JPH0421164B2 - - Google Patents
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- JPH0421164B2 JPH0421164B2 JP55027258A JP2725880A JPH0421164B2 JP H0421164 B2 JPH0421164 B2 JP H0421164B2 JP 55027258 A JP55027258 A JP 55027258A JP 2725880 A JP2725880 A JP 2725880A JP H0421164 B2 JPH0421164 B2 JP H0421164B2
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- sagittal
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- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B26/00—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements
- G02B26/08—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light
- G02B26/10—Scanning systems
- G02B26/12—Scanning systems using multifaceted mirrors
- G02B26/125—Details of the optical system between the polygonal mirror and the image plane
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B27/00—Optical systems or apparatus not provided for by any of the groups G02B1/00 - G02B26/00, G02B30/00
- G02B27/0025—Optical systems or apparatus not provided for by any of the groups G02B1/00 - G02B26/00, G02B30/00 for optical correction, e.g. distorsion, aberration
- G02B27/0031—Optical systems or apparatus not provided for by any of the groups G02B1/00 - G02B26/00, G02B30/00 for optical correction, e.g. distorsion, aberration for scanning purposes
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03B—APPARATUS OR ARRANGEMENTS FOR TAKING PHOTOGRAPHS OR FOR PROJECTING OR VIEWING THEM; APPARATUS OR ARRANGEMENTS EMPLOYING ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ACCESSORIES THEREFOR
- G03B27/00—Photographic printing apparatus
- G03B27/32—Projection printing apparatus, e.g. enlarger, copying camera
- G03B27/52—Details
- G03B27/522—Projection optics
- G03B27/525—Projection optics for slit exposure
- G03B27/526—Projection optics for slit exposure in which the projection optics move
-
- H—ELECTRICITY
- H04—ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
- H04N—PICTORIAL COMMUNICATION, e.g. TELEVISION
- H04N1/00—Scanning, transmission or reproduction of documents or the like, e.g. facsimile transmission; Details thereof
- H04N1/04—Scanning arrangements, i.e. arrangements for the displacement of active reading or reproducing elements relative to the original or reproducing medium, or vice versa
- H04N1/113—Scanning arrangements, i.e. arrangements for the displacement of active reading or reproducing elements relative to the original or reproducing medium, or vice versa using oscillating or rotating mirrors
