JPH0327454B2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0327454B2 JPH0327454B2 JP60231933A JP23193385A JPH0327454B2 JP H0327454 B2 JPH0327454 B2 JP H0327454B2 JP 60231933 A JP60231933 A JP 60231933A JP 23193385 A JP23193385 A JP 23193385A JP H0327454 B2 JPH0327454 B2 JP H0327454B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- movable body
- electromagnet
- linear motor
- box
- shaped duct
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
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- Non-Mechanical Conveyors (AREA)
- Control Of Vehicles With Linear Motors And Vehicles That Are Magnetically Levitated (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は、例えば半導体のウエハなどのように
塵埃をきらうものを取扱うときに採用され、主と
してクリーンルーム内に配設されるリニアモータ
使用の荷搬送装置に関するものである。
塵埃をきらうものを取扱うときに採用され、主と
してクリーンルーム内に配設されるリニアモータ
使用の荷搬送装置に関するものである。
従来の技術
例えば半導体のウエハを取扱う場合、搬送装置
を配設する工場（室）内をクリーン化すると共
に、搬送装置を防塵化している。すなわち従来で
は、電磁石の反発力あるいは噴射空気を利用して
可動体を浮上させ、この可動体をリニアモータに
より走行させる方式の荷搬送装置が用いられてい
る。このような荷搬送装置では、可動体の停止時
に可動体が静止せず、ガタツキを生じる。そこで
従来は、可動体の停止位置に電磁石を設け、この
電磁石の吸引力により可動体のガタツキを防止し
ていた。
を配設する工場（室）内をクリーン化すると共
に、搬送装置を防塵化している。すなわち従来で
は、電磁石の反発力あるいは噴射空気を利用して
可動体を浮上させ、この可動体をリニアモータに
より走行させる方式の荷搬送装置が用いられてい
る。このような荷搬送装置では、可動体の停止時
に可動体が静止せず、ガタツキを生じる。そこで
従来は、可動体の停止位置に電磁石を設け、この
電磁石の吸引力により可動体のガタツキを防止し
ていた。
発明が解決しようとする問題点
しかしながら上記従来の構成では、停止位置が
多い場合、多数の電磁石が必要であり、また停止
位置を変更する場合、電磁石の設置位置も変更し
なければならないという問題があつた。
多い場合、多数の電磁石が必要であり、また停止
位置を変更する場合、電磁石の設置位置も変更し
なければならないという問題があつた。
本発明は上記従来の問題点を解消したリニアモ
ータ使用の荷搬送装置を提供することを目的とす
る。
ータ使用の荷搬送装置を提供することを目的とす
る。
問題点を解決するための手段
上記問題点を解決するため、本発明のリニアモ
ータ使用の荷搬送装置は、浮上装置により浮上せ
しめられてリニアモータにより搬送経路上を走行
する可動体と、前記搬送経路に沿つて設置された
強磁性体と、この強磁性体に対向して前記可動体
に取付けられ、前記浮上装置による浮力に対向し
て前記強磁性体の間に吸引力を生じさせる電磁石
とを備えた構成としたものである。
ータ使用の荷搬送装置は、浮上装置により浮上せ
しめられてリニアモータにより搬送経路上を走行
する可動体と、前記搬送経路に沿つて設置された
強磁性体と、この強磁性体に対向して前記可動体
に取付けられ、前記浮上装置による浮力に対向し
て前記強磁性体の間に吸引力を生じさせる電磁石
とを備えた構成としたものである。
作 用
上記構成によれば、電磁石と強磁性体との間の
吸引力により停止時における可動体のガタツキを
