JPH04223929A - リニアモータを用いた空気浮上搬送装置における搬送路 - Google Patents
リニアモータを用いた空気浮上搬送装置における搬送路Info
- Publication number
- JPH04223929A JPH04223929A JP3083660A JP8366091A JPH04223929A JP H04223929 A JPH04223929 A JP H04223929A JP 3083660 A JP3083660 A JP 3083660A JP 8366091 A JP8366091 A JP 8366091A JP H04223929 A JPH04223929 A JP H04223929A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- linear motor
- conveyance
- conveyance path
- air
- carrier
- Prior art date
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- Granted
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- Railway Tracks (AREA)
- Non-Mechanical Conveyors (AREA)
- Control Of Vehicles With Linear Motors And Vehicles That Are Magnetically Levitated (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明はリニアモータを加減速に
利用するようにした空気浮上搬送装置に使用する搬送路
に関するものである。
利用するようにした空気浮上搬送装置に使用する搬送路
に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】近年、ＬＳＩ等の半導体製造工場並びに
医薬品製造工場などにおけるファクトリーオートメーシ
ョン化は著しい進展を見せている。しかしながら、ファ
クトリーオートメーション化はその方法を誤ると、機械
設備が発塵し、生産物に悪影響を与える恐れがある。こ
の為、無塵搬送装置が要請されている。この要請に合致
した無塵搬送装置としては、特開昭５９−１２４６２３
号公報に記載のものが公知である。この搬送装置は、回
転部分のないリニアモータを駆動装置に使用し、さらに
搬送台を空気浮上させることにより、全ての機械的摩擦
を排除したもので、上記の目的に合致している。
医薬品製造工場などにおけるファクトリーオートメーシ
ョン化は著しい進展を見せている。しかしながら、ファ
クトリーオートメーション化はその方法を誤ると、機械
設備が発塵し、生産物に悪影響を与える恐れがある。こ
の為、無塵搬送装置が要請されている。この要請に合致
した無塵搬送装置としては、特開昭５９−１２４６２３
号公報に記載のものが公知である。この搬送装置は、回
転部分のないリニアモータを駆動装置に使用し、さらに
搬送台を空気浮上させることにより、全ての機械的摩擦
を排除したもので、上記の目的に合致している。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】リニアモータ、あるい
は空気浮上といった手段を用いた搬送装置であるため、
搬送路には長尺材であるにもかかわらず、厳しい加工精
度が要求されることになる。而して従来の搬送路１０の
構造は図２に示す如く２つの構成部分に分け、１つは搬
送路の上部を形成するテーブル２１と、他の部分は上部
を開口した溝形ダクト２２とよりなり、これらを上下に
組合せ一体となし搬送路１０を形成させるが、これは精
密加工仕上げを要するテーブル２１と、さほど高度な加
工を要しないダクト２２からなるためで、始めから一体
になると加工作業が容易でなく、そのため高価となる。 また重量の低減を図るためテーブルにはアルミ合金等の
軽金属材を使用し、ザグリにより空間部２３を設けてお
り、ダクト２２はコスト面から鋼材を使用している。
は空気浮上といった手段を用いた搬送装置であるため、
搬送路には長尺材であるにもかかわらず、厳しい加工精
度が要求されることになる。而して従来の搬送路１０の
構造は図２に示す如く２つの構成部分に分け、１つは搬
送路の上部を形成するテーブル２１と、他の部分は上部
を開口した溝形ダクト２２とよりなり、これらを上下に
