JPH08187646A - 工作機械の位置決め装置 - Google Patents
工作機械の位置決め装置Info
- Publication number
- JPH08187646A JPH08187646A JP175895A JP175895A JPH08187646A JP H08187646 A JPH08187646 A JP H08187646A JP 175895 A JP175895 A JP 175895A JP 175895 A JP175895 A JP 175895A JP H08187646 A JPH08187646 A JP H08187646A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- linear motor
- linear
- positioning device
- machine tool
- moving body
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 7
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 abstract description 17
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 238000003754 machining Methods 0.000 description 2
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 230000020169 heat generation Effects 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 238000005096 rolling process Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Machine Tool Sensing Apparatuses (AREA)
- Linear Motors (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 複数のリニアモータを用いた工作機械の位置
決め装置においてサーボ機構の高ポジションゲイン,高
サーボ剛性を実現できる工作機械の位置決め装置を提供
する。 【構成】 対で設けられている案内手段5,9により移
動体7が固定体3に対して往復動自在に支持されてい
る。リニアモータLMの一次側部材21又は二次側部材
15の一方が固定体3に設けられ他方が移動体7に設け
られているので、移動体7はリニアモータLMから推力
を得て移動する。移動体7の位置は位置検出手段37,
39が検出して制御部27へ伝達し、制御部27はサー
ボ機構により位置決めをする。偶数個のリニアモータL
Mは、案内手段5,9の中点Cに対して均等に振分けら
れているので、均等な推力が得られる。また、位置検出
手段37,39が中点Cに設けられているので、移動体
7の正確な位置を検出することができ、各リニアモータ
LMに対して均等で近い位置に配置されることになる。
決め装置においてサーボ機構の高ポジションゲイン,高
サーボ剛性を実現できる工作機械の位置決め装置を提供
する。 【構成】 対で設けられている案内手段5,9により移
動体7が固定体3に対して往復動自在に支持されてい
る。リニアモータLMの一次側部材21又は二次側部材
15の一方が固定体3に設けられ他方が移動体7に設け
られているので、移動体7はリニアモータLMから推力
を得て移動する。移動体7の位置は位置検出手段37,
39が検出して制御部27へ伝達し、制御部27はサー
ボ機構により位置決めをする。偶数個のリニアモータL
Mは、案内手段5,9の中点Cに対して均等に振分けら
れているので、均等な推力が得られる。また、位置検出
手段37,39が中点Cに設けられているので、移動体
7の正確な位置を検出することができ、各リニアモータ
LMに対して均等で近い位置に配置されることになる。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】この発明は工作機械の位置決め装
置に係り、さらに詳しくは、リニアモータを用いて高精
度の位置決めをすることができる工作機械の位置決め装
置に関するものである。
置に係り、さらに詳しくは、リニアモータを用いて高精
度の位置決めをすることができる工作機械の位置決め装
置に関するものである。
【0002】
【従来の技術】従来より、加工機におけるワークテーブ
ル等の位置決め装置としては、サーボモータとボールネ
ジによる移動を位置検出手段としてのフィードバックス
ケールにより検出し、セミクローズド又はフルクローズ
ドサーボシステムで制御することにより移動位置決めを
行っている。フルクローズドサーボシステムの場合、通
常加工点に近い側面等にフィードバックスケールを配置
