JPH04233429A - シール試験器 - Google Patents
シール試験器Info
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- JPH04233429A JPH04233429A JP3231928A JP23192891A JPH04233429A JP H04233429 A JPH04233429 A JP H04233429A JP 3231928 A JP3231928 A JP 3231928A JP 23192891 A JP23192891 A JP 23192891A JP H04233429 A JPH04233429 A JP H04233429A
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- Japan
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- coupling
- helium
- chamber
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- Pending
Links
- 238000007789 sealing Methods 0.000 title description 2
- 230000008878 coupling Effects 0.000 claims abstract description 22
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 claims abstract description 22
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 claims abstract description 22
- 239000001307 helium Substances 0.000 claims abstract description 20
- 229910052734 helium Inorganic materials 0.000 claims abstract description 20
- SWQJXJOGLNCZEY-UHFFFAOYSA-N helium atom Chemical compound [He] SWQJXJOGLNCZEY-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 15
- 239000000203 mixture Substances 0.000 claims abstract description 5
- 238000012360 testing method Methods 0.000 claims description 15
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 3
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- 238000010998 test method Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01M—TESTING STATIC OR DYNAMIC BALANCE OF MACHINES OR STRUCTURES; TESTING OF STRUCTURES OR APPARATUS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01M3/00—Investigating fluid-tightness of structures
- G01M3/02—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum
- G01M3/04—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum by detecting the presence of fluid at the leakage point
- G01M3/20—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum by detecting the presence of fluid at the leakage point using special tracer materials, e.g. dye, fluorescent material, radioactive material
- G01M3/202—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum by detecting the presence of fluid at the leakage point using special tracer materials, e.g. dye, fluorescent material, radioactive material using mass spectrometer detection systems
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
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- Sealing Battery Cases Or Jackets (AREA)
- Monitoring And Testing Of Exchanges (AREA)
- Pressure Vessels And Lids Thereof (AREA)