組合せ一体となし搬送路１０を形成させるが、これは精
密加工仕上げを要するテーブル２１と、さほど高度な加
工を要しないダクト２２からなるためで、始めから一体
になると加工作業が容易でなく、そのため高価となる。 また重量の低減を図るためテーブルにはアルミ合金等の
軽金属材を使用し、ザグリにより空間部２３を設けてお
り、ダクト２２はコスト面から鋼材を使用している。
【０００４】しかしながら前記構造においては、使用材
料は寸法の制約から各搬送路１０，１０を継ぐ必要があ
るが、組立時において継手部に生ずる段差の修正に手間
を要するほか、前記の如く異種金属を組み合わせている
ため、溝形ダクト２２内に配設したリニアモータ（図示
せず）の発熱による温度差が生じ、この搬送路の熱膨張
によるまたは周囲温度変化による熱膨張率の違いによる
組合部材の変形等によりダクト内気密保持が困難となり
、エアー消費量の増大をきたす。
料は寸法の制約から各搬送路１０，１０を継ぐ必要があ
るが、組立時において継手部に生ずる段差の修正に手間
を要するほか、前記の如く異種金属を組み合わせている
ため、溝形ダクト２２内に配設したリニアモータ（図示
せず）の発熱による温度差が生じ、この搬送路の熱膨張
によるまたは周囲温度変化による熱膨張率の違いによる
組合部材の変形等によりダクト内気密保持が困難となり
、エアー消費量の増大をきたす。
【０００５】とりわけ、リニアモータの搬送路内設置は
、モータの推力に重大な影響を与えることになる。また
リニアモータを直接露呈すると、搬送台と搬送路間に必
要な間隙空間を確保できず空気浮上効果を損なうことに
なる。
、モータの推力に重大な影響を与えることになる。また
リニアモータを直接露呈すると、搬送台と搬送路間に必
要な間隙空間を確保できず空気浮上効果を損なうことに
なる。
【０００６】本発明は以上の点に鑑みてなされたもので
、リニアモータの搬送路内設置を容易にし、しかもリニ
アモータの性能を効果的に発揮するようにした搬送路の
構造を提供することを目的とする。
、リニアモータの搬送路内設置を容易にし、しかもリニ
アモータの性能を効果的に発揮するようにした搬送路の
構造を提供することを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明は上記目的を達成
するためになしたもので、搬送路に跨乗した搬送台を前
記搬送路から噴出される空気で浮上させながら、搬送路
に配設したリニアモータによって搬送するようにした空
気浮上搬送装置において、前記搬送路は断面矩形の形状
を有し、また上部両隅部にノズルに通ずるエアーダクト
を各１本有し、略中央部にはリニアモータ固定子を収納
する空間を有するアルミ合金体であると共に、前記搬送
路のリニアモータ固定子上部はアルミ合金体を切欠して
ステンレスまたは合成樹脂等の導電率の低い非磁性体で
覆ってなることを要旨とする。
するためになしたもので、搬送路に跨乗した搬送台を前
記搬送路から噴出される空気で浮上させながら、搬送路
に配設したリニアモータによって搬送するようにした空
気浮上搬送装置において、前記搬送路は断面矩形の形状
を有し、また上部両隅部にノズルに通ずるエアーダクト
を各１本有し、略中央部にはリニアモータ固定子を収納
する空間を有するアルミ合金体であると共に、前記搬送
路のリニアモータ固定子上部はアルミ合金体を切欠して
ステンレスまたは合成樹脂等の導電率の低い非磁性体で
覆ってなることを要旨とする。
【０００８】
【作用】搬送管路１０のエアーダクト１２に、前記エア
ー供給ユニット３から圧縮クリーンエアーを供給すると
、ノズル１３，１４から搬送管路１０の上方及び両側空
間に矢印で示す如く前記エアーが放出される。搬送台車
１は前記搬送管路１０を刳乗するように載置されている
ので、この放出エアーによって搬送台車１は搬送管路１
０の上方へ浮上させられるとともに、搬送管路１０の両
側面に対しても同一の空隙を保つことができる。而して
形成体１１の内部に配設したリニアモータの固定子２を
励磁制御することによって、可動子を具備した搬送台車
１が搬送管路１０上を走行、停止する。実施例において
、前記ノズルの径を０．４ｍｍ、同ピッチを１００ｍｍ
、供給エアー圧力を２ｋｇ／ｃ とした場合に、搬送
台車１を搬送管路１０の面上に０．１ｍｍ浮上させるこ
とができる。また、エアー消費量は搬送台車に載置する
被搬送物の重量によって大きく左右されるが、本発明に
よるときは、同じエアー流量に対し約３倍の重量物に耐
えうることが可能となった。
ー供給ユニット３から圧縮クリーンエアーを供給すると
、ノズル１３，１４から搬送管路１０の上方及び両側空