- H04N1/1135—Scanning arrangements, i.e. arrangements for the displacement of active reading or reproducing elements relative to the original or reproducing medium, or vice versa using oscillating or rotating mirrors for the main-scan only
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- Signal Processing (AREA)
- Mechanical Optical Scanning Systems (AREA)
- Laser Beam Printer (AREA)
- Exposure Or Original Feeding In Electrophotography (AREA)
- Dot-Matrix Printers And Others (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、ポジテイブ円筒ミラーにより走査ス
ポツト位置の誤差を最小にするレーザビーム走査
装置に関する。
ポツト位置の誤差を最小にするレーザビーム走査
装置に関する。
高速走査を得るために、従来のラスタ出力走査
装置は多くの場合、走査素子として回転多面体を
使用している。これらの走査装置は、またポジテ
イブピラミツド誤差補償円筒レンズ(これはまた
ゆれ修正円筒レンズとしても知られている。)を
有し、走査多面体の隣接面の間の走査平面と交差
する平面における角度整合誤差による走査スポツ
ト位置の誤差を最小にしている。
装置は多くの場合、走査素子として回転多面体を
使用している。これらの走査装置は、またポジテ
イブピラミツド誤差補償円筒レンズ(これはまた
ゆれ修正円筒レンズとしても知られている。)を
有し、走査多面体の隣接面の間の走査平面と交差
する平面における角度整合誤差による走査スポツ
ト位置の誤差を最小にしている。
さらに進歩したラスタ入力走査装置では、多く
の場合、従来の光学装置よりも小型でかつ安価な
光学装置を必要としている。走査長を変えること
なく、光学装置を小型化するためには、走査角、
すなわちビームを偏向すべき角度を大きくしなけ
ればならない。走査角度が大きくなれば、ポジテ
イブピラミツド誤差補償円筒レンズによつて作ら
れるサジタル像面の湾曲が、補正を要する好まし
くないレベルまで大きくなる。
の場合、従来の光学装置よりも小型でかつ安価な
光学装置を必要としている。走査長を変えること
なく、光学装置を小型化するためには、走査角、
すなわちビームを偏向すべき角度を大きくしなけ
ればならない。走査角度が大きくなれば、ポジテ
イブピラミツド誤差補償円筒レンズによつて作ら
れるサジタル像面の湾曲が、補正を要する好まし
くないレベルまで大きくなる。
このようなポジテイブピラミツド誤差補償円筒
レンズにより作られるサジタル像面湾曲の増大を
補償するための実験的な試みの一つとして、この
ポジテイブ円筒レンズの近くに低屈折率のネガテ
イブ円筒レンズが設けられた。しかしながら、こ
の2つのレンズは、サジタル像面湾曲を満足度が
得られる程度までに除去するよう結合しなかつ
た。サジタル像面湾曲を除去する別の試みとして
は、前記ポジテイブ円筒レンズをトロイドとなる
ようにタンジエンシヤル平面内においえ湾曲させ
たものがあつた。このトロイドのタンジエンシヤ
ル方向の曲率及びパワーは小さいので、円筒レン
ズをトロイドに変えても、タンジエンシヤル像面
湾曲に対してはわずかな影響があるに過ぎなかつ
たが、サジタル平面内におけるパワーは大きいの
でサジタル像面湾曲に対しては影響が大きかつ
た。この影響は、トロイド上の湾曲による非点収
差の変化のために生じたものである。非点収差
は、円筒の表面へのビームの入射角の2乗に比例
するので、タンジエンシヤル平面内において円筒
を湾曲状にすることにより、この円筒の表面は、
タンジエンシヤル方向走査を通じて前記ビームに
対してほぼ直角のままに維持される。したがつ
て、非点収差、従つてサジタル像面湾曲に対する
非点収差の影響は小さい。ゆえに、このようなト
ロイド状の湾曲技術は、サジタル像面湾曲に関す
る問題を解決するが、トロイドをガラスで製造す
るのは高価なものとなり、またそれをプラスチツ
クで模写しても、高価でありかつ長期間にわたる
走査を要すると思われる。従つて、ポジテイブピ
ラミツド誤差補償円筒レンズにより作られるサジ
タル像面湾曲に関する問題を解決するために、他
の安価な方法が望まれている。
レンズにより作られるサジタル像面湾曲の増大を
補償するための実験的な試みの一つとして、この
ポジテイブ円筒レンズの近くに低屈折率のネガテ
イブ円筒レンズが設けられた。しかしながら、こ
の2つのレンズは、サジタル像面湾曲を満足度が
得られる程度までに除去するよう結合しなかつ
た。サジタル像面湾曲を除去する別の試みとして
は、前記ポジテイブ円筒レンズをトロイドとなる
ようにタンジエンシヤル平面内においえ湾曲させ
たものがあつた。このトロイドのタンジエンシヤ
ル方向の曲率及びパワーは小さいので、円筒レン
ズをトロイドに変えても、タンジエンシヤル像面
湾曲に対してはわずかな影響があるに過ぎなかつ
たが、サジタル平面内におけるパワーは大きいの
でサジタル像面湾曲に対しては影響が大きかつ