することにより加工点等の位置決め精度の向上を図って
いる。
ル等の位置決め装置としては、サーボモータとボールネ
ジによる移動を位置検出手段としてのフィードバックス
ケールにより検出し、セミクローズド又はフルクローズ
ドサーボシステムで制御することにより移動位置決めを
行っている。フルクローズドサーボシステムの場合、通
常加工点に近い側面等にフィードバックスケールを配置
することにより加工点等の位置決め精度の向上を図って
いる。
【0003】また、位置決め装置により移動する移動体
が大型の場合には、フィードバックスケールを移動体の
両側面に設け、読取りヘッドを両側に配置して位置情報
を得ることが行われている。
が大型の場合には、フィードバックスケールを移動体の
両側面に設け、読取りヘッドを両側に配置して位置情報
を得ることが行われている。
【0004】しかしながら、このようにボールネジ,ボ
ールナットやギヤ機構を用いてサーボモータの回転力を
直線移動に変換する場合には、ボールナット等の製作精
度や、ギヤのバックラッシュ等により位置決め精度に限
界がある。そこで、フルクローズドサーボシステムを、
リニアモータを用いて直線的な移動をする位置決め装置
に適用することが考えられる。
ールナットやギヤ機構を用いてサーボモータの回転力を
直線移動に変換する場合には、ボールナット等の製作精
度や、ギヤのバックラッシュ等により位置決め精度に限
界がある。そこで、フルクローズドサーボシステムを、
リニアモータを用いて直線的な移動をする位置決め装置
に適用することが考えられる。
【0005】リニアモータを用いて移動体の移動,位置
決めを行う場合には、リニアモータの推力の限界からリ
ニアモータを複数設ける必要があり、図2および図3に
示されるようになると考えられる。
決めを行う場合には、リニアモータの推力の限界からリ
ニアモータを複数設ける必要があり、図2および図3に
示されるようになると考えられる。
【0006】図2(A)に示される位置決め装置1の場
合では、固定体としてのベッド3の左右(図2(A)中
左右)両端付近に案内手段の一方である一対のガイドレ
ール5を設け、移動体としてのテーブル7下面の左右両
端付近に案内手段の他方であるスライダ9が対をなして
設けられている。従って、テーブル7はスライダ9によ
りガイドレール5に沿って往復動自在に支持されること
になる。
合では、固定体としてのベッド3の左右(図2(A)中
左右)両端付近に案内手段の一方である一対のガイドレ
ール5を設け、移動体としてのテーブル7下面の左右両
端付近に案内手段の他方であるスライダ9が対をなして
設けられている。従って、テーブル7はスライダ9によ
りガイドレール5に沿って往復動自在に支持されること
になる。
【0007】ベッド3上部には、前記一対のガイドレー
ル5の中点Cを通る対称軸11に関して対称位置に2条
の溝13,13を有しており、この溝13,13の内側
側面には各々リニアモータLMの二次側部材15が移動
方向(図2(A)中紙面直交方向)に沿って取付けられ
ている。従って、4個の二次側部材15が対称軸11に
関して左右対称位置に振分けられている。そして、図2
(A)中ベッド3の右側外面には位置検出手段としての
リニアスケール17Rが設けられている。
ル5の中点Cを通る対称軸11に関して対称位置に2条
の溝13,13を有しており、この溝13,13の内側
側面には各々リニアモータLMの二次側部材15が移動
方向(図2(A)中紙面直交方向)に沿って取付けられ
ている。従って、4個の二次側部材15が対称軸11に
関して左右対称位置に振分けられている。そして、図2
(A)中ベッド3の右側外面には位置検出手段としての
リニアスケール17Rが設けられている。
【0008】一方、テーブル7下面には、前記対称軸1
1に関して対称位置に2列の突出部19,19を有して
おり、この突出部19の両側側面には各々リニアモータ
LMの一次側部材21が移動方向に沿って設けられてい
る。従って、4個の一次側部材21は対称軸11に関し
て左右対称位置に振分けられると共に、前記二次側部材
15に一定の間隔をおいて対向している。
1に関して対称位置に2列の突出部19,19を有して
おり、この突出部19の両側側面には各々リニアモータ
LMの一次側部材21が移動方向に沿って設けられてい
る。従って、4個の一次側部材21は対称軸11に関し
て左右対称位置に振分けられると共に、前記二次側部材
15に一定の間隔をおいて対向している。
【0009】また、テーブル7の右側外面にはアーム2
3を介して読取りヘッド25Rが前記リニアスケール1
7R位置まで伸びて設けられており、この読取りヘッド
25Rは制御部27に接続されている。従って、読取り
ヘッド25Rにより検出されたテーブル7の位置は制御
部27にフィードバックされることとなる。
3を介して読取りヘッド25Rが前記リニアスケール1
7R位置まで伸びて設けられており、この読取りヘッド
25Rは制御部27に接続されている。従って、読取り
ヘッド25Rにより検出されたテーブル7の位置は制御
