JPH0422034U - - Google Patents

Description

【図面の簡単な説明】

第１図は本考案の第一の実施例による低温装置
用真空容器の真空保持装置３０の断面図、第２図
は本考案の第二の実施例による低温装置用真空容
器の真空保持装置４０の要部断面図、第３図は本
考案の第三の実施例による低温装置用真空容器の
真空保持装置５０の要部断面図、第４図は、本考
案の第四の実施例による低温装置用真空容器の真
空保持装置６０の概略断面図、第５図は従来のピ
ンチオフ処理による真空容器１の概略断面図、第
６図は同、ピンチオフした真空容器１の概略断面
図、第７図は従来の低温装置の真空容器１０の断
面図、第８図は時間の経過に対する真空度の変化
のグラフ、第９図は従来の真空容器２０の断面図
である。 １……真空容器、２……真空容器１の内空部、
３……金属パイプ、４……収容部、１０……真空
容器、１１……液体ヘリウム容器、１２……輻射
シールド板、１３……断熱材料、１４……真空容
器１０の内空部、１５……真空バルブ、１６……
ゲツターイオンポンプ、１７……バルブ、１８…
…活性炭、１９……ヒータ用配線、２０……真空
容器、２１……赤外線センサ、２２……真空容器
２０の内空部、２３……小型冷却器、２４……赤
外線入射用ウインドー、２５……赤外線センサ２
１のリード線、３０……低温装置用真空容器の真
空保持装置、３１……金属パイプ３の内部通路、
３２……金網、３３……カートリツジ式ヒータ、
３４……水冷パイプ、３５……空冷用冷却フイン
、４０……低温装置用真空容器の真空保持装置、
４１……空冷用のフイン、５０……低温装置用真
空容器の真空保持装置、５１……バツフル、６０
……低温装置用真空容器の真空保持装置、６１…
…金属パイプ。

Claims (1)

1. 【実用新案登録請求の範囲】 (1) 低温装置用真空容器内にゲツターイオンポ
   ンプ設ける低温装置用真空容器の真空保持装置で
   あつて、 前記真空容器の内空部に連通するパイプを設け
   、このパイプ部分から該内空部の初期の真空排気
   およびピンチオフを可能とするとともに、 このパイプ内に前記ゲツターイオンポンプを収
   納したことを特徴とする低温装置用真空容器の真
   空保持装置。 (2) 前記ゲツターイオンポンプを加熱可能な加
   熱手段を前記パイプの外部に設けたことを特徴と
   する請求項(1)記載の低温装置用真空容器の真空
   保持装置。 (3) 前記ゲツターイオンポンプと前記内空部と
   の間の前記パイプ内に輻射熱防止用のバツフルを
   設けたことを特徴とする請求項(1)記載の低温装
   置用真空容器の真空保持装置。 (4) 前記ゲツターイオンポンプと前記内空部と
   の間の前記パイプ部分に冷却手段を設けたことを
   特徴とする請求項(1)記載の低温装置用真空容器
   の真空保持装置。