JPH04210242A - 排ガス中の亜酸化窒素除去用触媒およびその製造方法 - Google Patents
排ガス中の亜酸化窒素除去用触媒およびその製造方法Info
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- JPH04210242A JPH04210242A JP2400563A JP40056390A JPH04210242A JP H04210242 A JPH04210242 A JP H04210242A JP 2400563 A JP2400563 A JP 2400563A JP 40056390 A JP40056390 A JP 40056390A JP H04210242 A JPH04210242 A JP H04210242A
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Classifications
-
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- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02C—CAPTURE, STORAGE, SEQUESTRATION OR DISPOSAL OF GREENHOUSE GASES [GHG]
- Y02C20/00—Capture or disposal of greenhouse gases
- Y02C20/10—Capture or disposal of greenhouse gases of nitrous oxide (N2O)
Landscapes
- Exhaust Gas Treatment By Means Of Catalyst (AREA)
- Catalysts (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
［０００１１
【産業上の利用分野］本発明は排ガス中の亜酸化窒素除
去用触媒およびその製造方法に係り、特に低温で高活性
の排ガス中の亜酸化窒素除去用触媒およびその製造方法
に関する。 ［０００２］ 【従来の技術】近年、大気中の二酸化炭素（ＣＯ２）の
増加に伴う地球の温暖化現象、窒素酸化物（ＮＯｘ）や
イオウ酸化物（ＳＯｘ）による酸性雨に基づく森林の被
害など、地球レベルでの環境破壊が顕在化し、その対策
が人類の緊急課題になりつつある。これら、地球レベル
での環境破壊の一つとして、オゾン層の破壊があり、フ
ロン、メタンなどの他に亜酸化窒素（Ｎ２ ｏ）がその
原因物質の一つに挙げられている。特に近年は、各種燃
焼器から排出される酸性雨の原因物質であるＮＯｘを低
レベルで抑えるため低温燃焼が行なわれることが多くな
っており、その場合にＮ２Ｏの排出量が増加することが
知られるようになってきた。 ［０００３１Ｎ２Ｏの除去方法としては高温下で触媒を
用いて熱分解する方法が一般に知られており、亜鉛をは
じめとする各種元素の酸化物を触媒にしたものが研究さ
れている。 ［０００４］これとは別に本発明者らは、Ｆｅまたは水
素置換型ゼオライトを用いてＮＨ３によりＮｚ Ｏを還
元する触媒とそのプロセスを発明して特許出願している
（特開昭６０−２２９２２号公報）。 ［０００ｂｌ
去用触媒およびその製造方法に係り、特に低温で高活性
の排ガス中の亜酸化窒素除去用触媒およびその製造方法
に関する。 ［０００２］ 【従来の技術】近年、大気中の二酸化炭素（ＣＯ２）の
増加に伴う地球の温暖化現象、窒素酸化物（ＮＯｘ）や
イオウ酸化物（ＳＯｘ）による酸性雨に基づく森林の被
害など、地球レベルでの環境破壊が顕在化し、その対策
が人類の緊急課題になりつつある。これら、地球レベル
での環境破壊の一つとして、オゾン層の破壊があり、フ
