JPH04205916A - 磁気記録媒体 - Google Patents
磁気記録媒体Info
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- JPH04205916A JPH04205916A JP2336119A JP33611990A JPH04205916A JP H04205916 A JPH04205916 A JP H04205916A JP 2336119 A JP2336119 A JP 2336119A JP 33611990 A JP33611990 A JP 33611990A JP H04205916 A JPH04205916 A JP H04205916A
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- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
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- Y10T428/265—1 mil or less
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- Ceramic Engineering (AREA)
- Inorganic Chemistry (AREA)
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は磁気ディスク等の磁気記録媒体に関する。
一般に、薄膜タイプの磁気ディスクは、基板としてＡＪ
（アルミニウム）ベースの上にＮｉＰをポリッシュした
ものが用いられる。かかる基板を使用した磁気ディスク
の磁気異方性をヘッド走行方向である円周方向に持たせ
るための手段として、基板表面にテクスチュアリング（
Ｔｅｘｔｕｒｉｎｇ；研磨テープで円周方向に微細な傷
を付けること）処理を施す方法がある。テクスチュアリ
ング（テクスチャー）処理された基板上にＣｒ（クロム
）膜を成膜し、続いてＣｏ（コバルト）合金膜を成膜し
て磁気記録媒体を得る。製品として使用するには、更に
潤滑層としてカーボン膜を設けてその上に潤滑膜を形成
する必要がある。
（アルミニウム）ベースの上にＮｉＰをポリッシュした
ものが用いられる。かかる基板を使用した磁気ディスク
の磁気異方性をヘッド走行方向である円周方向に持たせ
るための手段として、基板表面にテクスチュアリング（
Ｔｅｘｔｕｒｉｎｇ；研磨テープで円周方向に微細な傷
を付けること）処理を施す方法がある。テクスチュアリ
ング（テクスチャー）処理された基板上にＣｒ（クロム
）膜を成膜し、続いてＣｏ（コバルト）合金膜を成膜し
て磁気記録媒体を得る。製品として使用するには、更に
潤滑層としてカーボン膜を設けてその上に潤滑膜を形成
する必要がある。
最近、磁気記録における高密度化が進むことにより、そ
の対応として、狭トラック化、狭ギャップ化、ヘッドの
低浮上化等が進められているが、これらは磁気ディスク
の磁気特性や機械特性の影響、制限を受ける。そのため
、磁気ディスクにおいては円周配向性の向上や、高Ｈｃ
（保磁力）化が進められている。更に、低浮上化の対策
として、微小突起物の無い平滑表面の確保が必要とされ
る。
の対応として、狭トラック化、狭ギャップ化、ヘッドの
低浮上化等が進められているが、これらは磁気ディスク
の磁気特性や機械特性の影響、制限を受ける。そのため
、磁気ディスクにおいては円周配向性の向上や、高Ｈｃ
（保磁力）化が進められている。更に、低浮上化の対策
として、微小突起物の無い平滑表面の確保が必要とされ
る。
このような背景下で注目され始めたのが平滑ベースであ
るガラス基板である。そこでガラス基板を用いて、従来
のＮ ｉ Ｐ／ＡＪ基板で得られていた磁気特性を確保
できれば、前途有望な高密度磁気記録媒体が得られるは
ずである。
るガラス基板である。そこでガラス基板を用いて、従来
のＮ ｉ Ｐ／ＡＪ基板で得られていた磁気特性を確保
できれば、前途有望な高密度磁気記録媒体が得られるは
ずである。
ところが、ガラス基板に従来同様のテクスチャー処理を
