JPH0421052Y2 - - Google Patents

Info

Publication number
JPH0421052Y2
JPH0421052Y2 JP9093886U JP9093886U JPH0421052Y2 JP H0421052 Y2 JPH0421052 Y2 JP H0421052Y2 JP 9093886 U JP9093886 U JP 9093886U JP 9093886 U JP9093886 U JP 9093886U JP H0421052 Y2 JPH0421052 Y2 JP H0421052Y2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
air
flat
flat plate
members
spindle
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired
Application number
JP9093886U
Other languages
English (en)
Other versions
JPS62201004U (ja
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed filed Critical
Priority to JP9093886U priority Critical patent/JPH0421052Y2/ja
Publication of JPS62201004U publication Critical patent/JPS62201004U/ja
Application granted granted Critical
Publication of JPH0421052Y2 publication Critical patent/JPH0421052Y2/ja
Expired legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
  • Length Measuring Devices With Unspecified Measuring Means (AREA)

Description

【考案の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本考案は、4枚の平板状部材を対向配設させて
角柱状空間を形成させた測定機の空気軸受の改良
に関する。
〔背景技術とその問題点〕
検出子等を軸方向に摺動自在に支持する多次元
測定機やデジタルコントレーサ等測定機が知られ
ている。その検出子等を軸方向に摺動自在に支持
する一般的構造は、測定機本体に取り付けた角柱
状空間を形成する軸受ボツクスに検出子等が設け
られた角柱状スピンドルを嵌挿しかつ軸受ボツク
スの内面壁から嵌挿したスピンドルの外面壁へ圧
搾空気を噴出させるよう構成したいわゆる空気軸
受とされていた。この空気軸受はスピンドルを手
動または自動で軸方向に微力で変位させることが
できかつ軸方向と直交する方向の隙間を微小とす
ることができるから結果として測定精度を高く保
障できるという特徴を有していた。
しかしながら、従来の空気軸受は、第5図に見
られるように一対の平板状第1部材10,30と
一対の平板状第2部材20,40とを対向配設さ
せて一対4個の取付ボルト55で固定し、寸法が
x×yの角柱状空間50を成立させることによつ
て軸受ボツクス52を形成し、その角柱状空間5
0に軸方向に伸びる角柱状のスピンドルを嵌挿さ
せて構成されていたので、次のような問題点を有
していた。
すなわち、嵌挿されるスピンドルの外形に対応
させて各対向面間に一定の隙間を確保しなければ
ならないので第1部材、第2部材の形状寸法(平
滑度、垂直度、平行度等)を極めて精密に仕上げ
なければならず加工困難、経済的負担が大きいと
いう欠点があつた。また、そのように精密仕上げ
してもその組立、調整に多くの労力、時間を必要
とするので作業能率が悪いという問題があつた。
さらに、一旦組み立ててしまうと第5図で示され
るように空間断面を規定する寸法x,yが固定化
されてしまうので嵌挿されるスピンドルの外形寸
法が変わると所定の前記隙間を確保することがで
きず結果として測定精度を劣悪化させるという大
きな問題をも有していた。さらにまた、スピンド
ルの外形寸法のみならず、供給空気圧力との関係
すなわち摺動性の観点からも上記寸法を調整した
い場合が生じるが、これを実行できないので、適
応性が狭小化されるという問題もあつた。
〔考案の目的〕
本考案は、上記従来問題点を除去すべく鑑みな
されたもので、部品加工、組立、調整容易な円滑
摺動かつ高精度を保障できる優れた測定機の空気
軸受を提供することを目的とする。
〔問題点を解決するための手段および作用〕
本発明は、4枚の平板状部材を対向配設させて
測定機のスピンドルの外形に対応させた角柱状空
間を形成し、この角柱状空間内に寸法および/ま
たは位置座標および/または形状を先端に設けた
位置検出子によつて測定するスピンドルを嵌挿す
るとともに、各平板状部材の内面から空気を供給
して前記スピンドルを摺動自在に案内する測定機
の空気軸受において、前記4枚の平板状部材のそ
れぞれの一方の側端面とこの側端面に隣接する平
板状部材の一方の内面縁端部とを接触面としてそ