- Measurement Of Radiation (AREA)
- Optical Measuring Cells (AREA)
- Cable Accessories (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、シール試験器に関する
。
。
【０００２】
【従来の技術】冷蔵庫のコンプレッサ、エバポレータ、
ＳＦ６遮断器の極片等は往々にして、これらをヘリウム
漏れ検出器に接続された真空チャンバ内に配置し、次い
で被試験装置にヘリウムまたは空気−ヘリウム混合物を
充填することによってシール試験される。
ＳＦ６遮断器の極片等は往々にして、これらをヘリウム
漏れ検出器に接続された真空チャンバ内に配置し、次い
で被試験装置にヘリウムまたは空気−ヘリウム混合物を
充填することによってシール試験される。
【０００３】漏れがあれば、ヘリウムが流出し、その流
量が検出器で測定される。
量が検出器で測定される。
【０００４】このシール試験方法では、被試験装置は、
真空チャンバを通過し且つその端で被試験装置に接続さ
れるべきカップリングを備えたパイプを介してトレーサ
ガスで充填される。
真空チャンバを通過し且つその端で被試験装置に接続さ
れるべきカップリングを備えたパイプを介してトレーサ
ガスで充填される。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】通常のカップリングは
、被試験装置に接続されたパイプの端に設けられたメス
部分と、試験用ガス供給パイプに設けられたオス部分と
を備えており、これら２つの部分は互いに入れ子式とな
っている。各部分とそれぞれのパイプとの間、及び２つ
の部分間の界面には、シールが組み合わされている。 これらシールは、完全な密封を提供しなければならず、
試験用ガス（ヘリウム）を透過させず、且つ数千回もの
加圧及び減圧、結合及び解放に堪えねばならない。これ
らの要求事項を満足させるのは困難であり、従ってシー
ルを頻繁に替える必要がある。これは、カップリングを
分解することを必要とする。
、被試験装置に接続されたパイプの端に設けられたメス
部分と、試験用ガス供給パイプに設けられたオス部分と
を備えており、これら２つの部分は互いに入れ子式とな
っている。各部分とそれぞれのパイプとの間、及び２つ
の部分間の界面には、シールが組み合わされている。 これらシールは、完全な密封を提供しなければならず、
試験用ガス（ヘリウム）を透過させず、且つ数千回もの
加圧及び減圧、結合及び解放に堪えねばならない。これ
らの要求事項を満足させるのは困難であり、従ってシー
ルを頻繁に替える必要がある。これは、カップリングを
分解することを必要とする。
【０００６】本発明の目的は、カップリングで完全に密
封する必要性を排除することによって、シールを頻繁に
取り替える必要性を回避することにある。
封する必要性を排除することによって、シールを頻繁に
取り替える必要性を回避することにある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明は、その中に被試
験装置が配置される真空チャンバと、前記真空チャンバ
に接続されたヘリウム漏れ検出器とを備えており、前記
被試験装置は前記真空チャンバに入り且つ被試験装置に
それを接続するためのカップリングと組み合わされた外
部パイプを介してヘリウムまたは空気−ヘリウム混合物
で充填されるようになされており、前記カップリングは
前記真空チャンバの外側の真空ポンプにパイプによって
接続されたコレクタチャンバによって取り囲まれている
シール試験器を提供するものである。
験装置が配置される真空チャンバと、前記真空チャンバ
に接続されたヘリウム漏れ検出器とを備えており、前記
被試験装置は前記真空チャンバに入り且つ被試験装置に
それを接続するためのカップリングと組み合わされた外
部パイプを介してヘリウムまたは空気−ヘリウム混合物
で充填されるようになされており、前記カップリングは
前記真空チャンバの外側の真空ポンプにパイプによって
接続されたコレクタチャンバによって取り囲まれている
シール試験器を提供するものである。
【０００８】
【実施例】本発明の一実施例について添付図を参照して
説明する。
説明する。
【０００９】図１は、支持板５上にシール４を介して載
置されたベル３を備えた真空チャンバ２内に設置されて
いる装置１をシール試験するための装置を示している。 真空チャンバ２はヘリウム漏れ検出器６に接続されてお
り、被試験装置１は、支持板５を通ってチャンバ２に入
る外部パイプ７を介してヘリウムまたは空気−ヘリウム
混合物で充填される。パイプ７は２つの枝８及び９に分
かれ、その各々には慣用型の機械式クイックリリースカ
ップリング１０が設けられている。カップリング１０は
、パイプ１１、１２によって被試験装置１に接続されて
いる。
置されたベル３を備えた真空チャンバ２内に設置されて
いる装置１をシール試験するための装置を示している。 真空チャンバ２はヘリウム漏れ検出器６に接続されてお
り、被試験装置１は、支持板５を通ってチャンバ２に入
る外部パイプ７を介してヘリウムまたは空気−ヘリウム
混合物で充填される。パイプ７は２つの枝８及び９に分
かれ、その各々には慣用型の機械式クイックリリースカ
ップリング１０が設けられている。カップリング１０は
、パイプ１１、１２によって被試験装置１に接続されて
いる。
【００１０】本発明によれば、各クイックリリースカッ
プリング１０は、ポンプ１４に接続されたコレクタチャ
ンバ１３によって完全に包囲されている。
プリング１０は、ポンプ１４に接続されたコレクタチャ
ンバ１３によって完全に包囲されている。
【００１１】カップリング１０に漏れが生じると、コレ
クタチャンバ１３内にトラップされたヘリウムはポンプ
