JPH04209769A - ダイヤモンド物体連続構造体およびその製造方法 - Google Patents
ダイヤモンド物体連続構造体およびその製造方法Info
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- JPH04209769A JPH04209769A JP40975290A JP40975290A JPH04209769A JP H04209769 A JPH04209769 A JP H04209769A JP 40975290 A JP40975290 A JP 40975290A JP 40975290 A JP40975290 A JP 40975290A JP H04209769 A JPH04209769 A JP H04209769A
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Landscapes
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
[00011
【産業上の利用分野]本発明は、ダイヤモンドバイト、
ドレッサ、耐摩耗部品、ドリル、エンドミル、リーマ等
として利用されるダイヤモンド物体連続構造体およびそ
の製造方法に関する。 [0002] 【従来の技術】天然の単結晶ダイヤモンド、気相合成法
による多結晶ダイヤモンド膜、多結晶焼結ダイヤモンド
などのダイヤモンドは、耐摩耗性および被削材との耐溶
着性に優れており、工具や耐摩耗性部品として用いられ
ている。これらのダイヤモンド物体は極めて高価である
ので、工具等として用いる場合は、切り刃となる部分に
のみこのダイヤモンドを用い、これを高剛性で靭性に優
れた超硬合金等の合金にろう付けする。 [0003]このダイヤモンドの合金への接合には、従
来からAuろうまたはAgろうが用いられているが、A
UろうまたはAgろうのみでは充分な接合強度が得られ
ず、種々の活性金属が添加されている。さらに、ダイヤ
モンドと合金の熱膨張差による応力を緩和するため、種
々の応力緩和金属層を介在させたりしている。 [0004]例えば、特開昭63−300803号公報
では、接合部のAuろうとAgろうの間にダイヤモンド
と似通った熱膨張係数を有するW、Mo、WC−Co合
金からなる金属層を介在させており、特開昭61−46
03号公報では、Agろうの上に活性金属であるTa、
Ti、Zrを2〜30%含有させたAu合金を介在させ
て単結晶ダイヤモンドをW基焼結合金にろう付けしてお
り、特開昭62−148104号公報では、Agろうと
Taを含有させたAuろうの間にW−Cu焼結合金を介
在させて単結晶ダイヤモンドを超硬合金にろう付けして
いる。 [0005]
ドレッサ、耐摩耗部品、ドリル、エンドミル、リーマ等
として利用されるダイヤモンド物体連続構造体およびそ
の製造方法に関する。 [0002] 【従来の技術】天然の単結晶ダイヤモンド、気相合成法
による多結晶ダイヤモンド膜、多結晶焼結ダイヤモンド
などのダイヤモンドは、耐摩耗性および被削材との耐溶
着性に優れており、工具や耐摩耗性部品として用いられ
ている。これらのダイヤモンド物体は極めて高価である
ので、工具等として用いる場合は、切り刃となる部分に
のみこのダイヤモンドを用い、これを高剛性で靭性に優
れた超硬合金等の合金にろう付けする。 [0003]このダイヤモンドの合金への接合には、従
来からAuろうまたはAgろうが用いられているが、A
UろうまたはAgろうのみでは充分な接合強度が得られ
ず、種々の活性金属が添加されている。さらに、ダイヤ
モンドと合金の熱膨張差による応力を緩和するため、種
々の応力緩和金属層を介在させたりしている。 [0004]例えば、特開昭63−300803号公報
では、接合部のAuろうとAgろうの間にダイヤモンド
と似通った熱膨張係数を有するW、Mo、WC−Co合
金からなる金属層を介在させており、特開昭61−46
03号公報では、Agろうの上に活性金属であるTa、
Ti、Zrを2〜30%含有させたAu合金を介在させ
て単結晶ダイヤモンドをW基焼結合金にろう付けしてお
り、特開昭62−148104号公報では、Agろうと