た。この影響は、トロイド上の湾曲による非点収
差の変化のために生じたものである。非点収差
は、円筒の表面へのビームの入射角の2乗に比例
するので、タンジエンシヤル平面内において円筒
を湾曲状にすることにより、この円筒の表面は、
タンジエンシヤル方向走査を通じて前記ビームに
対してほぼ直角のままに維持される。したがつ
て、非点収差、従つてサジタル像面湾曲に対する
非点収差の影響は小さい。ゆえに、このようなト
ロイド状の湾曲技術は、サジタル像面湾曲に関す
る問題を解決するが、トロイドをガラスで製造す
るのは高価なものとなり、またそれをプラスチツ
クで模写しても、高価でありかつ長期間にわたる
走査を要すると思われる。従つて、ポジテイブピ
ラミツド誤差補償円筒レンズにより作られるサジ
タル像面湾曲に関する問題を解決するために、他
の安価な方法が望まれている。
本発明によれば、光ビームを発生する光源と、
感光表面と、該光源と感光表面との間の光路内に
置かれた複数の光反射面を有し且つこの面の運動
に応じて感光表面の平面を横切るように光ビーム
を走査する光学走査器とを有する光学走査装置に
おいて、前記走査器と感光表面との間に光路内に
置かれ、それにより走査器の隣接面の間の角度不
整合による走査位置の誤差を最小にするポジテイ
ブ円筒ミラーと、前記走査器と前記ポジテイブ円
筒ミラーとの間に設けられたネガテイブ円筒レン
ズとを有し、前記ポジテイブ円筒ミラーは走査平
面と交差するサジタル平面内においてパワーを有
するが走査平面内にはパワーを有さず、また前記
ネガテイブ円筒レンズは前記走査平面と交差する
サジタル平面内においてパワーを有することを特
徴とする光学走査装置が提供される。
感光表面と、該光源と感光表面との間の光路内に
置かれた複数の光反射面を有し且つこの面の運動
に応じて感光表面の平面を横切るように光ビーム
を走査する光学走査器とを有する光学走査装置に
おいて、前記走査器と感光表面との間に光路内に
置かれ、それにより走査器の隣接面の間の角度不
整合による走査位置の誤差を最小にするポジテイ
ブ円筒ミラーと、前記走査器と前記ポジテイブ円
筒ミラーとの間に設けられたネガテイブ円筒レン
ズとを有し、前記ポジテイブ円筒ミラーは走査平
面と交差するサジタル平面内においてパワーを有
するが走査平面内にはパワーを有さず、また前記
ネガテイブ円筒レンズは前記走査平面と交差する
サジタル平面内においてパワーを有することを特
徴とする光学走査装置が提供される。
すなわち、本発明によれば、従来のピラミツド
誤差補償円筒レンズの代わりに、走査平面と交差
するサジタル平面においてパワーを有しかつ走査
平面すなわちタンジエンシヤル平面においてパワ
ーを有さないように配向された円筒ミラーが設け
られている。この円筒ミラーが上記ボジテイブ円
筒ミラーに相当する。ピラミツド誤差補償のため
にこのように円筒ミラーを使用する走査装置は、
回折限界に近ずく程度にサジタル像面湾曲を大き
く減少させている。しかしながら多面体の回転に
伴なう多面体の各走査面の軸方向への並進運動に
より、サジタル像面湾曲がいくらか残存する。こ
のサジタル像面の残存湾曲を補償するために、上
記円筒ミラーと走査器すなわち回転多面体との間
にネガテイブ円筒レンズすなわち屈折円筒レンズ
を設けている。この屈折円筒レンズは、適当な符
号の少量のサジタル像面湾曲を与えて像面の残存
湾曲を減少して、それによりサジタル像面湾曲を
回折限界以下まで減少させる。このように、本発
明は、ピラミツド誤差補償円筒レンズを使用する
従来の走査装置において起きるサジタル像面湾曲
に関する問題を軽減又は除去するために、比較的
安価な方法を提供する。
誤差補償円筒レンズの代わりに、走査平面と交差
するサジタル平面においてパワーを有しかつ走査
平面すなわちタンジエンシヤル平面においてパワ
ーを有さないように配向された円筒ミラーが設け
られている。この円筒ミラーが上記ボジテイブ円
筒ミラーに相当する。ピラミツド誤差補償のため
にこのように円筒ミラーを使用する走査装置は、
回折限界に近ずく程度にサジタル像面湾曲を大き
く減少させている。しかしながら多面体の回転に
伴なう多面体の各走査面の軸方向への並進運動に
より、サジタル像面湾曲がいくらか残存する。こ
のサジタル像面の残存湾曲を補償するために、上
記円筒ミラーと走査器すなわち回転多面体との間
にネガテイブ円筒レンズすなわち屈折円筒レンズ
を設けている。この屈折円筒レンズは、適当な符
号の少量のサジタル像面湾曲を与えて像面の残存
湾曲を減少して、それによりサジタル像面湾曲を
回折限界以下まで減少させる。このように、本発
明は、ピラミツド誤差補償円筒レンズを使用する
従来の走査装置において起きるサジタル像面湾曲
に関する問題を軽減又は除去するために、比較的
安価な方法を提供する。
第1図及び第2図を参照すると、本発明の走査
装置のタンジエンシヤル平面及びサジタル平面に
おける平面図がそれぞれ示されている。本書で
は、“タンジエンシヤル平面”とは、対称光学系
の主光線及び中心軸の両方を含む平面、すなわ
ち、走査平面をいい、“サジタル平面”とは、主
光線を含み、タンジエンシヤル平面に垂直な平
面、すなわち、走査平面に垂直な平面をいう。
装置のタンジエンシヤル平面及びサジタル平面に
おける平面図がそれぞれ示されている。本書で
は、“タンジエンシヤル平面”とは、対称光学系
の主光線及び中心軸の両方を含む平面、すなわ
ち、走査平面をいい、“サジタル平面”とは、主
光線を含み、タンジエンシヤル平面に垂直な平
面、すなわち、走査平面に垂直な平面をいう。
以下、図面を参照しながら本発明の特定の実施
例について詳細に説明する。