ロン、メタンなどの他に亜酸化窒素（Ｎ２ ｏ）がその
原因物質の一つに挙げられている。特に近年は、各種燃
焼器から排出される酸性雨の原因物質であるＮＯｘを低
レベルで抑えるため低温燃焼が行なわれることが多くな
っており、その場合にＮ２Ｏの排出量が増加することが
知られるようになってきた。 ［０００３１Ｎ２Ｏの除去方法としては高温下で触媒を
用いて熱分解する方法が一般に知られており、亜鉛をは
じめとする各種元素の酸化物を触媒にしたものが研究さ
れている。 ［０００４］これとは別に本発明者らは、Ｆｅまたは水
素置換型ゼオライトを用いてＮＨ３によりＮｚ Ｏを還
元する触媒とそのプロセスを発明して特許出願している
（特開昭６０−２２９２２号公報）。 ［０００ｂｌ
【発明が解決しようとする課題］上記Ｎ２Ｏの除去に関
する従来技術のうち、熱分解法は反応温度が高いことと
、使用する触媒が排ガス中のＳＯｘにより劣化するとい
う問題を有していた。また、Ｆｅ置換ゼオライトを使用
してＮＨｌにより還元する方法は、熱分解法に比べ、よ
り低温で運用できるという利点はあるものの排ガス中の
ＳＯｘとゼオライトとの反応による劣化を無視できない
点では熱分解法と同様であった。 ［０００６１本発明の目的は、上記従来技術の欠点であ
る排ガス中のＳＯｘと触媒との反応による劣化を防止し
、より低温度から高いＮ２Ｏ除去活性を示す排ガス中の
亜酸化窒素除去用触媒およびその製造方法を提供するに
ある。 ［０００７］ 【課題を解決するための手段】上記目的は、排ガス中の
亜酸化窒素（Ｎ２Ｏ）の熱分解用触媒において、示性式
（Ｓ ｉ ０２ ） ５５で示されるケイ素（Ｓｉ）と
酸素（Ｏ）とよりなるゼオライトに銅（Ｃｕ）を担持し
たことを特徴とする排ガス中の亜酸化窒素の熱分解によ
る除去用触媒、排ガス中の亜酸化窒素（Ｎ２Ｏ）のアン
モニア還元による除去用触媒において、示性式（ＳｉＯ
□）５．で示されるケイ素（Ｓｉ）と酸素（Ｏ）とより
なるゼオライトに鋼（Ｃｕ）を担持したことを特徴とす
る排ガス中の亜酸化窒素のアンモニア還元による除去用
触媒、および排ガス中の亜酸化窒素（Ｎ２ ｏ）の熱分
解またはアンモニア還元による除去用触媒の製造方法に
おいて、示性式（Ｓ ｉｏｚ ） ５ｓで示される実質
的にケイ素（Ｓｉ）と酸素（Ｏ）のみよりなるゼオライ
トと可溶性銅塩の水または有機溶媒溶液とを混合後乾燥
し、５００℃以上９００℃以下で焼成することを特徴と
する排ガス中の亜酸化窒素除去用触媒の製造方法により
達成される。 ［０００８］
する従来技術のうち、熱分解法は反応温度が高いことと
、使用する触媒が排ガス中のＳＯｘにより劣化するとい
う問題を有していた。また、Ｆｅ置換ゼオライトを使用
してＮＨｌにより還元する方法は、熱分解法に比べ、よ
り低温で運用できるという利点はあるものの排ガス中の
ＳＯｘとゼオライトとの反応による劣化を無視できない
点では熱分解法と同様であった。 ［０００６１本発明の目的は、上記従来技術の欠点であ
る排ガス中のＳＯｘと触媒との反応による劣化を防止し
、より低温度から高いＮ２Ｏ除去活性を示す排ガス中の
亜酸化窒素除去用触媒およびその製造方法を提供するに
ある。 ［０００７］ 【課題を解決するための手段】上記目的は、排ガス中の
亜酸化窒素（Ｎ２Ｏ）の熱分解用触媒において、示性式
（Ｓ ｉ ０２ ） ５５で示されるケイ素（Ｓｉ）と
酸素（Ｏ）とよりなるゼオライトに銅（Ｃｕ）を担持し
たことを特徴とする排ガス中の亜酸化窒素の熱分解によ
る除去用触媒、排ガス中の亜酸化窒素（Ｎ２Ｏ）のアン
モニア還元による除去用触媒において、示性式（ＳｉＯ
□）５．で示されるケイ素（Ｓｉ）と酸素（Ｏ）とより
なるゼオライトに鋼（Ｃｕ）を担持したことを特徴とす
る排ガス中の亜酸化窒素のアンモニア還元による除去用
触媒、および排ガス中の亜酸化窒素（Ｎ２ ｏ）の熱分