間に矢印で示す如く前記エアーが放出される。搬送台車
１は前記搬送管路１０を刳乗するように載置されている
ので、この放出エアーによって搬送台車１は搬送管路１
０の上方へ浮上させられるとともに、搬送管路１０の両
側面に対しても同一の空隙を保つことができる。而して
形成体１１の内部に配設したリニアモータの固定子２を
励磁制御することによって、可動子を具備した搬送台車
１が搬送管路１０上を走行、停止する。実施例において
、前記ノズルの径を０．４ｍｍ、同ピッチを１００ｍｍ
、供給エアー圧力を２ｋｇ／ｃ とした場合に、搬送
台車１を搬送管路１０の面上に０．１ｍｍ浮上させるこ
とができる。また、エアー消費量は搬送台車に載置する
被搬送物の重量によって大きく左右されるが、本発明に
よるときは、同じエアー流量に対し約３倍の重量物に耐
えうることが可能となった。
【０００９】
【実施例】本発明に係る搬送管路の説明に先立ち、本搬
送装置の概要につき説明する。図３は本搬送装置の外観
斜視図である。搬送台車１は、搬送管路１０をまたぐよ
うに載置されており、この搬送台車１に具備する図示し
ない可動子と後記するリニアモータ固定子２とでもって
リニアモータを形成するとともに、放出するエアーによ
って搬送管路１０上に浮上される。搬送台車１の停止点
には搬送路内にリニアモータ固定子２が夫々配設されて
おり、別設のエアー供給ユニット３から供給された圧縮
クリーンエアーを搬送管路１０上に設けたノズルを介し
て放出させ、搬送台車１を支持させるとともに前記リニ
アモータ２を制御することにより搬送台車１を走行停止
させるものである。
送装置の概要につき説明する。図３は本搬送装置の外観
斜視図である。搬送台車１は、搬送管路１０をまたぐよ
うに載置されており、この搬送台車１に具備する図示し
ない可動子と後記するリニアモータ固定子２とでもって
リニアモータを形成するとともに、放出するエアーによ
って搬送管路１０上に浮上される。搬送台車１の停止点
には搬送路内にリニアモータ固定子２が夫々配設されて
おり、別設のエアー供給ユニット３から供給された圧縮
クリーンエアーを搬送管路１０上に設けたノズルを介し
て放出させ、搬送台車１を支持させるとともに前記リニ
アモータ２を制御することにより搬送台車１を走行停止
させるものである。
【００１０】図１は本発明に係る搬送管路１０の断面図
を示す（ただしリニアモータを配しない部分）。１１は
アルミ合金等軽金属よりなり、所定の長さに押出された
金型成形体である。１２はエアーダクトで、前記成形体
の上部に、かつ左右対称に所定寸法に設ける。前記エア
ー供給ユニット３から供給された圧縮クリーンエアーは
、このエアーダクト１２に供給され、ノズル１３，１４
を介して夫々搬送路上方及び両側方に向かって放出する
ように、夫々ノズル１３，１４を前記エアーダクト１２
の上方及び側面に、かつ搬送管路１０の長手方向に所定
ピッチで複数個設ける。１５は搬送路内に所定寸法に設
けられた空間部で、リニアモータの固定子２を配設する
。リニアモータ固定子２を配置しない部分は空間のまま
であるが、搬送路の重量を低減せしめるためのものであ
る。リニアモータ固定子２に対応する成形体１１の上枠
部は所定寸法に切欠き、搬送台車１に具備する可動子の
作用に影響しないようになし、前記切欠部は気密を保持
するためステンレスまたは合成樹脂等非磁性体でカバー
１６を付するものとする。なお前記各搬送管路１０の長
手方向の連結に際しては、エアーダクト１２はＯリング
を介し、成形体１１は連結片によって連結される（いず
れも図示省略）。
を示す（ただしリニアモータを配しない部分）。１１は
アルミ合金等軽金属よりなり、所定の長さに押出された
金型成形体である。１２はエアーダクトで、前記成形体
の上部に、かつ左右対称に所定寸法に設ける。前記エア
ー供給ユニット３から供給された圧縮クリーンエアーは
、このエアーダクト１２に供給され、ノズル１３，１４
を介して夫々搬送路上方及び両側方に向かって放出する
ように、夫々ノズル１３，１４を前記エアーダクト１２
の上方及び側面に、かつ搬送管路１０の長手方向に所定
ピッチで複数個設ける。１５は搬送路内に所定寸法に設
けられた空間部で、リニアモータの固定子２を配設する
。リニアモータ固定子２を配置しない部分は空間のまま
であるが、搬送路の重量を低減せしめるためのものであ
る。リニアモータ固定子２に対応する成形体１１の上枠
部は所定寸法に切欠き、搬送台車１に具備する可動子の
作用に影響しないようになし、前記切欠部は気密を保持
するためステンレスまたは合成樹脂等非磁性体でカバー
