JPH04228558A - マスク板位置決め装置 - Google Patents

マスク板位置決め装置

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JPH04228558A
JPH04228558A JP3135771A JP13577191A JPH04228558A JP H04228558 A JPH04228558 A JP H04228558A JP 3135771 A JP3135771 A JP 3135771A JP 13577191 A JP13577191 A JP 13577191A JP H04228558 A JPH04228558 A JP H04228558A
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JP
Japan
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mask plate
comb
positioning device
film
plate positioning
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JP3135771A
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English (en)
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Joel Mounoussamy
ジョエル、ムヌサミー
Jean-Paul Bouchard
ジャン‐ポール、ブシャール
Thierry Feral
ティエリ、フェラル
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LCC CICE CIE EUROP COMPOS ELECTRON
Original Assignee
LCC CICE CIE EUROP COMPOS ELECTRON
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Publication date
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    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01G—CAPACITORS; CAPACITORS, RECTIFIERS, DETECTORS, SWITCHING DEVICES, LIGHT-SENSITIVE OR TEMPERATURE-SENSITIVE DEVICES OF THE ELECTROLYTIC TYPE
    • H01G13/00—Apparatus specially adapted for manufacturing capacitors; Processes specially adapted for manufacturing capacitors not provided for in groups H01G4/00 - H01G11/00
    • H01G13/06—Apparatus specially adapted for manufacturing capacitors; Processes specially adapted for manufacturing capacitors not provided for in groups H01G4/00 - H01G11/00 with provision for removing metal surfaces
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/04—Coating on selected surface areas, e.g. using masks
    • C23C14/042—Coating on selected surface areas, e.g. using masks using masks
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
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    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
    • C23C14/56—Apparatus specially adapted for continuous coating; Arrangements for maintaining the vacuum, e.g. vacuum locks
    • C23C14/562—Apparatus specially adapted for continuous coating; Arrangements for maintaining the vacuum, e.g. vacuum locks for coating elongated substrates