１４によって送出され、漏れ検出器６には到達しない。
クタチャンバ１３内にトラップされたヘリウムはポンプ
１４によって送出され、漏れ検出器６には到達しない。
【００１２】真空ポンプ１４の送出速度は、ヘリウムの
いかなる流出も実質的に総てポンプ１４によって吸引さ
れるように、各コレクタチャンバの漏れコンダクタンス
よりも高くなければならない（例えば、１０００倍以上
）。
いかなる流出も実質的に総てポンプ１４によって吸引さ
れるように、各コレクタチャンバの漏れコンダクタンス
よりも高くなければならない（例えば、１０００倍以上
）。
【００１３】本実施例では、２つの別々の流入管１１及
び１２を介して装置１に供給するために２つのカップリ
ング１０が使用されている。もちろん、ただ１つのカッ
プリングまたは２つより多いカップリングを用いてもよ
い。
び１２を介して装置１に供給するために２つのカップリ
ング１０が使用されている。もちろん、ただ１つのカッ
プリングまたは２つより多いカップリングを用いてもよ
い。
【００１４】図２は、機械式クイックリリースカップリ
ング１０を示している。これは、メス部分１５とオス部
分１６とを備えている。
ング１０を示している。これは、メス部分１５とオス部
分１６とを備えている。
【００１５】メス部分１５はパイプ１２を介して装置１
に接続されており、オス部分１６はヘリウム供給ホース
７に接続されている。シール１７、１８及び１９は、種
々の部分の間に備えられている。
に接続されており、オス部分１６はヘリウム供給ホース
７に接続されている。シール１７、１８及び１９は、種
々の部分の間に備えられている。
【００１６】図３及び図４は、シール２２及び２３をそ
れぞれ具備する２つの半部材２０及び２１に二分されて
いるコレクタチャンバ１３を示している。これらの半部
材の組み合わせは２４の位置でポンプ１４に接続されて
いる実質的に密封されたチャンバを構成している。
れぞれ具備する２つの半部材２０及び２１に二分されて
いるコレクタチャンバ１３を示している。これらの半部
材の組み合わせは２４の位置でポンプ１４に接続されて
いる実質的に密封されたチャンバを構成している。
【００１７】図５は、コレクタチャンバ１３が真空チャ
ンバ３内に固定されている一実施例を示している。その
ために、コレクタチャンバ１３の下方部分２１が固定ラ
グ２５と組み合わされている。
ンバ３内に固定されている一実施例を示している。その
ために、コレクタチャンバ１３の下方部分２１が固定ラ
グ２５と組み合わされている。
【００１８】コレクタチャンバ１３は真空ポンプ１４が
接続されたフランジ２６と一列になっており、シール２
７が設けられている。図５は、漏れ検出器６が接続され
るフランジ２８も示している。
接続されたフランジ２６と一列になっており、シール２
７が設けられている。図５は、漏れ検出器６が接続され
るフランジ２８も示している。
【００１９】図６は、図５の実施例におけるコレクタチ
ャンバ１３の下方部分２１の斜視図である。図３及び図
５に於いて、コレクタチャンバの２つの部分２０及び２
１は、機械的な閉鎖装置（クリップ）またはラムシステ
ム２９のいずれかによって接触した状態に保たれる。
ャンバ１３の下方部分２１の斜視図である。図３及び図
５に於いて、コレクタチャンバの２つの部分２０及び２
１は、機械的な閉鎖装置（クリップ）またはラムシステ
ム２９のいずれかによって接触した状態に保たれる。
【図１】本発明のシール試験器を示す図である。
【図２】図１の装置で使用されるクイックリリースカッ
プリングを示す図である。
プリングを示す図である。
【図３】コレクタチャンバの可能な実施例の断面図であ
る。
る。
【図４】コレクタチャンバの可能な実施例の斜視図であ
る。
る。
【図５】真空チャンバに取り付けられたコレクタチャン
バの下方部分を示す図である。
バの下方部分を示す図である。
【図６】真空チャンバに取り付けられたコレクタチャン
バの下方部分を示す図である。
バの下方部分を示す図である。
１ 装置
２ 真空チャンバ
３ ベル
４，１７，１８，１９，２２，２３，２７ シール５
支持板 ６ 漏れ検出器 ７ 外部パイプ ８，９ 枝 １０ カップリング １１，１２ パイプ １３ コレクタチャンバ １４，２４ ポンプ １５ メス部分 １６ オス部分 ２０，２１ 半部材 ２５ 固定ラグ ２６，２８ フランジ ２９ ラムシステム
支持板 ６ 漏れ検出器 ７ 外部パイプ ８，９ 枝 １０ カップリング １１，１２ パイプ １３ コレクタチャンバ １４，２４ ポンプ １５ メス部分 １６ オス部分 ２０，２１ 半部材 ２５ 固定ラグ ２６，２８ フランジ ２９ ラムシステム
Claims (1)
- 【請求項１】 被試験装置が配置される真空チャンバ
と、前記真空チャンバに接続されたヘリウム漏れ検出器
とを備えており、前記被試験装置は、前記真空チャンバ
に入り且つ該被試験装置にそれを接続するためのカップ
リングと組み合わされた外部パイプを介してヘリウムま
たは空気−ヘリウム混合物で充填されるようになされて
おり、前記カップリングは前記真空チャンバの外側の真
空ポンプにパイプで接続されたコレクタチャンバによっ
て包囲されていることを特徴とするシール試験器。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| FR9011272 | 1990-09-12 | ||
| FR9011272A FR2666654B1 (fr) | 1990-09-12 | 1990-09-12 | Dispositif de controle d'etancheite d'une piece. |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04233429A true JPH04233429A (ja) | 1992-08-21 |
