JPH04206431A - 質量分析計イオン源装置 - Google Patents

質量分析計イオン源装置

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JPH04206431A JP2338668A JP33866890A JPH04206431A JP H04206431 A JPH04206431 A JP H04206431A JP 2338668 A JP2338668 A JP 2338668A JP 33866890 A JP33866890 A JP 33866890A JP H04206431 A JPH04206431 A JP H04206431A
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本発明はガス状試料を導入してイオン化する質量分析計
の試料イオン化部に関する。
（従来の技術） ガスクロマトグラフと接続される質量分析計における試
料イオン化部は従来第３図に示すような構造になってい
た０図で１がイオン化室の箱体、２はイオン引き出し電
極、３はイオンレンズ系で、４は四重種型質量分析部の
四重極電極である。
イオン化室には試料導口１ｈを通して図の紙面に垂直方
向に試料ガスが導入される。１子はイオン化室の箱体１
の外に配置されたフィラメントで箱体１の電子入射孔１
ｅよりイオン化室内に電子を入射させ、イオン化室内の
試料分子をイオン化させる。ＩＩ：は電子トラップでイ
オン化室内を貫通した電子を捕捉する。第４図は第３図
の装置の背面図でイオン化室の箱体１にはヒータ５が埋
設されてイオン化室内に導入された試料ガスを所定温◇
、 度に保よつにしである。６はクロマトグラフのカラムで
、インターフェースブロック７を介してイオン化室箱１
に接続される。インターフェースブロック７は質量分析
計の外壁８に取り付けられた金属ブロックで、内部をク
ロマトグラフカラムと連通ずる導通孔７ｈが貫通してお
り、ヒータ９が埋設されている。１０は温度センサでイ
ンターフェースブロック７を所定温度に保ための制御信
号を出力している。イオン化室箱１は接地電位にある質
量分析部にイオンを打ち込むため、接地電位と異なる電
位が与えである。このためイオン化室箱１とインターフ
ェースブロック７との間は電気的に絶縁してガスの導通
を行う必要がある。このためインターフェースブロック
７とイオン化室箱１との間には貫通孔を有する絶縁体１
１を介在させである。
上述した従来の質量分析計イオン源装置には次のような
問題があった。イオン化室内面には試料分子が付着し、
質量スペクトルにゴーストを現すので、イオン化室箱１
は時々洗滌する必要がある。この場合、イオン化室箱１
はイオンレンズ系３とボルト３ｂによって一体化されて
いるので、イオン化室箱１を取り外すときはレンズ系３
も分解されてしまい、イオン化室洗滌後の再組み立てが
大変面倒である。またイオン化室箱１もインターフェー
スブロックも同じ温度に保たれていることが望ましいが
、両者間には電気的絶縁体１１が介在しており、電気的
絶縁体は熱伝導率も低いので、インターフェースブロッ
ク７からの伝熱によってイオン化室箱１を加熱すること
ができず、インターフェースブロックとイオン化室箱の
両方に別々にヒータを設ける必要があり、両者を同温に
保つことが困難であると共に、この点もイオン化室洗滌
時の分解組み立てを面倒なものにしている。
（発明が解決しようとする課題） 本発明は従来の質量分析計のイオン源部の洗滌、加熱に
関する上述したような開題点を解消しようとするもので
ある。
（課題を解決するための手段） イオン化室箱をイオンレンズ系と分離し、インターフェ
ースブロックにイオン化室箱を当接させ、て両者を直接
係合結合し、インターフェースブロック内に埋設された
ヒータにより、インターフェースブロックとイオン化室
箱とを加熱するようにした。
（作用） イオン化室箱がイオンレンズ系と分離されて、インター
フェースブロックと直接結合されているので、イオン化
室箱はレンズ系を分解することなく取り外すことができ
て、洗滌作業のためのイオン化室箱の取り外し、取り付
けの作業が簡単になる。またインターフェースブロック
とイオン化室箱とが直接結合されて間に絶縁体が介在さ
せてないので、両者間の熱伝導が良好であり、インター
フェースブロック内のヒータだけで両者を加熱すること
が可能となり、温度制御が簡単で、両者の温度が均一化
される。
（実施例） 第１図および第２図に本発明の一実施例を示す、第１図
において、１はイオン化室箱である。この実施例のイオ
ン源装置は電子衝撃イオン化法による装置で、フィラメ
ント１ｆより放出される電子を電子入射孔１ｅよりイオ
ン化室に打ち込み、試料導入口１ｈより導入される試料
分子をイオン化させる。Ｉｔは電子トラップである。イ
オン化室はイオン化室箱１とイオン号１き出し電極２と
で囲まれた空間であって、イオン引き出し電極２はイオ
ンレンズ系３に組み込まれており′、イオン化室箱１は
イオンレンズ系３と分離させである。イオンレンズ系は