Taを含有させたAuろうの間にW−Cu焼結合金を介
在させて単結晶ダイヤモンドを超硬合金にろう付けして
いる。 [0005]
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来か
らダイヤモンドの金属製の合金への接合に用いられてい
るAuろうまたはAgろうは、接合強度および耐衝撃強
度が充分でなかった。例えば、単結晶ダイヤモンドをA
Uろうを用い活性金属層としてTiを介在させてて5U
J2にろう付けした場合の剪断強度は9.5kg/mm
2程度である。また、接合部に前記のようにW、Mo、
WC−C0合金等を介在させても、ダイヤモンドとの熱
膨張係数の差による応力を緩和するのに充分でなく、そ
のだめに、剪断強度も充分でない。例えば応力緩和金属
として合金にMOをろう付けした後これに単結晶ダイヤ
モンドをAuろうを用い活性金属層としてTiを介在さ
せてろう付けした場合の剪断強度は20kg/mm2程
度であり、かつ高精度の加工後、切削時に生じる熱応力
により剪断強度の低下がみられた。そのため高精度の加
工を行うためには強度が不十分であり、さらに切削時よ
りも作用する応力の高い研磨時に、研磨荷重を小さくす
る等研磨条件を限定しなければならないという不都合が
ある。 [0006]本発明は、ダイヤモンドを金属製のホルダ
またはシャンク等の合金にろう付けするダイヤモンドろ
う付は工具の前記の如き問題点に鑑みてなされたもので
あって、ダイヤモンド物体を合金に強固にろう付けした
剪断強度に優れ、かつ、高精度加工後そして繰り返し使
用後の剪断強度の劣化が見られないダイヤモンド物体連
続構造体およびその製造方法を提供することを目的とす
る。 [0007]
らダイヤモンドの金属製の合金への接合に用いられてい
るAuろうまたはAgろうは、接合強度および耐衝撃強
度が充分でなかった。例えば、単結晶ダイヤモンドをA
Uろうを用い活性金属層としてTiを介在させてて5U
J2にろう付けした場合の剪断強度は9.5kg/mm
2程度である。また、接合部に前記のようにW、Mo、
WC−C0合金等を介在させても、ダイヤモンドとの熱
膨張係数の差による応力を緩和するのに充分でなく、そ
のだめに、剪断強度も充分でない。例えば応力緩和金属
として合金にMOをろう付けした後これに単結晶ダイヤ
モンドをAuろうを用い活性金属層としてTiを介在さ
せてろう付けした場合の剪断強度は20kg/mm2程
度であり、かつ高精度の加工後、切削時に生じる熱応力
により剪断強度の低下がみられた。そのため高精度の加
工を行うためには強度が不十分であり、さらに切削時よ
りも作用する応力の高い研磨時に、研磨荷重を小さくす
る等研磨条件を限定しなければならないという不都合が
ある。 [0006]本発明は、ダイヤモンドを金属製のホルダ
またはシャンク等の合金にろう付けするダイヤモンドろ
う付は工具の前記の如き問題点に鑑みてなされたもので
あって、ダイヤモンド物体を合金に強固にろう付けした
剪断強度に優れ、かつ、高精度加工後そして繰り返し使
用後の剪断強度の劣化が見られないダイヤモンド物体連
続構造体およびその製造方法を提供することを目的とす
る。 [0007]
【課題を解決するための手段】発明者等は、従来のダイ
ヤモンド物体連続構造体が、特に高精度加工後何故剪断
強度に劣るのか、その原因について検討した。その結果
、従来用いられている応力緩和金属は、熱膨張係数はダ
イヤモンドに近似するものの、いずれも剛性が高く、熱
応力に対して弾性変形も塑性変形も起こさないことに、
その原因が存在することを突き止めた。そこで、熱膨張
差に起因する歪に対して弾性変形または塑性変形を起こ
す第2の応力緩和金属層を接合部に介在させることを着
想すると共に、この第2の中間金属層にNiまたはCu
を用いると剪断強度が著しく向上することを新たに知見
して本発明を完成した。 [0008]本発明のダイヤモンド物体連続構造体は、
合金と、前記台金にAg、AuまたはCuろうを用いて
ろう付けされた第1の中間金属層と、前記第1の中間金
属層にAg、AuまたはCuろうを用いてろう付けされ
た第2の中間金属層と、前記第2の中間金属層に活性金
属層を介してAg、AuまたはCuろうを用いてろう付