例について詳細に説明する。
第1図及び第2図をさらに参照すると、従来の
レーザ(図示せず)により発生されて従来の光変
調器(図示せず)により強度変調された単色コヒ
ーレント光ビーム2が回転多面体6の面4に入射
している。例えば、レーザビーム2は、従来のあ
ふれ照射方式で照射され、すなわち、レーザビー
ムの作る扇形領域が、面4の走査中を通じて、そ
の面4のすべての部分を覆うように幅広く、それ
により従来の駆動モータ(図示せず)により多面
体6がその回転軸7のまわりに回転するのに伴な
い、面4が回転するにつれてその角度分だけレー
ザビームが走査される。しかしながら、本発明の
誤差補償概念は、走査中に多面体6の各面、すな
わち照射不足面をレーザビームが追従する面追従
動作で実現するのがよい。
レーザ(図示せず)により発生されて従来の光変
調器(図示せず)により強度変調された単色コヒ
ーレント光ビーム2が回転多面体6の面4に入射
している。例えば、レーザビーム2は、従来のあ
ふれ照射方式で照射され、すなわち、レーザビー
ムの作る扇形領域が、面4の走査中を通じて、そ
の面4のすべての部分を覆うように幅広く、それ
により従来の駆動モータ(図示せず)により多面
体6がその回転軸7のまわりに回転するのに伴な
い、面4が回転するにつれてその角度分だけレー
ザビームが走査される。しかしながら、本発明の
誤差補償概念は、走査中に多面体6の各面、すな
わち照射不足面をレーザビームが追従する面追従
動作で実現するのがよい。
レーザビームは、面4から反射した後、多面体
の後方に位置するポスト多面体レンズ8を通過
し、さらにポジテイブ円筒ミラー10により反射
され、光導電性表面12に入射してその面を横方
向に走査する。前記誤差補償概念は、多面体の前
方に位置するプレ多面体レンズで実現してもよ
い。しかしながら、このプレス多面体レンズは、
タンジエンシヤル像面湾曲が大きいので、サジタ
ル像面湾曲の補正を無意味なものにしてしまう。
走査レンズ8は、レーザビームを光導電性表面1
2において合焦させるようにタンジエンシヤル平
面において適当なパワーを有する。ミラー10
は、平坦な面を有し、故にタンジエンシヤル平面
にはパワーを有さないので円筒ミラー10により
ピンボケが生じることはない。しかしながら、ポ
ジテイブミラー10は、サジタル平面内において
パワーを有し、そのパワーの効果を第2図に示
す。第2図では、レーザビームは、走査位置の中
心に示してあるが、レーザビームは、タンジエン
シヤル平面内においてあらゆる走査装置に存在
し、パジテイブ円筒ミラーの中立軸に沿つて移動
するので、ビーム位置は、サジタル平面上ではす
べて同一位置に投影される。
の後方に位置するポスト多面体レンズ8を通過
し、さらにポジテイブ円筒ミラー10により反射
され、光導電性表面12に入射してその面を横方
向に走査する。前記誤差補償概念は、多面体の前
方に位置するプレ多面体レンズで実現してもよ
い。しかしながら、このプレス多面体レンズは、
タンジエンシヤル像面湾曲が大きいので、サジタ
ル像面湾曲の補正を無意味なものにしてしまう。
走査レンズ8は、レーザビームを光導電性表面1
2において合焦させるようにタンジエンシヤル平
面において適当なパワーを有する。ミラー10
は、平坦な面を有し、故にタンジエンシヤル平面
にはパワーを有さないので円筒ミラー10により
ピンボケが生じることはない。しかしながら、ポ
ジテイブミラー10は、サジタル平面内において
パワーを有し、そのパワーの効果を第2図に示
す。第2図では、レーザビームは、走査位置の中
心に示してあるが、レーザビームは、タンジエン
シヤル平面内においてあらゆる走査装置に存在
し、パジテイブ円筒ミラーの中立軸に沿つて移動
するので、ビーム位置は、サジタル平面上ではす
べて同一位置に投影される。
本発明によれば、(円筒光学系については第3
次収差理論は存在しないので)サジタル平面内に
おいてパワーを有するがタンジエンシヤル平面内
においてはパワーを有さないように配向されたポ
ジテイブ円筒ミラー10は、サジタル像面湾曲を
有さないだろうと仮定される。このポジテイブ円
筒ミラーはタンジエンシヤルパワーを有さないの
で、当然タンジエンシヤル像面湾曲を有さず、ま
た(第3次収差理論が存在する)球面ミラーのサ
ジタル部分は、サジタル像面湾曲を有さないので
サジタル像面湾曲を有さない。前記仮定の考察に
より、タンジエンシヤル平面内においてパワーを
有さずサジタル平面内においてパワーを有する薄
い円筒ミラーでは、タンジエンシヤル像面湾曲を
有さないが、次の式で与えられるサジタル像面湾
曲を有することがわかつている。
次収差理論は存在しないので)サジタル平面内に
おいてパワーを有するがタンジエンシヤル平面内
においてはパワーを有さないように配向されたポ
ジテイブ円筒ミラー10は、サジタル像面湾曲を
有さないだろうと仮定される。このポジテイブ円
筒ミラーはタンジエンシヤルパワーを有さないの
で、当然タンジエンシヤル像面湾曲を有さず、ま
た(第3次収差理論が存在する)球面ミラーのサ
ジタル部分は、サジタル像面湾曲を有さないので
サジタル像面湾曲を有さない。前記仮定の考察に
より、タンジエンシヤル平面内においてパワーを
有さずサジタル平面内においてパワーを有する薄
い円筒ミラーでは、タンジエンシヤル像面湾曲を
有さないが、次の式で与えられるサジタル像面湾
曲を有することがわかつている。
Cs=1/fs(1+1/n)(1−H)2
ここでCsは、サジタル平面内における像面湾曲
(湾曲像の曲率半径の逆数)であり、fsは、サジ
タル平面内における焦点距離(パワーの逆数)で