れぞれの平板状部材を巴状に接触させて前記角柱
状空間を形成し、前記各平板状部材に外面から前
記接触面に達する貫通ばか穴を設けるとともに、
この貫通ばか穴に挿通させた取付ネジによつて各
平板状部材を前記接触面に沿つて変位可能に固着
し、前記各平板状部材内に、前記接触面に開口す
る開口部と内面に開口し前記角柱状空間に空気を
噴出する空気噴出口とを有するとともに、空気供
給源から空気が供給される空気通路を設け、これ
らの空気通路同士を前記開口部によつて接続し、
互いに接続される2個の前記空気通路の前記開口
部の径を、前記平板状部材の前記変位量全域にわ
たり前記空気通路同士を連通させる大きさとして
測定機の空気軸受を構成し、前記目的を達成しよ
うとするものである。
従つて、4枚の平板状部材をそれぞれ接続面に
沿つて変位させつつ角柱状空間の断面積を所定値
に調整し、その相対変位を許容する開口部を含む
接続手段で各平板状部材の空気通路を連通させて
各取付けネジを締め付ければ挿入される測定機の
スピンドルの外形に適応させた最適な空気軸受を
確立することができる。これにより低摩擦摺動と
高精度測定を達成することができる。
〔実施例〕
本考案に係る測定機の空気軸受の一実施例を図
面を参照して詳細に説明する。この実施例におけ
る測定機は三次元測定機とされている。なお、前
記第5図に示した従来の空気軸受と同一または同
一的部分については同一の符号を付するものとす
る。
まず、空気軸受を導入する測定機たる三次元測
定機の概略構成を第4図を参照して確認する。
第4図において、三次元測定機9は、基台3の
両側に基端部を固定して立設された支柱4,4、
この支柱4,4間に渡架された横桁部材5、この
横桁部材5に沿つて摺動可能なXスライド6、こ
のXスライド6に一体的に支持されたZ案内手段
7、先端に検出子たるビデオカメラ2が設けられ
たスピンドル1および測定対象物(図示省略)を
取り付けるY軸方向に移動可能な載物台8から構
成されている。ここに、空気軸受100はZ案内
手段7の構成要素の一部として用いられ角柱状の
スピンドル1すなわちその先端の検出子たるビデ
オカメラ2をZ軸方向に摺動案内する役目を果た
すものである。
さて、空気軸受100は、第1図ないし第3図
に示された軸受ボツクス52に図示省略した角柱
状のスピンドル1を嵌挿し、かつ第2図、第3図
で見るような空気噴出口65,65,…から圧搾
空気を噴流させるようして構成されている。
軸受ボツクス52は、角柱状空間50を形成す
る4枚の平板状部材10,20,30,40から
形成され、第3平板状部材30に設けられた突出
部38,38を固定ネジ56,56,56,56
で締め付けて測定機本体のZ案内手段7のフレー
ムに固定される。
ここに、4枚の平板状部材10,20,30,
40の組み立てについて隣接する第4の平板状部
材40と第1の平板状部材10との関係を例とし
て第1図および第2図をもつて説明する。第4の
平板状部材40の側端面43と第1の平板状部材
10の内面11の一端側である内面縁端部12と
を接触面としてこれらの平板状部材40,10を
巴状に接触させる。そして第2図において紙面前
後方向すなわち第1の平板状部材10の幅方向に
位置調整をして形成する角柱状空間50のY方向
寸法を定め、第1の平板状部材10の凹部16を
有する貫通ばか穴15にそれぞれ取付けネジ55
を挿入し、前記第4の平板状部材40の図略のネ
ジ穴に螺合させて両者を10,40を一体的に固
定する。この場合、ネジ取付け部は貫通ばか穴と
されているから第4の平板状部材40を前記接触
面に沿つて摺動させて両者10,40を相対変位
できるので前記寸法x,yを可変することができ
る。このように隣接する平板状部材間の一体的固
定を4箇所で行うことによつて角柱状空間50の
断面積(x×y)を確立することができるよう形
成されている。
また、空気通路を構成する空気噴出手段60
は、第2図に見られるように第1の平板状部材1
0の上下方向中間位置に一端に管継手66が設け
られた主管部61と、この主管部61から分岐さ
れた枝管部62,62と、枝管部62と開口部を
有する接続手段70を介し導通された第4の平板
状部材40に設けられた枝管部63と、この枝管
部63から図で上下方向に延在させた噴出管6
4,64,…と、各噴出管64に一定のピツチで
設けられた第4の平板状部材40の内面41から
角柱状空間50に向けて開口された噴出孔65,
65,65,…とから形成されている。従つて、
管継手66に接続された供給管(図示省略)から
圧搾空気を供給すれば各噴出孔65,65,…か
ら圧搾空気を噴出することができる。なお、第1
の平板状部材10の内面11にも第3図で示した
ように主管部61に接続された枝管部62と、こ
の枝管部62に図で水平方向に分岐された噴出管
64,64,…とを介して噴出孔65,65,6
5,…が設けられ、同様に第2の平板状部材20
にも格子状に噴出孔65,65,…が設けられて
いる。このことは、図示省略した第3の平板状部
材30の内面31についても同様に噴出孔65,
65,…が設けられている。従つて、この実施例
における空気噴射手段60は、主管部61とこの
主管部61に連通された各平板状部材10,2
0,30,40の噴出孔65,65,…までを含
み形成されている。
接続手段70は、第1の平板状部材10と第4