けされたダイヤモンド物体とからなることを要旨とする
。 [0009]また、本発明のダイヤモンド物体連続構造
体の製造方法は、合金に第1の中間金属層をAg、 A
uまたはCuろうを用いてろう付けする工程と、前記第
1の中間金属層とダイヤモンド物体との間の第1の中間
金属側に第2の中間金属層をダイヤモンド物体側に活性
金属層を介在させてAg、AuまたはCuろうを用いて
一体的にろう付けする工程とからなることを要旨とする
。 [00101重合金ろう付けされる第1の中間金属層は
、ダイヤモンドの熱膨張係数に近似した熱膨張係数を有
する金属または合金であって1例えばMo、 W、 T
a、Ni−Fe型インバー型合金、Nt−Co−Fe型
コバール型合金またはセラミックのいずれかを用いるこ
とができる。
ヤモンド物体連続構造体が、特に高精度加工後何故剪断
強度に劣るのか、その原因について検討した。その結果
、従来用いられている応力緩和金属は、熱膨張係数はダ
イヤモンドに近似するものの、いずれも剛性が高く、熱
応力に対して弾性変形も塑性変形も起こさないことに、
その原因が存在することを突き止めた。そこで、熱膨張
差に起因する歪に対して弾性変形または塑性変形を起こ
す第2の応力緩和金属層を接合部に介在させることを着
想すると共に、この第2の中間金属層にNiまたはCu
を用いると剪断強度が著しく向上することを新たに知見
して本発明を完成した。 [0008]本発明のダイヤモンド物体連続構造体は、
合金と、前記台金にAg、AuまたはCuろうを用いて
ろう付けされた第1の中間金属層と、前記第1の中間金
属層にAg、AuまたはCuろうを用いてろう付けされ
た第2の中間金属層と、前記第2の中間金属層に活性金
属層を介してAg、AuまたはCuろうを用いてろう付
けされたダイヤモンド物体とからなることを要旨とする
。 [0009]また、本発明のダイヤモンド物体連続構造
体の製造方法は、合金に第1の中間金属層をAg、 A
uまたはCuろうを用いてろう付けする工程と、前記第
1の中間金属層とダイヤモンド物体との間の第1の中間
金属側に第2の中間金属層をダイヤモンド物体側に活性
金属層を介在させてAg、AuまたはCuろうを用いて
一体的にろう付けする工程とからなることを要旨とする
。 [00101重合金ろう付けされる第1の中間金属層は
、ダイヤモンドの熱膨張係数に近似した熱膨張係数を有
する金属または合金であって1例えばMo、 W、 T
a、Ni−Fe型インバー型合金、Nt−Co−Fe型
コバール型合金またはセラミックのいずれかを用いるこ
とができる。
【0011]また、第1の中間金属にろう付けされる第
2の中間金属層は、ろう材に対する濡れ性に優れ、弾性
変形能または塑性変形能を有する金属であって、Niま
たはCuを用いると最良の結果が得られる。 [0012]ダイヤモンド物体と第2の中間金属層の間
に介在させる活性金属層には、Ti、Zr、Taおよび
Nbのうちから選ばれる1種または2種以上を用いるこ
とができる。台金には鋼、超硬合金のほか、金属モリブ
デン、金属タングステン、インバー合金、コバール合金
、鉄基の焼結合金、超合金などを用いることができる。 [0013]本発明の対象となるダイヤモンドは、天然
の単結晶ダイヤモンド、気相合成法による多結晶ダイヤ
モンド膜、多結晶焼結ダイヤモンドである。 [0014] 【作用】台金にろう付けされる第1の中間金属は、熱膨
張係数がダイヤモンドのそれに近似しているので、台金
とダイヤモンドとの熱膨張差による歪を緩和することが
できる。また、第1の中間金属層にろう付けされる第2
の中間金属層は、ろう材に対する濡れ性に優れ弾性変形
能または塑性変形能を有するので、第1の中間金属層と
ダイヤモンドとの熱膨張差による歪を完全に吸収する。 さらに、ろう材は活性金属層により、接合強度が強化さ
れているので、剪断強度に優れたダイヤモンド物体連続
構造体を得ることができる。 [0015]
2の中間金属層は、ろう材に対する濡れ性に優れ、弾性
変形能または塑性変形能を有する金属であって、Niま
たはCuを用いると最良の結果が得られる。 [0012]ダイヤモンド物体と第2の中間金属層の間
に介在させる活性金属層には、Ti、Zr、Taおよび