解またはアンモニア還元による除去用触媒の製造方法に
おいて、示性式（Ｓ ｉｏｚ ） ５ｓで示される実質
的にケイ素（Ｓｉ）と酸素（Ｏ）のみよりなるゼオライ
トと可溶性銅塩の水または有機溶媒溶液とを混合後乾燥
し、５００℃以上９００℃以下で焼成することを特徴と
する排ガス中の亜酸化窒素除去用触媒の製造方法により
達成される。 ［０００８］
【作用】本発明者らの研究によれば、前述した従来触媒
のＳＯｘによる劣化は、触媒活性成分である金属酸化物
の触媒作用により排ガス中のＳＯｘの主成分であるＳＯ
２がＳＯ３に酸化され、このＳＯ３が活性成分を支持し
ているアルミナ、シリカ−アルミナ、ゼオライトなどの
担体物質と反応し、表面積の低下や細孔の閉塞を引き起
こすためであることが判明した。 ［０００９１本発明の触媒は、示性式（Ｓ ｉ０２ ）
５５で表されるようにＳＯ３と反応し難いＳｉＯ２の
みからなるゼオライトを担体に用いているため、ＳＯｘ
により劣化することがほとんどない。 ［００１０１さらに、本発明の触媒は次のＮ２Ｏの熱分
解反応（（１）式）およびＮＨ３還元反応（（２）式）
の両反応に対し、３５０℃以上、望ましくは４００℃以
上において活性を示すため、ＳＯｘ含有排ガス中のＮ２
Ｏを低温度で除去することができる。 ［００１１１
のＳＯｘによる劣化は、触媒活性成分である金属酸化物
の触媒作用により排ガス中のＳＯｘの主成分であるＳＯ
２がＳＯ３に酸化され、このＳＯ３が活性成分を支持し
ているアルミナ、シリカ−アルミナ、ゼオライトなどの
担体物質と反応し、表面積の低下や細孔の閉塞を引き起
こすためであることが判明した。 ［０００９１本発明の触媒は、示性式（Ｓ ｉ０２ ）
５５で表されるようにＳＯ３と反応し難いＳｉＯ２の
みからなるゼオライトを担体に用いているため、ＳＯｘ
により劣化することがほとんどない。 ［００１０１さらに、本発明の触媒は次のＮ２Ｏの熱分
解反応（（１）式）およびＮＨ３還元反応（（２）式）
の両反応に対し、３５０℃以上、望ましくは４００℃以
上において活性を示すため、ＳＯｘ含有排ガス中のＮ２
Ｏを低温度で除去することができる。 ［００１１１
【数１］
［００１２］
【数２】
［００１３］本発明になる触媒は、示性式（ＳｉＯ２）
５５で表されるゼオライト粉と硝酸鋼、酢酸銅などの可
溶性銅塩の水または有機溶媒溶液とを加熱しながら蒸発
乾固後、乾燥、つづいて５００℃以上９００℃以下の温
度で焼成することによって得られる。得られた触媒は、
粒状、板状、ハニカム状、各種支持体表面にコーティン
グされた状態など任意の形状で使用することができる。 ［００１４１本発明の触媒の利用形態の第１は、図１に
示したものであり、燃焼器１から排出されたＮ２Ｏを含
有する各種燃焼排ガスの流路に設けられた反応器５中に
本発明のＮ２Ｏ除去用触媒２が充填され、温度３５０℃
以上、望ましくは４００℃以上の温度域でＮ２Ｏの熱分
解に利用するものである。第２の利用形態は、図２に示
すように燃焼器１からのＮ２Ｏ含有排ガス流路の３５０
℃以上、望ましくは４００℃以上の温度域に設けられた
反応器５中に本発明の触媒２が設置され、その上流で排
ガス中に注入されたＮＨ３６によるＮ２Ｏの還元促進用
触媒として使用されるものである。 ［００１５］第１の方法は、ＮＨ３が不要であることと
、排ガス中にＮＨ３を注入することが困難になる高温域
でも使用できるという利点がある。他方筒２の方法では
、ＮＨ３を還元剤に使用するため、より低温域でより高
い活性を有すること、および触媒がＮｏとＮＨ３との反
応にも活性であるため排ガス中のＮ２ＯとＮｏとを同時
に除去できるという利点がある。 ［００１６］
５５で表されるゼオライト粉と硝酸鋼、酢酸銅などの可
溶性銅塩の水または有機溶媒溶液とを加熱しながら蒸発
乾固後、乾燥、つづいて５００℃以上９００℃以下の温