部27にフィードバックされることとなる。
【0010】以上の位置決め装置1におけるサーボ機構
が、図2(B)に示されている。すなわち、読取りヘッ
ド25Rがリニアスケール17Rからテーブル7の位置
を読取って制御部27にフィードバックし、制御部27
が指令と読取った値との偏差をとってゲインを決定し、
増幅器29を経てリニアモータLMを駆動するものであ
る。
が、図2(B)に示されている。すなわち、読取りヘッ
ド25Rがリニアスケール17Rからテーブル7の位置
を読取って制御部27にフィードバックし、制御部27
が指令と読取った値との偏差をとってゲインを決定し、
増幅器29を経てリニアモータLMを駆動するものであ
る。
【0011】また、図3(A)に示される位置決め装置
31の場合では、位置検出手段が前述した右側のリニア
スケール17Rおよび読取りヘッド25Rに加えて図3
(A)中左側の外面にもリニアスケール17Lおよび読
取りヘッド25Lが設けられている。その他の構造は前
述の場合と同様であるので、同じ部位には同じ符号を用
いて説明は省略する。
31の場合では、位置検出手段が前述した右側のリニア
スケール17Rおよび読取りヘッド25Rに加えて図3
(A)中左側の外面にもリニアスケール17Lおよび読
取りヘッド25Lが設けられている。その他の構造は前
述の場合と同様であるので、同じ部位には同じ符号を用
いて説明は省略する。
【0012】また、図3(B)に示されているサーボ機
構では、右側のリニアスケール17Rからの情報は図3
(A)における右側の溝13に設けられている二つのリ
ニアモータLMの位置決めに用いられ、左側のリニアス
ケール17Lからの情報は図3(A)における左側の溝
13に設けられている二つのリニアモータLMの位置決
めに用いられるようになっている。
構では、右側のリニアスケール17Rからの情報は図3
(A)における右側の溝13に設けられている二つのリ
ニアモータLMの位置決めに用いられ、左側のリニアス
ケール17Lからの情報は図3(A)における左側の溝
13に設けられている二つのリニアモータLMの位置決
めに用いられるようになっている。
【0013】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、前述し
たような複数のリニアモータLMを使用した場合には、
テーブル7のヨーイング,ピッチング,ローリング等の
ぶれのため以下のような問題が生じてくる。
たような複数のリニアモータLMを使用した場合には、
テーブル7のヨーイング,ピッチング,ローリング等の
ぶれのため以下のような問題が生じてくる。
【0014】すなわち、図2に示される場合において
は、リニアスケール17Rに近いリニアモータLMに対
してはポジションゲインをあげることができるが、リニ
アスケール17Rから遠いリニアモータLMに対してポ
ジションゲインをあげることができない。ポジションゲ
インをあげるとサーボ機構が不安定になってハンチング
を起こし、行ったり来たりすることになるからである。
は、リニアスケール17Rに近いリニアモータLMに対
してはポジションゲインをあげることができるが、リニ
アスケール17Rから遠いリニアモータLMに対してポ
ジションゲインをあげることができない。ポジションゲ
インをあげるとサーボ機構が不安定になってハンチング
を起こし、行ったり来たりすることになるからである。
【0015】また、図3に示される場合においては、テ
ーブル7の左右両側において位置検出を行っているの
で、一つのテーブル7において二系列のサーボ機構が存
在することになる。このため、両サーボ機構の精度が完
全に一致しない場合、特に両リニアスケール17R,1
7Lの精度が不一致の場合には、位置決めしてサーボロ
ック状態となった後でも双方のサーボ間で引っ張り合い
することがあり、このような場合には過大な発熱をする
おそれがある。
ーブル7の左右両側において位置検出を行っているの
で、一つのテーブル7において二系列のサーボ機構が存
在することになる。このため、両サーボ機構の精度が完
全に一致しない場合、特に両リニアスケール17R,1
7Lの精度が不一致の場合には、位置決めしてサーボロ
ック状態となった後でも双方のサーボ間で引っ張り合い
することがあり、このような場合には過大な発熱をする
おそれがある。
【0016】この発明の目的は、以上のような従来の技
術に着目してなされたものであり、複数のリニアモータ
を用いた工作機械の位置決め装置においてサーボ機構の
高ポジションゲイン,高サーボ剛性を実現できる工作機
械の位置決め装置を提供することにある。
術に着目してなされたものであり、複数のリニアモータ
を用いた工作機械の位置決め装置においてサーボ機構の
高ポジションゲイン,高サーボ剛性を実現できる工作機
械の位置決め装置を提供することにある。
【0017】
【課題を解決するための手段】この発明に係る工作機械
の位置決め装置は、上記の目的を達成するために、工作
機械の固定体に線形移動可能に設けられた移動体の位置