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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は金属被覆装置内において
マスク板を位置決めする装置に係り、とりわけ金属被覆
領域と非金属被覆領域（金属被覆されていない領域）を
有するフィルムを得るため用いられる、一定幅を有する
絶縁フィルム用の金属被覆装置に用いられる位置決め装
置に関する。
【０００２】
【従来の技術】現在、積層または巻体型の金属被覆され
た絶縁フィルムを有するコンデンサを製造するために、
金属被覆領域および側方の非金属被覆領域（金属被覆さ
れていない領域）を有するプラスチック製フィルムが用
いられている。このような非金属被覆領域の縁を有する
柔軟なプラスチック製フィルムは２段工程を経て得られ
る。第１段工程において、例えばポリエステル、ポリカ
ーボネート、ポリスルフォン、ポリプロピレン等のよう
な一定幅の柔軟絶縁フィルムは、金属被覆装置内で真空
状態下において蒸着工程によって金属被覆される。この
金属被覆は、例えばアルミニウム、亜鉛、あるいはアル
ミニウム、亜鉛、クロムなどを含む合金のような金属を
蒸発させることによって行なわれる。非金属被覆領域は
一連のマスク板を用い、一定幅のフィルム上に非金属被
覆部を形成することによって、真空状態下のもとで蒸発
工程中に得られる。
【０００３】現在使用されている金属被覆装置において
、マスク板を位置決めするための装置は、マスク板を駆
動させるための複数の溝付ローラからなっている。この
装置は数多くの欠点を有している。それは、一連の少な
くとも２個あるいは３または４個の同一幅の溝を有する
ローラが必要となることである。更にマスク板の各幅に
対応する一連のローラが必要となる。更に、金属被覆装
置内におけるローラ等の配置は長時間かかり、かつ複雑
となる。それは異なる幅の非金属被覆領域が必要となる
毎に複数のローラを取り除いたり交換することが必要と
なるからである。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】上述のことから、本発
明の目的は、一定幅のフィルムを用いた金属被覆装置内
においてマスク板を位置決めするための新規な装置を提
供することである。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明は、金属被覆領域
および非金属被覆領域を有するフィルムを得るため一定
幅のフィルムを金属被覆する装置内で、少なくとも１つ
のマスク板の位置決めを行なうマスク板位置決め装置に
おいて、マスク板を駆動するための平滑面を有する少な
くとも２つのローラであって、金属被覆する間マスク板
をフィルムに運ぶよう配置された駆動ローラと、マスク
板を配置し位置決めするため設けられた少なくとも１つ
の固定くし状部材とを備えたことを特徴とする位置決め
装置である。
【０００６】固定くし状部材は、実際の金属被覆地点よ
り前に配置されていることが好ましい。このことにより
、マスク板を精度良く位置決めし、金属被覆および切断
後に非常に精度の良い公差範囲内の一定幅を有する金属
被覆フィルムを得ることができる。
【０００７】好ましくは、更にこの位置決め装置は予備
案内用のくし状部材を有しており、これによってマスク
板の位置決めをより完全に行なうことができる。
【０００８】更に各くし状部材は一列の歯と、歯間に設
けられマスク板の幅と同一幅を有する切欠を有している
。これによって非金属被覆領域の幅を一定とすることが
できる。
【０００９】更に各くし状部材は互いに対象となる２列
の歯と、異なる幅の切欠を有している。これによって、
異なる幅または異なるピッチの金属被覆領域または非金
属被覆領域を有するフィルムに対応することができる。 また、このことにより、異なるくし状部材の数を減少さ
せるとともに、その取付を容易に行なうことができる。
【００１０】更に好ましくは、くし状部材は、金属被覆
装置内における所定温度および所定圧力に対して安定し
た金属材料から作成されることが好ましい。各くし状部
材は、好ましくは“ＩＮＶＡＲ”鋼から作成されている
。
【００１１】このような材料から作成することによって
、通常の金属被覆装置内における所定温度および所定圧
力（１０−２〜１０−３Ｐａ）において形状的に安定し
たくし状部材を得ることができる。
【００１２】
【実施例】図１は本発明によるくし状部材の一実施例を
示す斜視図である。このくし状部材は２つの固定アーム
２を有しており、各々のアームには例えばサポートに取
付けるためのねじ棒等の固定部材を通すための２つの開
口が形成されている。図１に示すように、くし状部材１
の中央部分にはその一側に特定幅Ｌの歯４が設けられ、
これらの歯は互いに切欠５によって離間されている。こ
の切欠５内には符号６によって示すようにマスク板６が
配設されている。この場合、切欠５はマスク板６の幅と
略同様の幅Ｌ′を有している。もし、くし状部材を用い
て得られるフィルムが、金属被覆プラスチック製フィル
ムのコンデンサを製造するために用いられ、とりわけチ
ップ型のコンデンサのために用いられる場合、この幅は
非金属被覆の幅の２倍となっている。この場合、切欠の
幅Ｌ′は、すなわちマスク板６の幅は０．５ｍｍとなっ
ている。
【００１３】図２に示す他の実施例によれば、くし状部