防止でき、しかも電磁石を可動体側に設けたの
で、停止位置が多い場合には電磁石の数を大幅に
削減でき、また停止位置を変更しても電磁石の設
置位置を変更する必要がない。
吸引力により停止時における可動体のガタツキを
防止でき、しかも電磁石を可動体側に設けたの
で、停止位置が多い場合には電磁石の数を大幅に
削減でき、また停止位置を変更しても電磁石の設
置位置を変更する必要がない。
実施例
以下、本発明の一実施例を第１図〜第４図に基
づいて説明する。
づいて説明する。
第１図は本発明の一実施例におけるリニアモー
タ使用の荷搬送装置の平面図、第２図は同縦断側
面図、第３図は同縦断正面図で、１は搬送経路を
構成する箱型ダクト、２は前記搬送経路に沿つて
走行する可動体である。前記箱型ダクト１は、天
板部１ａが強磁性体からなり、他の部分はアルミ
ニウムにより構成されている。天板部１ａの幅方
向中央部には長さ方向全長にわたつてスリツト３
が形成されており、スリツト３を形成する天板部
１ａの端面には静電シート４が装着されている。
前記箱型ダクト１の両側壁の内面側には、高さ方
向中央部に長さ方向全長にわたる突出部１ｂが突
設されており、この突出部１ｂには長さ方向全長
にわたる永久磁石５が設置されている。前記箱型
ダクト１の両側壁の内面側には、前記突出部１ｂ
よりも上方の位置に、長さ方向全長にわたる永久
磁石６が設置されており、前記箱型ダクト１の底
壁上には、リニアモータの１次側巻線などからな
る固定子７が長さ方向適当間隔おきに設置されて
いる。前記可動体２は、前記箱型ダクト１の内部
に位置する自走台車部８と、前記箱型ダクト１の
上方に位置して被搬送物（図示せず）が載置され
る被搬送物支持部９と、前記スリツト３を通つて
自走台車部８と被搬送物支持物９とを連結する連
結部１０とから構成されている。前記自走台車部
８は、第４図に示すように、台車本体１１と、こ
の台車本体１１の前端部及び後端部に縦軸心回り
に回動自在に取付けられた揺動体１２とにより構
成されており、各揺動体１２には、下面に前記永
久磁石５と対向する永久磁石１３が取付けられて
いると共に、両側面に前記永久磁石６と対向する
永久磁石１４が取付けられている。前記自走台車
部８の下面には、リニアモータの２次側導体から
なる移動子１５が取付けられており、この移動子
１５と前記固定子７とによりリニアモータ１６が
構成されている。前記永久磁石５と永久磁石１３
とは、相対向する面が互いに同極性で、前記可動
体２を浮上させる反発力を発生しており、浮上装
置を構成している。前記永久磁石６と永久磁石１
４とは、相対向する面が互いに同極性で、前記可
動体２の幅方向の位置を規制するための反発力を
発生している。前記可動体２の被搬送物支持部９
には、前面及び後面にブラケツト１７を介して太
陽電池１８が取付けられていると共に、底面から
は前記箱型ダクト１の天板部１ａに対向する複数
の電磁石１９が突出しており、さらに内部には前
記太陽電池１８から電磁石１９への電源供給を制
御する制御装置２０が設置されている。
タ使用の荷搬送装置の平面図、第２図は同縦断側
面図、第３図は同縦断正面図で、１は搬送経路を
構成する箱型ダクト、２は前記搬送経路に沿つて
走行する可動体である。前記箱型ダクト１は、天
板部１ａが強磁性体からなり、他の部分はアルミ
ニウムにより構成されている。天板部１ａの幅方
向中央部には長さ方向全長にわたつてスリツト３
が形成されており、スリツト３を形成する天板部
１ａの端面には静電シート４が装着されている。
前記箱型ダクト１の両側壁の内面側には、高さ方
向中央部に長さ方向全長にわたる突出部１ｂが突
設されており、この突出部１ｂには長さ方向全長
にわたる永久磁石５が設置されている。前記箱型
ダクト１の両側壁の内面側には、前記突出部１ｂ
よりも上方の位置に、長さ方向全長にわたる永久
磁石６が設置されており、前記箱型ダクト１の底
壁上には、リニアモータの１次側巻線などからな
る固定子７が長さ方向適当間隔おきに設置されて
いる。前記可動体２は、前記箱型ダクト１の内部
に位置する自走台車部８と、前記箱型ダクト１の
上方に位置して被搬送物（図示せず）が載置され
る被搬送物支持部９と、前記スリツト３を通つて
自走台車部８と被搬送物支持物９とを連結する連
結部１０とから構成されている。前記自走台車部
８は、第４図に示すように、台車本体１１と、こ
