JPH04210271A - 回転塗布装置 - Google Patents
回転塗布装置Info
- Publication number
- JPH04210271A JPH04210271A JP2400992A JP40099290A JPH04210271A JP H04210271 A JPH04210271 A JP H04210271A JP 2400992 A JP2400992 A JP 2400992A JP 40099290 A JP40099290 A JP 40099290A JP H04210271 A JPH04210271 A JP H04210271A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- coating material
- coating
- coated
- cup
- solvent
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Withdrawn
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Landscapes
- Coating Apparatus (AREA)
- Drying Of Semiconductors (AREA)
- Formation Of Insulating Films (AREA)
- Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
［０００１］
【産業上の利用分野】本発明は半導体ウェハやマスク基
板等の平板上への薄膜形用成物質の回転塗布装置に関す
る。 （０００２］近年、半導体装置、 ＬＣＤ（液晶）表示
器、光学ディスク等のパターンの高密度化にともない、
より欠陥の少ない薄膜の形成が要求されている。本発明
はこの要求に対処した回転塗布装置として利用できる。 ［０００３］
板等の平板上への薄膜形用成物質の回転塗布装置に関す
る。 （０００２］近年、半導体装置、 ＬＣＤ（液晶）表示
器、光学ディスク等のパターンの高密度化にともない、
より欠陥の少ない薄膜の形成が要求されている。本発明
はこの要求に対処した回転塗布装置として利用できる。 ［０００３］
【従来の技術】図３は従来例による回転塗布装置の断面
図である。図において、１は被塗布物、２は被塗布物を
真空吸引等で保持して回転するスピンチャック、３は塗
布材料の飛散防止用のカップ、４は落下した余分の塗布
材料（塗布液）の排液トレインパイプ、５は塗布中に発
生したミストを排気する排気パイプである。 ［０００４］従来の回転塗布装置では、カップ３へ塗布
材料が飛散し、衝突する部分に傾斜をつけて塗布材料が
被塗布物表面に跳ね返らないようにして、塗布材料の飛
散による汚染を防止していた。しかし、使用回数を重ね
ていくうちに、カップ自体が固着した塗布材料で汚れて
くるため１発塵が増加していた。
図である。図において、１は被塗布物、２は被塗布物を
真空吸引等で保持して回転するスピンチャック、３は塗
布材料の飛散防止用のカップ、４は落下した余分の塗布
材料（塗布液）の排液トレインパイプ、５は塗布中に発
生したミストを排気する排気パイプである。 ［０００４］従来の回転塗布装置では、カップ３へ塗布
材料が飛散し、衝突する部分に傾斜をつけて塗布材料が
被塗布物表面に跳ね返らないようにして、塗布材料の飛
散による汚染を防止していた。しかし、使用回数を重ね
ていくうちに、カップ自体が固着した塗布材料で汚れて
くるため１発塵が増加していた。
【ｏ ＯＯ５］
【発明が解決しようとする課題】従来例のように、カッ
プ形状を工夫して塗布材料の飛散による汚染を防止した
装置でも、長期間連続使用すると発塵により、被塗布物
を汚染するという欠点があった。 ［０００６１本発明は被塗布物上の汚染を防止し、長期
間安定して塗布できる装置の提供を目的とする。 ［０００７１
プ形状を工夫して塗布材料の飛散による汚染を防止した
装置でも、長期間連続使用すると発塵により、被塗布物
を汚染するという欠点があった。 ［０００６１本発明は被塗布物上の汚染を防止し、長期
間安定して塗布できる装置の提供を目的とする。 ［０００７１
【課題を解決するための手段］上記課題の解決は９回転
する被塗布物上に塗布材料を滴下して塗布する回転塗布
装置であって、該被塗布物の周囲に設けられた該塗布材
料の飛散防止用のカップと、該カップの内側面に敷きつ
めた多孔買物質と、該多孔質物質に該塗布材料の溶剤を
供給する手段とを有する回転塗布装置により達成される
。 ［０００８］ 【作用】図１は本発明の原理説明図である。図において
、６は多孔質物質、７は塗布材料の溶剤供給パイプであ
る。 ［０００９］多孔質物質６は溶剤に侵されない物質から
なり、溶剤供給パイプ７から常時供給される溶剤により
湿潤しているようにする。本発明では９回転により飛散
される塗布材料は常に湿潤な多孔質物質に吸収され、跳
ね返ったりしてミスト化し、カップ内を汚すことはない
。 ［００１０］したがって、長期間連袂使用した場合でも
、カップ内が常に清浄に保たれているため、被塗布物も
塗布材料の跳ね返りにより汚染されることはない。 ［００１１１
する被塗布物上に塗布材料を滴下して塗布する回転塗布
装置であって、該被塗布物の周囲に設けられた該塗布材
料の飛散防止用のカップと、該カップの内側面に敷きつ
めた多孔買物質と、該多孔質物質に該塗布材料の溶剤を
供給する手段とを有する回転塗布装置により達成される
。 ［０００８］ 【作用】図１は本発明の原理説明図である。図において
、６は多孔質物質、７は塗布材料の溶剤供給パイプであ
る。 ［０００９］多孔質物質６は溶剤に侵されない物質から
なり、溶剤供給パイプ７から常時供給される溶剤により
湿潤しているようにする。本発明では９回転により飛散
される塗布材料は常に湿潤な多孔質物質に吸収され、跳
ね返ったりしてミスト化し、カップ内を汚すことはない
。 ［００１０］したがって、長期間連袂使用した場合でも
、カップ内が常に清浄に保たれているため、被塗布物も
塗布材料の跳ね返りにより汚染されることはない。 ［００１１１
【実施例］図２は本発明の一実施例による回転塗布装置