Nbのうちから選ばれる1種または2種以上を用いるこ
とができる。台金には鋼、超硬合金のほか、金属モリブ
デン、金属タングステン、インバー合金、コバール合金
、鉄基の焼結合金、超合金などを用いることができる。 [0013]本発明の対象となるダイヤモンドは、天然
の単結晶ダイヤモンド、気相合成法による多結晶ダイヤ
モンド膜、多結晶焼結ダイヤモンドである。 [0014] 【作用】台金にろう付けされる第1の中間金属は、熱膨
張係数がダイヤモンドのそれに近似しているので、台金
とダイヤモンドとの熱膨張差による歪を緩和することが
できる。また、第1の中間金属層にろう付けされる第2
の中間金属層は、ろう材に対する濡れ性に優れ弾性変形
能または塑性変形能を有するので、第1の中間金属層と
ダイヤモンドとの熱膨張差による歪を完全に吸収する。 さらに、ろう材は活性金属層により、接合強度が強化さ
れているので、剪断強度に優れたダイヤモンド物体連続
構造体を得ることができる。 [0015]
【実施例】本発明の実施例について、従来例と比較しつ
つ説明し、本発明の効果を明らかにする。合金として、
寸法16mmX25mmX5mmのSS41.5KS3
およびSUJ 2を用意した。これら台金に第1の中間
金属層として厚さ1.0mmの金属Mo、W、アンバー
合金、コバール合金、表面をNiめっきしたSi3N4
焼結体を、Auろう、AgろうまたはCuろうを用いて
それぞれろう付けした。 [0016]続いて、ダイヤモンド物体として、直径約
2mmの重石ダイヤモンド、厚さ約40μmのCVDダ
イヤモンド膜、直径約5mmの焼結ダイヤモンドを用意
すると共に、これらダイヤモンド物体と合金にろう付け
した第1の中間金属層の間に第1表に示す種類と厚さの
第2の中間金属層および100μmの活性金属層Ti、
Zr、Nb、Taを介在させて、Agろう材(BAg8
) 、Auろう材、Cuろう材を用いて、一体的にろう
付けしてダイヤモンド物体連続構造体を得た。 [0017]なお、従来例として合金に活性金属層を介
して直接ダイヤモンド物体をろう付けしたもの、台金に
第1の中間金属層をろう付けしだ後第2の中間金属層を
用いずに活性金属層のみ介在させてダイヤモンド物体を
ろう付けした連続構造体についても同様に調製した。 [0018]得られた発明例および従来例のダイヤモン
ド物体連続構造体について、剪断強度を測定したところ
、表1および表2に示すような結果を得た。 [0019]
つ説明し、本発明の効果を明らかにする。合金として、
寸法16mmX25mmX5mmのSS41.5KS3
およびSUJ 2を用意した。これら台金に第1の中間
金属層として厚さ1.0mmの金属Mo、W、アンバー
合金、コバール合金、表面をNiめっきしたSi3N4
焼結体を、Auろう、AgろうまたはCuろうを用いて
それぞれろう付けした。 [0016]続いて、ダイヤモンド物体として、直径約
2mmの重石ダイヤモンド、厚さ約40μmのCVDダ
イヤモンド膜、直径約5mmの焼結ダイヤモンドを用意
すると共に、これらダイヤモンド物体と合金にろう付け
した第1の中間金属層の間に第1表に示す種類と厚さの
第2の中間金属層および100μmの活性金属層Ti、
Zr、Nb、Taを介在させて、Agろう材(BAg8
) 、Auろう材、Cuろう材を用いて、一体的にろう
付けしてダイヤモンド物体連続構造体を得た。 [0017]なお、従来例として合金に活性金属層を介
して直接ダイヤモンド物体をろう付けしたもの、台金に
第1の中間金属層をろう付けしだ後第2の中間金属層を
用いずに活性金属層のみ介在させてダイヤモンド物体を
ろう付けした連続構造体についても同様に調製した。 [0018]得られた発明例および従来例のダイヤモン
ド物体連続構造体について、剪断強度を測定したところ
、表1および表2に示すような結果を得た。 [0019]
【表1】
[00201
【表2]
[00211表2から明らかなように、合金に活性金属
層を介して直接ダイヤモンド物体をろう付けした従来例
1〜3は、剪断強度が極めて低く、9.0〜9. 5k
g/mm2であった。また、合金に第1の中間金属層を
ろう付けしだ後第2の中間金属層を用いずに活性金属層