の台車本体１１の前端部及び後端部に縦軸心回り
に回動自在に取付けられた揺動体１２とにより構
成されており、各揺動体１２には、下面に前記永
久磁石５と対向する永久磁石１３が取付けられて
いると共に、両側面に前記永久磁石６と対向する
永久磁石１４が取付けられている。前記自走台車
部８の下面には、リニアモータの２次側導体から
なる移動子１５が取付けられており、この移動子
１５と前記固定子７とによりリニアモータ１６が
構成されている。前記永久磁石５と永久磁石１３
とは、相対向する面が互いに同極性で、前記可動
体２を浮上させる反発力を発生しており、浮上装
置を構成している。前記永久磁石６と永久磁石１
４とは、相対向する面が互いに同極性で、前記可
動体２の幅方向の位置を規制するための反発力を
発生している。前記可動体２の被搬送物支持部９
には、前面及び後面にブラケツト１７を介して太
陽電池１８が取付けられていると共に、底面から
は前記箱型ダクト１の天板部１ａに対向する複数
の電磁石１９が突出しており、さらに内部には前
記太陽電池１８から電磁石１９への電源供給を制
御する制御装置２０が設置されている。
以下、上記構成における作用について説明す
る。可動体２は、電磁石５，１３の反発力により
浮上した状態で、リニアモータ１６により走行す
る。このとき、永久磁石６，１４の反発力により
箱型ダクト１に沿つて正確に案内される。また箱
型ダクト１により構成される搬送経路にカーブが
あつても、揺動体１２の揺動により走行可能であ
る。そして可動体２の停止時には、制御装置２０
により太陽電池１８からの電源が電磁石１９に通
電され、電磁石１９と強磁性体からなる箱型ダク
ト１の天板部１ａとの間に吸引力が発生し、可動
体２のガタツキが抑制される。この吸引力は、永
久磁石５，１３の反発力よりも小さいので、停止
時においても可動体２は浮上している。
る。可動体２は、電磁石５，１３の反発力により
浮上した状態で、リニアモータ１６により走行す
る。このとき、永久磁石６，１４の反発力により
箱型ダクト１に沿つて正確に案内される。また箱
型ダクト１により構成される搬送経路にカーブが
あつても、揺動体１２の揺動により走行可能であ
る。そして可動体２の停止時には、制御装置２０
により太陽電池１８からの電源が電磁石１９に通
電され、電磁石１９と強磁性体からなる箱型ダク
ト１の天板部１ａとの間に吸引力が発生し、可動
体２のガタツキが抑制される。この吸引力は、永
久磁石５，１３の反発力よりも小さいので、停止
時においても可動体２は浮上している。
このように、ガタツキ防止のための電磁石１９
を可動体２に設けたので、電磁石１９の設置数は
可動体２の停止位置数に影響されず、停止位置が
多い場合には電磁石１９の数を大幅に削減でき
る。また停止位置の変更に際しても、電磁石１９
の位置を変更する必要がない。また電磁石１９の
電源として太陽電池１８を用いたので、バツテリ
などと比較して小型軽量化できると共に充電など
の手数も不要である。またスリツト３部分に静電
シート４を設けたので、スリツト３部分を通つて
箱型ダクト１の外部に飛び出そうとする塵埃を静
電シート４により吸着でき、したがつてクリーン
ルームの汚染を防止できる。なお、静電シート４
に通電するようにしてもよい。
を可動体２に設けたので、電磁石１９の設置数は
可動体２の停止位置数に影響されず、停止位置が
多い場合には電磁石１９の数を大幅に削減でき
る。また停止位置の変更に際しても、電磁石１９
の位置を変更する必要がない。また電磁石１９の
電源として太陽電池１８を用いたので、バツテリ
などと比較して小型軽量化できると共に充電など
の手数も不要である。またスリツト３部分に静電
シート４を設けたので、スリツト３部分を通つて
箱型ダクト１の外部に飛び出そうとする塵埃を静
電シート４により吸着でき、したがつてクリーン
ルームの汚染を防止できる。なお、静電シート４
に通電するようにしてもよい。
なお上記実施例においては、浮上装置として永
久磁石５，１３を用いたが、これの代わりに、多
数の噴射口から空気を噴射して可動体２を浮上さ
せるエア浮上方式を用いてもよい。
久磁石５，１３を用いたが、これの代わりに、多
数の噴射口から空気を噴射して可動体２を浮上さ
せるエア浮上方式を用いてもよい。
発明の効果
以上述べたごとく本発明によれば、可動体のガ
タツキ防止のための電磁石を可動体に設けたの
で、電磁石の設置数は可動体の停止位置数に影響