の断面図である。この図は、従来例で説明した塗布材料
が衝突する部分に傾斜をつけて塗布材料が被塗布物表面
に跳ね返らないようにしたカップに本発明を適用した例
である。 【ｏ ０１２）多孔質物質６は厚さ３ｆｌのテフロンか
らなる不織布で、カップ３の内側面に貼り付けられ、塗
布材料として９例えばフォトレジストを用いた場合、溶
剤供給パイプ７から溶剤として乳酸エチルを供給して、
絶えず多孔質物質６を湿潤させる。 ［００１３］また。塗布材料として１例えばスピンオン
グラス（ＳＯＧ）を用いた場合、溶剤供給パイプ７から
溶剤としてエタノールを供給して、絶えず多孔質物質６
を湿潤させる。 ［００１４］このような装置を用いてフォトレジス■・
の塗布を長期間行い多数試料を観測した結果、塗布した
レジスト膜上には塗布材料の跳ね返りによる汚染は全く
認められなかった。 ［００１５］ 【発明の効果】被塗布物上の汚染を防止し、長期間安定
して塗布できる装置が得られた。この結果、半導体装置
等の微細パターンの形成に貢献することができた。
の断面図である。この図は、従来例で説明した塗布材料
が衝突する部分に傾斜をつけて塗布材料が被塗布物表面
に跳ね返らないようにしたカップに本発明を適用した例
である。 【ｏ ０１２）多孔質物質６は厚さ３ｆｌのテフロンか
らなる不織布で、カップ３の内側面に貼り付けられ、塗
布材料として９例えばフォトレジストを用いた場合、溶
剤供給パイプ７から溶剤として乳酸エチルを供給して、
絶えず多孔質物質６を湿潤させる。 ［００１３］また。塗布材料として１例えばスピンオン
グラス（ＳＯＧ）を用いた場合、溶剤供給パイプ７から
溶剤としてエタノールを供給して、絶えず多孔質物質６
を湿潤させる。 ［００１４］このような装置を用いてフォトレジス■・
の塗布を長期間行い多数試料を観測した結果、塗布した
レジスト膜上には塗布材料の跳ね返りによる汚染は全く
認められなかった。 ［００１５］ 【発明の効果】被塗布物上の汚染を防止し、長期間安定
して塗布できる装置が得られた。この結果、半導体装置
等の微細パターンの形成に貢献することができた。
【図１】 原理説明図
【図２】 一実施例による回転塗布装置の断面図
【図３
１ 従来例による回転塗布装置の断面図【符号の説明】 １ 被塗布物 ２ スピンチャック ３ カップ ４ 落下した余分の塗布液（塗布材料）の排液ドレイン
パイプ ５ 塗布中に発生したミストを排気する排気バイブロ
多孔質物質 ７ 塗布材料の溶剤供給パイプ
１ 従来例による回転塗布装置の断面図【符号の説明】 １ 被塗布物 ２ スピンチャック ３ カップ ４ 落下した余分の塗布液（塗布材料）の排液ドレイン
パイプ ５ 塗布中に発生したミストを排気する排気バイブロ
多孔質物質 ７ 塗布材料の溶剤供給パイプ
【図１】
Claims (1)
- 【請求項１】回転する被塗布物上に塗布材料を滴下して
塗布する回転塗布装置であって、該被塗布物の周囲に設
けられた該塗布材料の飛散防止用のカップと、該カップ
の内側面に敷きつめた多孔質物質と、該孔質物質物質に
該塗布材料の溶剤を供給する手段とを有することを特徴
とする回転塗布装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2400992A JPH04210271A (ja) | 1990-12-10 | 1990-12-10 | 回転塗布装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2400992A JPH04210271A (ja) | 1990-12-10 | 1990-12-10 | 回転塗布装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04210271A true JPH04210271A (ja) | 1992-07-31 |
Family
ID=18510855
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2400992A Withdrawn JPH04210271A (ja) | 1990-12-10 | 1990-12-10 | 回転塗布装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH04210271A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009545444A (ja) * | 2006-08-28 | 2009-12-24 | トランジションズ オプティカル， インコーポレイテッド | 光学制御器を有するスピンコーター |
| JP2013140302A (ja) * | 2012-01-06 | 2013-07-18 | Hoya Corp | 眼鏡レンズ用塗布液塗布装置 |
-
1990
- 1990-12-10 JP JP2400992A patent/JPH04210271A/ja not_active Withdrawn
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009545444A (ja) * | 2006-08-28 | 2009-12-24 | トランジションズ オプティカル， インコーポレイテッド | 光学制御器を有するスピンコーター |
| JP2014087792A (ja) * | 2006-08-28 | 2014-05-15 | Transitions Optical Inc | 光学制御器を有するスピンコーター |
| JP2013140302A (ja) * | 2012-01-06 | 2013-07-18 | Hoya Corp | 眼鏡レンズ用塗布液塗布装置 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Application deemed to be withdrawn because no request for examination was validly filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 19980312 |