あり、nは、円筒ミラーの材料の屈折率であり、
Hは、光導電性表面における走査ビームの高さに
対する円筒ミラーにおける走査ビームの高さの
比、すなわち、第1図に示すように、光導電性表
面12の長さに対するミラー10の長さの比であ
る。ミラーの場合は屈折率は−1であるから、1
+1/nは零となり、円筒ミラーはサジタル像面
の湾曲を有さない。
(湾曲像の曲率半径の逆数)であり、fsは、サジ
タル平面内における焦点距離(パワーの逆数)で
あり、nは、円筒ミラーの材料の屈折率であり、
Hは、光導電性表面における走査ビームの高さに
対する円筒ミラーにおける走査ビームの高さの
比、すなわち、第1図に示すように、光導電性表
面12の長さに対するミラー10の長さの比であ
る。ミラーの場合は屈折率は−1であるから、1
+1/nは零となり、円筒ミラーはサジタル像面
の湾曲を有さない。
実際は、走査レンズ8とレーザビームの両要素
の間の干渉を避けるために、レーザビームは、タ
ンジエンシヤル平面内において、多面体の面に対
し垂直ではなく、ある角度をもつて当てられる。
さらに、ポジテイブ円筒ミラー10から反射され
たレーザビームと走査器の主要部分との間の干渉
を避けるために、円筒ミラー10は、第2図に示
すようにサジタル平面内において、その中立軸の
まわりに少量、たとえば約5度だけ傾斜してい
る。円筒ミラーは、その中立軸のまわりに傾斜し
ており、かつこの中立軸は、タンジエンシヤル平
面内において1本の直線であるので、ミラー10
の傾斜による湾曲現象は、感光表面における走査
線には現われない。
の間の干渉を避けるために、レーザビームは、タ
ンジエンシヤル平面内において、多面体の面に対
し垂直ではなく、ある角度をもつて当てられる。
さらに、ポジテイブ円筒ミラー10から反射され
たレーザビームと走査器の主要部分との間の干渉
を避けるために、円筒ミラー10は、第2図に示
すようにサジタル平面内において、その中立軸の
まわりに少量、たとえば約5度だけ傾斜してい
る。円筒ミラーは、その中立軸のまわりに傾斜し
ており、かつこの中立軸は、タンジエンシヤル平
面内において1本の直線であるので、ミラー10
の傾斜による湾曲現象は、感光表面における走査
線には現われない。
第1図及び第2図の光学系がポジテイブミラー
10を包含することにより、この光学系は、サジ
タル像面の湾曲を小さくする。しかし、多面体の
回転に伴なう多面体の面の並進運動のために、あ
る程度サジタル像面の湾曲が残存する。このサジ
タル像面の残存湾曲を補償するために、第3図及
び第4図に示すように、走査レンズ8とポジテイ
ブ円筒ミラー10との間にネガテイブ屈折円筒レ
ンズ14が設けられている。第3図及び第4図に
おいて、第1図及び第2図の走査装置の要素と同
一の要素には、同一の参照番号を付している。ネ
ガテイブ円筒レンズ14は、サジタル平面内にお
いてパワーを有し、タンジエンシヤル平面内にお
いてパワーを有さないように配向されている。レ
ンズ14がサジタル平面内においてパワーを有す
るので、少量の負のサジタル像面湾曲を与え、そ
れにより残存像面湾曲を小さくする。
10を包含することにより、この光学系は、サジ
タル像面の湾曲を小さくする。しかし、多面体の
回転に伴なう多面体の面の並進運動のために、あ
る程度サジタル像面の湾曲が残存する。このサジ
タル像面の残存湾曲を補償するために、第3図及
び第4図に示すように、走査レンズ8とポジテイ
ブ円筒ミラー10との間にネガテイブ屈折円筒レ
ンズ14が設けられている。第3図及び第4図に
おいて、第1図及び第2図の走査装置の要素と同
一の要素には、同一の参照番号を付している。ネ
ガテイブ円筒レンズ14は、サジタル平面内にお
いてパワーを有し、タンジエンシヤル平面内にお
いてパワーを有さないように配向されている。レ
ンズ14がサジタル平面内においてパワーを有す
るので、少量の負のサジタル像面湾曲を与え、そ
れにより残存像面湾曲を小さくする。
ポジテイブ円筒ミラー10及びネガテイブ円筒
レンズ14のパワーを明確に示すように、走査装
置のこれらの構成要素は、第2図及び第4図では
誇張して図示している。特定の例をあげると、ポ
ジテイブ円筒ミラー10は、+0.10991950の曲率
(約23.1cm(9.0976インタ)の曲率半径)を有し
てもよく、またネガテイブ屈折円筒レンズ14
は、サジタル平面において+0.16294866及び−
0.16294866の曲率(約15.7cm(6.1369インチ)の
曲率半径)を有してもよい。
レンズ14のパワーを明確に示すように、走査装
置のこれらの構成要素は、第2図及び第4図では
誇張して図示している。特定の例をあげると、ポ
ジテイブ円筒ミラー10は、+0.10991950の曲率
(約23.1cm(9.0976インタ)の曲率半径)を有し
てもよく、またネガテイブ屈折円筒レンズ14
は、サジタル平面において+0.16294866及び−
0.16294866の曲率(約15.7cm(6.1369インチ)の
曲率半径)を有してもよい。
第1図及び第3図は、本発明による走査装置の
タンジエンシヤル平面内における平面図である。
第2図及び第4図は、第1図及び第3図の走査装
置のサジタル平面内における平面図である。 2……光ビーム、4……面、6……回転多面
体、8……ポスト多面体レンズ、10……ポジテ
イブ円筒ミラー、12……感光表面、14……ネ
ガテイブ円筒レンズ。
タンジエンシヤル平面内における平面図である。
第2図及び第4図は、第1図及び第3図の走査装
置のサジタル平面内における平面図である。 2……光ビーム、4……面、6……回転多面