施してＣｒ、Ｃｏ合金を成膜しても、磁気異方性は面内
において等友釣である。これは、ガラス基板にテクスチ
ャー処理をしてもしなくても同様な結果であり、テクス
チャー処理した効果が無かつな、このように磁気異方性
が無いため、上記従来のＮｉＰテクスチュアリング／Ａ
Ｊ基板に比べて、同じスパッタリング条件下ではＨａの
値は低くなってしまうという欠点があった。
施してＣｒ、Ｃｏ合金を成膜しても、磁気異方性は面内
において等友釣である。これは、ガラス基板にテクスチ
ャー処理をしてもしなくても同様な結果であり、テクス
チャー処理した効果が無かつな、このように磁気異方性
が無いため、上記従来のＮｉＰテクスチュアリング／Ａ
Ｊ基板に比べて、同じスパッタリング条件下ではＨａの
値は低くなってしまうという欠点があった。
本発明は、円周方向にテクスチャー処理を施したガラス
基板上にプリコート層を形成し、このプリコート層の上
にＣｒ膜及びＣｏ合金膜を順次成膜することにより、磁
化容易軸が媒体の円周方向となるよう形成した磁気記録
媒体を提供することにより上記課題を解決した。
基板上にプリコート層を形成し、このプリコート層の上
にＣｒ膜及びＣｏ合金膜を順次成膜することにより、磁
化容易軸が媒体の円周方向となるよう形成した磁気記録
媒体を提供することにより上記課題を解決した。
課題解決のために、種々の方法を調査、検討した結果、
本出願人は、ガラス基板にテクスチュアリング処理した
基板を用い、この基板で磁気異方性を円周方向に着ける
ための新規な方法を見出した。その方法とは、ガラスに
テクスチャー処理を施した基板に、００合金膜の下地層
であるＣｒを成膜せず、プリコート層を設けたことが最
大の特徴である。以下、具体例をいくつかあげ乍ら説明
する。
本出願人は、ガラス基板にテクスチュアリング処理した
基板を用い、この基板で磁気異方性を円周方向に着ける
ための新規な方法を見出した。その方法とは、ガラスに
テクスチャー処理を施した基板に、００合金膜の下地層
であるＣｒを成膜せず、プリコート層を設けたことが最
大の特徴である。以下、具体例をいくつかあげ乍ら説明
する。
〈実施例１〉
ガラス基板を研磨テープにて、Ｒａ（表面粗さ）＝２０
人となるようにテクスチャー処理をする。これを基板と
し、直流マグネトロンスパッタ装置によりＮｉＰ膜を６
０人成膜する。この時の基板温度は２００℃、スパッタ
ガス圧は０．４５ｍ Ｔｏｒｒである。
人となるようにテクスチャー処理をする。これを基板と
し、直流マグネトロンスパッタ装置によりＮｉＰ膜を６
０人成膜する。この時の基板温度は２００℃、スパッタ
ガス圧は０．４５ｍ Ｔｏｒｒである。
続いてＣｒを５００人、更にＣｏＣｒ１．．５Ｔａ４合
金膜を５００人成膜して磁気記録媒体（以下単に１媒体
、とも記す）とする。
金膜を５００人成膜して磁気記録媒体（以下単に１媒体
、とも記す）とする。
〈実施例２〉
実施例１におけるＮ ｉ Ｐ膜を５００人にする以外は
、実権例１と同様にして媒体を得る。
、実権例１と同様にして媒体を得る。
〈実施例３〉
実施例１におけるＮｉＰ膜をＶ膜に変える以外は、実施
例１と同様にして媒体を得る。
例１と同様にして媒体を得る。
〈実施例４〉
実施例１において、ＮｉＰ膜を６０人のカーボン膜に変
える以外は、実施例１と同様にして媒体を得る。
える以外は、実施例１と同様にして媒体を得る。
〈実施例５〉
実施例１において、ＮｉＰ膜を２００人のＴｉ膜に変え
る以外は、実施例１と同様にして媒体を得る。
る以外は、実施例１と同様にして媒体を得る。
〈実施例６〉
実施例１において、ＮｉＰ膜を６０人成膜した後、バイ
アス電圧−３００Ｖｆ’Ｃｒ ＷＭをＳＯＯ人形酸形成
続いてＣｏＣｒ＋＋ＴａａＰｔｔ合金膜を５００人成膜
して媒体を得る。
アス電圧−３００Ｖｆ’Ｃｒ ＷＭをＳＯＯ人形酸形成
続いてＣｏＣｒ＋＋ＴａａＰｔｔ合金膜を５００人成膜
して媒体を得る。
く比較例〉
実権例１においてＮｉＰを成膜せずに、Ｃｒ膜。
Ｃｏ Ｃｒ Ｔ ａ合金膜を成膜し、その他は実施例１
同様に媒体を得る。
同様に媒体を得る。
く結 果〉
以上の方法で作成した実施例１〜６及び比較例の各媒体
の磁気特性を第１表に示す。なお、Ｒｓは角型比、Ｓ市