イオン引き出しｔ８ｉ！ホルダ２Ｈおよび複数のレンズ
電極３１，３２．３３等を絶縁スペーサを介してボルト
３ｂで一体的に締結したものである。４は四重種型質量
分析部の四重極型電極である。
第２図において、７はインターフェースブロックで、イ
オン化室とクロマトグラフのカラムとを接続する部分で
ある。インターフェースブロック７は質量分析計の外壁
８の側面の開口を閉じるように取り付けねじ１２によっ
て取り付けられている。インターフェースブロックは中
心線上を試料導通孔７ｈが貫通しており、この貫通孔７
ｈにクロマトグラフカラム６が接続される。インターフ
ェースブロック７の質量分析計内側端面中央には突出部
１ｐが形成してあり、貫通孔７ｈが貫通している。イオ
ン化室箱１の一側面は試料導入口１ｈの肩囲が凹所にな
っていて、インターフェースブロックの突出部７ｐが挿
入嵌合されて１両者が結合されている。この嵌合結合だ
けで゛はイオン化空箱１は試料導入口を軸に回転してα
１が決まらないので、インターフェースブロックには７
ｐと並べてもう一つの突出部７２′が設けてあり、イオ
ン化室箱１はこの二つの突出部と嵌合して位置決めされ
ている。第１図で点線で示された小円７９′がこの突出
部である。１３はイオン化室箱１の一側面をインターフ
ェースプロ・ンク７の内側端面に圧接させるための押し
棒で、先端部には熱絶縁部１３ａが取り付けてあり、つ
まみ部内面のねじ１３ｂによってイオン化室Ｎ１を第２
図で左方に押圧する。
インターフェースブロック７において、９は埋設された
ヒータ、１０は温度制御部のための温度センサで、７ｍ
は断熱材である。イオン化室箱１にはヒータは設けてな
く、インターフェースブロック７と直接圧接されている
ことにより、ヒータ９からの熱伝導によって加温され、
従って、ヒータも温度センサも一組でよい、インターフ
ェースブロック７およびイオン加空箱１は共にステンレ
スで作られている。
イオン化室内の洗滌は、第１．第２図において、質量分
析計の外壁８の後１ｉ８ａを開き、押し棒１３を後方に
引き戻して、手作業で第２図でイオン化室箱１を右へ動
かしてインターフェースブロック７の突出部７ｐ、７ｐ
′との嵌合を抜き、その後開放された質量分析計外壁の
外へ出して行う。このときイオン化室を構成するイオン
引き出し電極２はイオンレンズ系３の方に残っている。
この実施例ではイオン引き出し電極２はイオンレンズ系
３の第１図で一番左のイオン引き出し電極ホルダ２ｈに
嵌合保持させてあって、イオン化室箱１とは別に質量分
析計外壁８の外に取り出すようにしである。
−本発明においては、イオン化室箱１とインターフェー
スブロック７とは熱的に一体化するため直接圧接させて
あり、インターフェースプロ・ンク７はクロマトグラフ
カラムと接続されるため、質量分析計外壁８と同じ接地
電位にしであるので、イオン化室箱１も接地電位になっ
ている。このためイオンを質量分析部に打ち込むための
加速電圧をイオン化室箱１と四重極電極との間に与える
ため四重極電極全体に直流バイアス電位を与え、その電
位を中心に四重極電極間の直流および高周波の電圧を印
加するようにしである。
（発明の効果） 本発明によれば、イオン化室の洗滌がイオンレンズ系を
分解することなしにイオン化室だけを取り出して行える
ので、作業が簡単であり、インターフェースブロックと
イオン化室箱とが直接接触させであるので、インターフ
ェース、ブロックに埋設し°ζあるヒータにより、イオ
ン化室の加熱も伝熱によって行われ、イオン化室に別の
ヒータ、温度制御のためのセンサが必要でないので、熱
的均一性が向上し、部品点数も少なくなって、安価にで
きると共にヒータとか温度制御系の故障の率が低下し、
インターフェースブロックのみにヒータがあるので、ヒ
ータ断線も、真空外からのヒータの差し換えだけで修理
できて、保守も簡単になる
【図面の簡単な説明】
第１図は本発明の一実施例の縦断側面図、第２図は第１
図の矢線Ｉ−■における横断面図、第３図は従来例の縦
断側面図、第４図は第３図の矢線Ｉ−Ｉにおける横断面
図である。 １・・・イオン化室箱、２・・・イオン引き出し電極、
３・・・イオンレンズ系、４・・・四重極電極、６・・
クロマトグラフカラム、７・・・インターフェースブロ
ック、８・・質量分析計外壁、９・・・ヒータ、１０・
・・センサ、１３・・・押し棒。

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 　試料源と接続され、試料をイオン化室に導くインター
    フェースブロックと、このインターフェースブロックの
    質量分析計内の端面に当接せしめられるイオン化室箱と
    、イオン化室箱とは別体的にイオンレンズ系を有し、イ
    ンターフェースブロック内にのみ、インターフェースブ
    ロックおよびイオン化室箱を加熱するヒータと、その加
    熱温度を制御するための温度センサを埋設したことを特
    徴とする質量分析計イオン源装置。
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