の平板状部材40との間に設けられるものについ
ては、第2図に示すように第1の平板状部材10
に設けられた枝管部62に連通する開口部である
凹状部分71と第4の平板状部材40に設けられ
た枝管部63に連通する開口部である凹状部分7
2と、これら凹状部分71,72にそれぞれに嵌
挿された合成樹脂リングから形成された弾性部材
73,74とから構成され、角柱状空間50の断
面積を調整するために第1の平板状部材10と第
4の平板状部材40とを相対変位させてもそれを
許容して枝管部62と枝管部63とが気密連通す
ることができるよう形成されている。ここにおい
て、前記枝管部62,63、噴出管64、噴出孔
65、開口部を有する接続手段70を含んで空気
通路が構成される。
この実施例によれば、まず第3の平板状部材3
0を垂直状態に位置出ししてZ案内手段7のフレ
ームにその突出部38,38の穴から固定ネジ5
6,56,56,56を貫通させて固定する。次
に、第3の平板状部材30に第4の平板状部材4
0を取付ネジ55,55を仮取り付けし、順次同
様にして第1の平板状部材10、第2の平板状部
材20を仮取り付けする。そして各平板状部材1
0,20,30,40で形成すべき角柱状空間5
0の断面積(x×y)と断面が等しい角柱状治具
(図示省略)を角柱状空間50に嵌装し、各取付
ネジ55,55,…を締め付けて各平板状部材1
0,20,30,40を本取り付けして軸受ボツ
クス52が構成される。そして、前記角柱状治具
を引き抜き、角柱状空間50に先端に検出子2を
有するスピンドル1を嵌装し、管継手66に圧搾
空気を供給して接続手段70を介し空気噴出手段
60を作用させることにより空気軸受100が構
成される。従つて、測定者が手動でまたはモータ
(図示省略)によりスピンドル1を第4図でXお
よびZ方向に移動させかつ載物台8をY方向に移
動させて検出子2と載物台8上の被測定物(図示
省略)とを三次元方向に相対移動させつつ検出子
2を被測定物に関与させれば、公知の測定回路
(図示省略)によつて当該被測定物の三次元的形
状、寸法等を測定することができる。
従つて、この実施例によれば、軸受ボツクス5
2は相対変位可能とされた4枚の平板状部材1
0,20,30,40から構成されているから、
角柱状空間50の寸法(x×y)を可変調整する
ことができる。よつて、嵌装されるスピンドル1
との間隙を最適なものとすることができるからス
ピンドル1を極めて小さな摺動抵抗の下方向に移
動させることができる。このことは、例えば第1
の平板状部材10等々構成要素部材の極限的高精
度加工を必要としないから経済的効果はもとより
その組立、調整を飛躍的に簡素化できる。
また、空気噴出手段60が主管部61、枝管部
62,63、噴出管64,64,…および噴出孔
65,65,…から形成されているから供給空気
の導路抵抗を小さくすることができ、かつ各平板
状部材10,20,30,40には噴出孔65,
65,…を格子状に設けているから、この点から
も高精度測定を一層確実化することができる。
さらに、空気噴出手段60の構成要素間を接続
手段70を介し連通させるよう形成しているから
気密を保ちつつ角柱状空間50の断面寸法(x×
y)を比較的大きく可変調整できるので各種測定
機ならびに外形の異なるスピンドル1にも適用拡
大できる。
また、この空気軸受100は構造簡単であるか
ら、いずれの測定機に採用する場合にも統合化が
容易であつて、また、既存の測定機にも取り付け
ることができる。スピンドル1の寸法が変わつて
も全体を交換する必要がなく適応性が拡大でき
る。
このような効果を有する空気軸受100は、結
果として三次元測定機の第1図で示したXおよび
Y方向のガタを皆無または測定精度に影響を与え
ない範囲に規制することができるから、測定精度
を高くすることに重要な役割をなすという効果を
も有する。
なお、以上の実施例では、測定機を三次元測定
機としたが、二次元測定機やデジタルコントレー
サ等その型種は問わない。また、空気噴出手段6
0は管継手66を第1の平板状部材10に設け、
各平板状部材20,30,40に連通させたが2
以上の平板状部材に管継手66を設けてもよい。
さらに、接続手段70は対応する凹部とこれら凹
部に嵌装される弾性部材とから形成したが、要は
当該平板状部材の内面方向相対移動を許容できる
ものであればよいから、弾性部材から形成したニ
ツプル状継手等としてもよいし、あるいは、弾性
部材を使用せず各枝管部の開口部の径を大きくし
たものであつてもよい。
〔考案の効果〕
本考案は、部品加工、組立、調整容易であると
ともに円滑摺動かつ高精度測定を保障できるとい
う優れた効果を有する。
【図面の簡単な説明】
第1図は本考案に係る測定機の空気軸受の一実
施例を示す要部斜視図、第2図は同じく第1図の
矢視線−に基づく一部省略側断面図、第3図
は同じく第1図の矢視線−に基づく一部省略
側断面図、第4図は同じく本考案の空気軸受を採
用した三次元測定機の全体斜視図および第5図は
従来の空気軸受を形成する軸受ボツクスの斜視図
である。 1……スピンドル、10,20,30,40…
…平板状部材、11,21,31,41……内
面、12,22,32,42……内面縁端部、1
3,23,33,34……側端面、50……角柱
状空間、60……空気通路を形成する空気噴出手
段、70……接続手段。

