基づいて、メモ
リ２０に格納しであるこの温度に対応した位相ずれ量を
読み出し、この位相ずれに応じて発振器１２の出力信号
を移相するよに移相器１６を制御する。On the other hand, the temperature sensor 36 detects the temperature of the load sensor 30 and inputs it to the phase shift controller 18 . And phase shift controller 1
8 reads out the phase shift amount corresponding to this temperature stored in the memory 20 based on the temperature detected by the temperature sensor 36, and shifts the output signal of the oscillator 12 in accordance with this phase shift. Controls phase box 16.
移相器１６は、移相制御器１８から側割信号を受け、発
振器１２から入力してくる信号の位相を遅らせ、第３図
（Ｅ）に示したような矩形波を出力する（もちろん、正
弦波として出力してもよしの。すなわち、移相器１６は
、基準信号に対して４５度位相が遅れており、温度誤差
信号のゼロクロスを中心とした矩形波を位相検波器２２
に送出する。そして、位相検波器２２は、移相器１６の
出力信号に基づいて検出部３０の出力信号を位相検波す
る。The phase shifter 16 receives the side division signal from the phase shift controller 18, delays the phase of the signal input from the oscillator 12, and outputs a rectangular wave as shown in FIG. It may be output as a sine wave.In other words, the phase shifter 16 is delayed by 45 degrees in phase with respect to the reference signal, and the phase detector 22 outputs a rectangular wave centered at the zero crossing of the temperature error signal.
Send to. Then, the phase detector 22 phase-detects the output signal of the detection section 30 based on the output signal of the phase shifter 16.
これにより、検出部３０が出力した信号中の荷重対応信
号は、第３図（Ｅ）のように位相検波器２２から出力さ
れる。一方、温度誤差信号は、移相器１６の出力信号と
位相がずれているため、第３図（Ｇ）のように位相検波
器２２から出力される。従って、位相検波器２２の出力
信号をフィルタ２４によってノイズを除去したのち、積
分器２６に入力すれば、積分器２６からは、温度誤差信
号の成分を除去した荷重対応信号のみが出力される。こ
の積分器２６の出力信号は、増幅器２８によって増幅さ
れ、出力される。Thereby, the load-corresponding signal in the signal output by the detection section 30 is output from the phase detector 22 as shown in FIG. 3(E). On the other hand, since the temperature error signal is out of phase with the output signal of the phase shifter 16, it is output from the phase detector 22 as shown in FIG. 3(G). Therefore, if the output signal of the phase detector 22 is inputted to the integrator 26 after noise is removed by the filter 24, only the load corresponding signal from which the temperature error signal component has been removed is outputted from the integrator 26. The output signal of this integrator 26 is amplified by an amplifier 28 and output.
このように、実施例においては温度の変動に基づく検出
信号の位相ずれに応じて、交流信号源である発振器１２
の出力信号の位相を移相器１６によってずらし、゛この
移相器１６の出力信号に基づいて位相検波器２２が検出
部３０の出力信号を位相検波するため、温度の変動によ
る誤差を除去または小さくすることができ、検出精度の
向上を図ることができる。In this way, in the embodiment, the oscillator 12, which is an AC signal source,
The phase of the output signal of the phase shifter 16 is shifted by the phase shifter 16, and the phase detector 22 detects the phase of the output signal of the detection unit 30 based on the output signal of the phase shifter 16. It can be made smaller and the detection accuracy can be improved.
なお、前記実施例においては、いわゆるブレスダクタ型
荷重センサ３０の検出コイルＬ、 、Ｌ２について場合
について説明したが、検出コイルはこれに限定されるの
ではなく、いわゆるマグネセル、トロイダル型マグネセ
ル、磁歪効果を利用した張力計、磁気スケールや位置検
出装置の検出コイル、さらにはロータリエンコーダや差
動トランス、渦流式探傷装置の検出コイル等の検出信号
に対しても適用することができる。In the above embodiment, the detection coils L, , L2 of the so-called breath ductor type load sensor 30 have been described, but the detection coil is not limited to this, but may include a so-called magnet cell, a toroidal magnet cell, a magnetostrictive effect. It can also be applied to detection signals from the tension meter, magnetic scale, and detection coil of a position detection device, as well as from a rotary encoder, differential transformer, and detection coil of an eddy current flaw detection device.
