JPH0423102Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 この考案は、例えば拡散炉ウエハ移し替え装置
の内部機構点検に便利な位置決め機構に関するも
のである。

〔従来の技術〕

第４図は例えばカタログSemiconductor
World 1986.5第29頁に示されている従来の装置
の位置決め機構を示す図であり、図において、１
０はジヤツキボルト、１１はこの装置全体の移動
に用いるキヤスターである。

次に動作について説明する。装置の搬入時、ジ
ヤツキボルト１０をキヤスター１１より上に締め
込んでおき、キヤスター１１により所定の場所ま
で搬入する。次いでジヤツキボルト１０を回し、
装置を自立さすべく複数の各ジヤツキボルト１０
の高さを調整し、最終的にレベル出しを行なうも
のである。

〔考案が解決しようとする問題点〕

従来のウエハ移し替え装置の位置決め機構は以
上のように構成されているので、複数のユニツト
により装置が構成されている場合は、点検時、初
期据付けと同様のレベル出しを行なうことが必要
で、また最現性にも問題点があつた。

この考案は上記のような問題点を解消するため
になされたもので、例えば機器の内部点検を容易
にできる位置決め機構を得ようとするものであ
る。

〔問題点を解決するための手段〕

この考案に係る位置決め機構は、ユニツト側に
車輪と押しボルトと引張ボルトの２本のボルト
を、レール板側には上記車輪案内用レールとコ字
形のガイド板を設け、上記引張ボルトの下端には
鍔状部を設け、また上記ガイド板にはＶ字形切込
みを設け、ユニツトをレール板上に搬入すると
き、鍔状部付き引張ボルトが切込みからはまり込
みガイド板に停止されるようにしたものである。

〔作用〕

この考案における位置決め機構は、２本のボル
トの内の鍔状部を有しない方の押しボルトでユニ
ツトの車輪をレール板から浮かせてユニツトを固
定できると同時に、その浮かせる量は引張ボルト
の螺挿位置により規制できるから、引張ボルトを
一度セツトしておけば、位置決め時のレベル出し
をその都度しなくてもよい。

〔実施例〕

以下この考案の一実施例を図について説明す
る。第１図、第２図、第３図において、９は拡散
炉ウエハ移し替え装置のユニツトの底板、３はこ
の底板９に取付けられたユニツト移動用の車輪、
１，２は互いに近接して底板９に螺挿されたボル
トで、一方の押しボルト１は下端が棒状であり、
他方の引張ボルト２は下端に鍔状部２ａが設けら
れている。なお上記車輪３及びボルト１，２は図
示していないがユニツトの４隅に設けられてい
る。５はユニツトが設置される位置の床上に置か
れる第１のレール板で、これには第３図に示すよ
うに、上記車輪３を案内する例えば３本のレール
５ａが設けられている。６はそれぞれに車輪３の
案内レール６ａを設けた第２のレール板で、これ
は床上にあるユニツトを第１のレール板５上にス
ムースに案内するためのものであり、使用されな
いときには取外される。４は第１のレール板５上
に固定されたコ字形のガイド板で、コ字の幅は上
記引張ボルト２の鍔状部２ａが入る寸法を有し、
コ字の中央には、レール５ａに沿つて搬入される
ユニツトの搬入方向に開口するほぼＶ字形の切込
み４ａが設けられている。そしてこのガイド板４
は、第３図に鎖線で示すような２個のユニツト
７，８が用いられるときには、それぞれのユニツ
トのボルト１，２に対応した位置に複数個（第３
図では８個）設けられている。

次に動作について説明する。据付時装置の搬入
前に第１のレール板５をあらかじめ床上に固定す
る。この時は合マーク等によりXY方向について
位置を決めておく。

次いで、第２のレール板６をセツトして各ユニ
ツト７，８を持ち込む。先ずユニツト７を第１の
レール板５のレール５ａに沿つて所定の位置へ移
動させる。位置決め機構のガイド板４の切込み４
ａ内に引張ボルト２を導入し、当り面まで押し込
む。その後、押しボルト１により所定の高さまで
ジヤツキアツプし、レベル出しを終えた後、引張
ボルト２を締め込み、ダブルナツトをセツトす
る。このとき引張ボルト２の鍔状部２ａがガイド
板４に当たり、位置固定がなされる。同様にして
ユニツト８をセツトする。

以上で据付時のレベル出しが完了する。最後に
第２のレール板６を取り除く。点検時は第２のレ
ール板６をセツトし、押しボルト１をゆるめだけ
で車輪３がレール５ａ上に接触し、前方向へ各ユ
ニツトが引き出し可能となる。再現時は、据付時
と同様に各ユニツト７，８を押し込み、引張ボル
ト２が作用するまで押しボルト１を締め込めばよ
い。

なお上記実施例では、ウエハ移し替え装置の場
合について説明したが、一般の機械装置であつて
もよく、上記実施例と同様の効果を奏する。

〔考案の効果〕

以上のようにこの考案によれば、２本のボルト
と、これと組み合わされる切込み付きのコ字形ガ
イド板により位置決め機構を構成したので、各ユ
ニツトの搬出入が容易にでき、また完全な再現性
が得られる効果がある。

【図面の簡単な説明】

第１図はこの考案の一実施例による位置決め機
構を示す断面側面図、第２図は第１図の−線
における断面図、第３図はレール板全体の構成を
示す平面図、第４図は従来の装置の位置決め機構
を示す断面側面図である。 図中、１は押しボルト、２は引張ボルト、２ａ
は鍔状部、３は車輪、４はガイド板、４ａはＶ字
形切込み、５は第１のレール板、５ａはレール、
７，８はユニツト、９はユニツト底板である。
尚、図中同一符号は同一または相当部分を示す。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 底板に車輪を取付けたユニツトを、上記車輪を
   案内するレールを有するレール板上に位置決めす
   るものにおいて、上記レール板には、上記ユニツ
   トの搬入方向に向つて開口するほぼＶ字形切込み
   を有するコ字形のガイド板を取付け、一方上記ユ
   ニツトの底板には、上記ユニツトの上記レール板
   上への搬入時に所定位置において、上記ガイド板
   の切込みにはまり込み、その下端に設けられた鍔
   状部が上記ガイド板の下面に当接する引張ボルト
   と、上記ユニツトを上下降させ、上記車輪を上記
   レール板に接離させる押しボルトとをそれぞれ螺
   挿して取付けたことを特徴とする位置決め機構。