決め装置において、移動体を移動方向へ案内すべく対を
なして設けられた案内手段と、一次側部材または二次側
部材の一方が固定体に設けられ他方が移動体に各々設け
られて前記移動体を移動方向へ駆動する偶数個のリニア
モータと、前記移動体の位置を検出する位置検出手段
と、前記位置検出手段からの検出信号に基づいて前記リ
ニアモータを駆動制御する制御部とを有し、前記リニア
モータが前記対をなす案内手段の中点に関して均等に振
分け配置されると共に、前記位置検出手段が前記中点に
設けられていることを特徴とするものである。
の位置決め装置は、上記の目的を達成するために、工作
機械の固定体に線形移動可能に設けられた移動体の位置
決め装置において、移動体を移動方向へ案内すべく対を
なして設けられた案内手段と、一次側部材または二次側
部材の一方が固定体に設けられ他方が移動体に各々設け
られて前記移動体を移動方向へ駆動する偶数個のリニア
モータと、前記移動体の位置を検出する位置検出手段
と、前記位置検出手段からの検出信号に基づいて前記リ
ニアモータを駆動制御する制御部とを有し、前記リニア
モータが前記対をなす案内手段の中点に関して均等に振
分け配置されると共に、前記位置検出手段が前記中点に
設けられていることを特徴とするものである。
【0018】
【作用】この発明による工作機械の位置決め装置では、
対をなして設けられている案内手段の働きにより移動体
が固定体に対して往復動自在に支持されている。そし
て、リニアモータの一次側部材または二次側部材の一方
が固定体に設けられ他方が移動体に設けられているの
で、移動体はリニアモータから推力を得て移動する。移
動体の位置は位置検出手段により検出されて制御部へ伝
達され、制御部はサーボ機構により位置決めをする。こ
の時、偶数個のリニアモータは、対をなしている案内手
段の中点に対して均等に振分け配置されているので、均
等な推力が得られる。また、位置検出手段が前記中点に
設けられているので、移動体の正確な位置を検出するこ
とができると共に、位置検出手段が各リニアモータに対
して均等で近い位置に配置されることになるので、サー
ボ機構におけるポジションゲインを同一にでき且つ高め
ることができる。
対をなして設けられている案内手段の働きにより移動体
が固定体に対して往復動自在に支持されている。そし
て、リニアモータの一次側部材または二次側部材の一方
が固定体に設けられ他方が移動体に設けられているの
で、移動体はリニアモータから推力を得て移動する。移
動体の位置は位置検出手段により検出されて制御部へ伝
達され、制御部はサーボ機構により位置決めをする。こ
の時、偶数個のリニアモータは、対をなしている案内手
段の中点に対して均等に振分け配置されているので、均
等な推力が得られる。また、位置検出手段が前記中点に
設けられているので、移動体の正確な位置を検出するこ
とができると共に、位置検出手段が各リニアモータに対
して均等で近い位置に配置されることになるので、サー
ボ機構におけるポジションゲインを同一にでき且つ高め
ることができる。
【0019】
【実施例】以下、この発明の好適な実施例を図面に基づ
いて説明する。
いて説明する。
【0020】図1(A),(B)には工作機械の位置決
め装置33およびそのサーボ機構が示されている。な
お、従来技術の欄で前述したものと共通の部位には同じ
符号を用いることとして重複した説明は省略する。
め装置33およびそのサーボ機構が示されている。な
お、従来技術の欄で前述したものと共通の部位には同じ
符号を用いることとして重複した説明は省略する。
【0021】この実施例における固定体としてのベッド
3では、2条の溝13がその間にあるの中央部35の中
心(前述した一対のガイドレール5の中点Cに一致す
る)を通る対称軸11に対して左右(図1(A)におい
て左右)対称に設けられている。この溝13の各側面に
はリニアモータLMの二次側部材15が各々設けられて
いるので、全部で4個(偶数個)の二次側部材15が前
述した中点Cから均等に振分けられて配置していること
となる。
3では、2条の溝13がその間にあるの中央部35の中
心(前述した一対のガイドレール5の中点Cに一致す
る)を通る対称軸11に対して左右(図1(A)におい
て左右)対称に設けられている。この溝13の各側面に
はリニアモータLMの二次側部材15が各々設けられて
いるので、全部で4個(偶数個)の二次側部材15が前
述した中点Cから均等に振分けられて配置していること
となる。
【0022】また、中央部35上面にはリニアスケール
37を読み取るための読取りヘッド39が上方へ突出し
て設けられている。
37を読み取るための読取りヘッド39が上方へ突出し
て設けられている。
【0023】一方、可動体としてのテーブル7において
も、前記対称軸11に対して左右対称に振り分けた位置
にリニアモータLMの4個(偶数個)の一次側部材21
が取付けられている。
も、前記対称軸11に対して左右対称に振り分けた位置
にリニアモータLMの4個(偶数個)の一次側部材21
