JPH0422467A - ノズル - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明はデイスペンサー装置等に用いるノズルに関する
。

〔従来の技術１ 従来のノズルの一例を第４図を用いて説明する。ノズル
本体２１の内部に最適径の穴２２が明けられている。穴
２２内をレジスト、接着剤等の液体が流下し、ＩＣ基板
、回路基板等に塗布される。

〔発明が解決しようとする課題１ しかし従来のノズルによれば、内部に気泡を含むレジス
ト、接着剤等の液体を塗布すると、塗布された液体の全
体に気泡が残される結果、接着剤等では、硬化時の加熱
の際に、気泡が膨張する結果、接着強度が低下する。も
しくは接着強度がばらつくという問題点を有する。また
液体が感光性レジストの場合には、気泡の部分の露光不
良が発生し、良好なバクーン再現性が得られないという
課題を有する。このようにそれぞれの使用液体の特性を
悪くする課題が発生する。

本発明は以上の課題を解決するためになされたもので、
その目的とするところは、内部に気泡を含む液体を塗布
しても、塗布した液体の中央部に気泡を含まないノズル
を提供することである。

［課題を解決するための手段１ 本発明のノズルは、給入口と吐出口の中間に気泡分離部
を設けたことを特徴とする。

［実　施　例］ 本発明のノズルの一実施例を第１図の断面図により説明
する。１はノズルの給入口であって、ディスベンサーに
取付ける部分である。給入口１から管はノズルの中心方
向に延長され、２の気泡分離部中へ、上向きに放出する
放出部３へと接続される。気泡分離部２は、上がってき
た気泡を外へ出すための穴４とノズル外周にある穴４に
接続するバイパス路５から構成される。気泡分離部２の
下方は吐出口６が構成されている。バイパス路５と吐出
口はほぼ同じ高さである。

給入口１から気泡の入った液体を流入すると、液体は放
出部３から気泡分離部２中に放出される。この際、液体
中の気泡は上方に集められ穴４を通り、バイパス路５中
へ導かれる。気泡が分離された液体は下方の吐出口６か
ら吐出される。

その結果吐出された液体の中央部には気泡が入っていな
いので、レジスト塗布、接着剤塗布の場合、中心の重要
部には気泡がなく、レジスト塗布の際は、レジストの吐
出後、スピンナー等で回転させてレジストを拡散させる
が、中央に気泡がないため、スピンナーで回転後は全面
に気泡のないレジスト肋が得られる。また接着剤を吐出
した際も中心部は気泡がないので、ＩＣチップの貼り付
（づ等に用いても、強度の安定した接着が得られる。

なお、以上の実施例では、バイパス路５の出口は、吐出
口６の周辺に設けてあり気泡を含んだ液が、気泡を含ん
でいない液の近辺に出てしまうが、第２図に示すように
、バイパス路７の出口を配管８により、吐出口９から遠
距離へ運び気泡を完全に分離することができる。

また、第３図に示すとおり、気泡分離部１０を充分体積
を大きくすれば、バイパス路が不要である。向、放出バ
ルブ１１を設は吸引すれば、気泡は容易に抜ける。

［発明の効果］ 以上に示す本発明によれば、内部に気体を含む液体を吐
出しても、液体が、外周部及び外部に導かれる構造とな
っているので、吐出した液体の中心部に気泡の発生がな
く、なめらかな塗布面が得られ、気泡による塗りむらが
なくなる。そのため例えば、接着剤を吐出した際は、均
等の膜厚が得られるので、安定した接着が可能であり、
また、感光性レジスト等の塗布に用いると、安定なレジ
スト塗布ができ、感光の均一性により１品質が向上する
。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明のノズルの一実施例を示す断面図、第２
図は本発明のノズルの他の実施例を示す断面図、第３図
は本発明のノズルの更に他の実施例を示す図、第４図は
従来のノズルを示す図。 １・・・・・・給入口 ２．１０・・・気泡分離部 ３・・・・・・放出部 ４・・・・・・八 ５．７・・・・バイパス路 ６．９・・・・吐出口 ８・・・・・・配管 １１・・・・・・放出バルブ ２１・・・・・・ノズル本体 ２２　・ ・・八 以 上

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 　給入口と吐出口の中間に気泡分離部を設けたことを特
   徴とするノズル。