のみ介在させてダイヤモンド物体をろう付けした従来例
4〜8では、第2の中間金属層を欠くため、特に繰り返
しの温度勾配が生じる高精密加工後の剪断強度が低く、
10.0〜12.0kg/mm2であった。 [0022]これに対して本発明例は、表1に示したよ
うに第2の中間金属層がろう材に対する濡れ性に優れか
つ弾性変形能または塑性変形能を有し、ダイヤモンドと
の熱膨張差による歪を完全に吸収したので、使用ろう材
により異なるが、剪断強度が23〜30kg/mm2で
あって、著しく剪断強度が向上し、かつ加工および使用
時の繰り返し温度差に耐え、接合強度の低下を生じない
ダイヤモンド物体連続構造体の得られることが確認され
た。 [0023] 【発明の効果】本発明のダイヤモンド物体連続構造体お
よびその製造方法は、以上詳述したように、合金に第1
の中間金属層をろう付けした後、さらにこの第1の中間
金属層とダイヤモンド物体の間に第2の中間金属層およ
び活性金属層を介在させて、ろう付けをするものであっ
て、第1の中間金属層により合金とダイヤモンドとの熱
膨張差による歪を緩和し、第2の中間金属層の弾性変形
能または塑性変形能により第1の中間金属層とダイヤモ
ンドとの熱膨張差による歪を完全に吸収するので、極め
て剪断強度に優れたダイヤモンド物体連続構造体を製造
することができ、ダイヤモンドバイト、ドレッサ、耐摩
耗部品、ドリル、エンドミル、リーマ等として極めて有
用である。
層を介して直接ダイヤモンド物体をろう付けした従来例
1〜3は、剪断強度が極めて低く、9.0〜9. 5k
g/mm2であった。また、合金に第1の中間金属層を
ろう付けしだ後第2の中間金属層を用いずに活性金属層
のみ介在させてダイヤモンド物体をろう付けした従来例
4〜8では、第2の中間金属層を欠くため、特に繰り返
しの温度勾配が生じる高精密加工後の剪断強度が低く、
10.0〜12.0kg/mm2であった。 [0022]これに対して本発明例は、表1に示したよ
うに第2の中間金属層がろう材に対する濡れ性に優れか
つ弾性変形能または塑性変形能を有し、ダイヤモンドと
の熱膨張差による歪を完全に吸収したので、使用ろう材
により異なるが、剪断強度が23〜30kg/mm2で
あって、著しく剪断強度が向上し、かつ加工および使用
時の繰り返し温度差に耐え、接合強度の低下を生じない
ダイヤモンド物体連続構造体の得られることが確認され
た。 [0023] 【発明の効果】本発明のダイヤモンド物体連続構造体お
よびその製造方法は、以上詳述したように、合金に第1
の中間金属層をろう付けした後、さらにこの第1の中間
金属層とダイヤモンド物体の間に第2の中間金属層およ
び活性金属層を介在させて、ろう付けをするものであっ
て、第1の中間金属層により合金とダイヤモンドとの熱
膨張差による歪を緩和し、第2の中間金属層の弾性変形
能または塑性変形能により第1の中間金属層とダイヤモ
ンドとの熱膨張差による歪を完全に吸収するので、極め
て剪断強度に優れたダイヤモンド物体連続構造体を製造
することができ、ダイヤモンドバイト、ドレッサ、耐摩
耗部品、ドリル、エンドミル、リーマ等として極めて有
用である。
Claims (14)
- 【請求項1】台金と、前記台金にAg、AuまたはCu
ろうを用いてろう付けされた第1の中間金属層と、前記
第1の中間金属層にAg、AuまたはCuろうを用いて
ろう付けされた第2の中間金属層と、前記第2の中間金
属層に活性金属層を介してAg、AuまたはCuろうを
用いてろう付けされたダイヤモンド物体とからなること
を特徴とするダイヤモンド物体連続構造体。 - 【請求項2】前記第1の中間金属層がMo、W、Ta、
Ni−Fe系アンバー型合金、Ni−Co−Fe系コバ
ール型合金またはセラミックである特許請求の範囲第1
項に記載のダイヤモンド物体連続構造体。 - 【請求項3】前記第2の中間金属層がNiまたはCuで
ある特許請求の範囲第1項または第2項に記載のダイヤ
モンド物体連続構造体。 - 【請求項4】前記中間金属層がTi、Zr、Taまたは
Nbである特許請求の範囲第1項乃至第3項のいずれか
に記載のダイヤモンド物体連続構造体。 - 【請求項5】前記ダイヤモンド物体が単結晶ダイヤモン