が取付けられている。
【0024】また、前記中央部35に対向するテーブル
7の下面位置にはスケール取付け部41が下方へ設けら
れており、前記リニアスケール37が取付けられてい
る。従って、前述の読取りヘッド39はこのリニアスケ
ール37に対向することになるので、テーブル7位置の
読取位置は、対称軸11上となる。
7の下面位置にはスケール取付け部41が下方へ設けら
れており、前記リニアスケール37が取付けられてい
る。従って、前述の読取りヘッド39はこのリニアスケ
ール37に対向することになるので、テーブル7位置の
読取位置は、対称軸11上となる。
【0025】以上のように構成される位置決め装置33
のサーボ機構が図1(B)に示されている。すなわち、
テーブル7の位置は、リニアモータLMの配置に関する
対称軸11の位置において読み取られて制御部27にフ
ィードバックされ、テーブル7の位置決めを行う。
のサーボ機構が図1(B)に示されている。すなわち、
テーブル7の位置は、リニアモータLMの配置に関する
対称軸11の位置において読み取られて制御部27にフ
ィードバックされ、テーブル7の位置決めを行う。
【0026】このような工作機械の位置決め装置33に
よれば、テーブル7の位置検出を複数のリニアモータL
Mに対してできるだけ近い位置で行うことができるの
で、サーボ機構の安定を保持しつつポジションゲインを
全体的に上げることが可能になる。また、同時にサーボ
機構は一つなので、サーボ機構同士の引き合いを防止す
ることができる。
よれば、テーブル7の位置検出を複数のリニアモータL
Mに対してできるだけ近い位置で行うことができるの
で、サーボ機構の安定を保持しつつポジションゲインを
全体的に上げることが可能になる。また、同時にサーボ
機構は一つなので、サーボ機構同士の引き合いを防止す
ることができる。
【0027】また、テーブル7の位置検出を対称軸11
の位置において行うので、正確な位置を検出することが
できる。
の位置において行うので、正確な位置を検出することが
できる。
【0028】なお、この発明は、前述した実施例に限定
されることなく、適宜な変更を行なうことにより、その
他の態様で実施し得るものである。例えば、前述の実施
例においてはベッド3側に二次側部材15を取付け、テ
ーブル7側に一次側部材21を取付けたが、逆にベッド
3側に一次側部材21を、テーブル7側に二次側部材1
5を取付けても全く同様の作用効果を得ることができ
る。
されることなく、適宜な変更を行なうことにより、その
他の態様で実施し得るものである。例えば、前述の実施
例においてはベッド3側に二次側部材15を取付け、テ
ーブル7側に一次側部材21を取付けたが、逆にベッド
3側に一次側部材21を、テーブル7側に二次側部材1
5を取付けても全く同様の作用効果を得ることができ
る。
【0029】また、前述の実施例においては、対称軸1
1の左右に各々2個づつ合計4個のリニアモータLMを
設けたが、その数は限定されない。すなわち、大きな推
力が必要な場合には、適宜その数を増加させればよい。
但し、対称軸11に関して左右等しく振り分けた位置に
配置する条件を満たさなければならない。
1の左右に各々2個づつ合計4個のリニアモータLMを
設けたが、その数は限定されない。すなわち、大きな推
力が必要な場合には、適宜その数を増加させればよい。
但し、対称軸11に関して左右等しく振り分けた位置に
配置する条件を満たさなければならない。
【0030】さらに、前述の実施例においては、図1
(A)に示されるように、対称軸11の左右においてリ
ニアモータLMを同じ高さ位置に設けたが、この場合に
限らず、ベッド3およびテーブル7の形状によりリニア
モータLM取付け高さが変化しても構わない。但し、こ
の場合においても、対称軸11に関して左右等しく振り
分けた位置に配置する条件を満たさなければならない。
(A)に示されるように、対称軸11の左右においてリ
ニアモータLMを同じ高さ位置に設けたが、この場合に
限らず、ベッド3およびテーブル7の形状によりリニア
モータLM取付け高さが変化しても構わない。但し、こ
の場合においても、対称軸11に関して左右等しく振り
分けた位置に配置する条件を満たさなければならない。
【0031】
【発明の効果】請求項1の発明による工作機械の位置決
め装置は対をなして設けられている案内手段の働きによ
り、リニアモータの一次側部材または二次側部材の一方
が設けられている固定体に対して、一次側部材または二
次側部材の他方が設けられている可動体が往復動自在に
支持されている。このため、移動体はリニアモータから
直接推力を得て移動するので、ボールネジ・ナットやギ
ヤ装置等を用いる必要がない。このため、リニアモータ
を用いた位置決めにおいては、ボールネジ等の製作精度
やバックラッシュによる誤差が生じないので、サーボ機
構により位置決めする際に高精度の位置決めが可能とな
る。さらに、偶数個のリニアモータは、対をなしている
案内手段の中点に対して均等に振分け配置されているの