また、前記実施例においてな、移相器１６の出力信号の
パルス幅が発振器１２の出力信号の半周期に等しい場合
について説明したが、このパルス幅は温度誤差信号のゼ
ロクロスを中心とした任意の幅に設定することができる
。さらに、前記実施例においては、検出部３０の出力信
号を位相検波器２２に直接入力する場合について説明し
たが、検出部３０の出力信号に対して位相調整、ノイズ
対策、ゲイン調整をしたのち、位相検波器２２に入力す
るようにしてもよい。Furthermore, in the above embodiment, the case where the pulse width of the output signal of the phase shifter 16 is equal to half the period of the output signal of the oscillator 12 has been described, but this pulse width can be any arbitrary value centered on the zero crossing of the temperature error signal. Can be set to width. Furthermore, in the embodiment described above, the case where the output signal of the detection section 30 is directly input to the phase detector 22 has been described, but after performing phase adjustment, noise countermeasures, and gain adjustment on the output signal of the detection section 30, It may also be input to the phase detector 22.
なお、第４図のように、発振器１２の出力信号を位相分
割器４０に入力し、位相分割器４０によって例えば発振
器１２の出力信号と同相の００信号と、発振器１２の出
力信号と位相が９０度ずれた９０°信号とを出力し、こ
れらをそれぞれ検出部３０の出力信号が入力する位相検
波器２２ａ、２２ｂに入力し、位相検波器２２ａ、２２
ｂによって位相検波したのち、各位相検波器の出力信号
を位相回転器４２に入力して、位相回転させて荷重対応
信号だけを取り出すようにしてもよい。As shown in FIG. 4, the output signal of the oscillator 12 is input to the phase divider 40, and the phase divider 40 divides the output signal of the oscillator 12 into, for example, a 00 signal that is in phase with the output signal of the oscillator 12, and a signal that is 90 degrees in phase with the output signal of the oscillator 12. A 90° signal shifted by 90 degrees is output, and these are input to phase detectors 22a and 22b into which the output signal of the detection unit 30 is input, respectively.
After phase detection is performed using b, the output signals of each phase detector may be input to the phase rotator 42 to rotate the phase and extract only the load-corresponding signal.
以上に説明したように、本発明によれば、検出コイルと
被検出部材との少なくとのいずれか一方の温度と検出部
の出力信号の位相ずれとの関係を求め、メモリに格納し
ておき、移相制例器が入力してきた温度に基づいて、メ
モリから対応する位相ずれ量を読み出し、交流信号源が
出力した基準信号が、メモリから読み出した位相ずれに
応じた分たけ位相角がずれるように移相器を制御し、交
流信号源の出力信号を温度の変動によって位相がずれた
分に応じて移相をずらして検波回路に送り、位相検波器
がこの移相をずらせた信号によって、検出部の出力信号
を検波する。従って、温度変化に伴う検出部の出力信号
の位相ずれを補正することができ、温度変化によるドリ
フトを除去して検出精度を向上することができる。もち
ろん、温度変化の小さいとき（または問題にならないと
き）には、メモリを使わず、ある一定値だけ位相を常に
ずらして検波してもよい。そして、本発明は、温度検出
用コイルを用いるのと異なり、信号処理回路を二重に設
ける必要がなく、装置の簡素化が図れて、コストを低減
することができる。As described above, according to the present invention, the relationship between the temperature of at least one of the detection coil and the detected member and the phase shift of the output signal of the detection section is determined and stored in the memory. Based on the temperature input by the phase shift limiter, the corresponding amount of phase shift is read out from the memory, and the phase angle of the reference signal output by the AC signal source is shifted by an amount corresponding to the phase shift read out from the memory. The phase shifter is controlled in such a way that the output signal of the AC signal source is shifted in phase according to the amount of phase shift caused by temperature fluctuations, and sent to the detection circuit. , detects the output signal of the detection section. Therefore, it is possible to correct the phase shift of the output signal of the detection section due to temperature change, and it is possible to eliminate drift due to temperature change and improve detection accuracy. Of course, when the temperature change is small (or when it is not a problem), detection may be performed without using memory and by always shifting the phase by a certain value. Further, unlike the case where a temperature detection coil is used, the present invention does not require the provision of duplicate signal processing circuits, and the device can be simplified and costs can be reduced.