Claims (1)

  1. 【実用新案登録請求の範囲】 4枚の平板状部材を対向配設させて測定機のス
    ピンドルの外形に対応させた角柱状空間を形成
    し、この角柱状空間内に寸法および/または位置
    座標および/または形状を先端に設けた位置検出
    子によつて測定するスピンドルを嵌挿するととも
    に、各平板状部材の内面から空気を供給して前記
    スピンドルを摺動自在に案内する測定機の空気軸
    受において、 前記4枚の平板状部材のそれぞれの一方の側端
    面とこの側端面に隣接する平板状部材の一方の内
    面縁端部とを接触面としてそれぞれの平板状部材
    を巴状に接触させて前記角柱状空間を形成し、 前記各平板状部材に外面から前記接触面に達す
    る貫通ばか穴を設けるとともに、この貫通ばか穴
    に挿通させた取付ネジによつて各平板状部材を前
    記接触面に沿つて変位可能に固着し、 前記各平板状部材内に、前記接触面に開口する
    開口部と内面に開口し前記角柱状空間に空気を噴
    出する空気噴出口とを有するとともに、空気供給
    源から空気が供給される空気通路を設け、これら
    の空気通路同士を前記開口部によつて接続し、 互いに接続される2個の前記空気通路の前記開
    口部の径を、前記平板状部材の前記変位量全域に
    わたり前記空気通路同士を連通させる大きさとし
    たことを特徴とする測定機の空気軸受。
JP9093886U 1986-06-13 1986-06-13 Expired JPH0421052Y2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP9093886U JPH0421052Y2 (ja) 1986-06-13 1986-06-13

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP9093886U JPH0421052Y2 (ja) 1986-06-13 1986-06-13

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPS62201004U JPS62201004U (ja) 1987-12-22
JPH0421052Y2 true JPH0421052Y2 (ja) 1992-05-14

Family

ID=30951266

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP9093886U Expired JPH0421052Y2 (ja) 1986-06-13 1986-06-13

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPH0421052Y2 (ja)

Also Published As

Publication number Publication date
JPS62201004U (ja) 1987-12-22

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US5388342A (en) Assembly for supporting and guiding a movable member of a machine, particularly a measuring machine
US7234675B2 (en) Vertical guide unit and stage system with the same unit
JP5353710B2 (ja) スライドステージおよびxy方向可動スライドステージ
WO1999013289A1 (en) Coordinate measuring machine of a gantry-style
US6677691B2 (en) Stage apparatus and method of using the same
US4611403A (en) Surface tracer
US6463667B1 (en) Machine tool precision-measuring apparatus
US5257461A (en) Coordinate measuring machine construction
JPH0421052Y2 (ja)
US6960855B2 (en) Bearing for a measuring instrument, particularly a coordinate measuring instrument
JPH0123262B2 (ja)
JPH03153915A (ja) 直線摺動用ベアリング
JPS62265502A (ja) 測定機の空気軸受
JPS6348809Y2 (ja)
JP2000503910A (ja) 高精度並進案内装置
JPH0525789Y2 (ja)
JPS61112216A (ja) 非接触駆動形平面移動台
KR20130048197A (ko) 공기압 리니어 가이드 방식의 병렬 슬라이더 장치 및 그 제어 방법 및 측정 장치
JPH08187646A (ja) 工作機械の位置決め装置
CN222985962U (zh) 用于飞秒激光加工的三轴运动台
JPH06186024A (ja) 三次元測定機
JPS6342997Y2 (ja)
JPH081292Y2 (ja) ローラリニアガイド装置
JPH0360938A (ja) 直進ガイドユニット
JPH11183672A (ja) スライド装置