度で焼成することによって得られる。得られた触媒は、
粒状、板状、ハニカム状、各種支持体表面にコーティン
グされた状態など任意の形状で使用することができる。 ［００１４１本発明の触媒の利用形態の第１は、図１に
示したものであり、燃焼器１から排出されたＮ２Ｏを含
有する各種燃焼排ガスの流路に設けられた反応器５中に
本発明のＮ２Ｏ除去用触媒２が充填され、温度３５０℃
以上、望ましくは４００℃以上の温度域でＮ２Ｏの熱分
解に利用するものである。第２の利用形態は、図２に示
すように燃焼器１からのＮ２Ｏ含有排ガス流路の３５０
℃以上、望ましくは４００℃以上の温度域に設けられた
反応器５中に本発明の触媒２が設置され、その上流で排
ガス中に注入されたＮＨ３６によるＮ２Ｏの還元促進用
触媒として使用されるものである。 ［００１５］第１の方法は、ＮＨ３が不要であることと
、排ガス中にＮＨ３を注入することが困難になる高温域
でも使用できるという利点がある。他方筒２の方法では
、ＮＨ３を還元剤に使用するため、より低温域でより高
い活性を有すること、および触媒がＮｏとＮＨ３との反
応にも活性であるため排ガス中のＮ２ＯとＮｏとを同時
に除去できるという利点がある。 ［００１６］
【実施例】以下、本発明を実施例を用いて詳細に説明す
る。 ［００１７］実施例１ 示性式（ｓ ｉＯ：： ） ５ｓで示されるゼオライト
（ユニオン昭和製シリカライ１へ）５０ｇを酢酸鋼（Ｃ
ｕ （ＣＨ３Ｃ００）＝ ・Ｈｒ Ｏ）４．７ｇを含
む水溶液１００ｍ１中に投入後、砂浴上１５０℃で攪拌
しながら蒸発乾固した。 得られたＣｕ担持ゼオライトを、電気炉中６００℃で２
ｈｒ焼成した。得られた粉末を油圧プレスを用い１．５
ｔｏ口、／Ｃｍ２でペレット状に成形し、さらにこれを
破砕して１０〜２Ｏメツシユの触媒を得た。 実施例２ 実施例１の酢酸鋼を硝酸銅（Ｃｕ （ＮＯ３） ２・３
Ｈ２Ｏ） ５． ７ｇに変更して、他は同様にして触
媒を調製した。 実施例３〜５ 実施例１における酢酸銅４．７ｇを０．１６ｇ、１．６
ｇおよび７．８ｇに変えて他は同様の方法で触媒を調製
した。 比較例１ 実施例１のゼオライトをＳｉ／ＡＩの原子比が約２３の
モルデナイトに変えて触媒を調製した。 比較例２．３ 実施例１の酢酸鋼を等モルの硝酸鉄（Ｆｅ （Ｎｏ：ｌ
） ３・９Ｈ２Ｏ）および硝酸ニッケル（Ｎ ｉ
（ＮＯ３） ２６Ｈ２Ｏ）に替えて触媒を調製した。 ［００１８］実施例１〜５および比較例１〜３の触媒に
吋し、表１の条件でＮ２Ｏの熱分解活性およびＮ２Ｏの
ＮＨ３による還元率を測定した。 ［００１９］
る。 ［００１７］実施例１ 示性式（ｓ ｉＯ：： ） ５ｓで示されるゼオライト
（ユニオン昭和製シリカライ１へ）５０ｇを酢酸鋼（Ｃ
ｕ （ＣＨ３Ｃ００）＝ ・Ｈｒ Ｏ）４．７ｇを含
む水溶液１００ｍ１中に投入後、砂浴上１５０℃で攪拌
しながら蒸発乾固した。 得られたＣｕ担持ゼオライトを、電気炉中６００℃で２
ｈｒ焼成した。得られた粉末を油圧プレスを用い１．５
ｔｏ口、／Ｃｍ２でペレット状に成形し、さらにこれを
破砕して１０〜２Ｏメツシユの触媒を得た。 実施例２ 実施例１の酢酸鋼を硝酸銅（Ｃｕ （ＮＯ３） ２・３
Ｈ２Ｏ） ５． ７ｇに変更して、他は同様にして触
媒を調製した。 実施例３〜５ 実施例１における酢酸銅４．７ｇを０．１６ｇ、１．６
ｇおよび７．８ｇに変えて他は同様の方法で触媒を調製
した。 比較例１ 実施例１のゼオライトをＳｉ／ＡＩの原子比が約２３の
モルデナイトに変えて触媒を調製した。 比較例２．３ 実施例１の酢酸鋼を等モルの硝酸鉄（Ｆｅ （Ｎｏ：ｌ
） ３・９Ｈ２Ｏ）および硝酸ニッケル（Ｎ ｉ
（ＮＯ３） ２６Ｈ２Ｏ）に替えて触媒を調製した。 ［００１８］実施例１〜５および比較例１〜３の触媒に
吋し、表１の条件でＮ２Ｏの熱分解活性およびＮ２Ｏの
ＮＨ３による還元率を測定した。 ［００１９］