は保磁力角型比であり、Ｈｃの単位は〔Ｏｅ〕である。
の磁気特性を第１表に示す。なお、Ｒｓは角型比、Ｓ市
は保磁力角型比であり、Ｈｃの単位は〔Ｏｅ〕である。
また、各媒体例の数値は夫々、上段■が円周方向に磁界
を印加して測定した値であり、下段■が半径方向に磁界
を印加して測定した値である。
を印加して測定した値であり、下段■が半径方向に磁界
を印加して測定した値である。
この第１表から明らかなように、ＮｉＰ等を成膜してプ
リコート層を設けた媒体は円周配向し、プリコート層の
無いものには、異方性が生じないことが判る。また、円
周配向した結果、Ｒｓの向上＜０．７２→０．８０〜０
．８５ ）も見られ、Ｈｃについても約１３００［０８
１以上のものが得られる。これは高密度磁気記録媒体と
して十分使用できる値と言える。
リコート層を設けた媒体は円周配向し、プリコート層の
無いものには、異方性が生じないことが判る。また、円
周配向した結果、Ｒｓの向上＜０．７２→０．８０〜０
．８５ ）も見られ、Ｈｃについても約１３００［０８
１以上のものが得られる。これは高密度磁気記録媒体と
して十分使用できる値と言える。
なお、従来のＮＬＰテクスユアリング／／ｌ基板を用い
て作った磁気記録媒体の磁気特性は、夫々Ｒｓ ＝０．
８２． Ｈｃ ＝ １３００． Ｓ市＝０．８５である
ので、これらの諸特性については本発明の媒体は従来の
ものに比べて何ら遜色が無いことが分る。
て作った磁気記録媒体の磁気特性は、夫々Ｒｓ ＝０．
８２． Ｈｃ ＝ １３００． Ｓ市＝０．８５である
ので、これらの諸特性については本発明の媒体は従来の
ものに比べて何ら遜色が無いことが分る。
（第 １ 表 ）
以上の説明において、プリコート層としては、上記実施
例に限定されるものではなく、たとえばＭｏ（モリブデ
ン）、Ｗ（タングステン）、Ｚｒ（ジルコニウム）、Ｗ
Ｃ等、Ｃｒの結晶成長を妨げる金属７合金なら何でも良
い。また、表面粗さＲａを１０〜１００人程度となるよ
うにテクスチャー処理したガラス基板を使用して媒体を
作った場合でも、上記と同様の傾向が得られたので、実
用的なＲａの値であり、テクスチャー処理されたガラス
基板であれば良いと言える。更に又、下地層は例えばＷ
やＶ（バナジウム）等ｂｃｃ （体心立方結晶）金属で
Ｃｒに近い面間隔を持つものであれば良く、Ｃｏ合金と
しては、ＣｏＮｉ、ＣｏＮｉＣｒ、Ｃｏ Ｃｒ Ｐ ｔ
、 Ｃｏ Ｃｒ Ｔ ａ 、又はＣｏＣｒＴａＰｔ等
、Ｃｏのｈｃｐ（六方晶）構造を破壊しない程度に合金
化されているものであれば、上記実施例に限定されるも
のではない。
例に限定されるものではなく、たとえばＭｏ（モリブデ
ン）、Ｗ（タングステン）、Ｚｒ（ジルコニウム）、Ｗ
Ｃ等、Ｃｒの結晶成長を妨げる金属７合金なら何でも良
い。また、表面粗さＲａを１０〜１００人程度となるよ
うにテクスチャー処理したガラス基板を使用して媒体を
作った場合でも、上記と同様の傾向が得られたので、実
用的なＲａの値であり、テクスチャー処理されたガラス
基板であれば良いと言える。更に又、下地層は例えばＷ
やＶ（バナジウム）等ｂｃｃ （体心立方結晶）金属で
Ｃｒに近い面間隔を持つものであれば良く、Ｃｏ合金と
しては、ＣｏＮｉ、ＣｏＮｉＣｒ、Ｃｏ Ｃｒ Ｐ ｔ
、 Ｃｏ Ｃｒ Ｔ ａ 、又はＣｏＣｒＴａＰｔ等
、Ｃｏのｈｃｐ（六方晶）構造を破壊しない程度に合金
化されているものであれば、上記実施例に限定されるも
のではない。
叙上の如く、本発明の磁気記録媒体によれば、ガラス基
板にプリコート層を形成しているので、テクスチュアリ
ングを施したガラス基板においても円周配向したものか
得られ、従来例に比較して角型比か向上する。また、ガ
ラス基板はＮｉＰ／ＡＪ基板に比べて表面性が優れてい
るので低浮上化にも有利であり、高密度化にも貢献し得
るという優れた特長を有する。
板にプリコート層を形成しているので、テクスチュアリ
ングを施したガラス基板においても円周配向したものか
得られ、従来例に比較して角型比か向上する。また、ガ
ラス基板はＮｉＰ／ＡＪ基板に比べて表面性が優れてい
るので低浮上化にも有利であり、高密度化にも貢献し得
るという優れた特長を有する。