材はアーム２を結合した中央部分の両側に歯４，４′を
有している。この場合、両側の歯と切欠は、異なる幅を
有しており、これによって最終的な使用目的に応じて異
なる形状の金属被覆領域および非金属被覆領域を有する
金属被覆フィルムを製造するために用いることができる
。また歯と切欠のピッチも異なる値としてもよい。この
ことにより所定範囲の生産物を製造するために必要とさ
れるくし状部材の数を制限することができる。
【００１４】上述のようなくし状部材は、真空下のもと
で金属被覆を行なう装置に用いられる。従ってくし状部
材は温度に変形せず、またこのような金属被覆装置で一
般的に用いられる圧力（１０−２〜１０−３Ｐａ）で変
形しないような金属材料から作成されている。くし状部
材は“ＩＮＶＡＲ”鋼から作成されることが好ましい。
【００１５】図３により、本発明のくし状部材を少なく
とも一つ有し被覆板の位置決め装置を有する真空金属被
覆装置の一実施例について説明する。図３に示すように
真空容器１０中において、スピンドル１１′に取付けら
れた親巻体として第１の巻体が設けられている。この親
巻体は、被覆されていない絶縁フィルム、例えばポリエ
ステル、ポリカーボネート、ポリスルフォン、ポリプロ
ピレン等からなっている。このフィルムは、例えば幅５
１５ｍｍのフィルムとなっている。図３に示すように、
親巻体１１からくるフィルムは矢印ｆ方向に解放され、
温度−３０℃に維持されたホイール１３に向って、ロー
ラ１２により駆動される。このホイールに対して真空下
で蒸着により金属被覆が行なわれる。次にフィルムはロ
ーラ１４によって張られ、リール１５に巻取られて次の
工程のために貯えられる。図３に示すように、種々のス
プールおよびホイール１１，１３，１５が矢印ｆ１　，
ｆ２　，ｆ３　によって示される方向に回転する。
【００１６】本発明によれば、上述の金属被覆装置１０
はマスク板を位置決めする装置を有しており、これによ
って金属被覆および非金属被覆の領域を有する金属被覆
フィルムを製造することができる。マスク板を位置決め
する装置は、図示の実施例によれば、マスク板を案内し
て駆動する４つのローラ２０，２１，２２，２３から構
成されている。図３においてマスク板２５が示されてい
る。このマスク板は矢印ｆ４　方向に駆動される。マス
ク板は例えば商品名“ＫＡＰＴＯＮ”として販売されて
いる。プラスチック材料から作成されている。本発明に
よれば、ローラ２０，２１，２２，２３は平滑面を有し
ている。これは案内溝を有する従前用いられていたロー
ラと異なるものである。このため、これらのローラ２０
，２１，２２，２３は金属被覆装置内に永続的に固定さ
れている。更に本発明によれば位置決め装置は、異なる
マスク板２５を案内または予備案内する２つのくし状部
材２６，２７からなっている。
【００１７】これらのくし状部材は、図１または図２に
示すような形状となっている。実際上は、くし状部材２
７はローラ２０の直前に配置されている。すなわち金属
被覆地点においてマスク板がフィルムと接触する場所よ
り上流側のローラ２０の直前に配置されている。くし状
部材２７は予備案内くし状部材となっていて、マスク板
を当初予備的に位置決めするようになっている。くし状
部材２６はローラ２０の直後に、すなわち金属被覆地点
の直前に配設されている。このくし状部材は巻体１１か
ら解放されるフィルムに対してマスク板を正確に位置決
めする案内くし状部材となっている。
【００１８】このようなマスク板用の案内装置を用いる
ことによって前述したような数多くの利点が得られる。 とりわけ新たなフィルムが異なる幅の金属被覆領域また
は非金属被覆領域を有するよう被覆される場合は、案内
くし状部材のみを交換すれば良い。これはマスク板を駆
動するローラ２０，２１，２２，２３が平滑面を有する
からである。このことにより、現状の装置に比較して非
常に速やかに金属被覆装置の準備を行なうことができる
。更に、案内くし状部材２６を用いることにより、マス
ク板を正確に位置決めすることができる。このことは、
金属被覆作業やその後の切断作業の後において、金属被
覆されたプラスチック製フィルムが非常に正確な公差内
の一定幅を有するようになることを意味する。例えばこ
のことは、フィルム幅２．５ｍｍで縁幅０．２５ｍｍの
チップ型コンデンサに用いられる金属被覆プラスチック
製フィルムを製造することを可能としている。
【００１９】更に上述のようなくし状部材を使用するこ
とにより、必要な数の案内されたマスク板を用いて、一
定幅のフィルムに対して金属被覆を行なうことができる
。１００本以上のマスク板を同時に案内するくし状部材
を作成することもできる。
【００２０】当業者であれば、図３に示すマスク板の位
置決めも装置として変形例を用いることができる。とり
わけ、マスク板を駆動させる少なくとも２個以上の平滑
ローラの数、または少なくとも１つ以上のくし状部材の
数については変更可能である。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明によるくし状部材を示す図
【図２】本発
明によるくし状部材の変形例を示す平面図
【図３】金属
被覆用フィルム用の一般装置内におけるくし状部材の配
置を示す図
【符号の説明】
１　　くし状部材 ４　　歯 ５　　切欠 ６　　マスク板 １０　　金属被覆装置 ２０　　ローラ ２１　　ローラ ２２　　ローラ ２３　　ローラ