第１図は本発明の実施例に係る検出コイルの出力信号処
理装置のブロック図、第２図は検出コイルの一例を示す
斜視図であって、ブレスダクタ型荷重センサの斜視図、
第３図は実施例の作用を説明するタイムチャート、第４
図は本発明の他の実施例を示すブロック図である。
１０−一−−−出力信号処理装置、１２− 交流信号源
（発振器）、１６− 移相器、１８ 移相制御器、２
０−・−メモリ、２２〜〜−位相検波器、３０〜・−検
出部、Ｌ 、 、Ｌ 、 −一検出コイル。
第２図
ｎ
第４図
″ＩＯ
第３図FIG. 1 is a block diagram of a detection coil output signal processing device according to an embodiment of the present invention, and FIG. 2 is a perspective view showing an example of the detection coil, and a perspective view of a breath duct type load sensor.
Fig. 3 is a time chart explaining the operation of the embodiment;
The figure is a block diagram showing another embodiment of the present invention. 10-1---Output signal processing device, 12- AC signal source (oscillator), 16- Phase shifter, 18 Phase shift controller, 2
0--memory, 22--phase detector, 30--detecting section, L, , L, -1 detection coil. Figure 2n Figure 4''IO Figure 3
Claims (2)
出コイルに基準信号を与える交流信号源と、この交流信
号源の出力信号を受け、所定の角度だけ位相をずらして
出力する移相器と、前記検出部の出力信号が入力すると
ともに、前記移相器の出力を受けて、前記検出部の出力
信号を移相検波する位相検波器とを有することを特徴と
する検出コイルの出力信号処理装置。(1) An AC signal source that provides a reference signal to the detection coil of the detection unit that detects electromagnetic changes in the detected member, and a phase shifter that receives the output signal of this AC signal source, shifts the phase by a predetermined angle, and outputs it. and a phase detector to which the output signal of the detection section is input, and which receives the output of the phase shifter and performs phase shift detection of the output signal of the detection section. Signal processing device.
出コイルに基準信号を与える交流信号源と、この交流信
号源の出力信号を受け、所定の角度だけ位相をずらして
出力する移相器と、前記検出部の出力信号が入力すると
ともに、前記移相器の出力を受けて、前記検出部の出力
信号を移相検波する位相検波器と、前記検出コイルと前
記被検出部材との少なくとのいずれか一方の温度と前記
検出部の出力信号の位相ずれとの関係を示すデータを格
納したメモリと、検出された前記温度に対応した前記メ
モリ内のデータを読み出し、前記移相器の移相量を制御
する移相制御器とを有することを特徴とする検出コイル
の出力信号処理装置。(2) An AC signal source that provides a reference signal to the detection coil of the detection unit that detects electromagnetic changes in the detected member, and a phase shifter that receives the output signal of this AC signal source, shifts the phase by a predetermined angle, and outputs it. a phase detector which receives the output signal of the detection section and receives the output of the phase shifter and performs phase shift detection of the output signal of the detection section; the detection coil and the detected member; a memory storing data indicating a relationship between at least one of the temperatures and a phase shift of the output signal of the detection section; reading data in the memory corresponding to the detected temperature; 1. A detection coil output signal processing device, comprising: a phase shift controller for controlling a phase shift amount of the detection coil.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2339129A JP2533409B2 (en) | 1990-11-30 | 1990-11-30 | Output signal processing device of detection coil |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2339129A JP2533409B2 (en) | 1990-11-30 | 1990-11-30 | Output signal processing device of detection coil |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04204319A true JPH04204319A (en) | 1992-07-24 |
| JP2533409B2 JP2533409B2 (en) | 1996-09-11 |
Family
ID=18324522
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2339129A Expired - Lifetime JP2533409B2 (en) | 1990-11-30 | 1990-11-30 | Output signal processing device of detection coil |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2533409B2 (en) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5889406A (en) * | 1997-04-18 | 1999-03-30 | Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha | Inductance-change detection apparatus |