Family
ID=9400262
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3231928A Pending JPH04233429A (ja) | 1990-09-12 | 1991-09-11 | シール試験器 |
Country Status (7)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5172583A (ja) |
| EP (1) | EP0477640B1 (ja) |
| JP (1) | JPH04233429A (ja) |
| AT (1) | ATE113379T1 (ja) |
| DE (1) | DE69104805T2 (ja) |
| ES (1) | ES2065590T3 (ja) |
| FR (1) | FR2666654B1 (ja) |
Families Citing this family (33)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5344480A (en) * | 1992-05-05 | 1994-09-06 | Praxair Technology, Inc. | Pressurizing with and recovering helium |
| DE4335894A1 (de) * | 1993-10-21 | 1995-04-27 | Leybold Ag | Verfahren zur Untersuchung der Eigenschaften eines Prüflings mit einem Hohlraum sowie für die Durchführung dieses Verfahrens geeignete Einrichtung |
| DE19627922A1 (de) * | 1996-07-11 | 1998-01-15 | Leybold Vakuum Gmbh | Verfahren und Vorrichtung zur Rückgewinnung des bei der Heliumlecksuche verwendeten Heliums |
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| US5777209A (en) * | 1996-12-13 | 1998-07-07 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Company, Ltd. | Leakage detection apparatus equipped with universal adapter head and method of testing |
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| JPH11230352A (ja) * | 1998-02-10 | 1999-08-27 | Nec Corp | 密閉容器及びその試験方法 |
| FR2786566B1 (fr) * | 1998-11-26 | 2000-12-29 | Cit Alcatel | Procede et dispositif de detection de fuites sur echangeurs automobiles |
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-
1990
- 1990-09-12 FR FR9011272A patent/FR2666654B1/fr not_active Expired - Fee Related
-
1991
- 1991-09-09 DE DE69104805T patent/DE69104805T2/de not_active Revoked
- 1991-09-09 EP EP91115189A patent/EP0477640B1/fr not_active Revoked
- 1991-09-09 AT AT91115189T patent/ATE113379T1/de not_active IP Right Cessation
- 1991-09-09 ES ES91115189T patent/ES2065590T3/es not_active Expired - Lifetime
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- 1991-09-12 US US07/758,150 patent/US5172583A/en not_active Expired - Fee Related
Also Published As
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|---|---|
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| EP0477640B1 (fr) | 1994-10-26 |
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| FR2666654A1 (fr) | 1992-03-13 |
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| DE69104805T2 (de) | 1995-03-02 |
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