で、各々のリニアモータが最大推力まで均一で使用でき
且つポジションゲインを高めることができるので高剛性
サーボシステムが構築できる。
め装置は対をなして設けられている案内手段の働きによ
り、リニアモータの一次側部材または二次側部材の一方
が設けられている固定体に対して、一次側部材または二
次側部材の他方が設けられている可動体が往復動自在に
支持されている。このため、移動体はリニアモータから
直接推力を得て移動するので、ボールネジ・ナットやギ
ヤ装置等を用いる必要がない。このため、リニアモータ
を用いた位置決めにおいては、ボールネジ等の製作精度
やバックラッシュによる誤差が生じないので、サーボ機
構により位置決めする際に高精度の位置決めが可能とな
る。さらに、偶数個のリニアモータは、対をなしている
案内手段の中点に対して均等に振分け配置されているの
で、各々のリニアモータが最大推力まで均一で使用でき
且つポジションゲインを高めることができるので高剛性
サーボシステムが構築できる。
【図1】この発明に係る工作機械の位置決め装置の一例
を示す断面図およびブロック構成図である。
を示す断面図およびブロック構成図である。
【図2】従来考えられていた工作機械の位置決め装置の
一例を示す断面図およびブロック構成図である。
一例を示す断面図およびブロック構成図である。
【図3】従来考えられていた工作機械の位置決め装置の
別の例を示す断面図およびブロック構成図である。
別の例を示す断面図およびブロック構成図である。
3 ベッド(固定体) 5 ガイドレール(案内手段) 7 テーブル(移動体) 9 スライダ(案内手段) 15 二次側部材 21 一次側部材 27 制御部 33 位置決め装置 37 リニアスケール(位置検出手段) 39 読取りヘッド(位置検出手段) LM リニアモータ C 中点
フロントページの続き (72)発明者 覚張 勝治 静岡県沼津市大岡2068の3 東芝機械株式 会社沼津事業所内 (72)発明者 田代 早苗 静岡県沼津市大岡2068の3 東芝機械株式 会社沼津事業所内 (72)発明者 遠藤 克仁 静岡県沼津市大岡2068の3 東芝機械株式 会社沼津事業所内
Claims (1)
- 【請求項1】 工作機械の固定体に線形移動可能に設け
られた移動体の位置決め装置において、移動体を移動方
向へ案内すべく対をなして設けられた案内手段と、一次
側部材または二次側部材の一方が固定体に設けられ他方
が移動体に各々設けられて前記移動体を移動方向へ駆動
する偶数個のリニアモータと、前記移動体の位置を検出
する位置検出手段と、前記位置検出手段からの検出信号
に基づいて前記リニアモータを駆動制御する制御部とを
有し、前記リニアモータが前記対をなす案内手段の中点
に関して均等に振分け配置されると共に、前記位置検出
手段が前記中点に設けられていることを特徴とする工作
機械の位置決め装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP175895A JPH08187646A (ja) | 1995-01-10 | 1995-01-10 | 工作機械の位置決め装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP175895A JPH08187646A (ja) | 1995-01-10 | 1995-01-10 | 工作機械の位置決め装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08187646A true JPH08187646A (ja) | 1996-07-23 |
Family
ID=11510486
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP175895A Pending JPH08187646A (ja) | 1995-01-10 | 1995-01-10 | 工作機械の位置決め装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH08187646A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1801956A1 (fr) * | 2005-12-22 | 2007-06-27 | Sagem Défense Sécurité | Dispositif de déplacement linéaire d'un corps entre deux positions prédéterminées |
| WO2008047461A1 (fr) * | 2006-10-20 | 2008-04-24 | Hitachi, Ltd. | Moteur linéaire |
| JP2009083069A (ja) * | 2007-10-02 | 2009-04-23 | Toshiba Mach Co Ltd | 駆動装置、これを用いた加工機械および測定機械 |