体、8……ポスト多面体レンズ、10……ポジテ
イブ円筒ミラー、12……感光表面、14……ネ
ガテイブ円筒レンズ。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1 光ビームを発生する光源と、感光表面と、該
光源と感光表面との間の光路内に置かれた複数の
光反射面を有し且つこの面の運動に応じて感光表
面の平面を横切るように光ビームを走査する光学
走査器とを有する光学走査装置において、 前記走査器と感光表面との間の光路内に置か
れ、それにより走査器の隣接面の間の角度不整合
による走査位置の誤差を最小にするポジテイブ円
筒ミラーと、 前記走査器と前記ポジテイブ円筒ミラーとの間
に設けられたネガテイブ円筒レンズと を有し、前記ポジテイブ円筒ミラーは走査平面と
交差するサジタル平面内においてパワーを有しか
つ走査平面内にパワーを有さず、また前記ネガテ
イブ円筒レンズは前記走査平面と交差するサジタ
ル平面内においてパワーを有することを特徴とす
る光学走査装置。
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|---|---|---|---|
| US06/023,940 US4247160A (en) | 1979-03-26 | 1979-03-26 | Scanner with reflective pyramid error compensation |
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| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS55127514A JPS55127514A (en) | 1980-10-02 |
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Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH10197822A (ja) * | 1997-01-10 | 1998-07-31 | Fuji Photo Film Co Ltd | 面倒れ補正光学系 |
Families Citing this family (36)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4512625A (en) * | 1982-10-08 | 1985-04-23 | Xerox Corporation | Scanner optics with no cross scan field curvature |
| US4595947A (en) * | 1983-10-24 | 1986-06-17 | Xerox Corporation | Light collection by elliptical cylinder mirrors for raster input scanners |
| US4588269A (en) * | 1984-07-05 | 1986-05-13 | Eastman Kodak Company | Apparatus which shapes gaussian beams by spherical mirrors |
| US4662709A (en) * | 1984-07-23 | 1987-05-05 | Xerox Corporation | Wobble correction by two reflectors on an internally reflecting facet without bow |
| US4682842A (en) * | 1984-08-31 | 1987-07-28 | Xerox Corporation | Scanning system with two reflections from scanning surface by mirrors with optical power |
| DE3434841A1 (de) * | 1984-09-22 | 1986-04-03 | Linotype GmbH, 6236 Eschborn | Optisches laserstrahl-ablenksystem |
| US4624528A (en) * | 1985-02-21 | 1986-11-25 | Xerox Corporation | Scanning systems with polygon scanner having curved facets |
| US4651169A (en) * | 1985-04-02 | 1987-03-17 | Eastman Kodak Company | Laser printer for printing a plurality of output-images sizes |
| US4651170A (en) * | 1985-04-02 | 1987-03-17 | Eastman Kodak Company | Laser printer having means for changing the output-image size |
| US4633272A (en) * | 1985-04-02 | 1986-12-30 | Eastman Kodak Company | Laser printing apparatus having a multiple formatted output |