Claims (7)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】金属被覆領域および非金属被覆領域を有す
    るフィルムを得るため一定幅のフィルムを金属被覆する
    装置内で、少なくとも１つのマスク板の位置決めを行な
    うマスク板位置決め装置において、マスク板を駆動する
    ための平滑面を有する少なくとも２つのローラであって
    金属被覆する間マスク板をフィルムに運ぶよう配置され
    た駆動ローラと、マスク板を配置し位置決めするため設
    けられた少なくとも１つの固定くし状部材とを備えたこ
    とを特徴とするマスク板位置決め装置。
  2. 【請求項２】固定くし状部材は金属被覆地点の直前に配
    設されていることを特徴とする請求項１記載のマスク板
    位置決め装置。
  3. 【請求項３】更に予備案内用のくし状部材を備えたこと
    を特徴とする請求項１または２のいずれか記載のマスク
    板位置決め装置。
  4. 【請求項４】各くし状部材は一列の歯と、歯間に設けら
    れマスク板の幅と同一幅の切欠を有することを特徴とす
    る請求項１乃至３のいずれか記載のマスク板位置決め装
    置。
  5. 【請求項５】各くし状部材は互いに対象となる２列の歯
    と、異なる幅の切欠とを有し、これによって異なる幅ま
    たは異なるピッチの金属被覆領域または非金属被覆領域
    を有するフィルムに対応させることを特徴とする請求項
    １乃至３のいずれか記載のマスク板位置決め装置。
  6. 【請求項６】各くし状部材は金属被覆装置内における所
    定温度および所定圧力に対して安定する材料からなるこ
    とを特徴とする請求項１乃至５のいずれか記載のマスク
    板位置決め装置。
  7. 【請求項７】各くし状部材は“ＩＮＶＡＲ”鋼から形成
    されていることを特徴とする請求項６記載のマスク板位
    置決め装置。
JP3135771A 1990-05-11 1991-05-10 マスク板位置決め装置 Pending JPH04228558A (ja)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
FR9005904A FR2662015B1 (fr) 1990-05-11 1990-05-11 Dispositif de positionnement de bandes-cache dans une machine de metallisation.
FR9005904 1990-05-11

Publications (1)

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JPH04228558A true JPH04228558A (ja) 1992-08-18

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JP3135771A Pending JPH04228558A (ja) 1990-05-11 1991-05-10 マスク板位置決め装置

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US (1) US5211757A (ja)
EP (1) EP0456556B1 (ja)
JP (1) JPH04228558A (ja)
CA (1) CA2041780A1 (ja)
DE (1) DE69126684T2 (ja)
ES (1) ES2106065T3 (ja)
FR (1) FR2662015B1 (ja)

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ES2106065T3 (es) 1997-11-01
EP0456556B1 (fr) 1997-07-02
DE69126684D1 (de) 1997-08-07
FR2662015B1 (fr) 1995-02-17
US5211757A (en) 1993-05-18
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