されず、停止位置が多い場合、電磁石の数を大幅
に削減できる。また停止位置の変更に際しても、
電磁石の設置位置を変更する必要がない。
タツキ防止のための電磁石を可動体に設けたの
で、電磁石の設置数は可動体の停止位置数に影響
されず、停止位置が多い場合、電磁石の数を大幅
に削減できる。また停止位置の変更に際しても、
電磁石の設置位置を変更する必要がない。
第１図は本発明の一実施例におけるリニアモー
タ使用の荷搬送装置の平面図、第２図は同縦断側
面図、第３図は同縦断正面図、第４図は同荷搬送
装置における可動体の自走台車部の平面図であ
る。 １…箱型ダクト、１ａ…天板部、２…可動体、
５，１３…永久磁石、１６…リニアモータ、１９
…電磁石。
タ使用の荷搬送装置の平面図、第２図は同縦断側
面図、第３図は同縦断正面図、第４図は同荷搬送
装置における可動体の自走台車部の平面図であ
る。 １…箱型ダクト、１ａ…天板部、２…可動体、
５，１３…永久磁石、１６…リニアモータ、１９
…電磁石。
Claims (1)
- １ 浮上装置により浮上せしめられてリニアモー
タにより搬送経路上を走行する可動体と、前記搬
送経路に沿つて配置された強磁性体と、この強磁
性体に対向して前記可動体に取付けられ、前記浮
上装置による浮力に対向して前記強磁性体との間
に吸引力を生じさせる電磁石とを備えたリニアモ
ータ使用の荷搬送装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23193385A JPS6293120A (ja) | 1985-10-16 | 1985-10-16 | リニアモ−タ使用の荷搬送装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23193385A JPS6293120A (ja) | 1985-10-16 | 1985-10-16 | リニアモ−タ使用の荷搬送装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6293120A JPS6293120A (ja) | 1987-04-28 |
| JPH0327454B2 true JPH0327454B2 (ja) | 1991-04-16 |
Family
ID=16931337
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP23193385A Granted JPS6293120A (ja) | 1985-10-16 | 1985-10-16 | リニアモ−タ使用の荷搬送装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6293120A (ja) |
Families Citing this family (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0638427Y2 (ja) * | 1987-06-16 | 1994-10-05 | 東京エレクトロン東北株式会社 | 磁気浮上型ウエハ搬送装置 |
| JPH0759208A (ja) * | 1993-08-13 | 1995-03-03 | Murata Mach Ltd | リニア搬送台車の保持装置 |
| JP5202532B2 (ja) * | 2007-09-07 | 2013-06-05 | 東北精機工業株式会社 | 太陽電池モジュール搬送ライン |
| JP2009176161A (ja) * | 2008-01-25 | 2009-08-06 | Toshiba Corp | 電子機器 |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60170401A (ja) * | 1984-02-14 | 1985-09-03 | Toshiba Corp | 浮上式搬送装置 |
-
1985
- 1985-10-16 JP JP23193385A patent/JPS6293120A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6293120A (ja) | 1987-04-28 |
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