| US4630130A (en) * | 1985-10-21 | 1986-12-16 | Xerox Corporation | Scanning system for controlling stray beams caused by undesirable optical reflections |
| US4759593A (en) * | 1986-03-21 | 1988-07-26 | Eastman Kodak Company | High resolution optical scanner |
| JPS63136017A (ja) * | 1986-11-28 | 1988-06-08 | Fujitsu Ltd | 光ビ−ム走査装置 |
| JPH0746169B2 (ja) * | 1987-02-20 | 1995-05-17 | 富士ゼロックス株式会社 | 光ビ−ム走査装置用fθレンズ |
| US4796962A (en) * | 1987-03-23 | 1989-01-10 | Eastman Kodak Company | Optical scanner |
| US4803498A (en) * | 1987-07-13 | 1989-02-07 | Blaser Industries, Incorporated | Laser printer recording system |
| US4902084A (en) * | 1988-07-29 | 1990-02-20 | Oren Aharon | Optical scanning system |
| US4921320A (en) * | 1988-09-22 | 1990-05-01 | Eastman Kodak Company | Optical scanner |
| JPH02158709A (ja) * | 1988-12-13 | 1990-06-19 | Hitachi Ltd | 光走査装置 |
| US4941721A (en) * | 1989-06-01 | 1990-07-17 | Xerox Corporation | Raster scanning system utilizing overfilled polygon facet design |
| US5004311A (en) * | 1989-10-27 | 1991-04-02 | Sri International | Beam scanning method and apparatus |
| US5196957A (en) * | 1990-03-20 | 1993-03-23 | Olive Tree Technology, Inc. | Laser scanner with post-facet lens system |
| US5247383A (en) * | 1990-03-20 | 1993-09-21 | Olive Tree Technology, Inc. | Scanner with a post facet lens system |
| US5117243A (en) * | 1990-04-06 | 1992-05-26 | S&R Tech Development, Inc. | Scanner with electronic non-linearity compensation and method of processing image data |
| US5063292A (en) * | 1990-04-27 | 1991-11-05 | Xerox Corporation | Optical scanner with reduced end of scan wobble having an even number of beam reflections |
| US5546215A (en) * | 1992-05-08 | 1996-08-13 | Fuji Xerox Co., Ltd. | Optical scanning apparatus |
| US5278691A (en) * | 1992-06-24 | 1994-01-11 | Eastman Kodak Company | Symmetrical overfilled polygon laser scanner |
| US5363126A (en) * | 1992-09-25 | 1994-11-08 | Xerox Corporation | Device and apparatus for high speed tracking in a raster output scanner |
| JPH07199109A (ja) * | 1993-10-14 | 1995-08-04 | Xerox Corp | ラスタースキャニングシステム |
| JP3283678B2 (ja) * | 1994-01-26 | 2002-05-20 | 株式会社リコー | 光走査装置 |
| JP3594274B2 (ja) * | 1996-05-28 | 2004-11-24 | 富士写真光機株式会社 | 光走査光学系およびこの光学系を用いた装置 |
| US5923475A (en) * | 1996-11-27 | 1999-07-13 | Eastman Kodak Company | Laser printer using a fly's eye integrator |
| US5867298A (en) * | 1996-12-16 | 1999-02-02 | Eastman Kodak Company | Dual format pre-objective scanner |