１６を付するものとする。なお前記各搬送管路１０の長
手方向の連結に際しては、エアーダクト１２はＯリング
を介し、成形体１１は連結片によって連結される（いず
れも図示省略）。
【００１１】
【発明の効果】以上に述べたように本発明によるときは
、空気浮上による搬送台の浮上力を損なうことなく、リ
ニアモータの性能を向上させる効果を奏する。
、空気浮上による搬送台の浮上力を損なうことなく、リ
ニアモータの性能を向上させる効果を奏する。
【図１】本発明に係る搬送路の断面図である。
【図２】従来の搬送路の断面図である。
【図３】本搬送路を使用した搬送装置の外観斜視図であ
る。
る。
【図４】要部の拡大図である。
１ 搬送台車
２ リニアモータ固定子
３ エアー供給ユニット
１０ 搬送管路
１１ 金型成形体
１２ エアーダクト
１３ ノズル
１６ カバー
Claims (1)
- 【請求項１】 搬送路に跨乗した搬送台を前記搬送路
から噴出される空気で浮上させながら、搬送路に配設し
たリニアモータによって搬送するようにした空気浮上搬
送装置において、前記搬送路は断面矩形の形状を有し、
また上部両隅部にノズルに通ずるエアーダクトを各１本
有し、略中央部にはリニアモータ固定子を収納する空間
を有するアルミ合金体であると共に、前記搬送路のリニ
アモータ固定子上部はアルミ合金体を切欠してステンレ
スまたは合成樹脂等の導電率の低い非磁性体で覆ってな
ることを特徴とするリニアモータを用いた空気浮上搬送
装置における搬送路。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3083660A JPH0717274B2 (ja) | 1991-03-22 | 1991-03-22 | リニアモータを用いた空気浮上搬送装置における搬送路 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3083660A JPH0717274B2 (ja) | 1991-03-22 | 1991-03-22 | リニアモータを用いた空気浮上搬送装置における搬送路 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04223929A true JPH04223929A (ja) | 1992-08-13 |
| JPH0717274B2 JPH0717274B2 (ja) | 1995-03-01 |
Family
ID=13808610
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3083660A Expired - Lifetime JPH0717274B2 (ja) | 1991-03-22 | 1991-03-22 | リニアモータを用いた空気浮上搬送装置における搬送路 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0717274B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| ES2579287A1 (es) * | 2016-02-09 | 2016-08-09 | Fundación Universitaria San Pablo - Ceu | Carril-arqueta para soterrar el estator de un motor lineal de imanes permanentes |
-
1991
- 1991-03-22 JP JP3083660A patent/JPH0717274B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| ES2579287A1 (es) * | 2016-02-09 | 2016-08-09 | Fundación Universitaria San Pablo - Ceu | Carril-arqueta para soterrar el estator de un motor lineal de imanes permanentes |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0717274B2 (ja) | 1995-03-01 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| EXPY | Cancellation because of completion of term |