ドである特許請求の範囲第1項乃至第4項のいずれかに
記載のダイヤモンド物体連続構造体。 - 【請求項6】前記ダイヤモンド物体が気相合成法により
合成された多結晶ダイヤモンド膜である特許請求の範囲
第1項乃至第4項のいずれかに記載のダイヤモンド物体
連続構造体。 - 【請求項7】前記ダイヤモンド物体が多結晶焼結ダイヤ
モンドである特許請求の範囲第1項乃至第4項のいずれ
かに記載のダイヤモンド物体連続構造体。 - 【請求項8】台金に第1の中間金属層をAg、Auまた
はCuろうを用いてろう付けする工程と、前記第1の中
間金属層とダイヤモンド物体との間の第1の中間金属側
に第2の中間金属層をダイヤモンド物体側に活性金属層
を介在させてAg、AuまたはCuろうを用いて一体的
にろう付けする工程とからなることを特徴とするダイヤ
モンド物体連続構造体の製造方法。 - 【請求項9】前記第1の中間金属層がMo、W、Ta、
Ni−Fe系アンバー型合金、Ni−Co−Fe系コバ
ール型合金またはセラミックである特許請求の範囲第8
項に記載のダイヤモンド物体連続構造体の製造方法。 - 【請求項10】前記第2の中間金属層がNiまたはCu
である特許請求の範囲第8項または第9項に記載のダイ
ヤモンド物体連続構造体の製造方法。 - 【請求項11】前記中間金属層がTi、Zr、Taまた
はNbである特許請求の範囲第8項乃至第10項のいず
れかに記載のダイヤモンド物体連続構造体の製造方法。 - 【請求項12】前記ダイヤモンド物体が単結晶ダイヤモ
ンドである特許請求の範囲第8項乃至第11項のいずれ
かに記載のダイヤモンド物体連続構造体の製造方法。 - 【請求項13】前記ダイヤモンド物体が気相合成法によ
り合成された多結晶ダイヤモンド膜である特許請求の範
囲第8項乃至第11項のいずれかに記載のダイヤモンド
物体連続構造体の製造方法。 - 【請求項14】前記ダイヤモンド物体が多結晶焼結ダイ
ヤモンドである特許請求の範囲第8項乃至第11項のい
ずれかに記載のダイヤモンド物体連続構造体の製造方法
。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP40975290A JPH04209769A (ja) | 1990-12-10 | 1990-12-10 | ダイヤモンド物体連続構造体およびその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP40975290A JPH04209769A (ja) | 1990-12-10 | 1990-12-10 | ダイヤモンド物体連続構造体およびその製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04209769A true JPH04209769A (ja) | 1992-07-31 |
Family
ID=18519039
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP40975290A Pending JPH04209769A (ja) | 1990-12-10 | 1990-12-10 | ダイヤモンド物体連続構造体およびその製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH04209769A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2011251387A (ja) * | 2010-06-03 | 2011-12-15 | Allied Material Corp | 単結晶ダイヤモンド工具 |
-
1990
- 1990-12-10 JP JP40975290A patent/JPH04209769A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2011251387A (ja) * | 2010-06-03 | 2011-12-15 | Allied Material Corp | 単結晶ダイヤモンド工具 |
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