【表１】
図３は、得られた結果のうち、実施例１および比較例１
〜３の触媒の５００℃におけるＮ２Ｏの熱分解率とＮＮ
３ による還元率を示したものである。本図から明らか
なように、実施例触媒はＮ２Ｏの熱分解活性およびＮ２
ＯのＮＨ３還元活性に特異的に優れている。 ［００２Ｏ３図４は、実施例１触媒のＮ２Ｏの熱分解率
とＮ Ｈ：＋による還元率の温度依存性を示したもので
ある。本発明になる触媒は約４００℃という比較的低温
から活性を示し低温活性にも優れたものであることがわ
かる。 ［００２１１また、表２に実施例１〜５の触媒に対する
５００℃におけるＮ２Ｏ熱分解率とＮＨ３による還元率
をまとめた。木表より、本発明になる触媒は銅原料の種
類が変わっても同様に高活性であること、および銅の担
持量は０． １ｗ１％以上、望ましくは、１ｗｔ％以上
必要である二とがわかる。 ［００２２］
〜３の触媒の５００℃におけるＮ２Ｏの熱分解率とＮＮ
３ による還元率を示したものである。本図から明らか
なように、実施例触媒はＮ２Ｏの熱分解活性およびＮ２
ＯのＮＨ３還元活性に特異的に優れている。 ［００２Ｏ３図４は、実施例１触媒のＮ２Ｏの熱分解率
とＮ Ｈ：＋による還元率の温度依存性を示したもので
ある。本発明になる触媒は約４００℃という比較的低温
から活性を示し低温活性にも優れたものであることがわ
かる。 ［００２１１また、表２に実施例１〜５の触媒に対する
５００℃におけるＮ２Ｏ熱分解率とＮＨ３による還元率
をまとめた。木表より、本発明になる触媒は銅原料の種
類が変わっても同様に高活性であること、および銅の担
持量は０． １ｗ１％以上、望ましくは、１ｗｔ％以上
必要である二とがわかる。 ［００２２］
【表２】
実施例１の触媒を用い表１に示した組成のガス中にＳ０
２ を２Ｏ０ｐｐｍになるように添加し、５００℃で
３０時間の耐久テストを行なった。得られた結果は表３
のごとくであり、５０２含有ガス中での性能変化はほと
んど認められず、本発明になる触媒は耐ＳＯｘに優れた
ものであることがわかる。 ［００２３］
２ を２Ｏ０ｐｐｍになるように添加し、５００℃で
３０時間の耐久テストを行なった。得られた結果は表３
のごとくであり、５０２含有ガス中での性能変化はほと
んど認められず、本発明になる触媒は耐ＳＯｘに優れた
ものであることがわかる。 ［００２３］
【表３】
［００２４］
【発明の効果】本発明の触媒によりオゾン層の破壊物質
であるＮ２Ｏの除去を通常燃焼排ガス温度である４００
〜５００℃において行なうことが可能である。また、本
触媒は耐ＳＯｘ性にも優れ、石炭燃焼をはじめとするＳ
Ｏｘ含有排ガスのＮ２Ｏ除去が可能である。
であるＮ２Ｏの除去を通常燃焼排ガス温度である４００
〜５００℃において行なうことが可能である。また、本
触媒は耐ＳＯｘ性にも優れ、石炭燃焼をはじめとするＳ
Ｏｘ含有排ガスのＮ２Ｏ除去が可能である。
【図１】本発明になる触媒を用いたＮ２Ｏの除去プロセ
スを示すブロック図。
スを示すブロック図。
【図２】本発明になる触媒を用いたＮｚＯの除去プロセ
スを示すブロック図。
スを示すブロック図。
【図３】実施例触媒と比較例触媒の触媒性能を示す図。
【図４】本発明になる触媒のＮ２Ｏの熱分解活性および
アンモニアによる還元活性の温度依存性を示す図。
アンモニアによる還元活性の温度依存性を示す図。
１・・・燃焼器、２・・・Ｎ２Ｏ除去触媒、３・・・熱
交換器、４・・・煙突、５・・・反応器、６・・・アン
モニア。
交換器、４・・・煙突、５・・・反応器、６・・・アン
モニア。
【図１】
Claims (3)
- 【請求項１】排ガス中の亜酸化窒素（Ｎ＿２Ｏ）の熱分
解による除去用触媒において、示性式（ＳｉＯ＿２）＿
５＿５で示されるケイ素（Ｓｉ）と酸素（Ｏ）とよりな
るゼオライトに銅（Ｃｕ）を担持したことを特徴とする