特許出願人 日本ビクター株式会社
Claims (2)
- （１）円周方向にテクスチャー処理を施したガラス基板
上にプリコート層を形成し、該プリコート層の上にＣｒ
膜及びＣｏ合金膜を順次成膜することにより、磁化容易
軸が媒体の円周方向となるよう形成したことを特徴とす
る磁気記録媒体。 - （２）ガラス基板上に形成されるプリコート層の素材と
して、Ｚｒ、Ｗ、Ｖ、Ｔｉ、Ｍｏ、ＮｉＰ、ＷＣ又はＣ
のうちいずれかを用いたことを特徴とする、請求項１記
載の磁気記録媒体。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2336119A JPH04205916A (ja) | 1990-11-30 | 1990-11-30 | 磁気記録媒体 |
| US08/272,657 US5496606A (en) | 1990-11-30 | 1994-07-11 | Magnetic recording medium |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2336119A JPH04205916A (ja) | 1990-11-30 | 1990-11-30 | 磁気記録媒体 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04205916A true JPH04205916A (ja) | 1992-07-28 |
Family
ID=18295891
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2336119A Pending JPH04205916A (ja) | 1990-11-30 | 1990-11-30 | 磁気記録媒体 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5496606A (ja) |
| JP (1) | JPH04205916A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0853528A4 (en) * | 1995-08-22 | 2002-01-30 | Seagate Technology Llc | SURFACE TREATMENT BY LASER RADIATION OF RECEIVING CARRIERS |
| US7550211B2 (en) | 2004-08-16 | 2009-06-23 | Showa Denko K.K. | Magnetic recording medium and magnetic recording and reproducing device |
Families Citing this family (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6218033B1 (en) | 1996-02-26 | 2001-04-17 | Akashic Memories Corporation | Magnetic recording media having CrTiX underlayers to reduce circumferential/radial anisotropy and methods for their production |
| WO1997030840A1 (en) * | 1996-02-26 | 1997-08-28 | Akashic Memories Corporation | MAGNETIC RECORDING MEDIA HAVING CrTiX UNDERLAYERS TO REDUCE CIRCUMFERENTIAL/RADIAL ANISOTROPY AND METHODS FOR THEIR PRODUCTION |
| JP3045068B2 (ja) * | 1996-03-21 | 2000-05-22 | 富士電機株式会社 | 磁気記録媒体及びその製造方法 |
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