| US5861977A (en) * | 1997-02-26 | 1999-01-19 | Eastman Kodak Company | Dual format dual resolution scanner with off-axis beams |
| US20090059336A1 (en) * | 2007-08-30 | 2009-03-05 | James Christopher Dunphy | System and Method for Display Illumination |
| JP7111108B2 (ja) * | 2017-10-25 | 2022-08-02 | 株式会社ニコン | パターン描画装置 |
Family Cites Families (12)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US3750189A (en) * | 1971-10-18 | 1973-07-31 | Ibm | Light scanning and printing system |
| US3973826A (en) * | 1972-01-25 | 1976-08-10 | Redifon Limited | Scanning devices |
| JPS595882B2 (ja) * | 1973-04-09 | 1984-02-07 | 富士写真フイルム株式会社 | 多面体回転鏡の面たおれ補正光学装置 |
| US3995110A (en) * | 1973-12-20 | 1976-11-30 | Xerox Corporation | Flying spot scanner with plural lens correction |
| GB1541214A (en) * | 1974-12-11 | 1979-02-28 | Atomic Energy Authority Uk | Optical apparatus |
| JPS5820403B2 (ja) * | 1975-01-31 | 1983-04-22 | 富士写真フイルム株式会社 | カイテンタメンキヨウノ ヘイコウドノ ゴサオ ジヨキヨスルホウホウ |
| DE2550815C3 (de) * | 1975-11-12 | 1979-05-31 | Erwin Sick Gmbh Optik-Elektronik, 7808 Waldkirch | Optisches Abtastsystem |
| US4070089A (en) * | 1976-07-01 | 1978-01-24 | Xerox Corporation | Two dimensional laser scanner with movable cylinder lens |
| US4140903A (en) * | 1977-01-03 | 1979-02-20 | Xerox Corporation | Precision speed control for optical scanners |
| US4123135A (en) * | 1977-06-30 | 1978-10-31 | International Business Machines Corporation | Optical system for rotating mirror line scanning apparatus |
| DE2834085A1 (de) * | 1977-08-05 | 1979-02-15 | Canon Kk | Optisches abtastsystem |
| JPS5488139A (en) * | 1977-12-26 | 1979-07-13 | Olympus Optical Co Ltd | Optical scanner using rotary polyhedral mirror |
-
1979
- 1979-03-26 US US06/023,940 patent/US4247160A/en not_active Expired - Lifetime
-
1980
- 1980-01-07 CA CA000343183A patent/CA1117333A/en not_active Expired
- 1980-03-04 JP JP2725880A patent/JPS55127514A/ja active Granted
- 1980-03-19 EP EP80300825A patent/EP0016630B1/en not_active Expired
- 1980-03-19 DE DE8080300825T patent/DE3062313D1/de not_active Expired
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH10197822A (ja) * | 1997-01-10 | 1998-07-31 | Fuji Photo Film Co Ltd | 面倒れ補正光学系 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| EP0016630A1 (en) | 1980-10-01 |
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| US4247160A (en) | 1981-01-27 |
| CA1117333A (en) | 1982-02-02 |
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