| CN102001340A (zh) * | 2009-08-28 | 2011-04-06 | 村田机械株式会社 | 移动体系统和移动体的初期位置的决定方法 |
| CN108136469A (zh) * | 2015-10-20 | 2018-06-08 | 特鲁普机械奥地利有限公司及两合公司 | 弯曲机 |
-
1995
- 1995-01-10 JP JP175895A patent/JPH08187646A/ja active Pending
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1801956A1 (fr) * | 2005-12-22 | 2007-06-27 | Sagem Défense Sécurité | Dispositif de déplacement linéaire d'un corps entre deux positions prédéterminées |
| FR2895594A1 (fr) * | 2005-12-22 | 2007-06-29 | Sagem Defense Securite | Dispositif de deplacement lineaire d'un corps entre deux positions predeterminees |
| US7965161B2 (en) | 2005-12-22 | 2011-06-21 | Sagem Defense Securite | Device for moving a body linearly between two predetermined positions |
| WO2008047461A1 (fr) * | 2006-10-20 | 2008-04-24 | Hitachi, Ltd. | Moteur linéaire |
| JP2009083069A (ja) * | 2007-10-02 | 2009-04-23 | Toshiba Mach Co Ltd | 駆動装置、これを用いた加工機械および測定機械 |
| CN102001340A (zh) * | 2009-08-28 | 2011-04-06 | 村田机械株式会社 | 移动体系统和移动体的初期位置的决定方法 |
| CN108136469A (zh) * | 2015-10-20 | 2018-06-08 | 特鲁普机械奥地利有限公司及两合公司 | 弯曲机 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP4258790B2 (ja) | 一平面内でプラットホームを移動させる駆動装置 | |
| EP1114694A1 (en) | Machine tool | |
| KR950006371B1 (ko) | 공작물에 대해 공구를 배치시키는 공작 기계 | |
| US7234675B2 (en) | Vertical guide unit and stage system with the same unit | |
| US6325576B1 (en) | High throughput hole forming system with multiple spindles per station | |
| JP2798530B2 (ja) | レーザ加工機 | |
| US7845257B2 (en) | Ultra-precision machine tool | |
| JP3907989B2 (ja) | 主軸頭重心補正装置 | |
| US6194859B1 (en) | X-Y positioner based on X axis motions | |
| JP3532281B2 (ja) | ねじ式軸送り機構の位置決め制御方法 | |
| JPH07246547A (ja) | 自動工作機械 | |
| JPH03153915A (ja) | 直線摺動用ベアリング | |
| JPH01145419A (ja) | 工作機械 | |
| JP3388498B2 (ja) | 工作機械 | |
| JPH0329535B2 (ja) | ||
| JPH02160457A (ja) | 工作機械の真直度補正装置 | |
| JPS6227945B2 (ja) | ||
| CN218935782U (zh) | 一种移动稳定的三坐标测量仪 | |
| JPS58126045A (ja) | 工作機械の位置決め補正方法および装置 | |
| JP7630581B1 (ja) | 加工機、加工システム及び被加工物の製造方法 | |
| JPS62176739A (ja) | 工作機械の真直度補正装置 | |
| CN224083781U (zh) | 一种电路板加工设备 | |
| JPH02243248A (ja) | 工作機械における移動部位置補正装置 | |
| JPH07131197A (ja) | シングルプレート型x−yテーブル装置 | |
| JPH0740163A (ja) | テーブル移送装置及びその制御方法 |