| JP2006317194A (en) * | 2005-05-10 | 2006-11-24 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | Multi-sensor signal abnormality detection apparatus and method |
| JP2007199060A (en) * | 2006-01-19 | 2007-08-09 | General Electric Co <Ge> | Proximity probe and system for controlling the temperature stability of an inductor |
| JP2008157907A (en) * | 2006-11-27 | 2008-07-10 | Toyota Motor Corp | Hardening pattern inspection method and inspection apparatus |
| JP2011202978A (en) * | 2010-03-24 | 2011-10-13 | Ihi Corp | Method and device for correcting temperature drift of sensor detection signal |
| JP2016075484A (en) * | 2014-10-02 | 2016-05-12 | アンリツインフィビス株式会社 | Metal detector |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6454281A (en) * | 1987-08-25 | 1989-03-01 | Anritsu Corp | Metal detecting apparatus |
-
1990
- 1990-11-30 JP JP2339129A patent/JP2533409B2/en not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6454281A (en) * | 1987-08-25 | 1989-03-01 | Anritsu Corp | Metal detecting apparatus |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5889406A (en) * | 1997-04-18 | 1999-03-30 | Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha | Inductance-change detection apparatus |
| JP2006317194A (en) * | 2005-05-10 | 2006-11-24 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | Multi-sensor signal abnormality detection apparatus and method |
| JP2007199060A (en) * | 2006-01-19 | 2007-08-09 | General Electric Co <Ge> | Proximity probe and system for controlling the temperature stability of an inductor |
| JP2008157907A (en) * | 2006-11-27 | 2008-07-10 | Toyota Motor Corp | Hardening pattern inspection method and inspection apparatus |
| JP2011202978A (en) * | 2010-03-24 | 2011-10-13 | Ihi Corp | Method and device for correcting temperature drift of sensor detection signal |
| JP2016075484A (en) * | 2014-10-02 | 2016-05-12 | アンリツインフィビス株式会社 | Metal detector |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2533409B2 (en) | 1996-09-11 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP4047400B2 (en) | Magnetic field sensor with Hall effect device | |
| EP0708912B1 (en) | Methods and apparatus for determining a displacement of an object | |
| US4646014A (en) | Hall effect field sensor circuit with temperature compensation using OP amplifier | |
| US5124648A (en) | Single winding saturable core magnetometer with field nulling | |
| US5522269A (en) | Apparatus and method for transducing torque applied to a magnetostrictive shaft while minimizing temperature induced variations | |
| US4599560A (en) | AC excited transducer having stabilized phase sensitive demodulator circuit | |
| JP2004537735A (en) | Detection device | |
| JPS5910814A (en) | Level sensor for toner | |
| US4305035A (en) | Magnetic field amplitude detection sensor apparatus | |
| JPH04204319A (en) | Detection coil output signal processing device | |
| US5412998A (en) | Torque measuring system | |
| JPH03239965A (en) | Current detector | |
| US4461987A (en) | Current sensing circuit for motor controls | |
| US3882731A (en) | Torquer scale factor temperature correction means | |
| JPH06229852A (en) | Force detector | |
| JP2842466B2 (en) | Torque measuring device | |
| JPH0321047B2 (en) | ||
| JP2633125B2 (en) | Compensation device for temperature characteristics of torque sensor | |
| JPH03222600A (en) | Voice coil temperature rise measuring device | |
| JPH09232647A (en) | Hall element drive circuit | |
| JP2710549B2 (en) | Gap tracking type magnetic length measuring device | |
| JPS59197874A (en) | Three axes system magnetic detector | |
| JPS61167828A (en) | Induction motor torque detection method | |
| JPH0677558A (en) | Magnetic sensor | |
| JPS59141058A (en) | Magnetic detector |