排ガス中の亜酸化窒素の熱分解による除去用触媒。 - 【請求項２】排ガス中の亜酸化窒素（Ｎ＿２Ｏ）のアン
モニア還元による除去用触媒において、示性式（ＳｉＯ
＿２）＿５＿５で示されるケイ素（Ｓｉ）と酸素（Ｏ）
とよりなるゼオライトに銅（Ｃｕ）を担持したことを特
徴とする排ガス中の亜酸化窒素のアンモニア還元による
除去用触媒。 - 【請求項３】排ガス中の亜酸化窒素（Ｎ＿２Ｏ）の熱分
解またはアンモニア還元による除去用触媒の製造方法に
おいて、示性式（ＳｉＯ＿２）＿５＿５で示される実質
的にケイ素（Ｓｉ）と酸素（Ｏ）のみよりなるゼオライ
トと可溶性銅塩の水または有機溶媒溶液とを混合後乾燥
し、５００℃以上９００℃以下で焼成することを特徴と
する排ガス中の亜酸化窒素除去用触媒の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP40056390A JP3234237B2 (ja) | 1990-12-06 | 1990-12-06 | 排ガス中の亜酸化窒素除去用触媒およびその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP40056390A JP3234237B2 (ja) | 1990-12-06 | 1990-12-06 | 排ガス中の亜酸化窒素除去用触媒およびその製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04210242A true JPH04210242A (ja) | 1992-07-31 |
| JP3234237B2 JP3234237B2 (ja) | 2001-12-04 |
Family
ID=18510461
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP40056390A Expired - Fee Related JP3234237B2 (ja) | 1990-12-06 | 1990-12-06 | 排ガス中の亜酸化窒素除去用触媒およびその製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3234237B2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH04363143A (ja) * | 1991-06-07 | 1992-12-16 | Nippon Shokubai Co Ltd | 亜酸化窒素分解用触媒および亜酸化窒素含有排ガスの浄化方法 |
| JP2021164904A (ja) * | 2020-04-07 | 2021-10-14 | セントラル硝子株式会社 | Ｎ２ｏの処理方法及びｎ２ｏの除害装置 |
-
1990
- 1990-12-06 JP JP40056390A patent/JP3234237B2/ja not_active Expired - Fee Related
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH04363143A (ja) * | 1991-06-07 | 1992-12-16 | Nippon Shokubai Co Ltd | 亜酸化窒素分解用触媒および亜酸化窒素含有排ガスの浄化方法 |
| JP2021164904A (ja) * | 2020-04-07 | 2021-10-14 | セントラル硝子株式会社 | Ｎ２ｏの処理方法及びｎ２ｏの除害装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3234237B2 (ja) | 2001-12-04 |
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